JPH0354916U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0354916U JPH0354916U JP11512489U JP11512489U JPH0354916U JP H0354916 U JPH0354916 U JP H0354916U JP 11512489 U JP11512489 U JP 11512489U JP 11512489 U JP11512489 U JP 11512489U JP H0354916 U JPH0354916 U JP H0354916U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pressure water
- cleaning liquid
- air
- liquid tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
第１図は本実施例の側面断面図、第２図は従来
例の側面断面図である。 １……基板、２……液槽、３……洗浄液、４…
…搬送ローラ、５……ジエツトノズル、６……高
圧水、７……キヤビテーシヨン、１０……ジエツ
トノズル、１１……エアノズル、１２……洗浄ユ
ニツト、１３……高圧水パイプ。
例の側面断面図である。 １……基板、２……液槽、３……洗浄液、４…
…搬送ローラ、５……ジエツトノズル、６……高
圧水、７……キヤビテーシヨン、１０……ジエツ
トノズル、１１……エアノズル、１２……洗浄ユ
ニツト、１３……高圧水パイプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 洗浄液槽内を搬送する基板に対して高圧水
を噴射して洗浄する基板洗浄装置において、 前記基板上面が洗浄液に浸されるよう洗浄液の
水面付近に設置される基板の搬送手段と、 前記基板上面に高圧水を噴射するよう該搬送手
段の搬送方向に直交して複数配設される第一の高
圧水ノズルと、 前記基板下面に高圧水を噴射するよう該搬送手
段の搬送方向に直交して洗浄液槽内に複数配設さ
れる第二の高圧水ノズルと、 前記基板下面に対して空気を供給するよう洗浄
液槽内に配設される空気供給手段と、 を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。 (2) 液槽内の基板の下面の下方に配置される中
空の空気供給管と、 前記基板下面に対して空気を噴射するよう該空
気供給管の上面に開口されるエアノズルと、 前記空気供給管内に収納され、該エアノズルに
近接して前記基板下面に高圧水を噴射するよう配
設される高圧水ノズルと、 を備えたことを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第１項記載の基板洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11512489U JPH0354916U (ja) | 1989-09-30 | 1989-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11512489U JPH0354916U (ja) | 1989-09-30 | 1989-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354916U true JPH0354916U (ja) | 1991-05-28 |
Family
ID=31663465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11512489U Pending JPH0354916U (ja) | 1989-09-30 | 1989-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0354916U (ja) |
-
1989
- 1989-09-30 JP JP11512489U patent/JPH0354916U/ja active Pending
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