JPH0488171A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はＳｉｎ、ＳｉＯ２などの物質を紙、プラスチッ
クフィルム等の基板に蒸着するための連続真空蒸着装置
に関する。

〈従来の技術〉 従来、紙、プラスチックフィルム等の基板にＳｉｎ、Ｓ
ｉＯ２等の物質の薄膜を形成するには、第４図に示すよ
うな連続真空蒸着装置が用いられる。ｎ図に示すように
、真空室０１は排気ポンプユニット０２により所定の真
空度に排気されるようになっており、その下部には蒸着
装ｗＯ３が設けられている。蒸着装置０３は第５図に示
すように、蒸着材０４が収納される蒸着材収納容器０５
と、この蒸着材収納容１！０！ｌ）の上側に配置される
加熱体０６と、さらにこの上側に配置されるスリット状
ノズル０７と、このスリット状ノズル０７の周囲に配置
される誘導加熱コイル０８とからなる。

一方、蒸着装置０３の上方にはスリット状ノズル０７に
相対向する冷却フール０９及び−対のデフレクタフール
０１０が設けられており、アンコイラ０１１から払い出
された基板０１２はデフレクタロール０１０及び冷却ロ
ール０９に掛は回されてコイラ０１３に巻き取られるよ
うになっている。

このような装置において、排気ポンプユニット０２によ
り所定の真空度に排気されている真空室０１内で加熱体
０６の放射熱により加熱された蒸着材０４は昇華し、ス
リット状ノズル０７の開口部０７ａから噴出する。−方
、アンコイラ０１１から払い出された基板０１２は冷却
ロール０９に掛は回されてスリット状ノズル０７の開口
部０７ａに対向する位置に導かれており、開口部０７ｍ
から噴出する蒸着材０４は基板０１２に蒸着する。この
とき、基板０１２は蒸着時の加熱による温度上昇を減す
るように冷却ロール０９により冷却されてコイラ０１３
に巻き取られる。

〈発明が解決しようとする課題〉 前述した装置では、スリット状ノズル０７の開口部０７
ａは基板０１２の幅方向に亘って一定間隔Ｗを保ってい
る。したがって、基板０１２の蒸着膜厚を変更する場合
には、３導加熱コイル０８の出力を調整することζこよ
り加熱体０６の温度を変えるという方法が採られる。

すなわち、従来の装置では蒸着膜厚の変更を行う場合、
誘導加熱コイル０８の出力変更、加熱体０６の温度変化
、蒸着材０４の温度変化、及び蒸発量の変化という過程
をたどるため、間接的であり応答時間が長いとｂｌう問
題がある。

また、このような装置では、スリット状ノズル０７の開
口部０７ａの板幅方向の長さ【よ、その装置で処理され
る基板０１２の最大幅ζこ適合するように設定されるが
、それより狭し）幅の基板０１２を処理する場合には蒸
着材力９無駄に放散され、且つそれだけ電力消費効率も
悪化する。さらに、この場合、放散した蒸着材の清掃の
ために装置停止回数も増して稼動率も悪化するという問
題が生じる。

本発明はこのような事情に鑑み、上述した不都合を解消
する連続真空蒸着装置を提供することを目的とする。

く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成する本発明に係る連続真空蒸着装置は、
蒸着材の蒸気を走行する基板に蒸着する連続蒸着装置に
おいて、上記基板の板幅方向に延設される一対の平板状
のノズル板からなると共にその先端縁同志が平行に相対
向して上記板幅方向と直交する方向に各々移動可能な第
一のゲートと、上記基板の板幅方向と直交する方向に延
設される一対の平板状のノズル板からなると共にその先
端縁同志が平行に相対向して上記板幅方向に各々移動可
能な第二のゲートと、これら第一のゲート及び第二のゲ
ートの各ノズル板をそれぞれ位置決め移動する駆動装置
とを有することを特徴とする。

く作　　　用〉 前記構成において、駆動装置により第一のゲートのノズ
ル板を位置決め移動すること（こより、その間の開口部
の板幅方向と直交する方向の幅を任意に変えることがで
きる。

また、駆動装置により第二のゲートのノズル板を位置決
め移動することにより、その間の開口部の板幅方向の幅
を任意に変えることができる。

く実　施　例〉 以下、本発明を実施例に基づいて説明する。

第１図は一実施例に係る連続真空蒸着装置の蒸着装置の
上面図、第２図はそのＩＩ−ＩＩ線矢視図、第３図はそ
のｌ−１１１矢視図である。

なお、全体構成は第４図及び第５図に示す従来の連続真
空蒸着装置と同様であるので、同一作用を示す部材には
同一符号を付し、また、全体的説明は省略する。

これらの図面に示すように、蒸着材収納容ＮＯ５のＲ（
：ｌ＠　０５　ｇの周囲に設けられている加熱体０６の
上側には第一のゲートを構成する一対のノズル板１１と
第二のゲートを構成する一対のノズル板１２とが設けら
れている。そして、各ノズル板１１．１２の先端辺で囲
まれた部分がスリット状ノズルの開口部を形成する。

第二のゲートを構成するノズル板１２は開口部０５ａの
基板板幅方向側の二辺の外縁部上側に設けられており、
その先端縁同志がほぼ平行に相対向して各々が板幅方向
に移動可能に設けられている。一方、第一のゲートを構
成するノズル板１１は開口部０５ａの基板板幅方向に直
交する方向側の二辺の外縁部上側に設けられており、そ
の先端縁同志がほぼ平行に相対向して各々が板幅方向に
移動可能に設けられている。ここで、各ノズル板１１゜
１２の下面には先端が拡開した突起１１ａ。

１２ａがそれぞれの移動方向に沿って延設されており、
これら突起１１ｇ、１２ａが加熱体０６の上面に形成さ
れたスライド溝１３にそれぞれスライド自在に嵌合して
いる。また、ノズル板１１の先端部下側には切り欠き部
１１ｂが形成されており、ノズル板１１の先端部はノズ
ル板１２と重なり合うようになっている。

各ノズル板１１，１２の後端面には雌ねじ部１４が形成
されており、これら雌ねじ部１４は各ノズル板１１．１
２の後方に設けられているシャフト１５の先端に形成さ
れた雄ねじ部１５ａと螺合するようになっている。各シ
ャフト１５は、真空室０１内に立設された軸受１６に回
転自在且つ軸方向の動きを規制された状態で支持されて
おり、各シャフト１５の後端部は真空室０１の壁を貫通
して、外部に設けられた駆動源１７に連結されている。

このような構成において、真空室０１外の駆動源１７に
よりシャフト１５を右又は左に回転駆動すると、その先
端の雄ねじ部１５ｍに螺合しているノズル板１１．１２
がスライド溝１３に沿って前後方向に移動する。ここで
、駆動源１７の回転数とノズル板１１．１２の移動寸法
との相対関係を把握しておき、ノズルの開口部の面積を
拡げるときは左回転、狭くするときは右回転させること
によゆノズルの開口部の面積を任意に変えることができ
る。なお、第一のゲートのノズル板１１の移動により、
板幅方向に直交する方向のノズル幅を変えることができ
、蒸着膜厚のコントワールをすることができる。また、
第二のゲートのノズル板１２の移動により、板幅方向の
ノズル幅を変えることができ、基板の板幅方向の蒸着幅
を変化することができる。さらに、第一のゲートのノズ
ル板１１を各々中央部に向って密着するまで移動するこ
とにより、蒸気の噴出口を完全に速量することもできる
。

〈発明の効果〉 思上説明したように、本発明の連続真空蒸着装置は、第
一のゲート及び第二のゲートのノズル板を真空室外から
移動することにより開口部の面積を瞬時に変えることが
できる。

例えば、第一のゲートを介して基板の板幅に直交する方
向の開口部の幅を変化させることにより蒸着膜厚のコン
トロールが可能により、従来の複雑な手順を省（ことが
できる。また、第二のゲートを介して基板の板幅方向の
開口部の輻を変化させることにより基板の板幅方向への
蒸着幅のコントロールができると共に、基板の板幅方向
への蒸気の放散が防止でき、装置の清掃の回数が減少し
、破動率も向上する。さらに、第一のゲートを介してノ
ズルの開口部を完全に密閉することができ、これにより
蒸着材加熱昇温時の放射熱による基板の焼損が防止でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例に係る連続真空蒸着装置の要部上面図
、第２図はその■−■線矢視図、第３図はそのＩ−１線
矢視図、第４図及び第５図は従来技術に係る連続真空蒸
着装置を示す縦断面図である。 図面中、 ０１は真空室、 ０５は蒸着材収納容器、 ０６は加熱体、 １１．１２はノズル板、 １１ａ、１２ｍは突起、 １１ｂは切り欠き部、 １３はスライド溝、 １４は雌ねじ部、 １５はシャフト、 １５ａは雄ねじ部、 １６は軸受、 １７は駆動源である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　蒸着材の蒸気を走行する基板に蒸着する連続蒸着装置
   において、 上記基板の板幅方向に延設される一対の平板状のノズル
   板からなると共にその先端縁同志が平行に相対向して上
   記板幅方向と直交する方向に各々移動可能な第一のゲー
   トと、 上記基板の板幅方向と直交する方向に延設される一対の
   平板状のノズル板からなると共にその先端縁同志が平行
   に相対向して上記板幅方向に各々移動可能な第二のゲー
   トと、 これら第一のゲート及び第二のゲートの各ノズル板をそ
   れぞれ位置決め移動する駆動装置、とを有することを特
   徴とする連続真空蒸着装置。