JPH0490355A - インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置および前記インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、インクを吐出させて被記録媒体に記録を行な
うインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記
録ヘッドを備えたインクジェット記録装置と、前記イン
クジェット記録ヘッドの製造方法とに関するものである
。

［従来の技術］ インクジェット記録方式に適用されるインクジェット記
録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）には、一般に
、インクか吐出されるための吐出口と、前記吐出口に供
給するためのインクを貯える液室と、前記吐出口と前記
液室とを連通ずる液流路と、前記液流路の一部位に設け
られたインクを吐出するためのエネルギーを発生するエ
ネルギー発生素子と、前記液室に外部からインクを供給
するための供給口とが設けられている。

従来の前記記録ヘッドの製造方法としては次のようなも
のが知られている。

（１）エネルギー発生素子が設けられた第１の基板を備
え、ガラスや金属などからなる第２の基板に切削やエツ
チングなどの加工手段により吐出口、液流路および液室
を形成するための凹部ならびに前記液室と外部とを連通
ずるための供給口を設けたのち、前記第１の基板に前記
第２の基板をエネルギー発生素子と液流路との位置を合
わせて接着剤により貼り合わせる方法。

（２）エネルギー発生素子が設けられたガラスなどから
なる第１の基板にポジ型もしくはネガ型の感光性ドライ
フィルムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうち吐出
口、液流路および液室に相当するパターンをマスクしも
しくは露出させて露光し、現像して前記吐出口、液流路
および液室に相当するパターンの固体層を第１の基板上
に設ける。前記固体層および第１の基板の上に硬化剤が
混合された液状の硬化性材料を適宜厚さに塗布し、所定
温度で長時間放置して前記硬化性材料を硬化させる。つ
いで、前記硬化性材料が硬化した第１の基板を吐出口を
形成する位置で切断して前記固体層の端面を露出させた
のち前記固体層を溶解する溶剤中に浸漬し、前記硬化性
材料が硬化した第１の基板から前記固体層を溶解除去し
て内部に液流路および液室を形成する空間を設ける方法
（特開昭６１−１５４９７号公報参照）。

（３）エネルギー発生素子が設けられた第１の基板にポ
ジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィルムを貼り、前
記感光性ドライフィルムのうち吐出口、液流路および液
室の一部に相当するパターンをマスクしもしくは露出さ
せて露光し、現像して前記吐出口、液流路および液室の
一部に相当するパターンの固体層を第１の基板上に設け
る。前記固体層および第１の基板の上に活性エネルギー
線により硬化する活性エネルギー線硬化性材料を適宜厚
さに塗布し、液室の他の一部を形成するための凹部およ
び供給口が設けられた活性エネルギー線透過性の第２の
基板を前記活性エネルギー線硬化性材料の上に前記四部
を液室が形成される予定位置に合わせて貼り付は積層体
を作る。つぎに、前記活性エネルギー線硬化性材料のう
ち液室か形成される予定部分を隠すように第２の基板を
マスクして活性エネルギー線をその第２の基板を通して
活性エネルギー線硬化性材料に照射し硬化させる。つい
で、前記活性エネルギー線硬化性材料が硬化された積層
体を吐出口を形成する位置で切断して前記固体層の端面
を露出させたのち前記固体層と未硬化の活性エネルギー
線硬化性材料とを溶解する溶剤中に浸漬し、前記積層体
から前記固体層および未硬化の活性エネルギー線硬化性
材料を溶解除去して内部に液流路および液室を形成する
空間を設ける方法（特開昭６２−２５３４５７号公報参
照）。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来の各記録ヘッドの製造方法において、（１）の
記録ヘッドの製造方法では、第２の基板に設けられる液
室を形成するための凹部を大きくすることにより、高速
記録に好適な大きな液室を有する記録ヘッドを製造する
ことができるという利点はあるか、第１の基板と第２の
基板とを接着剤により貼り合わせる際、第１の基板の微
細なエネルギー発生素子と第２の基板の微細な液流路と
を精密に位置合わせする必要があり、そのための装置が
複雑、高価なものとなり、また多量生産性に欠け、製品
のコストアップを引き起こすという問題点がある。

（２）の記録ヘッドの製造方法では、（１）の記録ヘッ
ドの製造方法にみられるような第１の基板と第２の基板
とを貼り合わせる際の精密な位置合わせを必要としない
という利点はあるが、液室の容積は第１の基板上に設け
られるパターン状の固体層の厚さと同じ高さに制限され
てしまうのであまり大きくすることができず、また、工
程が複雑で時間がかかり、工程数も多いのでやはり多量
生産性に欠け、製品のコストアップを引き起こすという
問題点がある。

（３）の記録ヘッドの製造方法では、第２の基板に設け
る液室の他の一部を形成するための凹部を大きくするこ
とにより、大きな液室な有する記録ヘッドを製造するこ
とができるという利点と、（１）の記録ヘッドの製造方
法にみられるような第１の基板と第２の基板とを貼り合
わせる際の精密な位置合わせが不必要であるという利点
とがあるが、（２）の記録ヘッドの製造方法と同様に工
程が複雑で時間がかかり、工程数はさらに多いのでやは
り多量生産性に欠け、製品のコストアップを弓き起こす
という問題点がある。

本発明は、上記従来の技術の有する問題点に鑑みてなさ
れたものであり、２つの基板を精密に位置合わせして貼
り合わせるという工程を必要とせずに簡単で少ない工程
により大きな液室を形成することができる多量生産に適
した安価なインクジェット記録ヘッドと、前記インクジ
ェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置と、
前記インクジェット記録ヘッドの製造方法とを提供する
ことを目的とするもの゛である。

［課題を解決するための手段コ 上記目的を達成するための本発明のインクシェツト記録
ヘッドは、 インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給するた
めのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と前記
液室とを連通ずる液流路と、前記吐出口からインクを吐
出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子
と、前記液室に外部からインクを供給するための供給［
］とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記エネルギー発生素子か成膜形成された素子面を有す
る基板と、前記基板の素子面にトランスファ成形により
成形と同時に融着された構造部材とを有し、 前記構造部材の前記基板に対向する面には、前記吐出口
および液流路を構成１−るための溝部が前記エネルギー
発生素子の位置に対応して形成されると共に、前記溝部
に連通した前記液室を構成するための前記基板の素子面
を底壁とする空洞部が形成さねていることを特徴とする
ものである。

また、空洞部の開口端の周縁は、反基板側に突出してい
ることを特徴とするものもある。

さらに、エネルギー発生素子は、インクを吐出するため
の熱エネルギーを発生する電気熱変換体を具備している
ものや、 吐出口か被記録媒体の記録領域の全幅にわたフて形成さ
れているフルラインタイプであるものとすることもでき
る。

つぎに、本発明のインクジェット記録装置は、前記本発
明の各インクジェット記録ヘッドのいずれかひとつを備
え、記録信号に基づいてインクを前記インクジェット記
録ヘッドの吐出口から吐出して記録を行なうものである
。

つぎに、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法
は、 インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給するた
めのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と前記
液室とを連通ずる液流路と、前記吐出口からインクを吐
出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子
とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を成膜
形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前記吐出口
と、前記液室の一部と、前記エネルギー発生素子の位置
に対応した前記液流路とに相当する除去可能な材料から
なる固体層を形成する工程と、 前記基板の固体層か形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち吐出口に相当する
表面と液室の一部に相当する部分の表面の一部位とか露
出しその他の表面が被覆されるように、構造部材を成形
と同時に融着する］工程と、 離型後、前記構造部材が成形と同時に融着された基板か
ら前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とす
るものや、 インクか吐出される吐出口と、前記吐出口に供給するた
めのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と前記
液室とを連通ずる液流路と、前記吐出口からインクを吐
出するためのエネルギーを発生ずるエネルギー発生素子
とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を成膜
形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前記吐出口
と、前記液室の一部と、前記エネルギー発生素子の位置
に対応した前記液流路とに相当する除去可能な材料から
なる固体層を形成する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち液室の一部に相当
する部分の表面の一部位が露出しその他の表面が被覆さ
れるように、構造部材を成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
ままで、前記吐出口を形成する位置で切断し、その後、
前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とする
ものや、 インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給するた
めのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と前記
液室とを連通ずる液流路と、前記吐出口からインクを吐
出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子
とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、２個の前記インクジェット記録ヘッドが、前記吐出
口を中心に双方の前記インクジェット記録ヘッドの液流
路が連続するように、対向配置したものに相当する大き
さの基板を用い、前記基板の面に、前記インクジェット
記録ヘッド２個分のエネルギー発生素子を前記対向配置
に対応させて成膜形成して素子面とし、前記基板の素子
面に、前記各エネルギー発生素子の位置に対応した前記
２個分の互いに連続する液流路と前記各インクジェット
記録ヘッドのそれぞれの液室の一部とに相当する除去可
能な材料からなる固体層を前記対向配置に対応させて形
成する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち前記各インクジェ
ット記録ヘッドのそれぞれの液室の一部に相当する各部
分の表面の一部位が露出しその他の表面か被覆されるよ
うに、構造部材を前記対向配置に対応させて成形と同時
に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
ままで、前記対向配置の対向の中心線に沿って切断し、
その後、前記固体層を除去する工程とからなることを特
徴とするものや、インクが吐出される吐出口と、前記吐
出口に供給するためのインクを一時的に貯える液室と、
前記吐出口と前記液室とを連通ずる液流路と、前記吐出
口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエ
ネルギー発生素子とを備えたインクジェット記録ヘッド
の製造方法において、２個の前記インクジェット記録ヘ
ッドが、前記吐出口を中心に双方の前記インクジェット
記録ヘッドの液流路が連続するように、対向配置したも
のを組として、該組を複数組並べたものに相当する大き
さの基板を用い、前記基板の一面に、前記インクジェッ
ト記録ヘッド複数粗分のエネルギー発生素子を前記各対
向配置に対応させて成膜形成して素子面とし、前記基板
の素子面に、前記各エネルギー発生素子の位置に対応し
た前記２個分の互いに連続する液流路と前記各インクジ
ェット記録ヘッドのそれぞれの液室の一部とに相当する
除去可能な材料からなる固体層を前記各対向配置に対応
させて形成する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち前記各インクジェ
ット記録ヘッドのそれぞれの液室の一部に相当す各部分
の表面の一部位が露出しその他の表面が被覆されるよう
に、構造部材を前記各対向配置に対応させて成形と同時
に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
ままで、隣接する各糾問の境界線と前記対向配置の対向
の中心線とに沿って切断し、その後、前記固体層を除去
する工程とからなることを特徴とするものかある。

また、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給
するためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口
と前記液室とを連通ずる液流路と、前記吐出口からイン
クを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発
生素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法
におし１て、予め、基板の一面に前記エネルギー発生素
子を成膜形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前
記吐出口と前記エネルギー発生素子の位置に対応した前
記液流路とに相当する除去可能な材料からなる固体層を
形成する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち吐出口に相当する
表面と液流路の液室への接続部に相当する表面とが露出
しその他の表面が被覆されるように、構造部材を成形と
同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材が成形と同時に融着された基板か
ら前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とす
るものや、 インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給するた
めのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と前記
液室とを連通ずる液流路と、前記吐出口からインクを吐
出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子
とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、ｆめ、基板の一面に前記エネルギー発生素子を成膜
形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前記吐出口
と前記エネルギー発生素子の位置に対応した前記液流路
とに相当する除去可能な材料からなる固体層を形成する
工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち液流路の液室への
接続部に相当する表面か露出しその他の表面が被覆され
るように、構造部材を成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
ままで、前記吐出口を形成する位置て切断し、その後、
前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とする
ものや、 インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給するた
めのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と前記
液室とを連通する液流路と、前記吐出口からインクを吐
出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子
とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、２個の前記インクジェット記録ヘッドが、前記吐出
口を中心に双方の前記インクジェット記録ヘッドの液流
路が連続するように、対向配置したものに相当する大き
さの基板を用い、前記基板の一面に、前記インクジェッ
ト記録ヘッド２個分のエネルギー発生素子を前記対向配
置に対応させて成膜形成して素子面とし、前記基板の素
子面に、前記各エネルギー発生素子の位置に対応した前
記２個分の互いに連続する液流路に相当する除去可能な
材料からなる固体層を前記対向配置に対応させて形成す
る工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち前記各液流路の液
室への接続部に相当する各表面が露出しその他の表面が
被覆されるように、構造部材を前記対向配置に対応させ
て成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
ままで、前記対向配置の対向の中心線に沿って切断し、
その後、前記固体層を除去する工程とからなることを特
徴とするものや、インクが吐出される吐出口と、前記吐
出口に供給するためのインクを一時的に貯える液室と、
前記吐出口と前記液室とを連通ずる液流路と、前記吐出
口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエ
ネルギー発生素ｆとを備えたインクジェット記録ヘッド
の製造方法において、２個の前記インクジェット記録ヘ
ッドが、前記吐出口を中心に双方の前記インクジェット
記録ヘッドの液流路が連続するように、対向配置したも
のを組として、該組を複数組並へたものに相当する大き
さの基板を用い、油泥基板の一面に、前記インクジェッ
ト記録ヘッド複数紹介のエネルギー発生素子を前記各対
向配置に対応させて成膜形成して素子面とし、前記基板
の素子面に、前記各エネルギー発生素子の位置に対応し
た前記２個の互いに連続する液流路に相当する除去可能
な材料からなる固体層を前記各対向配置に対応させて形
成する工程と、 前記基板の固体層か形成された素子面に、トランスファ
成形により、前記固体層の表面のうち前記各液流路の液
室への接続部に相当する各表面が露出しその他の表面か
被覆されるように、構造部材を前記各対向配置に対応さ
せて成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
ままで、隣接する各組間の境界線と前記対向配置の対向
の中心線とに沿って切断し、その後、前記固体層を除去
する工程とからなることを特徴とするものもある。

さらに、構造部材と基板とを、融着した状態のままで、
隣接する各組間の境界線と対向配置の対向の中心線とに
沿って切断し、その後、固体層を除去する工程の代りに
、 前記構造部材と前記基板とを、融着した状態のままで、
前記対向配置の対向の中心線に沿って切断して前記固体
層を除去し、その後、前記構造部材と前記基板とを前記
融着した状態のままで、隣接する各組間の境界線に沿っ
て切断する工程を有することを特徴とするものである。

［作用］ 上記のように構成された本発明のインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、構造部材の基板に対向する面に形成され
た溝部と前記基板の素子面とにより囲まれる空間が液流
路を構成し、前記空間の外側に開放する開口が吐出口を
構成している。構造部材に形成された前記溝部に連通し
て素子面を底壁として有する空洞部が液室を構成してお
り、前記空洞部の開口が供給口となっている。

つぎに、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法
においては、固体層はその液流路に相当する部分が基板
のエネルギー発生素子に位置を合わせて形成される。吐
出口、液流路および液室を形成するための構造部材は、
トランスファ成形により、基板の固体層が形成された一
面に成形と同時に融着される。

前記固体層は、前記構造部材により被覆されなかった表
面から、または、その表面および切断されて露出した表
面から除去されて、前記構造部材の基板との対向面に吐
出口と液流路とを構成する空間かでき、また、前記構造
部材に前記空間と連通した基板の素子面を底壁とする空
洞部、すなわち、液室ができる。

［実施例］ 本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

まず、インクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド
」という）の第１実施例について説明する。

第１図において、ガラス、シリコンウェハーなどからな
る基板１の一面には、電気熱変換体２ａを有する複数の
電極２がエツチング、蒸着、スパッタリングなどの半導
体製造プロセスにより成膜形成されて所定の間隔を置い
て並んでおり、該−面が素子面１ａとなっている。また
、前記素子面１ａにはエポキシ樹脂、シリコン樹脂など
の熱硬化性樹脂である一つの部材からなる構造部材３が
トランスファ成形により成形と同時に融着されている。

前記構造部材３の前記素子面１ａに対向する面には、複
数個の溝部が各電気熱変換体２ａの位置にそれぞれ対応
して形成され、前記各溝部と素子面１ａとにより囲まれ
る空間がそれぞれ液流路３ｂを構成し、前記各空間の外
側に開放する開口がそれぞれ吐出口３ａを構成している
。また、前記構造部材３には、前記各溝部（液流路３ｂ
）に連通し底壁として素子面１ａを有する空洞部か形成
されて液室３ｃを構成しており、さらに、前記空洞部（
液室３ｃ）と外部（後述するコネクタ４など）とを連通
ずる開口が、素子面１ａが面する方向と同方向に開放し
て形成されて供給口３ｄとなっている。

前記供給口３ｄには、図示しないインクタンクなどに接
続された供給管５がコネクタ４を介して接続されており
、インクが前記インクタンクから供給管３ｄを通フて液
室３ｃに供給される構成となっている。

ここで、前記各吐出口３ａからインクが吐出されるとき
の動作について説明すると、液室３ｃに供給されて一時
的に貯えられたインクは毛管現象により液流路３ｂに侵
入し、吐出口３ａでメニスカスを形成して前記液流路３
ｂを満たした状態を保つ。このとき、電極２を介して電
気熱変換体２ａか通電されて発熱すると、該電気熱変換
体２ａ十のインクが急激に加熱されて液流路３ｂ内に気
泡か発生し、この気泡の膨張により吐出口３ａからイン
クが吐出される。

本実施例では、インクを吐出するためのエネルギーを発
生するエネルギー発生素子として、前記電極２に電気熱
変換体２ａを設けた例を示したｈ釈こわに限らず、イン
クに瞬間的に吐出圧力を加える機械的エネルギーを発生
する圧電素子などを用いてもよい。

また、前記吐出ＩＩ　３　ａは、１６個／ｍｍといった
高密度で１２８個もしくは２５６個形成することができ
、さらに被記録媒体の記録領域の全幅にわたるたりの数
を形成してフルラインタイプとすることもできる。

つきに、記録ヘッドの第２実施例について説明する。本
実施例の記録ヘッドは、第２図に示すように、空洞部（
液室２３ｃ）と外部とを連通ずる開口である供給口２３
ｄの外部側（コネクタ２４側）の開［１端の周縁に、反
基板側へ突出する突起部２３ｅか構造部材２３と一体に
形成されている。その他の点は記録ヘッドの第１実施例
と同様なのでその説明は省略する。

前記突起部２３ｅは、コネクタ２４を供給【−］２３ｄ
に接続するときの位置決めの機能を果たすことができ、
また、接着剤などにより接着する場合には、接着面か大
きくなり、接着をより強固にすることができる。

つぎに、記録ヘッドの製造方法の第１実施例についで説
明する。

まず、基板に固体層を設Ｇｄる工程ついて説明する。

第３図（ａ）において、ガラス、シリコンウェハーなど
からなる基板３１の素子面３１ａには、電気熱変換体３
２ａを有する３個の電極かエツチング、蒸着、スパッタ
リングなとの崖導体製迄プロセスにより成膜形成されて
所定の間隔を置いて並んでいる。本実施例では、エネル
ギー発生素子か３個設けられたものについて説明を進め
るか、エネルギー発生素ｆならびにそわに対応する液流
路および吐出口の数を前記３個に限るものではなく、そ
の他の数に適宜変更して設けることができることはいう
までもない。

また、図示されていないが、耐久性の向上などを目的と
して、各電極３２、各電気熱変換体３２ａを含めて素子
面３１ａに、保護膜なとの８柿の機能層を設けることが
一般的である。本実施例は、これら機能層の有無、材質
に関わりなくその効果を発揮するものである。

第３図（ｂ）は、前記基板３１の素子面３１ａに、１′
ンクが吐出されるための吐出口と、前記吐出口に供給す
るためのインクを貯える液室の一部と、前記吐出口と前
記液室とを連通ずる液流路とに相当するパターン状の固
体層３６が形成された状態をボしており、前記固体層３
６のうち液流路に相当する３個の液流路相当部３６ｂは
前記各電極３２を千才１ぞれ被覆している。

前記固体層３６を基板３１の素子面３１ａｋで形成する
手段としては、例えば、適宜厚さのポジ型もしくはネガ
型の感光性トライフィルムを素子面３１ａに貼り、前記
感光性ドライフィルムのうち吐出口、液流路および液室
に相当するパターンをマスクしもしくは露出させて露光
し、現像して前記吐出口、液流路および液室に相当する
パターンの固体層３６を素子面３１ａに形成するという
ようなフォトリンクラフイー手段を用いるごとかできる
。この場合の前記感光性ドライフィルムの材質は後述す
る後の工程で溶剤により溶解除去できるものであればよ
い。また、ポジ型の感光性ドライフィルムを用いる方が
、ネガ型に比へてパターン状の固体層３６の断面形状が
より矩形に近く形成されるので、好ましい。

前記フォトリンクラフイー手段以外には、スクリーン印
刷、金属基板（例えば、Ｎｉ、Ｃ：　ｕ　）をエツチン
グして作製した凹版を用いる凹版印刷なとの印刷手段に
よりパターン状の固体層３６を適宜厚さに設けることも
できる。前記印刷手段に用いることかできる固体層の材
質としては、水溶性のポリビニルアルコール系樹脂、ま
たは溶剤可溶性の塩化ビニル系、酢酸ビニル系、塩ビ酢
ヒ共重合体系、スチレン系等の樹脂がある。

つぎに、トランスファ成形により前記基板３１の固体層
３６が形成された素子面３１ａに構造部材を成形と同時
に融着する工程について説明する。

まず、前記トランスファ成形に用いる型について説明す
る。第３図（Ｃ）に示すように前記型は第１の型３７お
よび第２の型３８からなる。

前記第１の型３７には前記基板３１が嵌入されて固定さ
れるための基板３１の厚さと同等の深さの凹部が形成さ
れており、前記凹部に基板３１が嵌入されたときに基板
３１の素子面３１ａがパーティング面と同一平面になる
ように構成されている。

前記第２の型３８には吐出口、液流路および液室を構成
する構造部材を成形するためのキャビティ部３８ａが形
成されており、前記キャビティ部３８ａの内壁のうち一
部分は、型締時、前記固体層３６の吐出口に相当する表
面である３個の吐出口相当表面３６ａとそれぞれ当接す
る。また、前記第２の型３８には、前記構造部材に液室
となる空洞部および前記液室に外部からインクを供給す
る供給口を形成するための突出部３８ｂかキャビティ部
３８ａの内側に形成されており、前記突出部３８ｂの先
端面は、型締時、固体層３６の液室の一部に相当する液
室一部組当部３６ｃの図示上面に当接する。また、基板
３１の素子面３１ａのうち各電極３２の電気的接続部３
２ｂを含む部分は、型締時、キャビティ部３８ａから第
２の型３８のバーチインク面側へはみ出すよう構成され
ている。

前記第１の型３７および第２の型３８の型開きの方向は
、基板３１の素子面３１ａに対して垂直方向となってい
る。

前記構造部材を成形する際、固体層３６のうち第２の型
３８のキャビティ部３８ａの内壁に当接する各吐出口相
当表面３６ａおよび突出部３８ｂの先端面に当接する液
室一部組当部３６ｃは、前記成形時の熱により若干溶融
して前記キャビティ部３８ａの内壁および突出部３８ｂ
の先端面に密着して成形材料が侵入するのを防止する。

また、前記突出部３８ｂの先端面にシリコンゴム、フッ
素系ゴム、ポリテトラフルオロエチレンなどの柔軟部材
を貼付してもよい。

第３図（ｄ）および（ｅ）において、構造部材３９は、
前記第１の型３７および第２の型３８を用いてトランス
ファ成形により基板３１の固体層３６か形成された素子
面３１ａに成形と同時に融着されたものである。

前記構造部材３９は、各電極３２の電気的接続部３２ｂ
を露出させており、また、固体層３６の表面のうち吐出
口相当表面３６ａと液室一部組当部３６ｃの前記第２の
型３８の突出部３８ｂが当接した表面とを露出させてそ
れら以外の表面を被覆している。

前記トランスファ成形は、構造部材３９の材料として熱
硬化性のエポキシ樹脂を用い、樹脂予熱温度６０〜９０
℃、注入圧力２０〜１４０　ｋｇｆ／ｃｍ２成形型温度
１００〜１８０℃、硬化時間１〜１０分および成形後の
ポストキュアという一般的な成形条件に従って行なうこ
とができる。　前記構造部材３９のその他の材料として
は、液状であフて常温硬化、熱硬化、紫外線硬化などの
材料を用いることができ、例えば、エポキシ樹脂、アク
リル樹脂、ジグリコールジアルキルカーボネート樹脂、
不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミ
ド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂など
が挙げられる。

つきに、離型後、前記構造部材３９か成形と同時に融着
された基板３１から固体層３６を除去する工程について
説明する。

前記固体層３６を除去する手段としては、固体層３６を
形成する材料に応じて最適の手段が選択されるが、−鍛
型には、固体層３６を溶解、膨潤、剥離する溶剤中に構
造部材３９が成形と同時に融着された基板３１を浸漬し
て除去する手段を用いる。このとき、必要に応じて超音
波処理、スプレー、加熱、かくはんなとの除去を促進す
る手段を加えてもよい。固体層３６にポジ型の感光性樹
脂を用いた場合には、除去に用いる溶剤として、アセト
ンを始めとするケトン類、エステル、アルコール、アル
カリを含む水溶液などを用いることができる。

第３図（ｆ）に、前記構造部材３９が成形と同時に融着
された基板３１から固体層３６が除去されたものを示す
。構造部材３９の内部には固体層３６か除去されたのち
に空間が形成され、その空間が３個の吐出口３９ａ、３
個の液流路３９ｂ、液室３９ｃおよび供給口３９ｄを構
成している。

以−１，述べた本実施例の記録ヘッドの製造方法を実行
することにより、第１図に示した記録ヘッドを製造する
ことができる。

本実施例の効果どして、基板３１の素子面３ｔａに設け
られた各電気熱変換体３２ａを有する外電極３２に対す
る各液流路３９ｈ＋の位置合わせは、素子面３１ａに固
体層３６を形成するときに行なわれるので、従来の方法
釘みられた第１の基板の微細なエネルギー発生素子と第
２の基板の微細な液流路とを精密に位置合わせして貼り
合わせるための複雑で高価な装置か不必要になる。

前記各吐出口３９ａ、各液流路３９ｂおよび液室３９ｃ
を構成するための構造部材３９を設ける工程は、トラン
スファ成形により固体層３６か形成された素子面３１ａ
に構造部材３９か成形ど同時に融着されるので、従来の
方法にみられた硬化剤を混合した硬化性林料を塗布して
長時間放置り。

たり、活性エネルギー線硬化性材料を塗布して活性エネ
ルギー線を照射したりして構造部材な設けるという、複
雑で手数のかかる工程に比較して簡単で、時間的にも短
くすることができる。また、前記構造部材３９の成形時
に、供給口も同時に成形することができる。さらに、液
室３９ｃの容積は、固体層３６の厚さに制限されること
なく自由に太きく形成することかできる。

つぎに、記録ヘッドの製造方法の第２実施例について説
明する。

前述した記録ヘッドの製造方法の第１実施例では、固体
層３６に吐出［１相当表面３６ａを形成し、構造部材３
９を前記吐出口相当表面３６ａを露出させ゛Ｃ成形し、
前記吐出口相当表面３６ａが除去された後、その開口か
そのまま吐出Ｄ　３９　ａとなる例を示したが、本実施
例の方法は、基板の素子面に固体層の液流路相当部を吐
出口を形成する位置を越えて長く設け、前記素子面に構
造部材を成形と同時に融着し、離型後、前記構造部材と
基板とを前記融着した状態のままで、前記吐出口を形成
する位置でレジンボードダイヤモンドブレーｊ、（厚さ
０．３ｍｍ　、　＃２４００）などにより切断し、その
切断面を研磨するなどした後、前記固体層を除去すると
いう方法である。その他の点については、記録ヘッドの
製造方法の第１実施例と同様なので、その説明は省略す
る。

本実施例では、前記切断面が、すなわち、複数個の吐出
口が並列する吐出口面となるが、前記切断面を研磨する
際、固体層がまだ除去されていないので、研磨の削りか
すが液流路に侵入することがないという利点かある。そ
の他は記録ヘッドの製造方法の第１実旅例と同線の効果
か得られる。

１）ぎに、記録ヘッドの製造方法の第３実施例について
説明する。

本実施例の製造方法は、２個の記録ヘッドを互いの吐出
Ｌコを中心に双方の液流路か連続するように対向配置さ
せた状態で途中まで同時に製造し、その後前記対向配置
の対向の中心線である吐出「１を形成する位置で切断し
て２個の記録ヘッドを得るものである。

第４図（ａ）において、２個の記録ヘッドを前記対向配
置したものに相当する大きさの基板４１の素子面４１ａ
には、記録ヘラ１り２個分の電気熱変換体４２ａを有す
る電極（本実施例では説明の便宜上６個を示す）４２か
吐出口を形成する位置（以下、Ｆ吐出口形成位置」とい
う）５０に対して対称に３個ずつ成膜形成さねている。

前記素子面４１ａには、第４図（ｂ）に示すように、記
録ヘッド２個分のパターン状の固体層４６が形成されれ
ており、２個の液室一部相当部４６ｃは吐出口形成位置
５０に対して対称に１個ずつ配設され、６個の液流路相
当部４６ｂは吐出口形成位置５０に対して対称に３個ず
つ配設されている。また、前記各液流路相当部４６ｂの
うち対をなす２個の液流路相当部４６ｂは吐出口形成位
置５０で連続している。

前記固体層４６が形成された基板４１は、第４図（Ｃ）
に示す第１の型４７および第２の型４８からなる型内に
装着されて、トランスファ成形により記録ヘッド２個分
の構造部材が素子面４１ａに成形と同時に融着される。

前記第１の型４７および第２の型４８は、記録ヘッド２
個分の構造部材を吐出口形成位置５０に対して対称に成
形するために、やはり、吐出口形成位置５０に対して対
称な形状にそれぞわなっている。

第４図（ｄ）に示す構造部材４９は、前記第１の型４７
および第２の型４８を用いてトランスファ成形により基
板４１の固体層４６が形成された素子面４１ａに成形と
同時に融着されたものである。

前記記録ヘッド２個分の構造部材４９が成形と同時に融
着された基板４１は、離型後、吐出口形成位置５０で切
断され、２個に分離された基板４１の各切断面（構造部
材４９の切断面も含む）がそれぞれ研磨されたのち内部
に残フている固体層４６がそれぞれ除去される。

以上説明した以外の点は、記録ヘッドの製造方法の第１
実施例と同様なのでその説明は省略する。

本実施例では、記録ヘッドの製造方法の第１実施例また
は第２実施例とほぼ同様の手数で同時に２個の記録ヘッ
ドが得られるという利点がある。

つぎに、記録ヘッドの製造方法の第４実施例について説
明する。

本実施例は、前述した記録ヘッドの製造方法の第３実施
例に示した２個の記録ヘッドを同時に得る方法を応用し
たものであり、２個の記録ヘッドを１組として複数組の
記録ヘッドを同時に得る方法である。

第５図（ａ）および（ｂ）において、短冊状の基板６１
の素子面６１ａには、記録ヘッド２個分の構造部材６９
を１組として、複数組（図では、１０組）の構造部材６
９がその対向配置の対向面を共有して並列してトランス
ファ成形により成形と同時に融着されており、前記各組
の構造部材６９は前記対向配置の対向面である吐出口形
成位置７０に対して対称となフている。前記基板６１の
素子面６１ａには、もちろん、前記複数組の構造部材６
９に対応して、電気熱変換体を有する電極（不図示）お
よび固体層６６が設けられている。

前記複数組の構造部材６９を成形するためのランチの配
置について説明すると、図示しないスプルから連続した
主ランナ７３のゲート部７３ａは図示左端の１組の構造
部材６９の吐出口形成位置７０から最も離れた一端の一
部位に配設されており、また、前記１組の構造部材６９
のゲート部７３ａとは反対側の吐出口形成位置７０から
最も離れた他端の一部位には、隣りの１組の構造部材６
９に連続するサブランナ７２が配設されている。図示左
端から右端までの複数組の構造部材６９の各間には、同
様の構成で吐出口形成位置７０を挟んで交互にサブラン
ナ７２が一つずつ配設さねており、図示右端の組の構造
部材６９には、最後のサブランナ７２の位置と互い違い
の位置になる部位にエア抜き部７４が配設されている。

以上のようにランチを配置することにより、成形材料が
均一にいきわたり、また、成形後の残留内部応力により
各構造部材６９がゆがんでも、各サブランナ７２および
ゲート部７３ａの位置は吐出口から離れているので吐出
口近傍のゆがみを最小限にすることができる。

前記複数組の構造部材６９が成形と同時に融着された基
板６１は、離型後、吐出口形成位置７゜で切断され、２
個に分離された基板６１の各切断面（各構造部材６９の
切断面も含む）がそれぞれ研磨されたのち内部に残フて
いる固体層６６が除去される。また、前記２個に分離さ
れた基板６１を、さらに、その隣接する２個の構造部材
の間の境界線に沿フて切断して１個の記録ヘッドに相当
するものにまで分離したのち、研磨を行ない固体層６６
を除去してもよい。

以１〜説明した以外の点は、記録ヘッドの製造方法の第
３実施例と同様なのでその説明は省略する。

本実施例では一度に多数個の記録ヘッドを製造すること
かできる。また、複数組の構造部材６９か成形と同時に
融着された基板６１を、離型後、吐出口形成位置７０に
沿って切断し、２個に分離した状態で固体層６６を除去
する場合には、各記録ヘッドに相当するものがバラバラ
になっていないので、固体層を除去する際の取り扱いが
便利である。

つぎに、記録ヘッドの製造方法の第５実施例について説
明する。

前述した記録ヘッドの製造方法の第４実施例では、短冊
状の基板６１の素子面６１ａに複数組の構造部材６９を
成形と同時に融着する例を示したか、本実施例では、第
６図に示すように、シリコンウェハーなどの円盤状の基
板８１の素子面８１ａに複数組（図では４４組のものを
例示する）の構造部材８９を成形と同時に融着するもの
である。４４組の構造部材８９は、４列に配列されてお
り、各列ごとに１個ずつ主ランナ８３が設けられている
。サブランナ８２およびエア抜き部８４は、前述した記
録ヘッドの製造方法の第４実施例と同様の構成で配設さ
ねている。

以上説明した以外の点は、前述した記録ヘッドの製造方
法の第４実施例と同様なのでその説明は省略する。

本実施例の効果も記録ヘッドの製造方法の第４実施例と
同様の効果が得られる。

つぎに、記録ヘッドの製造方法の第６実施例について説
明する。

前述した記録ヘッドの製造方法の第１から第５実施例の
各実施例では、基板の素子面に設ける固体層に液室一部
用当部を形成する例を示した力松本実施例は、基板の素
子面に設ける固体層に液室部用当部を形成せずに行なう
方法である。

第７図において、基板９１の素子面９１ａに形成された
固体層９６には液室−＝部用当部が形成されていない。

この場合の第２の型９８の突出部９８ｂは、型締時、そ
の先端面が各電極９２が成膜形成されている素子面９１
ａに当接し、また、その先端部の側壁の一部分は各液流
路相当部９６ｂの液室への接続部に相当する表面に当接
する構成となっている。

本実施例の以］−説明した以外の点は、前述した記録ヘ
ッドの製造方法の各実施例の構成とそれぞれ同様のもの
とすることができる。

つぎに、記録ヘッドの第２実施例において示した供給［
−１の開［］端の突起部を形成するための型について説
明する。

面記突起部を形成するための型は、第８図に示すように
、第２の型５８の突出部５８ｂの付根部の全周にサブキ
ャビティ部５８ｃを形成したものである。

前述した記録ヘッドの製造方法の各実施例において用い
る第２の型に前記サブキャビティ部５８ｃを形成するこ
とにより、製造する記録ヘッドの供給口の開口端に突起
部を形成することができる。

つぎに、インクジェット記録装置の第１実施例について
説明する。

第９図において、所定の記録信号に基づいてインクを吐
出し、所望の画像を記録する記録ヘッド１０１は、前述
した記録ヘッドの第１または第２実施例に示したものと
同様の構成のものであり、また、前述した記録ヘッドの
製造方法の第１ないし第６実施例のいずれかひとつの方
法により製造されたものである。

前記記録ヘッド１０１を搭載したキャリッジ１０２は、
２本のカイト軸１０３，１０４に矢印Ｂ方向に摺動自在
に嵌合され、キャリッジモータ１０５の出力軸に固着さ
れたプーリ１０７と回転自在に軸支されたプーリ１０６
とにかけまゎされたタイミングベルト１０８の一部位に
結合されている。前記記録ヘッド１ｏ１は、キャリッジ
モータ１０５の駆動力によりプーリ１０７か正転、逆転
することによりタイミングヘルド１０８が正転、逆転し
、矢印Ｂ方向に往復移動する構成となっている。

被記録媒体である記録紙１０９は、ベーノ＼−ｙ＜ン１
１０によってガイドされ、ピンチローラで圧接させられ
ている図示しない紙送りローラによって搬送される。こ
の搬送は、紙送りモータ１１６を駆動源として行なわれ
る。搬送された記録紙１０９は、排紙ローラ１１３と拍
車１１４とによりテンションを加えられていて、弾性部
材で形成される紙押え板１１２によってヒータ１１１に
圧接させられているため、ヒータ１１１に密着させられ
なから搬送される。記録ヘッド１０１により噴射された
インクが付着した記録紙１０９は、ヒータ１１１によっ
て温められ、付着したインクはその水分が蒸発して記録
紙１０９に定着する。

回復ユニット１１５は、記録ヘッド１０１の吐出口（図
示せず）に付着した異物や粘度の高くなったインクを除
去することにより、吐出特性を正規の状態に維持するた
めのものである。

前記回復ユニット１１５にはキャップ１１８ａが設けら
れており、記録ヘッド１０１の吐出口をキャッピングし
て、目詰まりの発生を防止するためのものである。前記
キャップ１１８ａの内部にはインク吸収体１１８か配設
されている。

また、前記回復ユニット１１５の記録領域側には、記録
ヘッド１０１の吐出口か形成された面と当接し、前記吐
出口か形成された面に付着した異物やインク滴をクリー
ニングするためのクリーニングブレード１１７が設けら
れている。

つぎに、インクジェット記録装置の第２実施例について
説明する。

第１０図は、インクジェット記録装置の要部のみを示す
概略斜視図であり、所定の記録信号に基ついてインクを
吐出し、所望の画像を記録する記録ヘッド１２１は、前
述した記録ヘッドの第１または第２実施例に示したもの
と同様の構成を有するフルラインタイプであり、また、
前述した記録ヘッドの製造方法の第１、第２もしくは第
３実施例またはこれら各実施例に対応させた第６実施例
の方法により製造されたものである。

前記記録ヘッド１２１は、図示しないインクジェット記
録装置本体に装着されており、複数個の吐出口が列設さ
れた吐出口面１２１ａか搬送ベルト１２２の搬送面１２
２ａと所定の間隙たけ離反した位置にある。

前記搬送ベルト１２２は、インクジェット記録装置本体
にそれぞれ回転自在に軸支された２個のローラ１２３ａ
、１２３ｂにかけまわされており、少なくとも１個のロ
ーラが強制回転されることにより、矢印Ｃ方向に回転す
るものである。

本実施例のインクジェット記録装置は、図示しない給紙
部（図示右側）から搬送ベルト１２２に向けて送り出さ
れた被記録媒体が前記搬送ベルト１２２の搬送面１２２
ａに吸着されて記録ヘッド１２１の吐出口面１２１ａと
搬送面１２２ａとの間隙を通過し、このとき、前記記録
ヘッド１２１の各吐出口からインクが吐出されて記録が
行なわれる構成となりている。

本発明は、特にインクジェット記録方式の中でもバブル
シェツト方式の記録ヘッド、インクジェット記録装置に
於いて、優れた効果をもたらすものである。

その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許
第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細
書に開示されている基本的な原理を用いて行なうものが
好ましい。この方式は所謂オンデマンド型、コンティニ
ュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデ
マンド型の場合には、液体（インク）が保持されている
シートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に
、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上
昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加することに
よって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記
録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆動
信号に一対一対応し液体（インク）内の気泡を形成出来
るので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出用
開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも
一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とする
と、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に
応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より
好ましい。このパルス形状の駆動４８月としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものか適している。尚、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４
３１３＋２４号明細書に記載されている条件を採用する
と、更に優れた記録を行なうことができる。

記録ヘッドの構成としては、ト述の各明細書に開示され
ているような吐出口、液路、電気熱変換体の組合わせ構
成（直線状液流路又は直角液流路）の他に熱作用部が屈
曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第
４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９６００号
明細書を用いた構成も本発明に有効である。加えて、複
数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを電気熱
変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９年第１
２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開
孔な吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５９年第
１３８４６１号公報に基づいた構成としても本発明は有
効である。

更に、インクジェット記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組合わせによって、その長さを満た
す構成や一体的に形成された一個の記録ヘッドとしての
構成のいずれでも良いが、本発明は、−１述した効果を
一層有効に発揮することかできる。

加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電
気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる
交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘ
ッド自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記
録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

又、本発明のインクジェット記録装置の構成として設番
プられる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補
助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定でき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば
、記録ヘッドに対しての、キャビング手段、クリーニン
ク手段、加Ｆ［或は吸引手段、電気熱変換体或はこれと
は別の加熱素子或はこれらの組合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
ことも安定した記録を行なうために有効である。

更に、インクジェット記録装置の記録モートとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組合わせによってでも
よいが、異なる色の複色カラー又は、混色によるフルカ
ラーの少なくと６つを備えた装置にも本発明は極めて有
効である。

以上説明した本発明各実施例においては、インクを液体
として説明しているか、室温やそれ以下で固化するイン
クであって、室温で軟化もしくは液体或いは、−ト述の
インクジェットではインク自体を３０℃以上７０℃以下
の範囲内で温度調整を行なってインクの粘性を安定吐出
範囲にあるように温度制御するものか一般的であるから
、使用記録信号付写時にインクか液状をなすものであわ
ば良い。加えて、Ｈ４棒的に熱エネルギーによる昇温を
インクの固形状態から液体状態への態度化のエネルギー
として使用せしめることで防止するか又は、インクの蒸
発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いる
かして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じ
た付与によってインクが液化してインク液状として吐出
するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始
めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化
する性質のインク使用も本発明には適用＝Ｔ能である。

このような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公
報あるいは特開昭６Ｏ−７１２６ｆ）号公報に記載され
るような、多孔質シート四部又は貫通孔に液状又は固形
物として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向
するような形態としても良い。本発明においては、上述
した各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸
騰方式を実行するものである。

［発明の効果コ 本発明は、以上説明したとおり構成されているので、以
下に記載されるような効果を奏する。

本発明のインクジェット記録ヘッドおよび該インクジェ
ット記録ヘッドの製造方法において、前記インクジェッ
ト記録ヘッドは基板と該基板にトランスファ成形により
成形と同時に融着された構造部材とからなる簡単な構造
のものなので、従来の三層以上の積層体からなるものに
比較して、接合面が剥離したりする危険性も少なく信頼
性の高いものとすることができる。

基板に成膜形成されたエネルギー発生素子に対する液流
路の位置合わせは基板に固体層を形成するときに行なわ
れるので、従来の如く、第１の基板の微細なエネルギー
発生素子と第２の基板の微細な液流路とを精密に位置合
わせして貼り合わせるための複雑で高価な装置が不必要
になり、製造コストの低減ができる。

吐出口、液流路および液室を構成するための構造部材は
、トランスファ成形により基板の素子面に成形と同時に
融着されるので、従来の製造方法にみられた硬化剤が混
合された硬化性材料を塗布して長時間放置したり、活性
エネルギー線硬化性材料を塗布して活性エネルギー線を
照射したりして構造部材を設けるという複雑で手数のか
かる工程に比較して、本発明の構造部材を設ける工程は
簡単で時間的にも短いものであり、また、前記構造部材
の成形と同時に供給口も形成することができる。したが
って、製造コストの低減ができる。

請求項８および１２に記載の発明では、上記効果に加え
て、２個のインクジェット記録ヘッドを同時に得ること
ができ、また、請求項９および１３に記載の発明では、
基板上に多数個のエネルギー発生素子が形成されている
ので、トランスファ成形工程において、前記基板を型に
位置合わせするだけで、多数個分のインクジェット記録
ヘッドの構造部材を同時にトランスファ成形できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のインクジェット記録ヘッドの第１実施
例の要部破断斜視図、第２図は、本発明のインクジェッ
ト記録ヘッドの第２実施例の要部破断斜視図、第３図は
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第１実
施例を説明するための図であって、（ａ）は基板を示す
模式斜視図、（ｂ）は固体層を示す模式斜視図、（Ｃ）
は構造部材の成形に用いる型の要部断面図、（ｄ）は離
型後の構造部材を示す模式平面図、（ｅ）は　（ｄ）の
Ｅ−Ｅ断面図、げ）は固体層の除去後のＥ−Ｅ断面図、
第４図は本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法
の第３実施例を説明するための図であって、（ａ）は基
板を示す模式斜視図、（ｂ）は固体層を示す模式斜視図
、（Ｃ）は構造部材の成形に用いる型の要部断面図、（
ｄ）は離型後の構造部材を示す模式断面図、第５図は本
発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第４実施
例の離型後の構造部材を示す図であって、（ａ）はその
平面図、（ｂ）は（ａ）の吐出口形成位置で切断した断
面図、第６図は本発明のインクジェット記録ヘッドの製
造方法の第５実施例の離型後の構造部材の平面図、第７
図は本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第
６実施例に用いる型の要部断面図、第８図は本発明のイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法の各実施例に使用可
能な供給口の開口端の突起部を成形する型の要部断面図
、第９図は本発明のインクジェット記録装置の第１実施
例の要部斜視図、第１０図は本発明のインクジェット記
録装置の第２実施例の要部斜視図である。 １．２１．３１，４１，５１゜ ６１．８１．９１−・・基板、 ｌａ、　　２１ａ、　　３１ａ、　　４１ａ、　　５１
ａ。 ６１ａ、８１ａ、９１ａ−・・素子面、２．２２，３２
，４２，５２．９２−・・電極、２ａ、　　２２ａ、　
　３２ａ、　　４２ａ。 ５２ａ、９２ａ−−−電気熱変換体、 ３．２３−・・構造部材、 ３　ａ　、　２３　ａ　、　３９　ａ−吐出口、３ｂ、
２３ｂ、３９ｂ−・・液流路、 ３ｃ、２３ｃ、３９ｃｍ液室、 ３ｄ、２３ｄ、３９ｄ・・・供給口、 ４．２４−・・コネクタ、５．２５−・・供給管、２３
　ｅ　−−−突起部、 ３２ｂ、　　４２ｂ、　　５２ｂ、　　９２ｂ・・・電
気的接続部、 ３６．４６，５６，６６．９６・・・固体層、３６ａ・
・・吐出口相当表面、 ３６ｂ、　　４６ｂ、　　５６ｂ、　　９６ｂ・・・液
流路相当部、 ３６ｃ、　　４６ｃ、　　５６ｃ、　　６６ｃ・・・液
室一部組当部、 ３７．４７，５７．９７・・・第１の型、３８．４８，
５８．９８−・・第２の型、３８ａ、　　４８ａ、　　
５８ａ、　　９８ａ・・・キャビティ部、 ３８ｂ、４８ｂ、５８ｂ、９８ｂ・・・突出部、３９．
４９，６９．８９−・・構造部材、５０．７０．９０・
・・吐出口形成位置、５８ｃ・・・サブキャビティ部、 ７２．８２−・・サブランナ、 ７３．８３・・・主ランチ、 ７３ａ、８３　ａ・・・ゲート部、 ７４．８４・・・エア抜き部、 １０１．１２１−・・記録ヘッド、 １０２・・・キャリッジ、 １０３．１０４−・・ガイド軸、 １０５−・・キャリッジモータ、 １０６．１０７・・・プーリ、 １０８・・・タイミングベルト、 １０９−・・記録紙、１１０・・・ベーパーパン、１１
１・・・ヒータ、１１２・・・紙押え教、１１３・・・
排紙ローラ、１１４−・・拍車、１１５−・・回復ユニ
ット、 １１７・・・クリーニンクプレート、 １１８−・・インク吸収体、１１８ａ−キャップ、１２
１　ａ−＝吐出口面、１２２−・・搬送ベルト、１２２
　ａ−−−搬送面、１２３ａｊ２３ｂ　−ローラ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給す
   るためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と
   前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からインク
   を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生
   素子と、前記液室に外部からインクを供給するための供
   給口とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前
   記エネルギー発生素子が成膜形成された素子面を有する
   基板と、前記基板の素子面にトランスファ成形により成
   形と同時に融着された構造部材とを有し、 前記構造部材の前記基板に対向する面には、前記吐出口
   および液流路を構成するための溝部が前記エネルギー発
   生素子の位置に対応して形成されると共に、前記溝部に
   連通した前記液室を構成するための前記基板の素子面を
   底壁とする空洞部が形成されていることを特徴とするイ
   ンクジェット記録ヘッド。 ２、空洞部の開口端の周縁は、反基板側に突出している
   ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録
   ヘッド。 ３、エネルギー発生素子は、インクを吐出するための熱
   エネルギーを発生する電気熱変換体を具備している請求
   項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。 ４、吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅にわたって形
   成されているフルラインタイプである請求項１ないし３
   項のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。 ５　請求項１ないし４項のいずれか１項に記載のインク
   ジェット記録ヘッドを備え、記録信号に基づいてインク
   を前記インクジェット記録ヘッドの吐出口から吐出して
   記録を行なうインクジェット記録装置。 ６、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給す
   るためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と
   前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からインク
   を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生
   素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法に
   おいて、予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を
   成膜形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前記吐
   出口と、前記液室の一部と、前記エネルギー発生素子の
   位置に対応した前記液流路とに相当する除去可能な材料
   からなる固体層を形成する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち吐出口に相当する
   表面と液室の一部に相当する部分の表面の一部位とが露
   出しその他の表面が被覆されるように、構造部材を成形
   と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材が成形と同時に融着された基板か
   ら前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とす
   るインクジェット記録ヘッドの製造方法。 ７、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給す
   るためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と
   前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からインク
   を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生
   素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法に
   おいて、予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を
   成膜形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前記吐
   出口と、前記液室の一部と、前記エネルギー発生素子の
   位置に対応した前記液流路とに相当する除去可能な材料
   からなる固体層を形成する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち液室の一部に相当
   する部分の表面の一部位が露出しその他の表面が被覆さ
   れるように、構造部材を成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
   ままで、前記吐出口を形成する位置で切断し、その後、
   前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とする
   インクジェット記録ヘッドの製造方法。 ８、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給す
   るためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と
   前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からインク
   を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生
   素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法に
   おいて、 ２個の前記インクジェット記録ヘッドが、前記吐出口を
   中心に双方の前記インクジェット記録ヘッドの液流路が
   連続するように、対向配置したものに相当する大きさの
   基板を用い、前記基板の一面に、前記インクジェット記
   録ヘッド２個分のエネルギー発生素子を前記対向配置に
   対応させて成膜形成して素子面とし、前記基板の素子面
   に、前記各エネルギー発生素子の位置に対応した前記２
   個分の互いに連続する液流路と前記各インクジェット記
   録ヘッドのそれぞれの液室の一部とに相当する除去可能
   な材料からなる固体層を前記対向配置に対応させて形成
   する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち前記各インクジェ
   ット記録ヘッドのそれぞれの液室の一部に相当する各部
   分の表面の一部位が露出しその他の表面が被覆されるよ
   うに、構造部材を前記対向配置に対応させて成形と同時
   に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
   ままで、前記対向配置の対向の中心線に沿って切断し、
   その後、前記固体層を除去する工程とからなることを特
   徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 ９、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給す
   るためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口と
   前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からインク
   を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生
   素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法に
   おいて、 ２個の前記インクジェット記録ヘッドが、前記吐出口を
   中心に双方の前記インクジェット記録ヘッドの液流路が
   連続するように、対向配置したものを組として、該組を
   複数組並べたものに相当する大きさの基板を用い、前記
   基板の一面に、前記インクジェット記録ヘッド複数組分
   のエネルギー発生素子を前記各対向配置に対応させて成
   膜形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前記各エ
   ネルギー発生素子の位置に対応した前記２個分の互いに
   連続する液流路と前記各インクジェット記録ヘッドのそ
   れぞれの液室の一部とに相当する除去可能な材料からな
   る固体層を前記各対向配置に対応させて形成する工程と
   、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち前記各インクジェ
   ット記録ヘッドのそれぞれの液室の一部に相当する各部
   分の表面の一部位が露出しその他の表面が被覆されるよ
   うに、構造部材を前記各対向配置に対応させて成形と同
   時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
   ままで、隣接する各組間の境界線と前記対向配置の対向
   の中心線とに沿って切断し、その後、前記固体層を除去
   する工程とからなることを特徴とするインクジェット記
   録ヘッドの製造方法。 １０、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給
   するためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口
   と前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からイン
   クを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発
   生素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法
   において、 予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を成膜形成
   して素子面とし、前記基板の素子面に、前記吐出口と前
   記エネルギー発生素子の位置に対応した前記液流路とに
   相当する除去可能な材料からなる固体層を形成する工程
   と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち吐出口に相当する
   表面と液流路の液室への接続部に相当する表面とが露出
   しその他の表面が被覆されるように、構造部材を成形と
   同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材が成形と同時に融着された基板か
   ら前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とす
   るインクジェット記録ヘッドの製造方法。 １１、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給
   するためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口
   と前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からイン
   クを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発
   生素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法
   において、 予め、基板の一面に前記エネルギー発生素子を成膜形成
   して素子面とし、前記基板の素子面に、前記吐出口と前
   記エネルギー発生素子の位置に対応した前記液流路とに
   相当する除去可能な材料からなる固体層を形成する工程
   と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち液流路の液室への
   接続部に相当する表面が露出しその他の表面が被覆され
   るように、構造部材を成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
   ままで、前記吐出口を形成する位置で切断し、その後、
   前記固体層を除去する工程とからなることを特徴とする
   インクジェット記録ヘッドの製造方法。 １２、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給
   するためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口
   と前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からイン
   クを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発
   生素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法
   におい２個の前記インクジェット記録ヘッドが、前記吐
   出口を中心に双方の前記インクジェット記録ヘッドの液
   流路が連続するように、対向配置したものに相当する大
   きさの基板を用い、前記基板の一面に、前記インクジェ
   ット記録ヘッド２個分のエネルギー発生素子を前記対向
   配置に対応させて成膜形成して素子面とし、前記基板の
   素子面に、前記各エネルギー発生素子の位置に対応した
   前記２個分の互いに連続する液流路に相当する除去可能
   な材料からなる固体層を前記対向配置に対応させて形成
   する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち前記各液流路の液
   室への接続部に相当する各表面が露出しその他の表面が
   被覆されるように、構造部材を前記対向配置に対応させ
   て成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
   ままで、前記対向配置の対向の中心線に沿つて切断し、
   その後、前記固体層を除去する工程とからなることを特
   徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 １３、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口に供給
   するためのインクを一時的に貯える液室と、前記吐出口
   と前記液室とを連通する液流路と、前記吐出口からイン
   クを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発
   生素子とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法
   において、 ２個の前記インクジェット記録ヘッドが、前記吐出口を
   中心に双方の前記インクジェット記録ヘッドの液流路が
   連続するように、対向配置したものを組として、該組を
   複数組並べたものに相当する大きさの基板を用い、前記
   基板の一面に、前記インクジェット記録ヘッド複数組分
   のエネルギー発生素子を前記各対向配置に対応させて成
   膜形成して素子面とし、前記基板の素子面に、前記各エ
   ネルギー発生素子の位置に対応した前記２個分の互いに
   連続する液流路に相当する除去可能な材料からなる固体
   層を前記各対向配置に対応させて形成する工程と、 前記基板の固体層が形成された素子面に、トランスファ
   成形により、前記固体層の表面のうち前記各液流路の液
   室への接続部に相当する各表面が露出しその他の表面が
   被覆されるように、構造部材を前記各対向配置に対応さ
   せて成形と同時に融着する工程と、 離型後、前記構造部材と基板とを、前記融着した状態の
   ままで、隣接する各組間の境界線と前記対向配置の対向
   の中心線とに沿って切断し、その後、前記固体層を除去
   する工程とからなることを特徴とするインクジェット記
   録ヘッドの製造方法。 １４、構造部材と基板とを、融着した状態のままで、隣
   接する各組間の境界線と対向配置の対向の中心線とに沿
   って切断し、その後、固体層を除去する工程の代りに、 前記構造部材と前記基板とを、融着した状態のままで、
   前記対向配置の対向の中心線に沿って切断して前記固体
   層を除去し、その後、前記構造部材と前記基板とを前記
   融着した状態のままで、隣接する各組間の境界線に沿っ
   て切断する工程を有することを特徴とする請求項９また
   は１３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。