JPH0491490A

JPH0491490A - 印刷配線板製造用基板の塗装方法、塗装装置及び印刷配線板の製造法

Info

Publication number: JPH0491490A
Application number: JP20542790A
Authority: JP
Inventors: Katsushige Tsukada; 塚田　勝重; Katsunori Tsuchiya; 勝則土屋; Tadashi Fujii; 正藤井; Koji Ishii; 孝司石井
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1990-08-02
Filing date: 1990-08-02
Publication date: 1992-03-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、スルホールを有する印刷配線板製造用基板の
塗装方法、該方法の実施に用いる塗装装置並びにこれら
の方法及び装置を利用した印刷配線板の製造法に関する
。

〔従来の技術〕

印刷配線板業界において、配線導体の永久保護及び部品
はんだ付は時のはんだブリッジ防止のために画像状永久
保護膜（ソルダマスク）を用いることは公知である。

通常、ソルダマスクとしては、エポキシ樹脂、アミノプ
ラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分とする印刷マスク
が用いられる。

しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高まり、それに
用いるソルダマスクも寸法精度の優れたものが要求され
るようになり、スクリーン印刷方式のものでは対処でき
なくなっている。そこで写真法（像状露光に続く現像に
より画像を形成する方法）で寸法精度の優れた高信頼性
のソルダマスクを形成しうる感光材料の出現が望まれて
いる。

従来からソルダマスク形成用感光材料としては、ポリエ
チレンテレフタレートフィルム等の可どう性支持体上に
厚さ７５μｍ〜１００μｍの感光層が形成されたフィル
ム状感光材料と有機溶剤を含む液状感光材料とが主に用
いられてきた。前者のフィルム状感光材料は、有機溶剤
を含まず、真空雰囲気下で加熱加圧積層すればよいこと
から、安全性及び作業性の点で優れているが、印刷配線
板製造用基板の有するスルホール径が小さい場合、主に
０．８　ｍｍ以下である場合、特に０．３　ｍｍ以下で
ある場合には、スルホール内に充填された感光材料が現
像時に溶出できないという欠点がある。

一方、後者の液状感光材料は、塗工方式により小径スル
ホール内の現像性が左右され、スクリーン塗工方式、フ
ローコータ塗工方式ではフィルム状感光材料と同様に、
小径スルホール内の現像は困難であるという欠点があっ
た。液状感光材料のかかる欠点を改善するためスルホー
ル内部への塗布液のたれ込みが少なく、小径スルホール
内部の現像も可能であるエアスプレー塗工方式、エアレ
ススプレー塗工方式及び静電スプレー塗工方式を採用す
ることが試みられているが、これらのスプレ一方式では
、塗装される液状感光材料は多量の有機溶剤で希釈され
ており、また、塗装時に霧化されるため、静電気等によ
るスパークで火災が発生し易いという問題がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の目的は、有機溶剤を含む感光材料（液状感光材
料）を小径のスルホールを有する印刷配線板製造用基板
上に塗装する際に、スルホール内への塗装液のたれ込み
がなく、現像時に小径のスルホール内を完全に現像する
ことができ、また、塗装時に万−静電気等によるスパー
クが発生しても、火災の恐れのない、安全性に優れた印
刷配線製造用基板の塗装方法、その塗装方法に用いられ
る塗装装置及びそれらを利用した印刷配線板の製造法を
提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、酸素濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲
気を移動させながら、有機溶剤を含む感光材料を霧状に
して噴きつけることを特徴とするスルホールを有する印
刷配線板製造用基板の塗装方法（以下、第１の発明と呼
ぶ）に関する。

また、本発明は、スルホールを有する印刷配線板製造用
基板（以下、単に「基板」と略称する）を搬送する導電
性の搬送コンベヤ、有機溶剤を含む感光材料を霧状にし
て噴きつける塗装機構、装置内に不活性ガスを供給する
不活性ガス供給機構及び装置外にガスを排出するガス排
出機構を備え、塗装機構に搬送された基板近傍における
酸素濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲気の移動が
、不活性ガス供給機構及びガス排出機構の少なくとも一
つによって行われることを特徴とする基板の塗装装置（
以下、第２の発明と呼ぶ）に関する。

本発明は、さらに、スルホールを有する印刷配線板製造
用基板に、酸素濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲
気を移動させながら、有機溶剤を含む感光材料を霧状に
して噴きつけ、次いで乾燥、画像状露光及び現像を行う
ことを特徴とする印刷配線板の製造法（ｐｌ下、第３の
発明と呼ぶ）に関する。

以下、本発明を詳述する。

まず、本発明に用いる有機溶剤を含む感光材料（以下、
液状感光材料と略称する）とは、感光性樹脂組成物を有
機溶剤中に溶解又は均一に分散したもので、基板上に塗
装された後、プリベークによって有機溶剤を除去（乾燥
）され、次にネガマスクを通して活性光線を照射（画像
状露光）された後、有機溶剤又はアルカリ性水溶液を用
いて露光部を溶出（現像）して、ネガマスクに対応する
寸法精度の優れた永久マスクを形成可能な材料である。

このような材料は既に公知であり、例えば、有機溶剤で
現像可能なものとしては、アクリル系ポリマー及び光重
合性モノマーを主成分とする感光性樹脂組成物（特開昭
５３−５６０１８号公報、特開昭５４−１０１８号公報
等）、主鎖にカルコン基を有する感光性エポキシ樹脂及
びエポキシ樹脂硬化剤を主成分とする組成物（特開昭５
４−８２０７３号公報、特開昭５８−６２６３６号公報
等）、イソシアナトエチルメタクリレート変性エポキシ
アクリレート及びエポキシ樹脂硬化剤を主成分とする感
光性樹脂組成物（特開昭６１１３０９４６号公報、特開
昭６１−１８２９４７号公報）などが挙げられる。

また、アルカリ性水溶液で現像可能な感光材料としては
、カルボキシル基含有ポリマー、単量体、光重合開始剤
及び熱硬化性樹脂を主成分とする組成物（特開昭４８−
７８１４８号公報、特開昭５７１７８２３７号公報、特
開昭５８−４２０４０号公報、特開昭５９−１５１１５
２号公報等）、ノボラック型エポキシ樹脂とアクリル酸
との反応物（酸当量／エポキシ当量比０．９５〜１．０
５）と酸無水物とを反応させて得られるオリゴマー、光
重合開始剤、ｌ・リグリシジルイソシアヌレート等のエ
ポキシ樹脂、フィラー等を主成分とする組成物（特開昭
６１２４３８６９号公報）等を挙げることができる。

本発明で用いられる液状感光材料は、耐溶剤性、耐薬品
性、はんだ耐熱性、電気絶縁性等の永久マスク特性に優
れたものが好ましいが、特に制限はない。しかし、液状
感光材料は、塗装時における電気抵抗値が２０〜１００
ＭΩの範囲内にあることが望ましい。電気抵抗値が２０
ＭΩ未満及び１００ＭΩを超える場合には、静電スプレ
ー塗装時に、塗布液の印刷配線板への付着性が低下する
傾向がある。

上記電気抵抗値は、疎水性の有機溶剤と親水性の有機溶
剤の使用比率を変えることによって上記範囲内に調節す
ることが出来る。疎水性の有機溶剤としては、例えば、
トルエン、キシレン、エクソン化学＠Ｊ製芳香族系溶剤
（ツルペッツ−１００、ツルペッツ−１５０、ツルペッ
ツ−２００、アロマティックナフサＮα２等）、エチル
ベンゼン、ジエチルベンゼン、イソプロピルベンゼン、
ｐ−シメン等が挙げられる。また、親水性の有機溶剤と
しては、エタノール、プロパツール、ブタノール、アミ
ルアルコール、エチレングリコール、エチレングリコー
ルモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチル
エーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチル
エーテル等を挙げることができる。

本発明に用いられる液状感光材料が含有する有機溶剤と
しては、上記の有機溶剤の他に粘度、塗工性、乾燥性等
を調節する点から、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミ
ル、酢酸メトキシブチル等のエステル系溶剤、エチレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレング
リコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレング
リコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコール
エーテルアセテート系溶剤、メチルエチルケトン、メチ
ルイソブチルケトン、メチル−ｎ−ブチルケトン、メチ
ル−ｎ−ヘキシルケトン、シクロヘキサノン等のケトン
系溶剤などを用いることもできる。以上に示した全ての
有機溶剤は、単独であるいは混合して用いることができ
る。

また、本発明に用いられる液状感光材料の塗装時の粘度
は、０．５〜５ボイズの範囲であることが望ましい。粘
度が０．５ポイズ未満の場合には、スルホールランド部
の塗装厚が薄くなり易く、また、粘度が５ポイズを超え
る場合には、塗膜のレベリング性が低下し、塗装厚が不
均一となったり、また、導体回路間に気泡が残留したり
する傾向がある。

また、第１の発明において、液状感光材料を霧状にして
噴き付けることは、例えば、液状感光材料を霧状にして
噴き付ける塗装機構を用いて行うことができる。そのよ
うな塗装機構に特に制限はないが、エアスプレー、エア
レススプレー及び静電スプレーが好ましく、これらは、
日本デビルス社、日本ランズバーグ社、ノードソン社、
トリニティ工業社、岩田塗装機社等から商業的に入手可
能である。

なお、エアスプレーでは霧状化のために、通常、ベビー
コンプレッサー等による圧搾空気を用い、この空気が若
干は噴霧口からもれはするが、酸素容量１０容量％の不
活性ガス雰囲気を充分に作れを用いてもよい。

第１の発明においては、酸素濃度が１０容量％以下の不
活性ガス雰囲気を移動させながら液状感光材料を噴き付
けるが、ここで用いられる不活性ガスとしては、例えば
、窒素ガス、炭酸ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス等
が挙げられ、環境性、価格等の点から窒素ガスが好まし
い。

第１の発明において、酸素濃度が１０容量％以下の不活
性ガス雰囲気を移動させることは、例えば、大気に対し
で少し開放された系を設け、該系内に不活性ガスを供給
して該系内に元々あった大気を大部分置換して酸素濃度
が１０容量％以下の不活性ガス雰囲気とし、このものを
該系外に排出することによって達成することができる。

上記排出は自然排出でもよいが、強制排出が好ましい。

上記の酸素濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲気に
は、霧状となった液状感光材料から揮散される有機溶剤
のガス及び基板に塗装された液状感光材料から揮散され
る有機溶剤のガスが比較的多量に含まれるので、静電気
のスパーク等によって爆発、火災を起こす危険を包含し
ている。この観点から酸素濃度が１０容量％以下とする
必要がある。

酸素濃度が１０容量％以下となったかどうかの確認は、
市販の酸素濃度計で容易に行うことができる。

また、不活性ガス雰囲気の移動速度は、同じ観点、更に
、遅すぎると滞留によって有機溶剤のガスの含有量が増
加し、火災の危険性が増すことから０．１ｍ／秒以上と
することが好ましい。一方、１．０ｍ／秒を超えると、
塗装面が乱され、荒れやすいため、１．０ｍ／秒以下と
することが好ましい。

不活性ガス雰囲気の酸素濃度を１０容量％以下とするこ
と及び移動速度を０．１〜１．０ｍ／秒とすることは、
様々な方法で行うことができるが、例えば、不活性ガス
の供給量及び／又は酸素濃度が１０容量％以下の不活性
ガス雰囲気の排出量を調節することによって達成するこ
とができる。

なお、完全に閉じた系では、大量の印刷配線板製造用基
板を速く連続的に塗装すること等のハンドリングが難し
く、少し２開放された系の「少し開放された」ところか
ら印刷配線板製造用基板の供給、該基板で塗装を終えた
ものの排出、その他のハンドリングを行うことが好まし
い。

第１の発明で用いられる基板としては、スルホールを有
するものであって、最終的に印刷配線板として利用され
るものであれば、特に制限はなく、例えば、銅張り積層
板、ガラス、エポキシ基板、ポリイミド等を出発材料と
して加工を加えたものであり、いかなる加工段階のもの
でもよい。

次に、第２の発明について説明する。

第２の発明における基板は、上記第１の発明と同様のも
のである。

第２の発明は、前記のように、基板の塗装装置に関する
もので、基板を搬送する導電性の搬送コンベヤ、液状感
光材料を霧状にして噴きつける塗装機構、装置内に不活
性ガスを供給する不活性ガス供給機構及び装置外にガス
を排出するガス排出機構を備えている。

第２の発明において、基板を搬送するコンベヤは、公知
の形態のコンベヤであってよいが、その材質は導電性で
ある必要があり、例えば、金属網や金属箔がラミネート
されたプラスチック又はゴム、導電性プラスチック、導
電性ゴム等を用いることができる。

コンベヤを導電性とする主な目的は、静電気の蓄積によ
るスパークの防止であるので、基板を搬送する導電性の
搬送コンベヤは、アースされていることが望ましい。

第２の発明における液状感光材料を霧状にして噴き付け
る塗装機構としては、公知のスプレー式塗装機を好適に
用いることができる。これらの具体例については、前記
第１の発明で述べたものを挙げることができる。

第２の発明における装置内に不活性ガスを供給する不活
性ガス供給機構としては、例えば、必要に応じて流量計
、流量調節バルブ、フィルタ等を設けた管等が挙げられ
る。

ここで用いられる不活性ガスとしては、上記第１の発明
において述べたと同様のものを用いることができる。

第２の発明における装置外にガスを排出するガス排出機
構としては、例えば、必要に応じてフィルタ、流量調節
バルブ、流量計、排気ファン等を設けた管等が挙げられ
る。

第２の発明においては、上記のように不活性ガス供給機
構及びガス排出機構の少なくとも一つによって塗装機構
のところに搬送された基板近傍における酸素濃度が１０
容量％以下の不活性ガス雰囲気を作り、これを移動させ
ることができる。

基板への塗装は、塗装装置内部へ不活性ガスを供給する
ためのガス供給機構、塗装装置内部のガスを装置外部へ
排気するためのガス排出機構、塗装内部へ基板を提供す
るための基板供給口、基板に液状感光材料を塗装するた
めの塗液噴出口及び塗装された基板を塗装装置外部へ取
り出すための基板取出し口を備え、基板の塗装装置外部
から内部への供給及び塗装された基板の塗装装置内部か
ら外部への取り出しが、駆動機構に連絡した導電性の搬
送コンベヤによって行われる塗装装置を用い、不活性ガ
スの供給量及び塗装装置内部から外部へのガス排出量を
調節して、塗装部での酸素濃度を１０容量％以下（好ま
しくは５容量％以下）１６〜として行われる。酸素濃度が１０容量％を超えると、火
災の危険性が高まる。塗装部での風速は、０．１〜１ｍ
／秒の範囲として行われる。０．１　ｍ　／秒未満では
溶剤ガスが滞留し、火災の危険性が高まる。１ｍ／秒を
超えると、塗装面が乱され、不均一となる。

上記装置において、不活性ガスの供給口及び塗液噴出口
が搬送コンベヤの上側に設けられる場合には、ガス排出
口が搬送コンベヤの下側に設けられ、かつ塗装時の基板
の位置が基板供給口及び基板取出し口より高い位置とな
るように搬送コンベヤが配置されていることが、塗装部
での酸素濃度を低く保つ上で好ましい。同様の理由で、
不活性ガスの供給及び塗液噴出口が搬送コンベアの下側
に設けられる場合には、ガス排出口が搬送コンベヤの上
側に設けられ、かつ塗装時の基板位置が基板供給口及び
基板取出し口よりも低い位置となるように搬送コンベア
が配置されていることが好ましい。

搬送コンベアの速度は、作業性の点から、０．５〜１０
ｍ／分であることが好ましく、１〜５ｍ／分であること
がより好ましい。

次に、本発明の塗装装置の一例の略示断面図を第１図、
その基板保持体の平面図を第２図として示し、これらに
基づいて本発明の塗装方法、塗装装置及び印刷配線板の
製造方法をさらに具体的に説明する。

第１図に示した塗装装置は、塗装容器１と、不活性ガス
ボンベ２、流量調節バルブ３．４．５及び６、フィルタ
７及び流量計８から成る装置内部へ不活性ガスを供給す
るための要素と、モータ９、チエイン１０、チエインホ
イール１１、搬送コンベヤ１２、基板供給口１３、基板
取出し口１４、基板保持体１５及び連結棒１６から成る
基板を装置内部へ供給し、装置外部へ取り出す要素と、
酸素濃度計１７から成る塗工部における不活性ガス雰囲
気の酸素潤度の測定要素と、液状感光材料の噴出装置１
８から成る塗装要素と、フィルタ１９、流量調節バルブ
２０．２１．２２及び２３、流量計２４及び排気ファン
２５から成る、液状感光材料から揮散される有機溶剤及
びミストを装置外部へ排出するための要素とを備えてい
る。

第１図において、不活性ガスは不活性ガスボンベ２より
フィルタ７を通って塗装容器１の内部へ供給され、さら
にフィルタ１９を通って排気ファン２５によって塗装容
器１の外部へ排出される。

不活性ガスの供給量及び塗装容器の外部へのガス排出量
は流量調節バルブ３．４．５．６．２０゜２１．２２及
び２３により調節される。ガス供給量、ガス排出量及び
酸素濃度は、それぞれ流量計８、流量計２４及び酸素濃
度計１７によって測定できる。この酸素濃度計１７によ
って不活性ガス雰囲気中の酸素濃度を測定し、酸素濃度
カ月０容量％以下となるように、ガス供給量及びガス排
出量の少なくとも一方を調節する。

搬送コンベヤ１２は、モータ９の回転がチエイン１０に
よってチエインホイル１１に伝達されて駆動される。基
板は、連結孔（第２図に符号２６で示した）を有する基
板保持体１５に装着され、その連結孔が搬送コンベヤ１
２上に設けられた連結棒１６に挿入され、塗装容器１の
内部へ供給される。液状感光材料の噴出装置１８によっ
て液状感光材料が基板上に霧状で噴きつけられるが、こ
のとき、酸素濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲気
中で塗装が行われ、かつ、この不活性ガス雰囲気を常に
移動させているので、有機溶剤の蓄積がなく、たとえス
パークが発生した場合でも火災に至る虞がなく、安全に
塗装された基板を基板取出し口１４から取り出すことが
できる。

基板は、第２図に示したように基板保持体１５に装着さ
れた状態で塗装される。第２図に示した基板保持体は、
バネ２８によって基板３０を挾持する取付は具２９、該
取付は具の位置を調節するためのネジ３１及びナツト３
２並びに連結孔２６を有する枠２７からなる。

上記装置において、容器１、チエイン１０、チエインホ
イル１１、搬送コンベヤ１２、フィルタ７．１９及び基
板保持体１５は、導電性の材料であり、また、液状感光
材料の噴出装置１８は、塗装容器１から電気的に絶縁さ
れていることが、静電気の発生を防止する上で好ましい
。

上記のようにして液状感光材料を基板に噴きつけ塗装し
た後、その基板を乾燥し、画像状に露光し、現像を行う
ことによって印刷配線板を製造することができる。基板
の乾燥、画像状露光及び現像の各操作は、それぞれ公知
の方法で行うことができる。

〔実施例〕

次に、実施例により本発明を説明する。以下において、
部とあるのは重量部である。

実施例１（１）液状感光材料の調製ＥＰＰＮ２０１　（日本火薬■製フェノールノボラック
型エポキシ樹脂）にアクリル酸及びテトラヒドロ無水フ
タル酸を反応させて得たアルカリ水溶液可溶性プレポリ
マー（アクリル酸付加率１００％、酸価７５）　　　　
　　　　７５部焼成カオリン　　　　　　　　　　　　
２５部ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　２７部ミ
ヒラーケトン　　　　　　　　　　　０．３部カルピト
ールアセテート　　　　　　１００部キシレン　　　　
　　　　　　　　　１００部プロピレングリコールモノ
メチルエーテル１００部アエロジル２００（日本アエロジル■製微粉末シリカ）
　　　　　　　　　　　　３部フタロシアニングリーン
　　　　　　　０．５部をサウンドミルで分散して、粘
度２ポアズ（東京計器■製Ｅ型粘度計、回転数１Ｏｒｐ
ｍ）の溶剤含有液状感光材料を得た。

（２）印刷配線板の製造次に、第１図に示した塗装装置及び第２図に示した基板
保持体を用い、窒素ガス供給量５０（Ｂ！／分、ガス排
気量５００ｆ／分、塗工部酸素濃度４容量％、塗工部風
速０．３ｍ／秒及び搬送コンベヤ速度２ｍ／分の条件下
で、直径０．８　ｍｍの小径スルホールを有する印刷配
線板製造用基板上にノードソン社製のエアレススプレー
によってエアレススプレー塗工を行った。次いで、８０
℃で１５分間プリベークした後、ネガマスクを通してオ
ーク製作所■製フェニックス３０００型露光機を用い、
８００ｍＪ／ｅｎ？で露光した。露光後、室温で３０分
間放置した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて３０
°Ｃで６０秒間スプレー現像し、直ちに６０秒間スプレ
ー水洗した。次いで、１５０℃で３０分間加熱処理して
、ネガマスクに相応する寸法精度の優れたソルダマスク
を得た。このものはスルホール内が完全に現像されてお
り、はんだ処理時に腐食性のフラックスがスルホール内
に残留する等の恐れがなく、信頼性に優れていることが
分かった。

〔発明の効果〕本発明になる印刷配線板製造用基板の塗装方法及び塗装
装置は、静電気等によりスパークが発生した場合でも火
災に至る虞がなく、安全性に優れたものである。本発明
を用いることにより、直径０、８　ｍｍ以下の小径スル
ホールを有する印刷配線板製造用基板であっても、スル
ホール内部への塗液のたれ込みが少なく、現像時にスル
ホール内部の樹脂が完全に除去された、スルホール信頼
性の高い、寸法精度に優れたソルダマスクを有する印刷
配線板を容易に効率よく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の塗装装置の略示断面図、第２図は第
１図の塗装装置内の基板保持体の平面図である。符号の説明１・・・塗装容器、２・・・不活性ガスボンベ、７・・
・フィルタ、８・・・流量計、１２・・・搬送コンベヤ
、１５・・・基板保持体、１６・・・連結棒、１７・・
・酸素濃度計、１８・・・液状感光材料の噴出装置、１
９・・・フィルタ、２４・・・流量計、２５・・・排気
ファン、２６・・・連結孔、２９・・・取付は具、３０
・・・第　　　１　　　図第２図１　・７　・塗装容器、２・・・不活性ガスボンベ、フィルタ、８・
・・流量計、・搬送コンベヤ、１５・・・基板保持体、・連結棒、１
７・・・酸素濃度計、・液状感光材料の噴出装置、・流量計、２５・・・排気ファンｚ２６・・・連結孔、２９・・・取付は具８０・・・基板

Claims

【特許請求の範囲】

１．酸素濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲気を移
動させながら、有機溶剤を含む感光材料を霧状にして噴
きつけることを特徴とするスルホールを有する印刷配線
板製造用基板の塗装方法。
２．不活性ガス雰囲気の移動を０．１〜１．０ｍ／秒の
速度で行う請求項１記載のスルホールを有する印刷配線
板製造用基板の塗装方法。
３．スルホールを有する印刷配線板製造用基板を搬送す
る導電性の搬送コンベヤ、有機溶剤を含む感光材料を霧
状にして噴きつける塗装機構、装置内に不活性ガスを供
給する不活性ガス供給機構及び装置外にガスを排出する
ガス排出機構を備え、塗装機構に搬送された基板近傍に
おける酸素濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲気の
移動が、不活性ガス供給機構及びガス排出機構の少なく
とも一つによって行われることを特徴とする印刷配線板
製造用基板の塗装装置。
４．不活性ガス雰囲気の移動が０．１〜１．０ｍ／秒の
速度で行われる請求項３記載の塗装装置。
５．不活性ガス供給機構及びガス排出機構のうち少なく
とも一つがガス調節バルブを有する請求項３又は４記載
の塗装装置。
６．スルホールを有する印刷配線板製造用基板に、酸素
濃度が１０容量％以下の不活性ガス雰囲気を移動させな
がら、有機溶剤を含む感光材料を霧状にして噴きつけ、
次いで乾燥、画像状露光及び現像を行うことを特徴とす
る印刷配線板の製造法。
７．不活性ガス雰囲気の移動を０．１〜１．０ｍ／秒の
速度で行う請求項６記載の印刷配線板の製造法。