JPH0493944A - フォトマスクの洗浄装置 - Google Patents
フォトマスクの洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0493944A JPH0493944A JP2208986A JP20898690A JPH0493944A JP H0493944 A JPH0493944 A JP H0493944A JP 2208986 A JP2208986 A JP 2208986A JP 20898690 A JP20898690 A JP 20898690A JP H0493944 A JPH0493944 A JP H0493944A
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- JP
- Japan
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- photomask
- brush
- cleaning
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000006121 base glass Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体装置の製造過程で利用されているフォ
トリソグラフィーに用いられるフォトマスクの洗浄のた
めの洗浄装置の構造に関する。
トリソグラフィーに用いられるフォトマスクの洗浄のた
めの洗浄装置の構造に関する。
従来の半導体装置の製造に用いられているフォトマスク
の洗浄装置は、スクラブ洗浄を行なう場合に、第４図の
ようにフォトマスク（１）をホルダー（２）で支え、円
柱状のブラシ（３）を円周方向に回転させ、回転台（４
）でフォトマスク（１）にブラシ（３）を押し当てなが
ら、円柱状のブラシ（３）の底面でフォトマスクをスク
ラブする方法が一般的である。
の洗浄装置は、スクラブ洗浄を行なう場合に、第４図の
ようにフォトマスク（１）をホルダー（２）で支え、円
柱状のブラシ（３）を円周方向に回転させ、回転台（４
）でフォトマスク（１）にブラシ（３）を押し当てなが
ら、円柱状のブラシ（３）の底面でフォトマスクをスク
ラブする方法が一般的である。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、上記のようなスクラブ洗浄を行なうと、フォト
マスクのパターン部分と素ガラス部分の段差がフォトマ
スクの辺辺に対し、０° ９０゜４５°、１３５°方向
に存在するにもかかわらず、その段差の方向を無視して
ブラシをスクラブするために、その段差のところに元々
マスクに付着していたパーティクルが押しつけられて引
っかかり、フォトマスクから除去できないという問題が
あった。
マスクのパターン部分と素ガラス部分の段差がフォトマ
スクの辺辺に対し、０° ９０゜４５°、１３５°方向
に存在するにもかかわらず、その段差の方向を無視して
ブラシをスクラブするために、その段差のところに元々
マスクに付着していたパーティクルが押しつけられて引
っかかり、フォトマスクから除去できないという問題が
あった。
［従来の技術］
また、上記のようにブラシ同士を接近させて回転させる
と、ブラシ同士が接触してブラシ自体から発塵するとい
う問題もあった。
と、ブラシ同士が接触してブラシ自体から発塵するとい
う問題もあった。
そこで本発明は、従来のこのような問題点を解決するた
め、フォトマスクのスクラブ洗浄で円柱状のブラシの底
面ではなく側面を使用し、それをフォトマスクのパター
ン部分と素ガラス部分の段差方向と平行に接触させてブ
ラシとフォトマスクをスクラブするフォトマスク洗浄機
を提供することを目的とする。
め、フォトマスクのスクラブ洗浄で円柱状のブラシの底
面ではなく側面を使用し、それをフォトマスクのパター
ン部分と素ガラス部分の段差方向と平行に接触させてブ
ラシとフォトマスクをスクラブするフォトマスク洗浄機
を提供することを目的とする。
また、従来のフォトマスク洗浄機のようにブラシ同士が
接触することがなく、発塵を抑えるとともにブラシの交
換も簡単に行えるフォトマスク洗浄機を提供することを
目的とする。
接触することがなく、発塵を抑えるとともにブラシの交
換も簡単に行えるフォトマスク洗浄機を提供することを
目的とする。
差に沿ってブラシをスクラブすることを特徴とする。
［作用］
上記のような構造のフォトマスク洗浄機を利用しフォト
マスクの洗浄を行うと、フォトマスクのバタγン部分と
素ガラス部分の段差に引っかかって、取れないパーティ
クルが極めて減少し、その他の部分のパーティクルも非
常に減少する。
マスクの洗浄を行うと、フォトマスクのバタγン部分と
素ガラス部分の段差に引っかかって、取れないパーティ
クルが極めて減少し、その他の部分のパーティクルも非
常に減少する。
また、スポンジブラシ同士の摩擦がまったくないため、
ブラシを痛めることがなくなり、２つのブラシを使用し
ているだけなので、ブラシの交換も非常に容易になる。
ブラシを痛めることがなくなり、２つのブラシを使用し
ているだけなので、ブラシの交換も非常に容易になる。
［課題を解決するための手段］
上記の課題を解決するため、本発明のフォトマスク洗浄
装置は、ブラシの回転方向をフォトマスクの送送に対し
、常に、０°、９０’ ４５゜１３５°方向の何れか
一つに向けて洗浄を行ない、フォトマスクのパターン部
分と素ガラス部分の段［実施例］ 以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
装置は、ブラシの回転方向をフォトマスクの送送に対し
、常に、０°、９０’ ４５゜１３５°方向の何れか
一つに向けて洗浄を行ない、フォトマスクのパターン部
分と素ガラス部分の段［実施例］ 以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の概念図である。第１図において、 （
１）はフォトマスク、 （２）はフォトマスクのホルダ
ー、 （３）はスクラブ用ブラシ、 （４）はブラシ移
動用レールである。第１図では（４）のレールは（１）
のフォトマスクの２辺に平行であり、 （３）及び（４
）は同様のものがフォトマスクを中心にして反対側にも
存在する。この状態で（４）のレール上を（３）のスポ
ンジが回転しながら移動することによってフォトマスク
をスクラブする。さらに、 （４）のレールを、フォト
マスクの面の面心を軸にして４５°ずつ回転させて上記
のようなスクラブを行なうことによって、フォトマスク
上の全てのパターンのエツジと平行な方向にブラシを当
てることが出来る。
１）はフォトマスク、 （２）はフォトマスクのホルダ
ー、 （３）はスクラブ用ブラシ、 （４）はブラシ移
動用レールである。第１図では（４）のレールは（１）
のフォトマスクの２辺に平行であり、 （３）及び（４
）は同様のものがフォトマスクを中心にして反対側にも
存在する。この状態で（４）のレール上を（３）のスポ
ンジが回転しながら移動することによってフォトマスク
をスクラブする。さらに、 （４）のレールを、フォト
マスクの面の面心を軸にして４５°ずつ回転させて上記
のようなスクラブを行なうことによって、フォトマスク
上の全てのパターンのエツジと平行な方向にブラシを当
てることが出来る。
第２図（ａ）及び（ｂ）は、本発明の１つの実施例の模
式図である。第２図（ａ）及び（ｂ）において、 （１
）はフォトマスク、 （２）はフォトマスクのホルダー
、 （３）はスクラブ用ブラシ、（４）はブラシ移動用
レール、 （５）は回転台、（６）はブラシ移動及びブ
ラシ回転用モーター（７）は台回転用モーターである。
式図である。第２図（ａ）及び（ｂ）において、 （１
）はフォトマスク、 （２）はフォトマスクのホルダー
、 （３）はスクラブ用ブラシ、（４）はブラシ移動用
レール、 （５）は回転台、（６）はブラシ移動及びブ
ラシ回転用モーター（７）は台回転用モーターである。
回転台（５）は−点鎖線の中心で回転できるようになっ
ている。
ている。
第３図（ａ）及び（ｂ）は、第２図（ａ）及び（ｂ）の
（５）の回転台を一点鎖線の中心で回転させて４５°傾
けた図である。第３図（ａ）及び（ｂ）において、第２
図（ａ）及び（ｂ）と同様に、 （１）はフォトマスク
、 （２）はフォトマスクのホルダー （３）はスクラ
ブ用ブラシ、 （４）はブラシ移動用レール、 （５）
は回転台、 （６）はブラシ移動及び回転用モーター
（７）は台回転用モーターである。このように回転台（
５）を４５°ずつ回転させて、０９９０° ４５゜１３
５°の全方向についてスクラブ洗浄を行う事ができるよ
うになっている。
（５）の回転台を一点鎖線の中心で回転させて４５°傾
けた図である。第３図（ａ）及び（ｂ）において、第２
図（ａ）及び（ｂ）と同様に、 （１）はフォトマスク
、 （２）はフォトマスクのホルダー （３）はスクラ
ブ用ブラシ、 （４）はブラシ移動用レール、 （５）
は回転台、 （６）はブラシ移動及び回転用モーター
（７）は台回転用モーターである。このように回転台（
５）を４５°ずつ回転させて、０９９０° ４５゜１３
５°の全方向についてスクラブ洗浄を行う事ができるよ
うになっている。
上記の洗浄機を使用してフォトマスクの洗浄を行った結
果、以下のような利点があった。
果、以下のような利点があった。
（１）洗浄用のブラシによってパターンのエツジに押し
付けられて取れなくなっていたパーティクルが、本発明
の洗浄機を使用することによって皆無となった。
付けられて取れなくなっていたパーティクルが、本発明
の洗浄機を使用することによって皆無となった。
（２）また、ブラシ同士の接触にょる発塵がまったく無
くなったため、洗浄効果が極めて良くなった。
くなったため、洗浄効果が極めて良くなった。
（３）さらにブラシが汚染された際、２つのブラシを交
換するだけなので作業時間が大幅に削減された。
換するだけなので作業時間が大幅に削減された。
以上、本発明の一実施例を述べたが、これ以外に
（１）上記のフォトマスク用洗浄機をステッパー用のレ
チクルにも適用する。
チクルにも適用する。
（２）上記の構造をとらない洗浄機の場合でも、パター
ンのエツジ方向に沿ってスクラブするような洗浄方法全
てに適用する。
ンのエツジ方向に沿ってスクラブするような洗浄方法全
てに適用する。
くなるため発塵がなく、洗浄能力も従来の洗浄機に比べ
て非常に良くなるという効果があった。
て非常に良くなるという効果があった。
第１図は本発明の装置の概念図
第２図（ａ）は本発明の模式図
第２図（ｂ）は本発明の模式図
第３図（ａ）は本発明の模式図
第３図（ｂ）は本発明の模式図
第４図は従来の洗浄機の模式図
（正面図）
（平面図）
（正面図）
（平面図）
［発明の効果］
本発明は、以上に述べたように、従来パターンのエツジ
に付着していて取れなくなっていたパーティクルを、エ
ツジ方向にスクラブすることによって極めて減少させる
という効果があった。 また、スポンジブラシを痛めることが全くなく、寿命も
２〜３倍になり、ブラシ交換も非常に容易になるという
効果があった。 さらにスポンジブラシが削れるということがなフォトマ
スク フォトマスクのホルダー スクラブ用ブラシ ブラシ移動用レール 回転台 ブラシ移動及びブラシ回転用モーター 台回転用モーター 電 ｌ 図 元２０（ん） ←−
に付着していて取れなくなっていたパーティクルを、エ
ツジ方向にスクラブすることによって極めて減少させる
という効果があった。 また、スポンジブラシを痛めることが全くなく、寿命も
２〜３倍になり、ブラシ交換も非常に容易になるという
効果があった。 さらにスポンジブラシが削れるということがなフォトマ
スク フォトマスクのホルダー スクラブ用ブラシ ブラシ移動用レール 回転台 ブラシ移動及びブラシ回転用モーター 台回転用モーター 電 ｌ 図 元２０（ん） ←−
Claims (1)
- 半導体装置の製造などに利用されるフォトマスクのス
クラブ洗浄において、洗浄装置のブラシのスクラブ方向
をフォトマスクの辺辺に対し、０°、９０°、４５°、
１３５°の４方向に対してそれぞれ洗浄を行なうことを
特徴とするフォトマスクの洗浄装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2208986A JPH0493944A (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | フォトマスクの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2208986A JPH0493944A (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | フォトマスクの洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0493944A true JPH0493944A (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=16565438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2208986A Pending JPH0493944A (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | フォトマスクの洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0493944A (ja) |
-
1990
- 1990-08-07 JP JP2208986A patent/JPH0493944A/ja active Pending
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