JPH0494183A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0494183A JPH0494183A JP21040390A JP21040390A JPH0494183A JP H0494183 A JPH0494183 A JP H0494183A JP 21040390 A JP21040390 A JP 21040390A JP 21040390 A JP21040390 A JP 21040390A JP H0494183 A JPH0494183 A JP H0494183A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- temperature
- gas
- variable mechanism
- power supply
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、ガスレーザ装置に関する。
（従来の技術）
ガスレーザ媒質が大気圧以上で、レーザ光が放電方向に
対して直交して放出されるＴＥＡ ｃｏ２レーザやエ
キシマレーザなどで発振装置では放電用の電源部のスイ
ッチング用として、電気絶縁性気体で所定の圧力に維持
された電力供給制御手段が使用されている。
対して直交して放出されるＴＥＡ ｃｏ２レーザやエ
キシマレーザなどで発振装置では放電用の電源部のスイ
ッチング用として、電気絶縁性気体で所定の圧力に維持
された電力供給制御手段が使用されている。
第３図は、従来における上記発振装置の一例を示してい
る。すなわち、第３図中、１はガスレーザ管で、内部に
は横断面がかまぼこ状になる一組の放電電極２ａｑ ２
ｂ％が相対向して設けられている。３は、直流の高圧パ
ルスを発生する電源部で、電力供給制御手段たるギャッ
プスイッチ４を介して、ガスレーザ管１に所定の電力を
供給するようになっている。ギャップスイッチ４はトリ
ガー発生器５に接続されてスイッチ動作の信号を受ける
ようになっているとともに供給装置６から空気又は、窒
素ガス、その他の電気絶縁性気体を電磁弁７、および圧
力設定器８を介して供給されるようになっている。上記
トリガー発生器５および電磁弁７は制御装置９によって
それぞれトリガ−動作および弁の開閉動作を制御される
ようになっている。なお、ギャップスイッチ４にはニー
ドルバルブ７ａを設けた排気管１０が接続され、過剰気
体を排出するようになっている。
る。すなわち、第３図中、１はガスレーザ管で、内部に
は横断面がかまぼこ状になる一組の放電電極２ａｑ ２
ｂ％が相対向して設けられている。３は、直流の高圧パ
ルスを発生する電源部で、電力供給制御手段たるギャッ
プスイッチ４を介して、ガスレーザ管１に所定の電力を
供給するようになっている。ギャップスイッチ４はトリ
ガー発生器５に接続されてスイッチ動作の信号を受ける
ようになっているとともに供給装置６から空気又は、窒
素ガス、その他の電気絶縁性気体を電磁弁７、および圧
力設定器８を介して供給されるようになっている。上記
トリガー発生器５および電磁弁７は制御装置９によって
それぞれトリガ−動作および弁の開閉動作を制御される
ようになっている。なお、ギャップスイッチ４にはニー
ドルバルブ７ａを設けた排気管１０が接続され、過剰気
体を排出するようになっている。
（発明が解決しようとする課題）
しかし、上記の構成において、ギャップスイッチ４を適
正動作させるためには、ギャップスイッチ４内の電気絶
縁性気体の温度に応じた所定の圧力範囲内に保つ必要が
ある。第２図に示すように、ギャップスイッチ４内の電
気絶縁性気体の温度がＴの場合、その圧力がＰ１〜Ｐ２
の範囲内（Ａ）では適正動作させることができる。上記
範囲以上（Ｃ）ではトリガーが入力されてもスイッチン
グ動作が行われない、いわゆる「ミストリガー」が生じ
、また範囲以下（Ｂ）ではトリガーを入力しなくてもス
イッチングが行われてしまう。
正動作させるためには、ギャップスイッチ４内の電気絶
縁性気体の温度に応じた所定の圧力範囲内に保つ必要が
ある。第２図に示すように、ギャップスイッチ４内の電
気絶縁性気体の温度がＴの場合、その圧力がＰ１〜Ｐ２
の範囲内（Ａ）では適正動作させることができる。上記
範囲以上（Ｃ）ではトリガーが入力されてもスイッチン
グ動作が行われない、いわゆる「ミストリガー」が生じ
、また範囲以下（Ｂ）ではトリガーを入力しなくてもス
イッチングが行われてしまう。
いわゆる、「自爆現象」が生じる。また、ギャップスイ
ッチ４内の電気絶縁性気体の温度が高くなると、ギャッ
プスイッチ４内の電気絶縁性気体の単位体積あたりの密
度が小さくなり、絶縁距離が短くなる。第２図において
、温度が上がるにつれ、適正圧力範囲（Ａ）が上がるの
はこのためである。
ッチ４内の電気絶縁性気体の温度が高くなると、ギャッ
プスイッチ４内の電気絶縁性気体の単位体積あたりの密
度が小さくなり、絶縁距離が短くなる。第２図において
、温度が上がるにつれ、適正圧力範囲（Ａ）が上がるの
はこのためである。
従って、ギャップスイッチ４内の電気絶縁性気体の温度
が、長時間のレーザ発振により上昇したり、スイッチン
グ動作のくり返し数の変化に応じて変化する場合、適性
動作を行わせるため、その圧力を調整しなければならな
いという不便さがあった。
が、長時間のレーザ発振により上昇したり、スイッチン
グ動作のくり返し数の変化に応じて変化する場合、適性
動作を行わせるため、その圧力を調整しなければならな
いという不便さがあった。
故に、レーザ発振レーザ発振装置の運転中、ギャップス
イッチ４が適正動作を行う圧力範囲外になる不都合か生
じ、さらにそれにより、特にミストリガの場合、電源部
３よりガスレーザ管１に向け、十分な電力が供給されな
いためいわゆるマーク放電が電極２ａ、２ｂ間で生じ、
電極２ａ ２ｂの破損を招いたり、レーザガスの劣化
を生しる。
イッチ４が適正動作を行う圧力範囲外になる不都合か生
じ、さらにそれにより、特にミストリガの場合、電源部
３よりガスレーザ管１に向け、十分な電力が供給されな
いためいわゆるマーク放電が電極２ａ、２ｂ間で生じ、
電極２ａ ２ｂの破損を招いたり、レーザガスの劣化
を生しる。
従って、上記問題点を鑑み、ギャップスイッチ内の電気
絶縁性気体の温度を検出し、その圧力を制御することに
より、上記不都合を解消するガスレーザレーザ発振装置
を提供することにある。
絶縁性気体の温度を検出し、その圧力を制御することに
より、上記不都合を解消するガスレーザレーザ発振装置
を提供することにある。
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段）
そこで、上記目的を達成するために、本発明は、ガスレ
ーザ管と、このガスレーザ管に所定の電力を供給する電
源部と、電気絶縁性気体によって所定圧力に維持され、
前記電力の供給を制御する電力供給制御手段と、圧力可
変機構を有した圧力設定器を介して前記絶縁性気体を供
給するガス供給装置と、前期電力供給制御手段内に設け
られたガスの温度を検出する温度検出手段と前記電力供
給制御手段内が、前記温度検出手段からの検出温度信号
に応じた圧力に変更するように前記圧力可変機構に駆動
信号を出力する制御装置とを具備したことを特徴とする
ガスレーザ装置を提供する。
ーザ管と、このガスレーザ管に所定の電力を供給する電
源部と、電気絶縁性気体によって所定圧力に維持され、
前記電力の供給を制御する電力供給制御手段と、圧力可
変機構を有した圧力設定器を介して前記絶縁性気体を供
給するガス供給装置と、前期電力供給制御手段内に設け
られたガスの温度を検出する温度検出手段と前記電力供
給制御手段内が、前記温度検出手段からの検出温度信号
に応じた圧力に変更するように前記圧力可変機構に駆動
信号を出力する制御装置とを具備したことを特徴とする
ガスレーザ装置を提供する。
（作用）
このように構成された本発明のガスレーザ装置において
は、電力供給制御手段へ供給される電気絶縁性気体の供
給管路に設けられた圧力設定手段の設定圧を電力供給制
御手段内に取り付けられた温度検出手段からの検出温度
信号に応じて制御でき、電気供給制御手段内のガス圧を
その温度変化に即応可能となる。
は、電力供給制御手段へ供給される電気絶縁性気体の供
給管路に設けられた圧力設定手段の設定圧を電力供給制
御手段内に取り付けられた温度検出手段からの検出温度
信号に応じて制御でき、電気供給制御手段内のガス圧を
その温度変化に即応可能となる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
なお、第３図と共通する部分には同一符号を付し、詳細
な説明は省略する。すなわち第３図に示した構成と異な
るところは、圧力設定器をたとえば、サーボモータ、パ
ルスモータ等を駆動部とした圧力可変機構１１を持った
圧力設定器８とし、電力供給制御手段たる４内にこの中
の電気絶縁性気体の温度を測定する温度検出器１２を設
け、この温度検出器１２で検出した温度信号を入力した
制御装置９によって圧力可変機構１１を制御する構成と
したものである。
な説明は省略する。すなわち第３図に示した構成と異な
るところは、圧力設定器をたとえば、サーボモータ、パ
ルスモータ等を駆動部とした圧力可変機構１１を持った
圧力設定器８とし、電力供給制御手段たる４内にこの中
の電気絶縁性気体の温度を測定する温度検出器１２を設
け、この温度検出器１２で検出した温度信号を入力した
制御装置９によって圧力可変機構１１を制御する構成と
したものである。
上記の構成において、ギャップスイッチ４内の電気絶縁
性気体の温度が温度検出器１２によって検出され、制御
装置９にその信号が行くと、制御装置９からは制御信号
が圧力可変機構１１に送られ、圧力設定器８は上記温度
に応じた圧力に設定される。制御装置９には温度検出器
１２からの温度信号が常時入力されている。
性気体の温度が温度検出器１２によって検出され、制御
装置９にその信号が行くと、制御装置９からは制御信号
が圧力可変機構１１に送られ、圧力設定器８は上記温度
に応じた圧力に設定される。制御装置９には温度検出器
１２からの温度信号が常時入力されている。
ところで、ギャップスイッチ４内に電気絶縁性気体の温
度が長時間運転や、スイッチングくり返し数の変化によ
り、変化した場合、例えば第２図において、Ｔ→Ｔ゛に
変化した場合はＴ′でギャップスイッチ４が適正動作す
る圧力範囲Ｐ゛１〜Ｐ″２になる様、制御装置９より圧
力可変機構に信号を送る。この様にして、ギャップスイ
ッチ４内の電気絶縁性気体の温度を検知することにより
ギャップスイッチ４が適正動作を行う圧力に常に保たれ
る。
度が長時間運転や、スイッチングくり返し数の変化によ
り、変化した場合、例えば第２図において、Ｔ→Ｔ゛に
変化した場合はＴ′でギャップスイッチ４が適正動作す
る圧力範囲Ｐ゛１〜Ｐ″２になる様、制御装置９より圧
力可変機構に信号を送る。この様にして、ギャップスイ
ッチ４内の電気絶縁性気体の温度を検知することにより
ギャップスイッチ４が適正動作を行う圧力に常に保たれ
る。
［発明の効果］
以上述べたように、本発明によれば、電力供給制御手段
に対するガス圧の状態が常に最良の動作ができる圧力に
保てるようになったため、ミストリガー自爆といった誤
動作が防止され、レーザガス放電管内の電極の破損や、
レーザガス劣化等を防ぎ、従来のように運転中の条件の
変化により、電力供給制御手段へのガス圧力をいちいち
調整する不便がなくなった。
に対するガス圧の状態が常に最良の動作ができる圧力に
保てるようになったため、ミストリガー自爆といった誤
動作が防止され、レーザガス放電管内の電極の破損や、
レーザガス劣化等を防ぎ、従来のように運転中の条件の
変化により、電力供給制御手段へのガス圧力をいちいち
調整する不便がなくなった。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図、第２図は、
ギャップスイッチの適正動作の特性を示すグラフ、第３
図は、従来例を示す構成図である。 １・・・ガスレーザ管、 ３・・・電源部４・・・ギ
ャップスイッチ（電力供給制御手段）６・・・供給装置
、 ８・・・圧力設定器９・・・制御装置、 １１・
・・圧力可変装置１２・・・温度検出器 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 第２図 −〉五屓 第３図
ギャップスイッチの適正動作の特性を示すグラフ、第３
図は、従来例を示す構成図である。 １・・・ガスレーザ管、 ３・・・電源部４・・・ギ
ャップスイッチ（電力供給制御手段）６・・・供給装置
、 ８・・・圧力設定器９・・・制御装置、 １１・
・・圧力可変装置１２・・・温度検出器 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 第２図 −〉五屓 第３図
Claims (1)
- ガスレーザ管と、このガスレーザ管に所定の電力を供給
する電源部と、電気絶縁性気体によって所定圧力に維持
され、前記電力の供給を制御する電力供給制御手段と、
圧力可変機構を有した圧力設定器を介して前記絶縁性気
体を供給するガス供給装置と、前記電力供給制御手段内
に設けられたガスの温度を検出する温度検出手段と、前
記電力供給制御手段内が前記温度検出手段からの検出温
度信号に応じた圧力に変更するように前記圧力可変機構
に駆動信号を出力する制御装置とを具備したことを特徴
とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21040390A JPH0494183A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21040390A JPH0494183A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0494183A true JPH0494183A (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=16588740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21040390A Pending JPH0494183A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0494183A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1376786A4 (en) * | 2001-09-28 | 2007-08-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | GAS STATION LASER |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP21040390A patent/JPH0494183A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1376786A4 (en) * | 2001-09-28 | 2007-08-15 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | GAS STATION LASER |
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