JPH0498163A - プローブ駆動装置 - Google Patents
プローブ駆動装置Info
- Publication number
- JPH0498163A JPH0498163A JP2215531A JP21553190A JPH0498163A JP H0498163 A JPH0498163 A JP H0498163A JP 2215531 A JP2215531 A JP 2215531A JP 21553190 A JP21553190 A JP 21553190A JP H0498163 A JPH0498163 A JP H0498163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- signal
- inputs
- outputs
- parameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプローブ駆動装置、特にプリント配線板（以下
ＰＷＢ）の導通絶縁検査において使用されるフライング
プローブ装置において使用されるプローブ駆動装置に関
する。
ＰＷＢ）の導通絶縁検査において使用されるフライング
プローブ装置において使用されるプローブ駆動装置に関
する。
近年の電子機器の高性能化、小型化、多機能化の進展に
伴い、ＰＷＢの高密度化、高精度化が著しい。このため
、ＰｗＢの品質を保証するために、ＰＷＢにおける微細
回路、スルーホールの導通、絶縁を検査し、確実にその
欠陥を検出することが大きな課題となってきている。
伴い、ＰＷＢの高密度化、高精度化が著しい。このため
、ＰｗＢの品質を保証するために、ＰＷＢにおける微細
回路、スルーホールの導通、絶縁を検査し、確実にその
欠陥を検出することが大きな課題となってきている。
一般にＰＷＨの検査では多数のプローブピンを同時に被
検査ＰＷＢに接触させ、プローブピン相互の導通絶縁を
測定するユニバーサル検査方式が使われている。この場
合多数のプローブピンは２．５４ｍｍなどの定ピツチの
間隔を持った格子の上に配置されているが、前述したＰ
ＷＢＯ高密度化、高精度化のため、ユニバーサル方式で
は検査出来ないＰＷＢが出現してきている。
検査ＰＷＢに接触させ、プローブピン相互の導通絶縁を
測定するユニバーサル検査方式が使われている。この場
合多数のプローブピンは２．５４ｍｍなどの定ピツチの
間隔を持った格子の上に配置されているが、前述したＰ
ＷＢＯ高密度化、高精度化のため、ユニバーサル方式で
は検査出来ないＰＷＢが出現してきている。
従って個別のＰＷＢ毎に各々の回路パターンの検査ポイ
ントにプローブピンが接触できるようにプローブピンを
配置した検査治具が必要になる。
ントにプローブピンが接触できるようにプローブピンを
配置した検査治具が必要になる。
しかし、ＰＷＢの種類は増えるばかりであり、ユニバー
サル方式における検査治具の費用、さらにはその準備に
要する時間はますます増大しており、その解決策か望ま
れている。
サル方式における検査治具の費用、さらにはその準備に
要する時間はますます増大しており、その解決策か望ま
れている。
前述の状況に対応するためにフライングプローブ方式と
呼ばれる布線検査検査方式が注目されている。この方式
は被検査ＰＷＢＯ上にＸ方向及びＹ方向、さらにはＺ軸
方向に移動できるプローブを配置し、ＰＷＢ毎の各々の
回路パターンにプローブを接触させ、回路パターン毎に
導通、絶縁を検査するものである。
呼ばれる布線検査検査方式が注目されている。この方式
は被検査ＰＷＢＯ上にＸ方向及びＹ方向、さらにはＺ軸
方向に移動できるプローブを配置し、ＰＷＢ毎の各々の
回路パターンにプローブを接触させ、回路パターン毎に
導通、絶縁を検査するものである。
ＰＷＢ毎に治具の準備をする必要がなく、格子以外への
ブロービングも可能となるなど優れた特徴を持つ。しか
しながらユニバーサル方式と比較して検査ポイント毎に
プローブの移動を必要とするため、検査時間がかかると
いう本質的な欠点がある。
ブロービングも可能となるなど優れた特徴を持つ。しか
しながらユニバーサル方式と比較して検査ポイント毎に
プローブの移動を必要とするため、検査時間がかかると
いう本質的な欠点がある。
よって、フライングプローブ機の特徴を生がし、欠点を
補うためには、安定した高速、高精度な位置決め、さら
には検査ポイント毎に確実なプローブの接触を可能とす
るプローブ駆動が必要である。
補うためには、安定した高速、高精度な位置決め、さら
には検査ポイント毎に確実なプローブの接触を可能とす
るプローブ駆動が必要である。
従来のブロービング駆動装置は、プローブ先端の連続し
た空間位置を発生するシーケンス制御部と、前記プロー
ビングシーケンス制御部より出力されるＸ軸位置指令信
号を入力し、Ｘ軸制御信号を出力するＸ軸サーボ制御部
と、Ｘ軸制御信号を入力してＺ軸駆動信号を出力するＺ
軸駆動部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプローブ先端のＺ
方向の位置を定め、Ｚ軸のサーボ制御部へＺ軸フィード
バック信号を入力するプロービングヘッドと、前記プロ
ービングシーケンス制御部より出力されるＸ軸位置指令
信号を入力しＹ軸制御信号を出力するＸ軸サーボ制御部
と、前記Ｙ軸制御信号を入力しＸ軸駆動信号を出力する
Ｘ軸駆動部と、前記プロービングシーケンス制御部より
出力されるＸ軸位置指令信号を入力しＸ軸制御信号を出
力するＸ軸サーボ制御部と、前記Ｘ軸制御信号を入力し
Ｘ軸駆動信号を出力するＸ軸駆動部と、前記Ｘ軸駆動信
号及び前記Ｘ軸駆動信号を入力しプローブのＹ軸及びＹ
軸方向の位置決めを行い、Ｙ軸フィード、バック信号と
Ｘ軸フィードバック信号とを出力しそれぞれをＸ軸サー
ボ制御部とＸ軸サーボ制御部へ入力するＸＹ子テーブル
を含んで構成されている。
た空間位置を発生するシーケンス制御部と、前記プロー
ビングシーケンス制御部より出力されるＸ軸位置指令信
号を入力し、Ｘ軸制御信号を出力するＸ軸サーボ制御部
と、Ｘ軸制御信号を入力してＺ軸駆動信号を出力するＺ
軸駆動部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプローブ先端のＺ
方向の位置を定め、Ｚ軸のサーボ制御部へＺ軸フィード
バック信号を入力するプロービングヘッドと、前記プロ
ービングシーケンス制御部より出力されるＸ軸位置指令
信号を入力しＹ軸制御信号を出力するＸ軸サーボ制御部
と、前記Ｙ軸制御信号を入力しＸ軸駆動信号を出力する
Ｘ軸駆動部と、前記プロービングシーケンス制御部より
出力されるＸ軸位置指令信号を入力しＸ軸制御信号を出
力するＸ軸サーボ制御部と、前記Ｘ軸制御信号を入力し
Ｘ軸駆動信号を出力するＸ軸駆動部と、前記Ｘ軸駆動信
号及び前記Ｘ軸駆動信号を入力しプローブのＹ軸及びＹ
軸方向の位置決めを行い、Ｙ軸フィード、バック信号と
Ｘ軸フィードバック信号とを出力しそれぞれをＸ軸サー
ボ制御部とＸ軸サーボ制御部へ入力するＸＹ子テーブル
を含んで構成されている。
次に従来のプローブ駆動装置について図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第２図は従来の一例を示すブロック図である。
シーケンス制御部１では検査ポイントの座標を発生する
とＸ軸サーボ制御部３へＸ軸位置指令信号すを入力する
。Ｘ軸サーボ制御部３ではＸＹ子テーブルより出力され
るＹ軸フィードバック信号ｋ（具体的にはＸＹ子テーブ
ルＹ軸方向の位置、速度、加速度）と前述のＸ軸位置指
令信号すとの間で予め定めてあったサーボパラメータに
従って、サーボ演算処理を行い、Ｙ軸制御信号ｅを出力
する。
とＸ軸サーボ制御部３へＸ軸位置指令信号すを入力する
。Ｘ軸サーボ制御部３ではＸＹ子テーブルより出力され
るＹ軸フィードバック信号ｋ（具体的にはＸＹ子テーブ
ルＹ軸方向の位置、速度、加速度）と前述のＸ軸位置指
令信号すとの間で予め定めてあったサーボパラメータに
従って、サーボ演算処理を行い、Ｙ軸制御信号ｅを出力
する。
Ｙ軸制御信号ｅを入力したＸ軸駆動部６はＹ・軸制御信
号ｅを増幅し、Ｘ軸駆動信号りを出力し、ＸＹ子テーブ
ルのＹ軸を駆動する。ＸＹテーブル９は駆動されるとそ
れに応じたＹ軸フィードバック信号ｋを出力する。
号ｅを増幅し、Ｘ軸駆動信号りを出力し、ＸＹ子テーブ
ルのＹ軸を駆動する。ＸＹテーブル９は駆動されるとそ
れに応じたＹ軸フィードバック信号ｋを出力する。
また、同様にシーケンス制御部１はＸ軸サーボ制御部４
へもＸ軸位置指令信号Ｃを出力する。Ｘ軸サーボ制御部
４ではＸＹ子テーブルより出力されるＸ軸フィードバッ
ク信号■（具体的にはＸＹテーブルのＸ軸方向の位置、
速度、加速度）と前述のＸ軸位置指令信号Ｃとの間で予
め定めてあったサーボパラメータによりサーボ演算処理
を行い、Ｘ軸制御信号ｆを出力する。
へもＸ軸位置指令信号Ｃを出力する。Ｘ軸サーボ制御部
４ではＸＹ子テーブルより出力されるＸ軸フィードバッ
ク信号■（具体的にはＸＹテーブルのＸ軸方向の位置、
速度、加速度）と前述のＸ軸位置指令信号Ｃとの間で予
め定めてあったサーボパラメータによりサーボ演算処理
を行い、Ｘ軸制御信号ｆを出力する。
Ｘ軸制御信号Ｃを入力したＸ軸駆動部７はＸ軸制御信号
ｆを増幅し、Ｘ軸駆動信号ｉを出力し、ＸＹ子テーブル
のＹ軸を駆動する。ＸＹ子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたＸ軸フィードバック信号１を出力する。
ｆを増幅し、Ｘ軸駆動信号ｉを出力し、ＸＹ子テーブル
のＹ軸を駆動する。ＸＹ子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたＸ軸フィードバック信号１を出力する。
一方、Ｚ軸についてもシーケンス制御部１はＸ軸サーボ
制御部２へＺ軸位置指令信号ａを入力する。Ｘ軸サーボ
制御部２ではプローブヘッド８より出力されるＺ軸フィ
ードバック信号ｊ （具体的にはプローブヘット８の位
置、速度、加速度）と前述のＺ軸位置指令信号ａとの間
で予め定めてあったサーボパラメータによりサーボ演算
処理を行い、Ｚ軸制御信号ｄを出力する。
制御部２へＺ軸位置指令信号ａを入力する。Ｘ軸サーボ
制御部２ではプローブヘッド８より出力されるＺ軸フィ
ードバック信号ｊ （具体的にはプローブヘット８の位
置、速度、加速度）と前述のＺ軸位置指令信号ａとの間
で予め定めてあったサーボパラメータによりサーボ演算
処理を行い、Ｚ軸制御信号ｄを出力する。
Ｚ軸制御信号ｄを入力したＺ軸駆動部５はＺ軸制御信号
ｄを増幅し、Ｚｉｌ！ｌＩＩ騨動信号ｇを出力し、プロ
ーブヘッド８を駆動する。プローブヘッド８は駆動され
るとそれに応じたＺ軸フィードバック信号ｊを出力する
ことになる。
ｄを増幅し、Ｚｉｌ！ｌＩＩ騨動信号ｇを出力し、プロ
ーブヘッド８を駆動する。プローブヘッド８は駆動され
るとそれに応じたＺ軸フィードバック信号ｊを出力する
ことになる。
このようにしてＸＹテーブルに配置されたプローブヘッ
ドのＸＹ座標に対する位置決めとプローブヘッドの上昇
と下降、つまりコンタクトの制御を行っている。
ドのＸＹ座標に対する位置決めとプローブヘッドの上昇
と下降、つまりコンタクトの制御を行っている。
ところが近年のＰＷＢパターンの微細化が進展するに従
い、より高い精度でプローブヘッドの位置決めが必要と
なり、その位置が安定するまでの時間が増える傾向が生
じる。つまり、より高い測定精度で停止できるサーボパ
ラメータでＹ軸及びＹ軸のサーボパラメータで常に動作
させているため、粗い停止精度でよい検査ポイントに対
しても同様の時間を必要としている。
い、より高い精度でプローブヘッドの位置決めが必要と
なり、その位置が安定するまでの時間が増える傾向が生
じる。つまり、より高い測定精度で停止できるサーボパ
ラメータでＹ軸及びＹ軸のサーボパラメータで常に動作
させているため、粗い停止精度でよい検査ポイントに対
しても同様の時間を必要としている。
また、酸化が激しい銅のパターンに確実にブロービング
するためには、酸化膜を破れる程の強い力でコンタクト
させる必要がある。一方、脆弱なパターンにはコンタク
トで生ずる傷を最小にするため弱い力でコンタクトを行
う必要がある。
するためには、酸化膜を破れる程の強い力でコンタクト
させる必要がある。一方、脆弱なパターンにはコンタク
トで生ずる傷を最小にするため弱い力でコンタクトを行
う必要がある。
しかし従来のブロービング駆動装置では予め定められて
いるサーボ特性により一定のコンタクト圧でしか接触さ
せることができないので接触抵抗でバラツキが生じ、十
分な検査精度を保証できない。
いるサーボ特性により一定のコンタクト圧でしか接触さ
せることができないので接触抵抗でバラツキが生じ、十
分な検査精度を保証できない。
上述した従来のプローブ駆動装置はそのＹ軸及びＹ軸の
サーボ制御部があらかじめ調整されたサーボパラメータ
で動作するため粗い位置決め精度でよい検査ポイントも
、高い位置決め精度が必要な検査ポイントと同じ精度で
一律に位置決めを行うため位置決め時間を浪費し、検査
時間が長くなるという欠点がある。また、Ｚ軸のサーボ
制御部も予め調整されたサーボパラメータで動作するた
め一定のコンタクト圧でしかパターンに接触できないの
で、脆弱なパターンでは損傷を与え、銅などの酸化が激
しいパターンでは酸化膜が破れない等の現象が生じ確実
な検査が出来ない欠点がある。
サーボ制御部があらかじめ調整されたサーボパラメータ
で動作するため粗い位置決め精度でよい検査ポイントも
、高い位置決め精度が必要な検査ポイントと同じ精度で
一律に位置決めを行うため位置決め時間を浪費し、検査
時間が長くなるという欠点がある。また、Ｚ軸のサーボ
制御部も予め調整されたサーボパラメータで動作するた
め一定のコンタクト圧でしかパターンに接触できないの
で、脆弱なパターンでは損傷を与え、銅などの酸化が激
しいパターンでは酸化膜が破れない等の現象が生じ確実
な検査が出来ない欠点がある。
本発明のプローブ駆動装置はプローブ先端の連続した空
間位置を発生ずるシーケンス制御部と、前記シーケンス
制御部より出力されるＺ軸位置指令信号を入力しＺ軸制
御信号を出力するＸ軸サーボ制御部と、Ｚ軸制御信号を
入力してＺ軸駆動信号を出力するＺ軸駆動部と、前記Ｚ
軸駆動信号によりプローブ先端のＺ方向の位置を定めＺ
軸のサーボ制御部へＺ軸フィードバック信号を入力する
プロービングヘッドと、前記プロービングシーケンス制
御部よりｊ」」力されるＹ軸位置指令信号を入力しＹ軸
制御信号を出力するＸ軸サーボ制御部と、前記Ｙ軸制御
信号を入力しＹ軸駆動信号を出力するＹ軸駆動部と、前
記プロービングシーケンス制御部より出力されるＸ軸位
置指令信号を入力しＸ軸制御信号を出力するＸ軸サーボ
制御部と、前記１〇− Ｘ軸制御信号を入力しＸ軸駆動信号を出力するＸ軸駆動
部と、前記Ｘ軸駆動信号及び前記Ｘ軸駆動信号を入力し
プローブのＹ軸及びＹ軸方向の位置決めを行い、Ｙ軸フ
ィードバック信号とＸ軸フィードバック信号とを出力し
それぞれをＸ軸サーボ制御部とＸ軸サーボ制御部へ入力
するＸＹ子テーブルプロービングシーケンス制御部より
出力するタイミング信号を入力しＸ軸サーボ制御部へは
Ｚ軸パラメータ信号をＹ軸制御部へはＹ軸パラメータ信
号をＸサーボ制御部へはＸ軸パラメータ信号を入力する
パラメータ制御部とを含んで構成される。
間位置を発生ずるシーケンス制御部と、前記シーケンス
制御部より出力されるＺ軸位置指令信号を入力しＺ軸制
御信号を出力するＸ軸サーボ制御部と、Ｚ軸制御信号を
入力してＺ軸駆動信号を出力するＺ軸駆動部と、前記Ｚ
軸駆動信号によりプローブ先端のＺ方向の位置を定めＺ
軸のサーボ制御部へＺ軸フィードバック信号を入力する
プロービングヘッドと、前記プロービングシーケンス制
御部よりｊ」」力されるＹ軸位置指令信号を入力しＹ軸
制御信号を出力するＸ軸サーボ制御部と、前記Ｙ軸制御
信号を入力しＹ軸駆動信号を出力するＹ軸駆動部と、前
記プロービングシーケンス制御部より出力されるＸ軸位
置指令信号を入力しＸ軸制御信号を出力するＸ軸サーボ
制御部と、前記１〇− Ｘ軸制御信号を入力しＸ軸駆動信号を出力するＸ軸駆動
部と、前記Ｘ軸駆動信号及び前記Ｘ軸駆動信号を入力し
プローブのＹ軸及びＹ軸方向の位置決めを行い、Ｙ軸フ
ィードバック信号とＸ軸フィードバック信号とを出力し
それぞれをＸ軸サーボ制御部とＸ軸サーボ制御部へ入力
するＸＹ子テーブルプロービングシーケンス制御部より
出力するタイミング信号を入力しＸ軸サーボ制御部へは
Ｚ軸パラメータ信号をＹ軸制御部へはＹ軸パラメータ信
号をＸサーボ制御部へはＸ軸パラメータ信号を入力する
パラメータ制御部とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
シーケンス制御部１では検査ポイントの座標を発生する
とＸ軸サーボ制御部３へＹ軸位置指令信号すを入力する
。Ｘ軸サーボ制御部３ではＸＹ子テーブルより出力され
るＹ軸フィードバック信号ｋ（具体的にはＸＹ子テーブ
ルＹ軸方向の位置、速度、加速度）と前述のＹ軸位置指
令信号すとの間でパラメータ制御部１０より出力された
Ｙ軸パラメータ信号ｎに従って、サーボ演算処理を行い
、Ｙ軸制御信号ｅを出力する。
とＸ軸サーボ制御部３へＹ軸位置指令信号すを入力する
。Ｘ軸サーボ制御部３ではＸＹ子テーブルより出力され
るＹ軸フィードバック信号ｋ（具体的にはＸＹ子テーブ
ルＹ軸方向の位置、速度、加速度）と前述のＹ軸位置指
令信号すとの間でパラメータ制御部１０より出力された
Ｙ軸パラメータ信号ｎに従って、サーボ演算処理を行い
、Ｙ軸制御信号ｅを出力する。
Ｙ軸制御信号ｅを入力したＸ軸駆動部６はＹ軸制御信号
ｅを増幅し、Ｘ軸駆動信号りを出力し、ＸＹ子テーブル
のＹ軸を駆動する。ＸＹ子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたＹ軸フィードバック信号ｋを出力する。
ｅを増幅し、Ｘ軸駆動信号りを出力し、ＸＹ子テーブル
のＹ軸を駆動する。ＸＹ子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたＹ軸フィードバック信号ｋを出力する。
また、同様にシーケンス制御部１はＸ軸サーボ制御部４
へもＸ軸位置指令信号Ｃを入力する。Ｘ軸サーボ制御部
４ではＸＹ子テーブルより出力されるＸ軸フィードバッ
ク信号１（具体的にはＸＹ子テーブルＸ軸方向の位置、
速度、加速度）と前述のＸ軸位置指令信号Ｃとの間でパ
ラメータ制御部１０より出力されたＸ軸パラメータ信号
０によりサーボ演算処理を行い、Ｘ軸制御信号ｆを出力
する。
へもＸ軸位置指令信号Ｃを入力する。Ｘ軸サーボ制御部
４ではＸＹ子テーブルより出力されるＸ軸フィードバッ
ク信号１（具体的にはＸＹ子テーブルＸ軸方向の位置、
速度、加速度）と前述のＸ軸位置指令信号Ｃとの間でパ
ラメータ制御部１０より出力されたＸ軸パラメータ信号
０によりサーボ演算処理を行い、Ｘ軸制御信号ｆを出力
する。
Ｘ軸制御信号Ｃを入力したＸ軸駆動部７はＸ軸制御信号
ｆを増幅し、Ｘ軸駆動信号ｉを出力し、ＸＹ子テーブル
のＹ軸を駆動する。ＸＹ子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたＸ軸フィードバック信号１を出力する。一方、
Ｚ軸についてもシーケンス制御部１はＸ軸サーボ制御部
２へＺ軸位置指令信号ａを入力する。
ｆを増幅し、Ｘ軸駆動信号ｉを出力し、ＸＹ子テーブル
のＹ軸を駆動する。ＸＹ子テーブルは駆動されるとそれ
に応じたＸ軸フィードバック信号１を出力する。一方、
Ｚ軸についてもシーケンス制御部１はＸ軸サーボ制御部
２へＺ軸位置指令信号ａを入力する。
２軸サ一ボ制御部２ではプローブヘッド８より出力され
るＺ軸フィードバック信号ｊ（具体的にはプローブヘッ
ド８の位置、速度、加速度）と前述のＺ軸位置指令信号
ａとの間でパラメータ制御部１０より出力された２軸パ
ラメ一タ信号ｍによりサーボ演算処理を行い、Ｚ軸制御
信号ｄを出力する。
るＺ軸フィードバック信号ｊ（具体的にはプローブヘッ
ド８の位置、速度、加速度）と前述のＺ軸位置指令信号
ａとの間でパラメータ制御部１０より出力された２軸パ
ラメ一タ信号ｍによりサーボ演算処理を行い、Ｚ軸制御
信号ｄを出力する。
Ｚ軸制御信号ｄを入力したＺ軸駆動部５はＺ軸制御信号
ｄを増幅し、Ｚ軸駆動信号ｇを出力し、プローブヘッド
８を駆動する。
ｄを増幅し、Ｚ軸駆動信号ｇを出力し、プローブヘッド
８を駆動する。
プローブヘッド８は駆動されるとそれに応じたＺ軸フィ
ードバック信号ｊを出力することになる。このようにし
てＸＹ子テーブル配置されたプローブヘッドのＸＹ座標
に対する位置決めとプローブヘッドの−に昇と下降、つ
まりコンタクトの制御を行っているが、シーケンス制御
部１は新しい検査ポイントの位置指令信号をＸ軸サーボ
制御部２、Ｘ軸サーボ制御部３、Ｘ軸サーボ制御部４に
送出すると同時にパラメータタイミング信号ｐを出力す
る。
ードバック信号ｊを出力することになる。このようにし
てＸＹ子テーブル配置されたプローブヘッドのＸＹ座標
に対する位置決めとプローブヘッドの−に昇と下降、つ
まりコンタクトの制御を行っているが、シーケンス制御
部１は新しい検査ポイントの位置指令信号をＸ軸サーボ
制御部２、Ｘ軸サーボ制御部３、Ｘ軸サーボ制御部４に
送出すると同時にパラメータタイミング信号ｐを出力す
る。
このパラメータタイミング信号ｐは次の検査ポイントに
応じて出力されるものでＸ軸サーボ制御部３、Ｘ軸サー
ボ制御部４にその検査ポイントで必要とされる停止精度
に応じたＹ軸パラメータ信号ｎ、、Ｘ軸パラメータ信号
０を出力するようにパラメータ制御部１０に指示する−
ものである。
応じて出力されるものでＸ軸サーボ制御部３、Ｘ軸サー
ボ制御部４にその検査ポイントで必要とされる停止精度
に応じたＹ軸パラメータ信号ｎ、、Ｘ軸パラメータ信号
０を出力するようにパラメータ制御部１０に指示する−
ものである。
このためＸ軸サーボ制御部３とＸ軸サーボ制御部４は検
査ポイントに応じた最適なサーボ特性でＸＹ子テーブル
を駆動することが可能となり、停止のための時間を浪費
することもない。
査ポイントに応じた最適なサーボ特性でＸＹ子テーブル
を駆動することが可能となり、停止のための時間を浪費
することもない。
・また、２軸サ一ボ制御部２もシーケンス制御部１より
出力されるパラメータタイミング信号ｐによりパラメー
タ制御部１０よりその検査ポイントに最適なコンタクト
圧を発生させるＺ軸パラメータ信号ｍをパラメータ制御
部１０より入力する。
出力されるパラメータタイミング信号ｐによりパラメー
タ制御部１０よりその検査ポイントに最適なコンタクト
圧を発生させるＺ軸パラメータ信号ｍをパラメータ制御
部１０より入力する。
よって各検査ポイントに応じて、例えば酸化が激しい銅
のパターンに確実にブロービングするためには、酸化膜
を破れる程の強い力でコンタクト圧で、脆弱なパターン
にはコンタクトで生ずる傷を最小にするため弱い力でコ
ンタクトを行うことが可能となり、従来の一定のコンタ
クト圧でしか接触させることができない場合に比較して
安定した接触抵抗でコンタクトが可能となり、十分な検
査精度を保証できる。
のパターンに確実にブロービングするためには、酸化膜
を破れる程の強い力でコンタクト圧で、脆弱なパターン
にはコンタクトで生ずる傷を最小にするため弱い力でコ
ンタクトを行うことが可能となり、従来の一定のコンタ
クト圧でしか接触させることができない場合に比較して
安定した接触抵抗でコンタクトが可能となり、十分な検
査精度を保証できる。
本発明のプローブ駆動装置は、パラメータ制御部を設け
ることにより、そのＹ軸及びＹ軸のサーボ制御部のサー
ボパラメータを自由にで調整できるため粗い位置決め精
度でよい大きな検査ポイントは粗い精度で、高い位置決
め精度が必要な微小な検査ポイントでは高い精度で位置
決めできるため位置決め時間を浪費することなく、結果
として検査時間を短縮できるという効果がある。また、
Ｚ軸のサーボ制御部もサーボパラメータ制御部を設ける
ことによりＺ軸のサーボ制御部のサーボパラメータを自
由に調整できるので、脆弱なパターンでは低い接触圧で
、銅などの酸化が激しいパターンでは強い接触圧で接触
することが可能となり、常に確実な接触が保証され精度
の高い検査が可能となる効果がある。
ることにより、そのＹ軸及びＹ軸のサーボ制御部のサー
ボパラメータを自由にで調整できるため粗い位置決め精
度でよい大きな検査ポイントは粗い精度で、高い位置決
め精度が必要な微小な検査ポイントでは高い精度で位置
決めできるため位置決め時間を浪費することなく、結果
として検査時間を短縮できるという効果がある。また、
Ｚ軸のサーボ制御部もサーボパラメータ制御部を設ける
ことによりＺ軸のサーボ制御部のサーボパラメータを自
由に調整できるので、脆弱なパターンでは低い接触圧で
、銅などの酸化が激しいパターンでは強い接触圧で接触
することが可能となり、常に確実な接触が保証され精度
の高い検査が可能となる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
従来の一例を示すブロック図である。 ■・・・シーケンス制御部、２・・・Ｘ軸サーボ制御部
、３・・・Ｙ軸サーボ制御部、４・・・Ｘ軸サーボ制御
部、５・・・Ｚ軸駆動部、６・・・Ｙ軸駆動部、７・・
・２軸駆動部、８・・・プロービングヘッド、９・・・
ＸＹテーブル、１０・・・パラメータ制御部、 ａ・・・Ｚ軸位置指令信号、ｂ・・・Ｘ軸位置指令信号
、Ｃ・・・Ｘ軸位置指令信号、ｄ・・・Ｘ軸制御信号、
ｅ・・・Ｙ軸制御信号、ｆ・・・Ｘ軸制御信号、ｇ・・
・Ｚ軸駆動信号、ｈ・・・Ｙ軸駆動信号、ｉ・・・Ｚ軸
駆動信号、ｊ・・・Ｚ軸フィードバック信号、ｋ・・・
Ｙ軸フィードバック信号、■・・・Ｘ軸フィードバック
信号、ｍ・・・Ｚ軸パラメータ信号、Ｏ・・・Ｘ軸パラ
メータ信号、ｐ・・・パラメータタイミング信号。
従来の一例を示すブロック図である。 ■・・・シーケンス制御部、２・・・Ｘ軸サーボ制御部
、３・・・Ｙ軸サーボ制御部、４・・・Ｘ軸サーボ制御
部、５・・・Ｚ軸駆動部、６・・・Ｙ軸駆動部、７・・
・２軸駆動部、８・・・プロービングヘッド、９・・・
ＸＹテーブル、１０・・・パラメータ制御部、 ａ・・・Ｚ軸位置指令信号、ｂ・・・Ｘ軸位置指令信号
、Ｃ・・・Ｘ軸位置指令信号、ｄ・・・Ｘ軸制御信号、
ｅ・・・Ｙ軸制御信号、ｆ・・・Ｘ軸制御信号、ｇ・・
・Ｚ軸駆動信号、ｈ・・・Ｙ軸駆動信号、ｉ・・・Ｚ軸
駆動信号、ｊ・・・Ｚ軸フィードバック信号、ｋ・・・
Ｙ軸フィードバック信号、■・・・Ｘ軸フィードバック
信号、ｍ・・・Ｚ軸パラメータ信号、Ｏ・・・Ｘ軸パラ
メータ信号、ｐ・・・パラメータタイミング信号。
Claims (1)
- プローブ先端の連続した空間位置を発生するシーケン
ス制御部と、前記シーケンス制御部より出力されるＺ軸
位置指令信号を入力しＺ軸制御信号を出力するＺ軸サー
ボ制御部と、Ｚ軸制御信号を入力してＺ軸駆動信号を出
力するＺ軸駆動部と、前記Ｚ軸駆動信号によりプローブ
先端のＺ方向の位置を定めＺ軸のサーボ制御部へＺ軸フ
ィードバック信号を入力するプロービングヘッドと、前
記プロービングシーケンス制御部より出力されるＹ軸位
置指令信号を入力しＹ軸制御信号を出力するＹ軸サーボ
制御部と、前記Ｙ軸制御信号を入力しＹ軸駆動信号を出
力するＹ軸駆動部と、前記プロービングシーケンス制御
部より出力されるＸ軸位置指令信号を入力しＸ軸制御信
号を出力するＸ軸サーボ制御部と、前記Ｘ軸制御信号を
入力しＸ軸駆動信号を出力するＸ軸駆動部と、前記Ｙ軸
駆動信号及び前記Ｘ軸駆動信号を入力しプローブのＸ軸
及びＹ軸方向の位置決めを行い、Ｙ軸フィードバック信
号とＸ軸フィードバック信号とを出力しそれぞれをＹ軸
サーボ制御部とＸ軸サーボ制御部へ入力するＸＹテーブ
ルとプロービングシーケンス制御部より出力するタイミ
ング信号を入力しＺ軸サーボ制御部へはＺ軸パラメータ
信号をＹ軸制御部へはＹ軸パラメータ信号をＸサーボ制
御部へはＸ軸パラメータ信号を入力するパラメータ制御
部とを含むことを特徴とするプローブ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215531A JPH0498163A (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | プローブ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215531A JPH0498163A (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | プローブ駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0498163A true JPH0498163A (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=16673972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2215531A Pending JPH0498163A (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 | プローブ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0498163A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020034283A (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 株式会社日本マイクロニクス | 検査装置及び検査方法 |
| CN111498537A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-07 | 东莞市冠菱精密设备有限公司 | 免接料飞达 |
-
1990
- 1990-08-15 JP JP2215531A patent/JPH0498163A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020034283A (ja) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 株式会社日本マイクロニクス | 検査装置及び検査方法 |
| CN111498537A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-07 | 东莞市冠菱精密设备有限公司 | 免接料飞达 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0498163A (ja) | プローブ駆動装置 | |
| JP7182951B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JP2003091320A (ja) | モータ駆動軸の速度パターン調整方法および調整装置、並びに当該速度パターン調整装置を備えた部品実装装置および粘性材料塗布装置 | |
| JPH04248477A (ja) | プローブ駆動装置 | |
| US5023557A (en) | Testing process for electronic devices | |
| EP0309109A2 (en) | Testing process for electronic devices | |
| JP2548703Y2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH03210481A (ja) | プリント回路基板検査用可動プローブ式多点コンタクト装置 | |
| JPH11304885A (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JPH04152280A (ja) | プローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置 | |
| JPH06289054A (ja) | プリント基板検査装置のプローブ用デュアルヘッド | |
| JP2001013189A (ja) | 回路基板検査装置の制御方法 | |
| JPH0639284Y2 (ja) | 座標データ作成機 | |
| JPH0429070A (ja) | プリント基板もしくは実装基板用データ処理方法及び装置 | |
| JPH0340009A (ja) | ステージの位置決め制御方法 | |
| STRIDER et al. | Computer-aided manufacturing for electronic circuit board fabrication | |
| CN112304238A (zh) | 2d及3d量测装置 | |
| JPH01215482A (ja) | レーザーマーキングシステム | |
| JPH03188640A (ja) | Ｘ―ｙステージの駆動方法 | |
| TWM588788U (zh) | 2d及3d量測裝置 | |
| JPS6111676A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JPH06102301A (ja) | プリント基板の検査装置 | |
| JPH01150844A (ja) | 部品装着検査装置 | |
| JPS6047968A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JPH04216480A (ja) | 回路基板検査装置 |