JPH0499321A - ウエハ保護テープの自動貼付け方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はＩＣ１ＬＳＩの製造に係るもので、ウェハの裏
面研磨の前工程として表面の保護と亀裂等の破壊防止の
ために保護テープの貼付は工程のにおける自動貼付は方
法に関する。

〈従来技術〉 従来は、粘性保護テープをゴムロール又はヘラに貼付け
た後、ウェハのサイズに合わせて手作業で周縁を切取る
方法である。

又、最近半自動化、自動化が試みられている。

〈　発明が解決しようとする課題　〉 従来、保護テープの厚さの不均等もウェハの仕上げ精度
に影響するため、特別に均等厚さ精度の要求があるのは
勿論、この貼付は工程では、保護テープとウェハの貼付
は面の気泡の発生と皺の発生も許されない。保護テープ
は薄くがっ軟質のものであるから、これらの防止は手作
業においても、自動貼付は工程においても甚だ困難で実
収率は低い そこで、本発明は、保護テープとウェハの貼付は面に気
泡と皺が発生しない自動貼付は方法の提供を目的とする
。

〈　課題を解決するための手段　〉 本発明による課題解決手段は、第１．２．３図、ア）如
く、ＰＶＣ系の特殊片面粘着性の保護テープ２をウェハ
１の表面に貼り付けを行うに際し、貼り面への気泡の混
入と保護テープの皺の発生を防止するために、貼付用ブ
レスゴムローラ１０、保護チー１２およびその周辺から
発生する高静電気力を制御し、保護テープ２とプレスゴ
ムローラ１０間の静電気力を活用する方法であって、保
護テープ２を吸着搬送する吸着体の一例の真空吸着グリ
ッド７に取付けられたプレスゴムローラ１０の昇降スト
ロークを保護テープ２の厚さやその直径に従って調整可
能とし、ブレスゴムローラ１０の丁面と吸着グリッド７
の吸着面との間の高さの差をを選択可能のものとする自
動貼付は方法である。

〈作用〉 上記手段において、第２図（イ）のように、ウェハ１の
形状サイズに合わせて精密ダイカットされた粘着性保護
テープ２を非粘着面である面を真空吸着グリッド７で、
これに取付けられたプレスゴムローラ１０の中心に保護
テープ２の始端−が来る位置に吸着保持させる。

第２図（ロ）に示すように、保護テープ２の貼付始端２
Ａは吸着グリッド７で片持支えとなっているので、垂れ
下がり、且つ波打った面を呈する。

保護テープ２、ブレスゴムローラ１０、その他の環境の
静電界の力を調整して安定させる。

保護テープ２の大きさ、厚さに対応した第一段階降下下
端と吸着グリッド７の高さ間隔ｔを調整可能とする。

ブレスゴムローラ１０と保護テープ２の静電力で保護テ
ープ２とｔの高さに吸着させ端部の垂れ下りと端部に発
生している波打ち面を平滑にさせる。

ウェハ１の始端部に保護テープ２の貼付は始端の合せを
行い、プレスゴムローラ１０の第二段目の降下を行った
後、ウェハ１が水平に移動して貼付は登行う。

〈実施例〉 以下１本発明の一実施例を第１．２．３図に基づいて説
明すると、円形ウェハ１とほぼ同一サイズに予め裁断さ
れた複数の円形保護テープ２を搬送テープ３上に縦列に
一定間隔をおいて剥離自在に貼着配置し、この搬送テー
プ３が第一パルスモータ−４（後記偏心量△Ｘの補正可
能）と巻取ローラ４Ａ、搬送ガイド４Ｂ、案内ローラ４
Ｃ等で間欠的に搬送し、その搬送方向をχ軸かつその直
角方向をＹ軸とすれば、円形保護テープ２の半径Ｒに近
い間隔をおいてＹ軸方向に二個の位置検出センサー５Ａ
、５Ｂを配置し、このセンサー５Ａ。

５Ｂの中央を通るＸ軸方向をその基準線Ｘ０−ＸＯとし
、搬送中検出された保護テープ２の中心位置から一時停
止をする中心位置までの距離を基準長Ｐとし、保護テー
プ２の円形周縁を位置検出センサー５Ａ、５Ｂのうちの
一方が検出し、次に位置検出センサー５Ａ、５Ｂのうち
の他方が検出し、これら位置検出センサー５Ａ、５Ｂの
検出間の距離Ｓにより基準長Ｐに対しての偏心量−△Ｘ
および基準線ｘｏ−ｘｏからの偏心量±△Ｙをマイクロ
コンピュータで算出する。

そして、基準線ｘｏ−ｘｏ上の特定距離りにある２ウエ
ハ１と向応にある保護テープ２の吸着体の一例である吸
着グリッド７で力△Ｙを、吸着グリッド７を駆動する第
二パルスモータ−８、送りネジ８Ａ、ナツト体８Ｂ、移
動案内機構８Ｃ１移動板８Ｄ、基板８Ｅ及び第三パルス
モータ−９、送りネジ９Ａ、ナツト体９Ｂ、移動案内機
構９０、移動板９Ｄ及び基板９Ｅからなる装置により、
補正する。

すなわち、吸着グリッド７を保護テープ２の同芯上に移
動して来て停止し、吸着グリッド７により保護テープ２
を搬送テープ３から剥離吸着して、原位置に待機するウ
ェハ１の位置までの特定距離して両偏心量の両方または
Ｙ軸偏心量＋△Ｙ（Ｘ軸偏心量は第一パルスモータ−で
補正）を補正して復帰する。

前記保護テープ２をウェハ１の表面に貼り付けを行うに
際し、貼り面への気泡の混入と保護テープの皺の発生を
防止するために、貼付用ブレスゴムローラ１０、保護テ
ープ２およびその周辺から発生する高静電気力を制御し
、保護テープ２とプレスゴムローラ１０間の静電気力を
活用している。

前記保護テープ２を吸着搬送する真空吸着グリッド７に
取付けられたブレスゴムローラ１０を昇降するエアシリ
ンダー１１（これは、移動案内機構１１Ｃ１移動板１１
Ｄ、基板１１Ｅと組み合わされる）のストロークを保護
テープ２の厚さやその直径に従って調整可能とし、ブレ
スゴムローラ１０の下面と吸着グリッド７の吸着面との
間の高さの差をを選択可能のものとしている。

第２図（イ）（ロ）のように、保護テープ２の貼付は始
端２Ａが片持支持のため、垂れ下がり且つ電界の強さ等
の影響を受けて波をうった歪んだ表面を呈するため、ブ
レスゴムローラ１０は第一の段階でエアシリンダー１１
により吸着グリッド面との高さの差ｔ（例えば０．１ｍ
ｍ以下）迄降下すると、第２図（ロ）の点線で示すよう
に保護テープ２の始端２Ａがブレスゴムローラ１０に静
電力で吸着され始端１３の波状変形も平滑となる。

次に、第２図（ハ）のように吸着グリッド７とブレスゴ
ムローラ１０を昇降する第１図のエアシリンダー１２（
これは、移動案内機構１２Ｃ５移動板１２Ｄ、基板１２
Ｅと組み合わされる）でブレスゴムローラ１０を支える
ローラー支持フレームＩＯＡを適当に調節された自重で
ウェハ１の始端に圧接する。このときグリッド７とウェ
ハ１の間隔Ｕは０．０５ｍｍが適している。

第２図（ニ）のように、第四パルスモータ−１４、送り
ネジ１４Ａ、ナツト体１４Ｂ、移動案内機構１４ｃ、移
動板１４Ｄ、基板１４Ｅからなる装置で、ウェハ１のテ
ーブル１３を水平移動して貼付けを行う。

前記保護テープ２はウェハ１のサイズに合わせ精密ダイ
カットされており、これらの周縁を一致させるには両者
の中心点となる芯を合致させることが必要である。第１
図でウェハ１は所定の基準線ｘｏ−ｘｏ線上に保護テー
プ２の貼付を待機している。ウェハ１の中心位置と、こ
れに垂直同芯上に吸着グリッド７（真空ポンプに接続さ
れている）に吸着されるべき保護テープ２の中心が一致
同軸上の位置にある。

一方、搬送テープ３上の保護テープ２は搬送中に、その
周縁を夫々の位置の検出センサー５Ａ。

５Ｂで検出し、その間の距離ＳによりＸ方向の偏心量−
△ＸとＹ方向の偏心量上△Ｙを決定する。

保護テープ２の直径２Ｒと保護テープ２，２の周縁間の
距離ａを適当に定め、２Ｒ＋ａ＝Ｐとする検出を受けた
保護テープ２は基準線ｘｏ−ｘ。

線上にその中心点が一致しておれば、即ち△Ｘ＝０あれ
ば、Ｐの距離を進んで停止すればよく、また△Ｙ＝０と
なる、±△Ｙの偏心のあるときは、Ｐ十△Ｘを移動すれ
ば、所定の位置で停止する。

その算定基準は、第３図において基準線Ｘ〇−ＸＯにあ
る円０が円Ｃに偏心しているとすれば、△Ｙの偏心量に
対し検出点のＸ方向の平均点ｄ′は検出線ｄから△Ｘ短
くなる。

即ち、第１図から、 △Ｘ＝ｄｄ’ このく１）式は検出センサー５Ａ、５Ｂの距離を保護テ
ープ２の半径−Ｒに選んだ場合て゛ある。

△Ｙ−〇〇 が導かれる。

第４図は検出値Ｓｍｍに対する偏心量−△Ｘｍｍを図示
し、第５図は検出値Ｓｍｍに対する偏心量上△Ｙｍｍを
図示している。

保護テープ２を配列された搬送テープ３の移動中、位１
検出センサー５Ａ、５Ｂで検出された測定値Ｓから定め
られた基準線ｘｏ−ｘｏ上の検出点から一時停止する保
護テープ２までの距離をＰ、この時、停止位置から保護
テープ２を待機するウェハ１のセンター迄の距離りおよ
び検出センサー５Ａ、５Ｂの配置Ｗｉ隔の精度は何れも
加工技術上から±０．０１ｍｍ以内を保つことは容易で
あり、保護テープ２の吸着保持する吸着グリッド７を補
正位置決めを行うグリッド保持装置７Ａの精度も±０．
０１ｍｍは得られる。

なお、本発明の実施例では、位置検出センサー５Ａ、５
Ｂは反射型光電スイッチを、また精度を要求するときは
レーザ式光電スイッチを用いた。

光線の最小スポット径は前者で０．０３ｍｍ、後者で（
’）、０１ｍｍ、繰返し精度は０．００３〜０゜００５
ｍｍであり、市場から入手し易いものを使用したが、よ
り精度の高いものを用いればより高い精度が得られる。

この装置の一工程を述べると、検出センサー５Ａ、５Ｂ
でＳの距離から搬送テープ３の巻取量をＰ＋△Ｘの距離
を進めて一時停止し、一方、ウェハ１の吸着グリッド７
は、そのマイナス方向にＬの距離を進みながら、十△Ｙ
の補正を行って停止すれば、搬送テープ３上の保護テー
プ２と向応に位置する。

ここで、吸引力を作用させながら、搬送テープ３と吸着
グリッド７を同速度でプラス方向へ移動すれば、保護テ
ープ２は搬送テープ３から剥がされ吸着グリッド７がマ
イナス△Ｙの補正を行ってＬの距離で停止すれば、原位
置に復帰し、ここでウェハ１と保護テープ２が向応で貼
付が開始される。

なお、第２図（イ）のようにウェハ１の形状サイズに合
わせて精密グイカットされた粘着性保護テープ２を非粘
着面である面を真空吸着グリッド７で、これに取付けら
れたブレスゴムローラ１０の中心に保護テープ２の始端
２Ａが来る位置に吸着保持させる。第２図（ロ）に示す
ように、保護テープ２の貼付始端２Ａは吸着グリ７Ｉ−
７で片持支えとなっているので、垂れ下がり、且つ波打
った面を呈する。保護テープ２、ブレスゴムローラ１０
、その他の環境の静電界の力は調整して安定させである
。

保護テープ２の大きさ、厚さに対応した第一段階降下下
端と吸着グリッド７の高さ間隔ｔを調整可能とする。プ
レスゴムローラ１０と保護テープ２の静電力で保護テー
プ２とｔの高さに吸着させ端部の垂れ下りと端部に発生
している波打ち面を平滑にさせる。

ウェハ１の始端部に保護テープ２の貼付は始端の合せを
行い、ブレスゴムローラ１０の第二段目の降下を行った
後、ウェハ１が水平に移動して貼付けを行う。

また、静電界の強さを、連続運転を行っても変動させな
いよう、自己放電式や電圧印加式除電器を用いて、静電
界を安定させ、ブレスゴムローラ１０に保護テープ２を
静電吸着利用によって接着面の平滑化させて後、貼付は
作業を行い。精度の高い均質な貼付は面を得ると共に自
動化による生産能率を向上させる。

ＩＣ，ＬＳＩの製造工程におけるウェハ１へ保護テープ
２の貼付は工程について実施する。ウェハｌのサイズは
３，４，５．６及び８インチ等があり、保護テープ２も
このサイズに合わせて作られる。このテープもその直径
と共にその厚さも０゜０３ｍｍ〜０．０７ｍｍの範囲で
選択される。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく
、本発明の範囲内で上記実ｍ例に多くの修正および変更
を加え得ることは勿論である。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかな通り、本発明によると、保護テ
ープの貼付は開始時に、貼付用ローラの第一段階の降下
と、第二段階の調整可能な自重プレスの工程を行い、第
一段階ではローラー中心点の下面と吸着体の吸着面の高
さ調節可能としたことにより、保護テープの種類の広い
範囲に対応可能となる。また、静電力の活用は、保護テ
ープの始端に発生する垂みの防止と、前記ローラへの吸
着により平面的平滑を得て、空気の混入を防止し、皺発
生の原因を除去できる。さらにまた、ウェハと保護テー
プの始端合せは正確となり、周辺のテープのはみ出しや
貼付面不足を少なくできる優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を実施した装置の斜視図、第２図は
同じく吸着グリッド部の作用説明図、第３図は同じく芯
出し補正演算方法説明線図である。 トウエバ、２．保護テープ、２Ａ：保護テープの貼付は
始端、７：吸着体の一例の吸着グリッド、１０：貼付用
プレスゴムローラ。 出　願　人　　株式会社ソアテツク

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　特殊片面粘着性の保護テープをウェハの表面に貼り
   付けを行うに際し、貼り面への気泡の混入と保護テープ
   の皺の発生を防止するために、貼付用ローラ、保護テー
   プおよびその周辺から発生する高静電気力を制御し、保
   護テープと前記ローラ間の静電気力を活用する方法であ
   って、保護テープを吸着搬送する吸着体に取付けられた
   ローラの昇降ストロークを保護テープの厚さやその直径
   に従つて調整可能とし、ローラの下面と吸着体の吸着面
   との間の高さの差をを選択可能とすることを特徴とする
   自動貼付け方法。 ２　請求項１において、保護テープの貼付け始端が片持
   支持のため、垂れ下がりかつ電界の強さ等の影響を受け
   て波をうった歪んだ表面を呈するため、ローラは第一の
   段階で吸着面との高さの差ｔ迄降下させると、保護テー
   プの始端がローラに静電力で吸着させ始端の波状変形を
   平滑とすることを特徴とする自動貼付け方法。