JPH0499320A - ウエハ保護テープの自動芯出し方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はＩＣ，ＬＳＩの製造に係わるもので、ウェハの
裏面研磨の前工程で、ウェハ表面の保護と薄くて腕いウ
ェハの亀裂又は破壊防止のためにウェハ表面を保護テー
プ（例えばＰｖＣ系ラミネートテープ）で貼付ける工程
において、ウェハとほぼ同一サイズの外周をもつ保護テ
ープの芯合せ貼付けの精度を高めこれを完全自動化する
自動芯出し方法に関する。

（従来技術〉 従来は、手作業でウェハに粘着テープを貼合せた後、こ
のテープをウェハの外周に合せて切取っていた。

なお、予めウェハの外周に合せた粘着テープを半自動又
は自動で貼合せが試みられているが、これにおいては、
貼付寸法精度が問題の一つである。

く　発明が解決しようとする課題　〉 上記従来の方法においては、ウェハと同一サイズの保護
テープの貼合せで、偏心による周縁のテープのはみ出し
が発生し、これが次の研磨工程で、巻込みによるウェハ
の破壊の原因となっている。

そこで、本発明は、ウェハとほぼ同一サイズの保護テー
プの貼合せで、偏心による周縁のテープのはみ出しを防
止する自動芯出し方法の提供を目的とする。

〈　課題を解決するための手段　〉 本発明による課題解決手段は、第１．２．３図の如く、
円形ウェハ１とほぼ同一サイズに予め裁断された複数の
円形保護テープ２を搬送テープ３上に縦列に一定間隔を
おいて剥離自在に貼着配置し、この搬送テープ３を間欠
的に搬送し、その搬送方向をＸ軸かつその直角方向ＰＹ
軸とすれば、円形保護テープ２の半径Ｒに近い間隔をお
いてＹ軸方向に二個の位置検出センサー５Ａ、５Ｂを配
置し、このセンサー５Ａ、５Ｂの中央を通るＸ軸方向を
その基準線ｘｏ−ｘｏとし、搬送中検出された保護チー
１２の中心位置から一時停止をする中心位置までの距離
を基準長Ｐとし、保護テープ２の円形周縁を位置検出セ
ンサー５Ａ、５Ｂのうちの一方が検出し、次に位置検出
センサー５Ａ５Ｂのうちの他方が検出し、これら位置検
出センサー５Ａ、５Ｂの検出間の距離Ｓにより基準長Ｐ
に対しての偏心量−ΔＸおよび基準線ｘｏ−ｘ。

からの偏心１±ΔＹをマイクロコンピュータで算出する
方法である。

〈作用〉 上記課題解決手段において、検出センサー５Ａ。

５ＢでＳの距離から搬送テープ３の巻取量をＰ＋恒、／
） ΔＸの距離をｍで一時停止し、一方、ウェハ１の吸着体
の一例であるグリッド７は、そのマイナス方向にＬの距
離を進みながら、±△Ｙの補正を行って停止すれば、搬
送テープ３上の保護テープ２と間怠に位置する。

ここで、吸引力を作用させながら、搬送テープ３と吸着
グリッド７を同速度でプラス方向へ移動すれば、保護テ
ープ２は搬送テープ３から剥がされ吸着グリッド７が■
ΔＹの補正を行ってＬの距離で停止すれば、原位置に復
帰し、ここでウェハ１と保護テープ２が間怠で貼付が開
始される。

〈実施例〉 以下、本発明の一実施例を第１．２．３図に基づいて説
明すると、円形ウェハ１とほぼ同一サイズに予め裁断さ
れた複数の円形保護テープ２を搬送テープ３上に縦列に
一定間隔をおいて剥離自在に貼着配置し、この搬送テー
プ３が第一パルスモータ−４（後記偏心量ΔＸの補正可
能）と巻取ローラ４Ａ、搬送ガイド４Ｂ、案内ローラ４
Ｃ等で間欠的に搬送し、その搬送方向をＸ軸かつその直
角方向をＹ軸とすれば、円形保護テープ２の半径Ｒに近
い間隔をおいてＹ軸方向に二個の位置検出センサー５Ａ
、５Ｂを配置し、このセンサー５Ａ。

５Ｂの中央を通るＸ軸方向をその基準線Ｘ０−ＸＯとし
、搬送中検出された保護テープ２の中心位置から一時停
止をする中心位置までの距離を基準長Ｐとし、保護テー
プ２の円形周縁を位置検出センサー５Ａ、５Ｂのうちの
一方が検出し、次に位置検出センサー５Ａ、５Ｂのうち
の他方が検出し、これら位置検出センサー５Ａ、５Ｂの
検出間の距離Ｓにより基準長Ｐに対しての偏心量−ΔＸ
および基準線ｘｏ−ｘｏからの偏心１±ΔＹをマイクロ
コンピュータで算出する。

そして、基準線ｘｏ−ｘｏ上の特定距離りにある、ウェ
ハ１と間怠にある保護テープ２の吸着体の一例であるグ
リッド７で、±△Ｙを、吸着グリッド７を駆動する第二
パルスモータ−８、送りネジ８Ａ、ナツト体８Ｂ、移動
案内ｉ楕８Ｃ１移動板８Ｄ、基板８Ｅ及び第三パルスモ
ータ−９、送りネジ９Ａ、ナツト体９Ｂ、移動案内機構
９０、移動板９Ｄ及び基板９Ｅからなる装置により、補
正する。

すなわち、吸着グリ・・ｌドアを保護テープ２の同芯上
に移動して来て停止し、吸着グリッド７により保護テー
プ２を搬送テープ３から剥離吸着して、原位置に待機す
るウェハ１の位置までの特定距離して偏心量のＹｌｌｌ
ｌ偏心量〒△Ｙ（ｘ軸偏心量は第一パルスモータ−で補
正）を補正して復帰する。

前記保護テープ２をウェハ１の表面に貼り付けを行うに
際し、貼り面への気泡の混入と保護テープの皺の発生を
防止するために、貼付用プレスゴムローラ１０、保護テ
ープ２およびその周辺から発生する高静電気力を制御し
、保護テープ２とブレスゴムローラ１０間の静電気力を
活用している。

前記保護テープ２を吸着搬送する真空吸着グリッド７に
取付けられたブレスゴムローラ１０を昇降するエアシリ
ンダー１１（これは、移動案内機構１１０、移動板１１
Ｄ、基板１１Ｅと組み合わされる）のストロークを保護
テープ２の厚さやその直径に従って調整可能とし、ブレ
スゴムローラ１０の下面と吸着グリッド７の吸着面との
間の高さの差ｔを選択可能のものとしている。

第２図（イ）（ロ）のように、保護テープ２の貼付は始
端−が片持支持のため、垂れ下がり且つ電界の強さ等の
影響を受けて波をうった歪んだ表面を呈するため、ブレ
スゴムローラ１０は第一の段階でエアシリンダー１１に
より吸着グリッド面との高さの差ｔ（例えば０．１ｍｍ
以下）迄降下すると、第２図（ロ）の点線で示すように
保護テープ２の始端２Ａがブレスゴムローラ１０に静電
力で吸着され始端２Ａの波状変形も平滑となる。

次に、第２図（ハ）のように吸着グリッド７とブレスゴ
ムローラ１０を昇降する第１図に示すエアシリンダー１
２（これは、移動案内機構１２Ｃ１移動板１２Ｄ、基板
１２Ｅと組み合わされる）でブレスゴムローラ１０を支
えるローラー支持フレームＩＯＡを適当に調節された自
重でウェハ１の始端に圧接する。このときグリッド７と
ウェハ１の間隔Ｕは０．０５ｍｍが適している。

第２図（ニ）のように、第四パルスモータ−１４、送り
ネジ１４Ａ、ナツト体１４Ｂ、移動案内機構１４Ｃ１移
動板１４Ｄ、基板１４Ｅからなる装置で、ウェハ１のテ
ーブル１３を水平移動して貼付けを行う。

前記保護テープ２はウェハ１のサイズに合わせ精密ダイ
カットされており、これらの周縁を一致させるには両者
の中心点となる芯を合致させることが必要である。第１
図でウェハ１は所定の基準線ｘｏ−ｘｏ線上に保護テー
プ２の貼付を待機している。ウェハ１の中心位置と、こ
れに垂直同芯上に吸着グリッド７（真空ポンプに接続さ
れている）に吸着されるべき保護テープ２の中心が一致
同軸上の位置にある。

一方、搬送テープ３上の保護テープ２は搬送中に、その
周縁を夫々の位置の検出センサー５Ａ５Ｂで検出し、そ
の間の距離ＳによりＸ方向の偏心１十ΔＸとＹ方向の偏
心量上△Ｙを決定する。

保護テープ２の直径２Ｒと保護テープ２，２の周縁間の
距離ａを適当に定め、２Ｒ＋ａ＝Ｐとする検出を受けた
保護テープ２は基準線ｘｏ−ｘ。

線上にその中心点が一致しておれば、即ちΔＸ＝Ｏあれ
ば、Ｐの距離を進んで停止すればよく、△Ｙの偏心のあ
るときは、Ｐ十ΔＸを移動すれば、所定の位置で停止す
る。

その算定基準は、第３図において基準線上にある円Ｏが
円Ｃに偏心しているとすれば、△Ｙの偏心量に対し検出
点のＸ方向の平均点ｄ′は検出線ｄからΔＸ短くなる。

即ち、第１図から、 ΔＸ＝ｄｄ’ この（１）式は検出センサー５Ａ、５Ｂの距離を保護テ
ープ２の半径−Ｒに選んだ場合である。

△Ｙ＝○Ｃ が導かれる。

第４図は検出値Ｓｍｍに対する偏心量ΔＸｍｍを図示し
、第５図は検出値Ｓｍｍに対する偏心量±△Ｙｍｍを図
示している。

保護テープ２を配列された搬送テープ３の移動中、位置
検出センサー５Ａ、５Ｂで検出された測定値Ｓから定め
られた基準線ｘｏ−ｘｏ上の検出点から一時停止する保
護テープ２までの距離をＰ、この時、停止位置から保護
テープ２を待機するウェハ１のセンター迄の距離りおよ
び検出センサー５Ａ、、５Ｂの配置間隔の精度は何れも
加工技術上から±０．０１ｍｍ以内を保つことは容易で
あり、保護テープ２の吸着保持する吸着グリッド７を補
正位置決めを行うグリッド保持装置７Ａの精度も±０．
０１ｍｍは得られる。

なお、本発明の実施例では、位置検出センサー５Ａ、５
Ｂは反射型光電スイッチを、また精度を要求するときは
レーザ式光電スイッチを用いた。

光線の最小スポット径は前者で０．０３ｍｍ、後者でＯ
，０１ｍｍ、繰返し精度は０．００３〜０゜００１ｍｍ
であり、市場から入手し易いものを使用したが、より精
度の高いものを用いればより高い精度が得られる。

この装置の一工程を述べると、検出センサー５エバ１の
吸着グリッド７は、そのマイナス方向にＬの距離を進み
ながら、±△Ｙの補正を行って停止すれば、搬送テープ
３上の保護テープ２と回忌に位置する。

ここで、吸引力を作用させながら、搬送チー１３と吸着
グリッド７を同速度でプラス方向へ移動すれば、保護テ
ープ２は搬送テープ３から剥がされ吸着グリッド７がＴ
△Ｙの補正を行ってＬの距離で停止すれば、原位置に復
帰し、ここでウェハ１と保護テープ２が回忌で貼付が開
始される。

本発明はＩＣ，ＬＳＩの製造工程の自動化に際し、ウェ
ハ１に保護テープ２の貼付けが必要不可欠の工程であり
、その目的からウェハ１のサイズに近い貼合せ精度が要
求される。

ウェハ１のサイズには３，４．５，６．８インチがあり
、保護テープ２はウェハ１の外周からのはみ出しは特に
許されないため、ウェハ１は保護テープ２より０２５〜
０．３ｍｍ小さいものを使用せざるを得す、その偏心量
は±０２５〜０３ｍｍに押えているのが多い。

この二個の位置検出センサー５Ａ、５Ｂの間隔をウェハ
１の半径Ｒに等しくとったのは、（ｉ）偏心量ΔＸ、△
Ｙ共保かな偏心量に対し検出量Ｓが均衡して大きく検出
されること、（ｉｉ　＞　Ｓ量から偏心量ΔＸ、△Ｙの
算出が容易であること、から、マイクロコンピュータは
応答時間１ｍｓ以下で処理可能である。

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく
、本発明の範囲内で上記実施例に多くの修正および変更
を加え得ることは勿論である。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかな通り、本発明によれば、二個の
位置検出センサーを適所適間隔に選んで配置し、これら
の検出間隔Ｓを測定し、基準点からの補正量ΔＸ、△Ｙ
を簡単なマイクロコンピュータで計算する。計算値その
ものの誤差は（２〜３）／１０００ｍｍ以下に、補正結
果は従来の０．２５〜０．３ｍｍを０．１ｍｍ以下に押
える数倍の精度を得た。

このような芯出しはＣＣＤカメラによる画像処理がよく
行われているが、これでは、本発明での精度が装置全体
の総合精度が０．１ｍｍ以下のものは得られず、且つこ
れは容積が大きく設置の制限もあり、価格も２０倍〜２
００倍を要する。しかし、本発明の位置検出センサーは
取付は長さも２０〜５０ｍｍの長さでコンパクトのため
、取付は位置の制限を受けることも少なく、高精度が得
られる優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を実施した装置の斜視図、第２図は
同じく吸着グリッド部の作用説明図、第３図は同じく芯
出し補正演算方法説明線図、第４図は検出値Ｓｍｍに対
する偏心量ΔＸｍｍを図示した線図、第５図は検出値Ｓ
ｍｍに対する偏心量△Ｙｍｍを図示した線図である。 １：円形ウェハ、２：円形保護テープ、３・搬送テープ
、５Ａ、５Ｂ：位置検出センサー、Ｘｏ−ＸＯ：基準線
、７：吸着体の一例の吸着グリッ出 願 人 株式会社ソアテック 代 理 人 中 村 恒 久 撹絢蘭鶴１Ｆ囁η 第５図 第４ 因 放棄ＪｉＬ　Ｓ（笥町

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　円形ウェハとほぼ同一サイズに予め裁断された複数
   の円形保護テープを搬送テープ上に縦列に一定間隔をお
   いて剥離自在に貼着配置し、この搬送テープを間欠的に
   搬送し、その搬送方向をＸ軸かつその直角方向をＹ軸と
   すれば、円形保護テープの半径Ｒに近い間隔をおいてＹ
   軸方向に二個の位置検出センサーを配置し、これらのセ
   ンサーの中央を通るＸ軸方向をその基準線とし、搬送中
   検出された保護テープの中心位置から一時停止をする中
   心位置までの距離を基準長Ｐとし、保護テープの円形周
   縁を位置検出センサーのうちの一方が検出し、次に位置
   検出センサーのうちの他方が検出し、これら位置検出セ
   ンサーの検出間の距離Ｓにより基準長Ｐに対しての偏心
   量−ΔＸおよび基準線からの偏心量±ΔＹをマイクロコ
   ンピュータで算出することを特徴とする自動芯出し方法
   。 ２　請求項１において、基準線上の特定距離Ｌにある、
   ウェハと同芯にある保護テープの吸着体で両偏心量−Δ
   Ｘ、±ΔＹを補正することを特徴とする自動芯出し方法
   。 ３　請求項１において、吸着体を保護テープの同芯上に
   移動して来て停止させ、吸着体により保護テープを搬送
   テープから剥離吸着して、原位置に待機するウェハの位
   置までの特定距離ＬでＹ軸偏心量■ΔＹを補正して復帰
   することを特徴とする自動芯出し方法。