JPS644904B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は例えば集積回路の基板になるシリコ
ンウエハのような割れ易い円形その他の任意形状
の薄板状の被貼付物品の表面に粘着テープを貼付
する方法に関するものである。

第８図は被貼付物品の一例としてのシリコンウ
エハ１上に粘着フイルム２を貼付したものの平面
図であり、第９図のようにフイルム２の下面の粘
着層３によりウエハ１に貼付されている。この図
のようにシリコンウエハは正円の一部をカツトし
た形状であるが、その他に３角、４角その他の多
角形のものもある。

従来では、シリコンウエハのような被貼付物品
に粘着フイルムを貼付する場合、まず、広巾の粘
着テープを被貼付物品上に貼付し、その後被貼付
物品の外周に刃物を当てがつて粘着テープを物品
の外周に沿つて切断する方法がとられている。

このような従来方法の場合、物品が正円の場合
は刃物を物品の中心と同心の円周で一周させれば
よいので自動化も容量であるが第８図のように正
円の一部に切欠部がある場合や３角、４角などの
多角形の場合は自動化が困難である。

また、シリコンウエハの場合はフイルムを貼付
したのち裏面を研摩する場合があるが、この研磨
のさい、水流を伴なう。

このため、フイルムの縁がウエハの周縁より突
出していると水流によりフイルムの周縁がまくれ
上つて研磨の邪魔になる。また、フイルムがウエ
ハより小さくて、フイルムの周縁よりウエハが引
込んでいるときは水流によりウエハが持ち上げら
れるため研磨による厚みの精度が出なくなるとい
う問題が生じる。

この発明の目的は上記のような問題を解決する
ため、被貼付物品の周縁とフイルムの周縁とが殆
んど一致するようにフイルムを貼付することがで
きる貼付方法を提供することである。

すなわち、この発明は薄板状の被貼付物品の表
面に粘着テープを貼着するに当り、所定形状に形
成した粘着フイルムを貼着した離型性帯状体を用
い、この帯状体をガイド部材により粘着フイルム
を外側として急角度に屈曲しながら移動させるこ
とにより帯状体から前記粘着フイルムを剥離し、
この粘着フイルムを被貼付物品の表面に圧着せし
めて接着することを特徴とするものである。

この発明方法は上記の通りであるから、あらか
じめ正確な形状に切断した粘着フイルムを離形剤
を塗布した台紙からなる帯状体に一定間隔で貼付
したものを用い、この帯状体を被貼付物品の上部
において上記ガイド部材により急角度に屈曲しつ
つ移動ささせることにより粘着フイルムを帯状体
から剥離し、被貼付物品の表面に粘着フイルムを
貼付しつつ被貼付物品と粘着フイルムを移動させ
て上下の引取りローラにより圧着し、フイルムを
剥離したのち帯状体は反対方向に移動させること
により粘着フイルムは被貼付物品上に自動的に貼
付される。

また、帯状体を上記ガイド部材により急角度に
屈曲しつつ移動させて剥離しながら真空吸引パツ
ドで吸着し、この吸着した粘着フイルムを真空吸
引パツドとともに被貼付物品の表面に圧着せしめ
て接着することによつても粘着フイルムは被貼付
物品上に自動的に貼付される。

以下にこの発明方法の一実施例を添付図面に基
づいて説明する。

第１図において、１１は離型剤を上面に塗布し
て台紙からなる帯状体で、その上面に粘着フイル
ム１２が一定の間隔で貼着してある。又帯状体１
１には位置決め用の穴を打抜加工するものもあ
る。

粘着フイルム１２は事前の工程により片面に粘
着層を設けたものを正確な形状に切断したもの
で、粘着層を利用して帯状体１１上に貼着する。
その他に、シーリング加工により帯状体１１と粘
着フイルム１２の連続体から必要部のみを残し、
不要部を取り除くなどの作業により帯状体１１に
粘着フイルム１２を設ける場合もある。

第２図、第３図はこの発明方法を実施する装置
の一例である。１５は機台であつて、その上部後
寄りに多数のシリコンウエハのような被貼付物品
１６を一定の間隔で積上げたマガジン１７を設け
る。

１９は無端搬送ベルト１８を有する取出し手段
２０はベルト１８の駆動プーリであり、図示省略
してあるモータにより駆動される。２１はマガジ
ンの受台で適宜の昇降機構２２により一定ピツチ
にて下降し、つぎの物品１６をベルト１８上に載
せる作用を行なう。２５は機台１５上の側方に設
けた機箱で、その側面には一対の巻軸２６，２７
を設ける。

巻軸２６には前記粘着フイルム１２を持つた帯
状体１１を巻き、巻軸２７はフイルム１２を剥離
したのちの帯状体１１を巻きとるものである。

２８は機箱２５に設けたガイドローラで、その
下方にガイド部材２９を設け、巻軸２６から引出
された帯状体１１はガイドローラ２８を経てガイ
ド部材２９のナイフエツジ状の先端部３０により
急角度に曲げられ、一対の引取りローラ３１間を
経て巻軸２７により巻取られるように構成する。

また、図示省略してあるが、物品１６に方向決
定用の切欠１４がある場合、マガジンの前方に複
数の縦の回転棒などからなる位置決め手段を設
け、この位置決め手段により切欠１４を前向きな
どの一定の向きに揃え、位置の修正等を行なう。

３２はガイド部材２９の下方の真空吸引台で上
面に無数の吸引孔を有する中空体であり、上部開
放の枠５０で囲まれ、真空吸引装置に弁を介して
連通したものである。

また、吸引台３２の前方にはエアシリンダ、電
磁石などで昇降するストツパ３３を設け、ストツ
パ３３が上昇している条件でベルト１８を駆動し
て１枚の物品１６を吸引台３２上に供給して物品
１６の切欠１４がストツパ３３に当つた条件でベ
ルト１８を止め、吸引台３２の真空吸引を開始
し、物品１６を台３２上に固定する。また、ベル
ト１８を長くしストツパの手前にて位置決めを行
ない吸引台３２を省略することもある。

一方、巻軸２７および引取ローラ３１を駆動し
て帯状体１１を引張ることにより急角度に屈曲し
た帯状体１１からフイルム１２が剥離し、その切
欠１３がストツパ３３に当り、かつ物品１６の先
端上に接触する。

この条件でストツパ３３が下り、真空吸引は止
められる。帯状体１１は引き続いて引張られてい
るから、フイルム１２は物品１６とともに前進
し、上下の引取りローラ３５間に先端が入ればそ
の後は物品１６とフイルム１２が上下のローラ３
５により圧着されつつ移動し、フイルム１２は物
品１６上に正確に貼付され、ベルトコンベヤ３６
を経てマガジン３７内に送り込まれる。

このマガジン３７も前記マガジン１７とほぼ類
似するもので、適宜の昇降機構３８により昇降さ
れる受台３９上に載り、フイルム１２を貼付した
物品１６がマガジン３７内に１枚挿入される毎に
受台３９が１ピツチ上昇するものである。

第６図、第７図は他の実施例を示すものであ
る。この実施例の場合も帯状体１１をガイド部材
２９の先端部で急角度に屈曲して粘着フイルム１
２を剥離するものであるが、この例では真空パツ
ド４０を併用する。このパツド４０は前記枠５０
に対応する下部開放の枠５１で囲まれている。

パツド４０は移動台４１の下側に取付けたエア
シリンダまたは電磁石などの昇降機構４２により
昇降し、移動台４１もエアシリンダあるいは送り
ネジなどでガイドレール４３に沿つて進退する。

パツド４０は中空で下面に多数の吸引孔を有
し、真空吸引装置に弁を介して連通したものであ
る。

この例の場合、ガイド部材２９上の帯状体１１
に貼着されているフイルム１２上に下降したパツ
ド４０の下面にフイルム１２を吸着せしめ、帯状
体１１の移動とともに移動台４１が矢印方向に移
動してフイルム１２はパツド４０に吸着されたま
ま移動し、帯状体１１はガイド部材２９の先端部
で急角度に曲げられてフイルム１２から剥離し、
引取ローラ３１間を経て第２図に示す巻軸２７に
巻取られる。

こうして、帯状体１１から剥離したフイルム１
２を吸着したパツド４０が吸引台３２上にくると
移動台４１は一たん停止する。一方、無端搬送ベ
ルト１８により送られてきた被貼付物品１６が吸
引台３２上に載つて真空吸引により一定の位置に
固定されているから、前記のように移動台４１が
停止したのち、パツド４０が第６図鎖線のように
下降すると、パツド４０の下面のフイルム１２が
粘着層により物品１６上に粘着される。このと
き、上下の枠５０，５１で囲まれた内部を真空状
態にして貼付を行なうと気泡、ほこり等の入るの
をより確実に防ぐことができる。

ついで、上下の枠５０，５１の真空を解き吸引
台３２の吸引を解き、パツド４０にフイルム１２
を介して物品１６を吸着したままパツド４０を若
干上昇させて移動台４１をコンベヤ３６上まで移
動させたのち、パツド４０を下げて物品１６をコ
ンベヤ３６上に載せ、ついでパツド４０による真
空吸引を解いて物品１６をコンベヤ３６上に残
し、パツド４０は上昇し、移動台４１とともに元
の位置に戻る。

第６図、第７図に示した部分以外は第１の実施
例と同様である。また、図示例ではシリコンウエ
ハに対してフイルムが小さく画いてあるが、実際
の寸法はシリコンウエハとフイルムの外周がほぼ
一致する程度の大きさにするとよい。

この発明は前記のようにあらかじめ正確な形状
に切断した粘着フイルムを離形剤を塗布した台紙
からなる帯状体に一定間隔で貼付したものを用
い、この帯状体をガイド部材の先端部により急角
度に屈曲して、フイルムを剥離し、上下の引取り
ローラあるいは真空吸引などの適宜の手段により
剥離したフイルムをその粘着層を利用して被貼付
物品の上面に圧着せしめて貼付するものであるか
ら、帯状体からのフイルムの剥離は確実に行え
る。

また、従来方法のように、フイルムの貼付後に
被貼付物品の外周に沿つてフイルムを切断する必
要がない。従つてフイルムの切断形状と、フイル
ムと被貼付物品の接着のさいの位置決めさえ正確
に行なえばフイルムの周縁と被貼付物品の周縁と
が正確に一致し、研磨時においても前記のような
不都合が起らないという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の貼付方法により貼付するフ
イルムを貼着した帯状体の一部切欠斜視図、第２
図はこの発明の貼付方法を実施する装置の一例を
示す一部縦断正面図、第３図は同上の平面図、第
４図、第５図は同上要部の作用を示す一部切欠拡
大正面図、第６図は他の実施例の要部を示す拡大
正面図、第７図は同上要部の一部縦断拡大側面
図、第８図はフイルムを貼付した物品の一例を示
す平面図、第９図は同上の一部の拡大縦断面図で
ある。 １１……帯状体、１２……粘着フイルム、１６
……被貼付物品、２９……ガイド部材、４０……
真空吸引パツド。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 薄板状の被貼付物品の表面に粘着フイルムを
   貼着するに当り、所定形状に形成した粘着フイル
   ムを貼着した離型性帯状体を用い、この帯状体を
   ガイド部材により粘着フイルムを外側として急角
   度に屈曲しながら移動させることにより帯状体か
   ら前記粘着フイルムを剥離し、この粘着フイルム
   を被貼付物品の表面に圧着せしめて接着すること
   を特徴とする粘着フイルム貼付方法。 ２ 粘着フイルムを貼付した離型性帯状体を被貼
   付物品の上部において上記ガイド部材により急角
   度に屈曲しつつ移動させることにより粘着フイル
   ムを帯状体から剥離し、被貼付物品の表面に粘着
   フイルムを貼付しつつ被貼付物品と粘着フイルム
   を移動させて上下の引取りローラにより圧着し、
   フイルムを剥離したのちの帯状体は反対方向に移
   動させることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の粘着フイルム貼付方法。 ３ 粘着フイルムを貼付した離型性帯状体を上記
   ガイド部材により急角度に屈曲しつつ移動させて
   剥離しながら真空吸引パツドで吸着し、この吸着
   した粘着フイルムを真空吸引パツドとともに被貼
   付物品の表面に圧着せしめて接着することを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の粘着フイルム
   貼付方法。