JPH0510459A - ニユーマチツクバルブ - Google Patents
ニユーマチツクバルブInfo
- Publication number
- JPH0510459A JPH0510459A JP16655991A JP16655991A JPH0510459A JP H0510459 A JPH0510459 A JP H0510459A JP 16655991 A JP16655991 A JP 16655991A JP 16655991 A JP16655991 A JP 16655991A JP H0510459 A JPH0510459 A JP H0510459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- port
- diameter valve
- small
- pneumatic valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ケーシング内に大径バルブと小径バルブを一体
化して可変オリフィス機能を持たせるこおによって、取
り付けの省スペース化を図る。 【構成】ケーシング４内を往復運動する大径バルブ３内
に小径バルブ１を内蔵した構造を有し、まず両バルブと
も閉状態にし、オープン用エアポート７からバルブ駆動
用高圧エア８を抜くことで、小径バルブ１が開になり、
小量の気体がニューマチックバルブのＩＮからＯＵＴへ
流れる。次にクローズ用エアポート６からバルブ駆動用
高圧エア８をオープン用エアポート５に切り替えること
で、大径バルブ３が開となり、多量の気体がニューマチ
ックバルブのＩＮからＯＵＴへ流れる。
化して可変オリフィス機能を持たせるこおによって、取
り付けの省スペース化を図る。 【構成】ケーシング４内を往復運動する大径バルブ３内
に小径バルブ１を内蔵した構造を有し、まず両バルブと
も閉状態にし、オープン用エアポート７からバルブ駆動
用高圧エア８を抜くことで、小径バルブ１が開になり、
小量の気体がニューマチックバルブのＩＮからＯＵＴへ
流れる。次にクローズ用エアポート６からバルブ駆動用
高圧エア８をオープン用エアポート５に切り替えること
で、大径バルブ３が開となり、多量の気体がニューマチ
ックバルブのＩＮからＯＵＴへ流れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空機器に使用するニュ
ーマチックバルブに関し、特にバルブの開閉機構に関す
るものである。
ーマチックバルブに関し、特にバルブの開閉機構に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空容器と真空ポンプとを結ぶ真
空排気ラインに取り付ける排気ライン開閉用のニューマ
チックバルブは、図２（ａ）の断面図に示すように、バ
ルブ１１とケーシング４と、バルブ駆動用高圧エア８を
導入するオープン用エアポート５と、クローズ用エアポ
ート６とからなり、クローズ用エアポート６にバルブ駆
動用高圧エア８を導入することでバルブは閉状態になっ
ている。又、図２（ｂ）の断面図は、クローズ用エアポ
ートより導入していたバルブ駆動用高圧エア８を、オー
プン用エアポートに切り替えることにより、バルブは開
状態になっていることを示している。
空排気ラインに取り付ける排気ライン開閉用のニューマ
チックバルブは、図２（ａ）の断面図に示すように、バ
ルブ１１とケーシング４と、バルブ駆動用高圧エア８を
導入するオープン用エアポート５と、クローズ用エアポ
ート６とからなり、クローズ用エアポート６にバルブ駆
動用高圧エア８を導入することでバルブは閉状態になっ
ている。又、図２（ｂ）の断面図は、クローズ用エアポ
ートより導入していたバルブ駆動用高圧エア８を、オー
プン用エアポートに切り替えることにより、バルブは開
状態になっていることを示している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のニューマチ
ックバルブは、全開又は全閉のどちらかしか動作できな
いため、ニューマチックバルブを通過する気体流量を制
御するには、ニューマチックバルブとは別途に可変オリ
フィスを取り付けるか、別系統でコンダクタンスの違う
配管と配管開閉用ニューマチックバルブを追加する必要
があった。それ故、従来取り付いているニューマチック
バルブを可変オリフィス型に変えようとすると、取り付
けスペースの問題で取り付けられなかったり、配管の取
り付け変更のため大幅な改造を必要とするという問題が
あった。
ックバルブは、全開又は全閉のどちらかしか動作できな
いため、ニューマチックバルブを通過する気体流量を制
御するには、ニューマチックバルブとは別途に可変オリ
フィスを取り付けるか、別系統でコンダクタンスの違う
配管と配管開閉用ニューマチックバルブを追加する必要
があった。それ故、従来取り付いているニューマチック
バルブを可変オリフィス型に変えようとすると、取り付
けスペースの問題で取り付けられなかったり、配管の取
り付け変更のため大幅な改造を必要とするという問題が
あった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のニューマチック
バルブは、ケーシング内に高圧エアの切り替えにより往
復運動する大径バルブを備え、この大径バルブには小径
バルブが内蔵され、この小径バルブは大径バルブとは独
立に高圧エアにより動作し、大径バルブの閉動作中に小
径バルブを開にして流量制御を行なう構造を有する。
バルブは、ケーシング内に高圧エアの切り替えにより往
復運動する大径バルブを備え、この大径バルブには小径
バルブが内蔵され、この小径バルブは大径バルブとは独
立に高圧エアにより動作し、大径バルブの閉動作中に小
径バルブを開にして流量制御を行なう構造を有する。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のニューマチックバルブの
断面図であり、同図（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ
順に動作フローを示している。
る。図１は本発明の一実施例のニューマチックバルブの
断面図であり、同図（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ
順に動作フローを示している。
【０００６】まず、同図（ａ）は完全閉状態を示したも
ので、ケーシング４内の大径バルブ３に小径バルブ１が
内蔵されており、大径バルブ３はクローズ用エアポート
６よりバルブ駆動用高圧エア８を導入することで閉状態
であり、小径バルブ１もオープン用エアポート７よりバ
ルブ駆動用高圧エア８を導入することで閉状態である。
ので、ケーシング４内の大径バルブ３に小径バルブ１が
内蔵されており、大径バルブ３はクローズ用エアポート
６よりバルブ駆動用高圧エア８を導入することで閉状態
であり、小径バルブ１もオープン用エアポート７よりバ
ルブ駆動用高圧エア８を導入することで閉状態である。
【０００７】次に同図（ｂ）は一部が開状態になった場
合を示したもので、オープン用エアポート７よりバルブ
駆動用高圧エア８を抜くことで、リターンばね２の力に
より小径バルブ１は開になり、小量の気体の流れ９がケ
ーシング４のＩＮからＯＵＴへ生ずる。
合を示したもので、オープン用エアポート７よりバルブ
駆動用高圧エア８を抜くことで、リターンばね２の力に
より小径バルブ１は開になり、小量の気体の流れ９がケ
ーシング４のＩＮからＯＵＴへ生ずる。
【０００８】最後に同図（ｃ）は図（ｂ）の状態に加
え、完全開状態を示したものでバルブ駆動用高圧エア８
をクローズ用エアポート６からオープン用エアポート５
に切り替えることで大径バルブ３は開状態になり、多量
の気体の流れ１０がケーシング４のＩＮからＯＵＴへ生
ずる。
え、完全開状態を示したものでバルブ駆動用高圧エア８
をクローズ用エアポート６からオープン用エアポート５
に切り替えることで大径バルブ３は開状態になり、多量
の気体の流れ１０がケーシング４のＩＮからＯＵＴへ生
ずる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、大径バル
ブと小径バルブを一体化することにより、従来のニュー
マチックバルブを簡単に可変オリフィス型ニューマチッ
クバルブに変更可能となり、取り付けの省スペース化の
実現という効果を有する。
ブと小径バルブを一体化することにより、従来のニュー
マチックバルブを簡単に可変オリフィス型ニューマチッ
クバルブに変更可能となり、取り付けの省スペース化の
実現という効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の断面図を示し、同図
（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ動作順を示す機構図
である。
（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ動作順を示す機構図
である。
【図２】従来のニューマチックバルブの断面図を示し、
同図（ａ），（ｂ）はそれぞれ動作順を示す機構図であ
る。
同図（ａ），（ｂ）はそれぞれ動作順を示す機構図であ
る。
１ 小径バルブ ２ リターンばね ３ 大径バルブ ４ ケーシング ５ オープン用エアポート ６ クローズ用エアポート ７ オープン用エアポート ８ バルブ駆動用高圧エア ９ 少量の気体の流れ １０ 多量の気体の流れ １１ バルブ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ケーシング内を高圧エアの切り替えによ
りバルブを往復運動させ、気体の流れを開閉するニュー
マチックバルブにおいて、前記バルブの一端にそのバル
ブより小径のバルブを内蔵させ、この小径のバルブは前
記バルブとは独立に高圧エアにより動作し、前記バルブ
の閉動作中にこの小径バルブを開にして流量制御を行な
うことを特徴とするニューマチックバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16655991A JPH0510459A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | ニユーマチツクバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16655991A JPH0510459A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | ニユーマチツクバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0510459A true JPH0510459A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=15833510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16655991A Pending JPH0510459A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | ニユーマチツクバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0510459A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100415785B1 (ko) * | 2000-09-07 | 2004-01-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 평활배기밸브 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6211645A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-20 | 川鉄鋼板株式会社 | ポリオレフイン積層体のエンボス加工方法 |
-
1991
- 1991-07-08 JP JP16655991A patent/JPH0510459A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6211645A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-20 | 川鉄鋼板株式会社 | ポリオレフイン積層体のエンボス加工方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100415785B1 (ko) * | 2000-09-07 | 2004-01-24 | 에스엠시 가부시키가이샤 | 평활배기밸브 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6035881A (en) | Checkvalve unit | |
| EP1658542B1 (en) | Two stage solenoid control valve | |
| US4880358A (en) | Ultra-high vacuum force, low air consumption pumps | |
| CA2163613A1 (en) | Controller | |
| US4553648A (en) | Exhaust brake apparatus of sliding type | |
| US5048559A (en) | Valve and apparatus using said valve | |
| JPH1182763A (ja) | 空気圧駆動用の開閉制御弁及びその制御装置 | |
| JPH076496B2 (ja) | 真空ポンプにおける吸引系切換装置 | |
| US2241195A (en) | Compressor unloading mechanism | |
| JPH0510459A (ja) | ニユーマチツクバルブ | |
| CN111963495B (zh) | 一种气动延时换向模块 | |
| JP2005039265A (ja) | 真空室に基板を装填するためのロードロック装置 | |
| RU2109971C1 (ru) | Устройство для управления воздушным стартером | |
| JP3392449B2 (ja) | パイロット形電磁弁 | |
| JPH05272456A (ja) | 真空装置における急速排気防止装置 | |
| JP3307696B2 (ja) | パイロット式電磁弁 | |
| JP2001041105A (ja) | ロケットエンジンの燃焼ガス制御装置 | |
| KR102043967B1 (ko) | 솔레노이드 밸브 | |
| JPS5618897A (en) | Multistage liquid feed assembly and machine* such as washing machine provided with said assembly | |
| KR100265898B1 (ko) | 압력 완충식 비상밸브 | |
| KR200225132Y1 (ko) | 관로 보호용 비상차단밸브 | |
| US6840498B2 (en) | Zero pressure electromagnetic server | |
| JP2665071B2 (ja) | 液体用制御弁 | |
| JPH068380Y2 (ja) | 真空ポンプ用バルブ | |
| JPH05237361A (ja) | 真空用バルブ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970819 |