JPH0511036Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0511036Y2 JPH0511036Y2 JP1989008895U JP889589U JPH0511036Y2 JP H0511036 Y2 JPH0511036 Y2 JP H0511036Y2 JP 1989008895 U JP1989008895 U JP 1989008895U JP 889589 U JP889589 U JP 889589U JP H0511036 Y2 JPH0511036 Y2 JP H0511036Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- circuit
- data
- position data
- beam positioner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案はレーザトリミング装置等に使用される
ビームポジシヨナに関し、特にその制御回路に関
する。
ビームポジシヨナに関し、特にその制御回路に関
する。
［従来の技術］
レーザトリミング装置などに使用されるビーム
ポジシヨナの一般的な構成を第２図に示す。図に
おいて、８は加工用レーザ装置、９はレーザ光、
１０ａはＸ軸ミラー、１０ｂはＹ軸ミラー、１１
はビームポジシヨナ、１２は集光レンズ、１３は
ダイクロイツクミラー、１４は被加工物、１５は
駆動部、１６は制御部である。
ポジシヨナの一般的な構成を第２図に示す。図に
おいて、８は加工用レーザ装置、９はレーザ光、
１０ａはＸ軸ミラー、１０ｂはＹ軸ミラー、１１
はビームポジシヨナ、１２は集光レンズ、１３は
ダイクロイツクミラー、１４は被加工物、１５は
駆動部、１６は制御部である。
この制御部１６は、従来の装置においては、デ
イジタルＸ軸位置データをアナログ信号に変える
Ｄ／Ａ変換器と、デイジタルＹ軸位置データをア
ナログ信号に変えるもう一つのＤ／Ａ変換器と、
これら両方のＤ／Ａ変換器の出力を個々に増幅す
る増幅器とを用いてＸ軸及びＹ軸のドライブ信号
を得ていた。
イジタルＸ軸位置データをアナログ信号に変える
Ｄ／Ａ変換器と、デイジタルＹ軸位置データをア
ナログ信号に変えるもう一つのＤ／Ａ変換器と、
これら両方のＤ／Ａ変換器の出力を個々に増幅す
る増幅器とを用いてＸ軸及びＹ軸のドライブ信号
を得ていた。
［考案が解決しようとする課題］
上述した従来の制御回路では、例えば位置デー
タを正しく入力したとしても、電気回路よりあと
の位置エラーを除去できないと言う欠点があつ
た。即ち、ガルバノメータ特有の直線性の悪さ、
或いは集光レンズの収差、スキヤン歪などの位置
エラーを除去することが出来なかつた。
タを正しく入力したとしても、電気回路よりあと
の位置エラーを除去できないと言う欠点があつ
た。即ち、ガルバノメータ特有の直線性の悪さ、
或いは集光レンズの収差、スキヤン歪などの位置
エラーを除去することが出来なかつた。
［課題を解決するための手段］
本考案は各位置データに対して補正データを加
算して上記の課題を解決しようとするものであ
る。
算して上記の課題を解決しようとするものであ
る。
即ち本考案によれば、ガルバノメータを使用し
た２次元走査型ビームポジシヨナ用制御回路にお
いて、位置データを電圧信号に変換するＤ／Ａ変
換器と、前記位置データに対する補正データが書
き込まれたメモリ回路と、前記補正データを電圧
信号に変換するＤ／Ａ変換器と、前記両Ｄ／Ａ変
換器の出力信号を加算する加算回路と、補正有無
を切換える回路とを具備することを特徴とするビ
ームポジシヨナ用制御回路が得られる。
た２次元走査型ビームポジシヨナ用制御回路にお
いて、位置データを電圧信号に変換するＤ／Ａ変
換器と、前記位置データに対する補正データが書
き込まれたメモリ回路と、前記補正データを電圧
信号に変換するＤ／Ａ変換器と、前記両Ｄ／Ａ変
換器の出力信号を加算する加算回路と、補正有無
を切換える回路とを具備することを特徴とするビ
ームポジシヨナ用制御回路が得られる。
［実施例］
次に本考案について図面を参照して説明する。
第１図は本考案の第１の実施例である制御回路
の構成を示した図である。通常、入力された位置
データX0〜X15及びY0〜Y15（16bitデータ）は
Ｄ／Ａ変換器１ａ，１ｂ（16bit）に入力され、電
圧信号に変換され、ドライブ信号として図示して
ない駆動部へ出力される。２ａ，２ｂ，３ａ，３
ｂは増幅器である。一方、位置データの一部、た
とえば上位5bitX11〜X15及びY11〜Y15を引き出
し、メモリ回路４ａ，４ｂに入力される。ここで
はROMが使用される。
の構成を示した図である。通常、入力された位置
データX0〜X15及びY0〜Y15（16bitデータ）は
Ｄ／Ａ変換器１ａ，１ｂ（16bit）に入力され、電
圧信号に変換され、ドライブ信号として図示して
ない駆動部へ出力される。２ａ，２ｂ，３ａ，３
ｂは増幅器である。一方、位置データの一部、た
とえば上位5bitX11〜X15及びY11〜Y15を引き出
し、メモリ回路４ａ，４ｂに入力される。ここで
はROMが使用される。
ROM４ａは或る点の位置データのＸ軸の補正
値を出力する。ROM４ｂは或る点の位置データ
のＹ軸の補正値を出力する。それぞれの補正デー
タは対応するＤ／Ａ変換器５ａ，５ｂ（ここでは
8bit）に入力され、電圧信号に変換され、増幅器
６ａ，６ｂを通つた後、Ｘ軸、Ｙ軸補正信号７
ａ，７ｂとして増幅器３ａ，３ｂに送られ、ここ
で前述のＤ／Ａ変換器１ａ，１ｂの出力と加算さ
れる。従つて、最終段のドライブ信号としては補
正されたものとなる。そしてコントロール信号
POS／により、補正有無を切り替えるこ
とができる為、加工中に段差を生じる不都合を排
除している。
値を出力する。ROM４ｂは或る点の位置データ
のＹ軸の補正値を出力する。それぞれの補正デー
タは対応するＤ／Ａ変換器５ａ，５ｂ（ここでは
8bit）に入力され、電圧信号に変換され、増幅器
６ａ，６ｂを通つた後、Ｘ軸、Ｙ軸補正信号７
ａ，７ｂとして増幅器３ａ，３ｂに送られ、ここ
で前述のＤ／Ａ変換器１ａ，１ｂの出力と加算さ
れる。従つて、最終段のドライブ信号としては補
正されたものとなる。そしてコントロール信号
POS／により、補正有無を切り替えるこ
とができる為、加工中に段差を生じる不都合を排
除している。
なお先に説明した従来技術の装置は、本装置か
ら補正回路４を取り除いたものに相当する。
ら補正回路４を取り除いたものに相当する。
次に上記実施例の補正法に就いて説明する。先
ず、第１図の補正回路を除いた状態で、第３図に
示すようなマス目加工１７を行う。マス目からた
とえばx0，x1，……，x16の位置データを読取り、
グラフ化する。直線性が悪い場合、第４図のよう
なグラフが得られる。ここでは５mmピツチで補正
するとして、図中の１９のような階段状グラフか
ら補正データが得られる。１８は補正前のエラー
曲線である。ここに、ei＝xi′（実測値）−xi（入力
値）である。第３図からマス目の各交点の位置デ
ータのずれから補正データを求め、そのデータを
ROM４ａ，４ｂに書き込む。
ず、第１図の補正回路を除いた状態で、第３図に
示すようなマス目加工１７を行う。マス目からた
とえばx0，x1，……，x16の位置データを読取り、
グラフ化する。直線性が悪い場合、第４図のよう
なグラフが得られる。ここでは５mmピツチで補正
するとして、図中の１９のような階段状グラフか
ら補正データが得られる。１８は補正前のエラー
曲線である。ここに、ei＝xi′（実測値）−xi（入力
値）である。第３図からマス目の各交点の位置デ
ータのずれから補正データを求め、そのデータを
ROM４ａ，４ｂに書き込む。
以上の作業が正しく行われれば、第５図に示す
ような補正後のエラー曲線が得られ、位置精度が
Enax＜enaxと大きく改善されることが分かる。
ような補正後のエラー曲線が得られ、位置精度が
Enax＜enaxと大きく改善されることが分かる。
次に上記の実施例の補正を行わない場合につい
て説明すると、先に簡単に触れたように、加工中
には「補正無し」に切り替えて段差の発生を排除
する必要がある。もしも加工中にも補正回路４を
「補正有り」のままにして置くと、第５図に示す
ように、補正前エラー値２０上の各マス目の境界
の位置データの切替え点（多数の下向きの矢印で
示す）に、入力に対する出力の不連続点が生じ
る。例えば加工が図で左側から右側に移る場合、
左半分の矢印の部分では加工位置が一瞬戻るの
で、その戻つた部分だけ加工が深くなり、又、右
半分の矢印の部分では加工位置が一瞬飛ぶので、
その飛んだ部分だけ加工が行われなくなる。
て説明すると、先に簡単に触れたように、加工中
には「補正無し」に切り替えて段差の発生を排除
する必要がある。もしも加工中にも補正回路４を
「補正有り」のままにして置くと、第５図に示す
ように、補正前エラー値２０上の各マス目の境界
の位置データの切替え点（多数の下向きの矢印で
示す）に、入力に対する出力の不連続点が生じ
る。例えば加工が図で左側から右側に移る場合、
左半分の矢印の部分では加工位置が一瞬戻るの
で、その戻つた部分だけ加工が深くなり、又、右
半分の矢印の部分では加工位置が一瞬飛ぶので、
その飛んだ部分だけ加工が行われなくなる。
第６図は本考案の第２の実施例の制御回路がコ
ンピユータに直接接続されている場合の構成の一
部を示す図である。第１図のROMを２つの
RAM２１ａ，２１ｂに置き換えることにより、
保守上ガルバノメータを交換した場合のように、
補正データを書き換えたい時にプログラマブルに
出来る。
ンピユータに直接接続されている場合の構成の一
部を示す図である。第１図のROMを２つの
RAM２１ａ，２１ｂに置き換えることにより、
保守上ガルバノメータを交換した場合のように、
補正データを書き換えたい時にプログラマブルに
出来る。
［考案の効果］
以上説明したように、本考案によれば、マス目
加工から位置データのずれを求め、補正データヲ
算出してメモリに書き込むことにより、ガルバノ
メータの非直線性のみならず、スキヤン歪み、集
光レンズ等のずれも補正でき、ビームポジシヨナ
の位置精度を大巾に向上できる効果がある。また
同時に、補正後エラー値の幅を決めれば、ビーム
ポジシヨナの装置間の差をなくせると言う２次効
果も得られる。
加工から位置データのずれを求め、補正データヲ
算出してメモリに書き込むことにより、ガルバノ
メータの非直線性のみならず、スキヤン歪み、集
光レンズ等のずれも補正でき、ビームポジシヨナ
の位置精度を大巾に向上できる効果がある。また
同時に、補正後エラー値の幅を決めれば、ビーム
ポジシヨナの装置間の差をなくせると言う２次効
果も得られる。
第１図は本考案の第１の実施例であるビームポ
ジシヨナの制御回路の構成を示す図、第２図はビ
ームポジシヨナの構成図、第３図は補正データを
求めるためのマス目加工図、第４図は補正前の位
置エラー曲線を示す図、第５図は補正後の位置エ
ラー曲線を示す図、第６図は本考案の第２の実施
例の構成の一部を示す図である。 記号の説明：１ａ，１ｂはＤ／Ａ変換器、２
ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ、は増幅器、４は補正回
路、４ａ，４ｂはROM、５ａ，５ｂはＤ／Ａ変
換器、６ａ，６ｂは増幅器、１０ａはＸ軸ミラ
ー、１０ｂはＹ軸ミラー、１１はビームポジシヨ
ナ、１５は駆動部、１６は制御部をそれぞれ表し
ている。
ジシヨナの制御回路の構成を示す図、第２図はビ
ームポジシヨナの構成図、第３図は補正データを
求めるためのマス目加工図、第４図は補正前の位
置エラー曲線を示す図、第５図は補正後の位置エ
ラー曲線を示す図、第６図は本考案の第２の実施
例の構成の一部を示す図である。 記号の説明：１ａ，１ｂはＤ／Ａ変換器、２
ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ、は増幅器、４は補正回
路、４ａ，４ｂはROM、５ａ，５ｂはＤ／Ａ変
換器、６ａ，６ｂは増幅器、１０ａはＸ軸ミラ
ー、１０ｂはＹ軸ミラー、１１はビームポジシヨ
ナ、１５は駆動部、１６は制御部をそれぞれ表し
ている。
Claims (1)
- ガルバノメータを使用した２次元走査型ビーム
ポジシヨナ用制御回路において、位置データを電
圧信号に変換するＤ／Ａ変換器と、前記位置デー
タに対する補正データが書き込まれたメモリ回路
と、前記補正データを電圧信号に変換するＤ／Ａ
変換器と、前記両方のＤ／Ａ変換器の出力信号を
加算する加算回路と、補正有無を切換える回路と
を具備することを特徴とするビームポジシヨナ用
制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989008895U JPH0511036Y2 (ja) | 1989-01-28 | 1989-01-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989008895U JPH0511036Y2 (ja) | 1989-01-28 | 1989-01-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02104190U JPH02104190U (ja) | 1990-08-20 |
| JPH0511036Y2 true JPH0511036Y2 (ja) | 1993-03-17 |
Family
ID=31215161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989008895U Expired - Lifetime JPH0511036Y2 (ja) | 1989-01-28 | 1989-01-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511036Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63141019A (ja) * | 1986-12-03 | 1988-06-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学走査装置のレンズひずみ補正方法 |
-
1989
- 1989-01-28 JP JP1989008895U patent/JPH0511036Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02104190U (ja) | 1990-08-20 |
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