JPH05111236A - リニアパルスモータの可動子磁極歯加工方法 - Google Patents
リニアパルスモータの可動子磁極歯加工方法Info
- Publication number
- JPH05111236A JPH05111236A JP26664291A JP26664291A JPH05111236A JP H05111236 A JPH05111236 A JP H05111236A JP 26664291 A JP26664291 A JP 26664291A JP 26664291 A JP26664291 A JP 26664291A JP H05111236 A JPH05111236 A JP H05111236A
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- JP
- Japan
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- magnetic pole
- pulse motor
- linear pulse
- pole teeth
- movable element
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】鉄鋼板１の表面に図１（ａ）に示すレジストフ
ィルム５でマスキングを施し、第１のエッチング加工に
より図３に示すリニアパレスモータの可動子磁極歯６と
位置決め用の４個の穴４とを形成する第１の工程と、図
１（ｂ）に示す可動子磁極歯６の凸部に図１（ｃ）に示
す第２のマスキングを位置決め用の穴４により施し、第
２のエッチング加工を行う第２の工程とを有する。 【効果】可動子磁極歯の寸法と形状とを誤差なく形成す
ることがある。
ィルム５でマスキングを施し、第１のエッチング加工に
より図３に示すリニアパレスモータの可動子磁極歯６と
位置決め用の４個の穴４とを形成する第１の工程と、図
１（ｂ）に示す可動子磁極歯６の凸部に図１（ｃ）に示
す第２のマスキングを位置決め用の穴４により施し、第
２のエッチング加工を行う第２の工程とを有する。 【効果】可動子磁極歯の寸法と形状とを誤差なく形成す
ることがある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリニアパルスモータの可
動子磁極歯加工方法に関する。
動子磁極歯加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のリニアパルスモータの可動子磁極
歯加工方法は、磁極歯となる部分をマスキングしてエッ
チングにより必要な歯幅及び溝深さになるまで腐食を行
い磁極歯を形成していた。
歯加工方法は、磁極歯となる部分をマスキングしてエッ
チングにより必要な歯幅及び溝深さになるまで腐食を行
い磁極歯を形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のリニアパル
スモータの可動子磁極歯加工方法では、エッチングによ
って０．４〜０．５ｍ／ｍ程度の深い溝形状に形成する
ので、エッチング時間が長くなりサイドエッチングも進
行するので、磁極歯の歯幅を規定の寸法にすることが困
難であり、かつ、歯端部のテーパーが大きくなって磁束
が拡散するという問題点があった。
スモータの可動子磁極歯加工方法では、エッチングによ
って０．４〜０．５ｍ／ｍ程度の深い溝形状に形成する
ので、エッチング時間が長くなりサイドエッチングも進
行するので、磁極歯の歯幅を規定の寸法にすることが困
難であり、かつ、歯端部のテーパーが大きくなって磁束
が拡散するという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のリニアパルスモ
ータの可動子磁極歯加工方法は、鉄鋼板の表面に第１の
マスキングを施し、第１のエッチング加工によりリニア
パルスモータの可動子磁極歯と位置決め用の穴とを形成
する第１の工程と、前記可動子磁極歯の凸部に第２のマ
スキングを前記位置決め用の穴により施し、第２のエッ
チング加工を行う第２の工程とを有する。
ータの可動子磁極歯加工方法は、鉄鋼板の表面に第１の
マスキングを施し、第１のエッチング加工によりリニア
パルスモータの可動子磁極歯と位置決め用の穴とを形成
する第１の工程と、前記可動子磁極歯の凸部に第２のマ
スキングを前記位置決め用の穴により施し、第２のエッ
チング加工を行う第２の工程とを有する。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面の参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の斜視図（ａ）及び側面図
（ｂ），（ｃ）であり、図２は本実施例により形成され
た平面図（ａ）及び平面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。
る。図１は本発明の一実施例の斜視図（ａ）及び側面図
（ｂ），（ｃ）であり、図２は本実施例により形成され
た平面図（ａ）及び平面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。
【０００６】本実施例は、図１（ａ）において、鉄鋼板
１の表面にレジストフィルム５でマスキングを施し、第
１のエッチング加工により図３に示すリニアパルスモー
タの可動子磁極歯６と位置決め用の４個の穴４とを形成
する第１の工程と、図１（ｂ）に示す可動子磁極歯６の
凸部に図１（ｃ）に示す第２のマスキングを位置決め用
の穴４により施し、第２のエッチング加工を行う第２の
工程とを有する。
１の表面にレジストフィルム５でマスキングを施し、第
１のエッチング加工により図３に示すリニアパルスモー
タの可動子磁極歯６と位置決め用の４個の穴４とを形成
する第１の工程と、図１（ｂ）に示す可動子磁極歯６の
凸部に図１（ｃ）に示す第２のマスキングを位置決め用
の穴４により施し、第２のエッチング加工を行う第２の
工程とを有する。
【０００７】このようにると、図１（ａ）に示す鉄鋼板
１の上に磁極歯の溝部となる部分２と可動子の外形部分
３の他に位置決めを行う穴４となる部分以外を全てレジ
ストフィルム５でマスキングした後にエッチング加工で
必要な溝深さになるまで腐食を行う。この状態での断面
形状を図１（ｂ）に示す。マスキングフィルムを剥離し
た後に図１（ｃ）に示すように位置決め穴４を基準とし
て再度、磁極歯となる部分６よりもマスク幅の狭い（最
終仕上げ寸法に近い幅）のレジストフィルムを作成し、
エッチング加工により歯端部のテーパー部を腐食するこ
とにより図２に示す目的とする形状の磁極歯形状が得ら
れる。
１の上に磁極歯の溝部となる部分２と可動子の外形部分
３の他に位置決めを行う穴４となる部分以外を全てレジ
ストフィルム５でマスキングした後にエッチング加工で
必要な溝深さになるまで腐食を行う。この状態での断面
形状を図１（ｂ）に示す。マスキングフィルムを剥離し
た後に図１（ｃ）に示すように位置決め穴４を基準とし
て再度、磁極歯となる部分６よりもマスク幅の狭い（最
終仕上げ寸法に近い幅）のレジストフィルムを作成し、
エッチング加工により歯端部のテーパー部を腐食するこ
とにより図２に示す目的とする形状の磁極歯形状が得ら
れる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、鉄鋼板の
表面に第１のマスキングを施し、第１のエッチング加工
によりリニアパルスモータの可動子磁極歯と位置決め用
の穴とを形成する第１の工程と、可動子磁極歯の凸部に
第２のマスキングを位置決め用の穴により施し、第２の
エッチング加工を行う第２の工程とを有することによ
り、可動子磁極歯の歯幅を規定の寸法に誤差なく加工で
き、歯形状も理想とする形状に近づけることができると
いう効果を有する。
表面に第１のマスキングを施し、第１のエッチング加工
によりリニアパルスモータの可動子磁極歯と位置決め用
の穴とを形成する第１の工程と、可動子磁極歯の凸部に
第２のマスキングを位置決め用の穴により施し、第２の
エッチング加工を行う第２の工程とを有することによ
り、可動子磁極歯の歯幅を規定の寸法に誤差なく加工で
き、歯形状も理想とする形状に近づけることができると
いう効果を有する。
【図１】本発明の一実施例の斜視図（ａ）及び側面図
（ｂ），（ｃ）である。
（ｂ），（ｃ）である。
【図２】本実施例により形成された平面図（ａ）及び平
面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
１ 鉄鋼板（エッチング母材） ２ 磁極歯の溝部 ３ 可動子外形部 ４ 位置決め用穴部 ５ レジストフィルム ６ 磁極歯
Claims (1)
- 【請求項１】 鉄鋼板の表面に第１のマスキングを施
し、第１のエッチング加工によりリニアパルスモータの
可動子磁極歯と位置決め用の穴とを形成する第１の工程
と、前記可動子磁極歯の凸部に第２のマスキングを前記
位置決め用の穴により施し、第２のエッチング加工を行
う第２の工程とを有することを特徴とするリニアパルス
モータの可動子磁極歯加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26664291A JPH05111236A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | リニアパルスモータの可動子磁極歯加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26664291A JPH05111236A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | リニアパルスモータの可動子磁極歯加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05111236A true JPH05111236A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17433666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26664291A Pending JPH05111236A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | リニアパルスモータの可動子磁極歯加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05111236A (ja) |
-
1991
- 1991-10-16 JP JP26664291A patent/JPH05111236A/ja active Pending
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