JPH0470876B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、圧電素子を用いた往復動型または
回転型等の圧電駆動装置に関するものである。

〔背景技術〕

従来、圧電素子を用いた超音波モータとして、
特公昭59−037672号公報に示されるものがある。
これは、圧電素子を振動体に貼りつけて縦振動を
発生させ、振動体の先端部に傾きを持つた駆動片
を形成し、その先端部が前記縦振動によつて楕円
運動を行い、円板と接触することにより、摩擦力
により円板を回転させるものである。

しかし、この従来構造であると、回転方向が駆
動片の傾き方向によつて決まつてしまい、また駆
動片の先端部は細く、摩擦のために摩耗も大き
く、寿命的にも問題がある。

また、他の従来例として、特開昭58−148682号
公報に示されるものがある。この例は、圧電素子
の全体振動を振動体に伝え、一方の波形をもう一
方の波形と90°位相をずらせて振動させることに
より、振動体表面に進行波を発生させ、その上に
ロータを接触させることにより、摩擦でロータを
回転させるものである。

この例によると、逆転も可能であるが、常に振
動子全体にエネルギを与える必要があり、しかも
圧電素子の振動体に貼着された面と反対側の面の
振動は吸収してやる必要がある。このためエネル
ギロスが大きく、効率向上に難がある。また、リ
ニアモータの形成には進行波を循環させる方策を
取らなければ、エネルギロスが大きすぎて問題に
成らず、その循環方法も極めて難しい。

〔発明の目的〕

この発明は、低消費電力で効率良く機械的駆動
力を得ることができ、かつ接触点が多点化されて
摩耗が軽減され、また安定駆動が可能な圧電駆動
装置を提供することを目的とする。

〔発明の開示〕

この発明の圧電駆動装置は、図の符号を引用し
て説明すると、振動子１と、電源装置５と、被接
触部材６とを有する圧電駆動装置であつて、 前記振動子１は弾性を有する材料によりコ字状
およびロの字状のいずれかの形状に形成され、か
つ一対の対向辺３の断面形状が各々ほぼ方形に形
成され、それぞれ少なくとも隣合う２面に圧電素
子部４を有してなり、 前記電源装置５は前記各対向辺３の隣合う圧電
素子部４に位相差を持たせて高周波電圧を印加す
ることにより前記各対向辺３の最大振幅部を円ま
たは楕円運動させるものであり、 前記被接触部材６は前記振動子１の対向辺３と
接触するものであり、 前記振動子１の前記対向辺３の最大振動部と前
記被接触部材６の前記対向辺３と接触する部分の
少なくとも一部とのいずれか一方を永久磁石７と
し、他方を磁性体とし、 さらに前記被接触部材６または振動子１のいず
れかを移動可能としたものである。

前記圧電素子部は、前記振動子に圧電素子を貼
着して形成したものあつても、また前記振動子を
圧電材料にて形成して、この圧電材料に直接に電
極を形成したものであつてもよい。

この発明の構成によると、振動子の各対向辺の
隣合う２面に設けた圧電素子部に位相差を持つた
高周波電圧を印加するので、各対向辺は最大振幅
点が円または楕円運動をする。この対向辺の１面
に被接触部材が接触するので、摩擦力でこの被接
触部材または振動子のいずれかが駆動され、機械
的駆動力が得られる。

この場合に、各振動体はコ字状またはロ字状と
してあるので、その両対向辺が互いに共振し、大
きな振幅が得られる。そのため、電気的エネルギ
を効率良く機械的駆動力に変換できる。

また、振動子と被接触部材とが永久磁石と磁性
体とで接するようにしているので、磁力により両
者の間に安定した接触力が得られ、前記摩擦力に
よる駆動が確実となる。しかも、振動子の円また
は楕円運動に伴なつて磁力による移動力が前記摩
擦力による進行方向と同方向に与えられる。その
ため、摩擦力と磁力とが加わつた駆動力が得られ
ることになり、効率の良い駆動ができる。しか
も、永久磁石を設けたという簡単な構造で、この
効率向上が図れる。

さらに、振動子の共振は、２本の対向辺が連続
した基端部において非振動状態となるように行わ
れるので、基端部を支持部とすることにより、支
持によつて振動を妨げることがなく、このことか
らも高効率が得られる。また、このように振動子
に振動しない箇所があることから、振動子と被接
触部材のいずれを固定側としても可動側としても
用いることができる。さらに、振動子は２本の対
向辺を有し、この部分で被接触部材に接するの
で、接触点が多点化される。そのため、摩耗が軽
減され、かつ安定した駆動が可能となる。

実施例 この発明の第１の実施例を第１図ないし第６図
に基づいて説明する。この圧電駆動装置は、リニ
アモータに適用した例であり、金属弾性材料の振
動部材２により振動子１を形成している。すなわ
ち、この圧電駆動装置は、コ字状に形成されて断
面形状が各々方形である一対の対向辺３の隣合う
２面に圧電素子を貼着して圧電素子部４が形成さ
れ、この圧電素子部４に所定の高周波電圧が印加
されると対向辺３が屈曲振動により共振する振動
子１と、各対向辺３の隣合う圧電素子部４に位相
差を持たせて高周波電圧を印加する電源装置５
と、振動子１の対向辺３の各１面に設けた永久磁
石７と、この永久磁石７と接触せしめられる磁性
体よりなる被接所部材６とを備え、振動子１の対
向辺３の最大振幅点が円または楕円運動をするこ
とにより、被接触部材６または振動子１のいずれ
かが駆動されるものである。この場合、永久磁石
７の円または楕円運動によつて被接触部材６との
間に磁束の変化が生じ、円または楕円運動に伴な
つて接触および磁力により駆動される。また、振
動子１と被接触部材６との間に磁力で接触力が得
られる。

振動部材２はエリンバ等の恒弾性体を用いてい
るが、精度や大振幅が不要のときは、一般の鋼材
を用いても良く、またその他の金属やセラミツク
等を用いることもできる。振動部材２が磁性体で
あれば、磁束の変化量が大きく、駆動効率が向上
する。振動子１の各対向辺３の断面形状は方形で
あるが、各角部に面取りを施して８角形状の断面
形状としてもよく、また面取りの代りに角部を丸
めてもよい。要は、対向辺３は互いに直角に隣合
う４面を有する断面形状であればよい。振動子１
の基端部２ａは、固定しても振動に影響を与えな
い長さをとり、第２図のように基台２１に固定し
てある。基台２１に対し、被接触部材６は相対的
に第１図の矢印Ｐ方向へ進退移動自在にガイド手
段（図示せず）で支持してある。被接触部材６
は、対抗辺３の圧電素子部４が貼着されていない
各１面における先端部であるＸ点およびＹ点（第
４図Ｂ）に接するように配置してある。なお、必
ずしも先端部に接するようにしなくてもよい。ま
た、被接触部材６は、対抗辺３の圧電素子部４が
貼着された１面における圧電素子部４の貼着され
ていない部分に接触するようにしてもよい。さら
に、振動子１は、一対の対抗辺３の３面または４
面に圧電素子部４を貼着し、対向辺３の圧電素子
部４が貼着されていない１面、または圧電素子部
４が貼着された１面における圧電素子部４の貼着
されていない部分に被接触部材６が接するように
してもよい。これらの例において、対向辺３の圧
電素子部４は貼着された面に、絶縁部材を介して
被接触部材６が接するようにしてもよい。

電源装置５は、第６図に示すように高周波電源
８と90°位相器９とを有し、各圧電素子部４（４₁
〜４₄）に同図のように電圧を印加する。同図の
＋、−の符号は分極方向を示す。

動 作 振動体２の２本の対向辺３の各圧電素子部４₁
〜４₄に、第６図の電源装置５で高周波電圧を印
加して励振すると、各対向辺３はそれぞれの圧電
素子部４₁〜４₄の励振に従つて縦および横方向に
振動する。このとき圧電素子部４₂，４₄には圧電
素子部４₁，４₃よりも90°位相を遅らせた電圧を
印加すると、振動子１の対向辺３の先端部のＸ
点、Ｙ点は、第５図の様な円または楕円軌道を描
いて運動する。したがつて、対向辺３の１面に被
接触部材６が接触するように配置してあると、被
接触部材６は矢印Ｐ方向に直線的に移動する。Ｘ
点、Ｙ点の楕円軌道の偏平度は、対向辺３の曲げ
方向による曲げ剛性の違いや、各圧電素子部４₁
〜４₄に印加する電圧の大きさ、位相差等により
調整できる。

圧電素子部４₂，４₄に90°進み位相の電圧を印
加すれば、第５図と反対回りの軌道を描くことに
なり、被接触部材６は矢印Ｐと逆方向に移動す
る。

この時、振動子の先端部の永久磁石７と磁性体
よりなる被接触部材６は、互いに吸引し合つて一
定の接触力を維持し、さらに振動子１の円または
楕円運動に従つて永久磁石７の磁束変化により被
接触部材６が移動する。すなわち、前記接触力に
よる摩擦駆動力と磁力による駆動力とを加えた駆
動力を得ることができる。

このように動作するが、各振動子１はコ字状と
してあるので、その両対向辺３が互いに共振し、
大きな振幅が得られる。そのため、電気的エネル
ギを効率良く機械的駆動力に変換できる。また、
振動子１の共振は、２本の対向辺３が連続した基
端部２ａにおいて第３図Ａのように非振動状態と
なるように行われるので、基端部２ａを支持部と
することにより、支持によつて振動を妨げること
がなく、このことからも高効率が得られる。ま
た、このように振動子１に振動しない箇所がある
ことから、振動子１と被接触部材６のいずれを固
定側としても可動側としても用いることができ
る。さらに、振動子１は２本の対向辺３を有し、
この部分で被接触部材６に接するので、接触点が
多点化される。そのため、摩耗が軽減され、かつ
安定した駆動が可能となる。

この実施例では、対向辺３を第３図Ａのように
１次モードで振動させる場合につき説明したが、
第３図Ｂ，Ｃに示すように、２次モードや３次モ
ード等、高次モードで振動させると、対向辺３の
被接触部材６に対する接触点をより一層多くでき
る。これにより、接触点における摩耗をより一層
少なくし、かつ動作の安定を図ることができる。
１次モードは、対向辺３の長手方向につき、１枚
の圧電素子部４を貼り付けた場合に発生する。２
次モードは、この１枚の圧電素子部４を長手方向
に２分割し、分極方向を反対にして貼付けたとき
に発生する。３次モードは、１枚の圧電素子部４
を長手方向に３分割し、中央の分割圧電素子と両
側の分割圧電素子の分極方向を反対として貼り付
け、各分割圧電素子の同一面側の電極を共通とし
て同一の電圧を印加したときに発する振幅モード
を示す。

なお、第１図ないし第６図に示した第１の実施
例では、振動子１側に永久磁石７を設け、被接触
部材６を磁性体としたが、この逆に被接触部材６
を永久磁石とし、振動子１を単に磁性体としても
よい。前記磁性体は永久磁石を含むものであり、
被接触部材６と振動子１の両方を永久磁石として
もよい。

第７図以下に説明する各実施例においても、被
接触部材と振動子のいずれを永久磁石としてもよ
い。要は、振動子の対向辺の最大振幅部と振動子
の前記対向辺と接触する部分の少なくとも一部と
のいずれか一方を永久磁石とし、他方を磁性体と
してあればよい。

第７図は、１個のコ字状の振動部材２からなる
振動子１を用いて回転モータとした実施例を示
す。永久磁石よりなる被接触部材１６は円板状に
形成し、その軸１８を軸受１９で基台１７に回転
自在に支持してある。磁性体よりなる振動子１
は、基端部２ａで基台１７の立片部分に固定して
ある。振動子１の２本の対向辺３は被接触部材１
６と平行に配置し、その先端部が被接触部材１６
の外周縁に位置するようにする。対向辺３の先端
には摩擦片２０をつけ、２本の振動子３が同方向
に円運動するように振動させ、被接触部材１６が
回転するようにしてある。その他は第１の実施例
と同様である。

第８図および第９図は、２個のコ字状の磁性体
よりなる振動部材２を間隔を開けて重合的に配置
し、上下の振動部材２の間に永久磁石よりなる被
接触部材６′を配置したものである、上下の振動
子１は互いに基端部２ａでスペーサ（図示せず）
を介して重ね合わせてある。なお、スペーサを用
いずに基台（図示せず）に各振動子１を個別に取
付けてもよい。振動子１０１の対向辺３の各点
ｍ，ｎ，ｐ，ｑは、圧電素子部４により第９図の
ように振動させられ、被接触部材６′は上下両面
で各対向辺３に接して直進駆動させる。この場
合、２個の振動子１で駆動するので、より一層大
出力の駆動力が得られ、かつ動作が安定する。そ
の他は、第１の実施例と同様である。両振動部材
２は、第１０図のように基端部２a′で互いに一体
化させ、１個の振動子１′としてもよい。

第１１図は、２個のコ字状の振動体２を互いに
反対向きとして一体のＨ形の振動子１″を構成し
た例である。この振動子１″は、例えば第１２図
のように用いる。すなわち、磁性体よりなる振動
子１′の中心部に軸３１を固定し、軸３１は基台
３７に固定し、軸受３８の装着された円板状の永
久磁石よりなる接触部材３６を軸３１に嵌めて回
転自在とし、４本の対向辺３の先端を被接触部材
３６の外周縁に配置する。そして、各圧電素子部
４により、４本の対向辺３の先端が同じ方向に円
運動するように撓ませることにより、被接触部材
３６が回転し、回転型のモータを構成する。その
他は第１の実施例と同様である。

第１３図ないし第１５図は、１個のロ字状の振
動部材１０２からなる振動子１０１を用いた実施
例を示す。この例では、１次モードの振動とした
場合、対向辺１０３の中央部の点が円または楕円
運動し、その平面部に被接触部材１０６を接触さ
せると、中央部の円または楕円運動により、被接
触部材１０６は移動することになる。被接触部材
１０６は矢印Ｑ方向に直接的に進退自在に支持し
てリニアモータとすることもでき、また被接触部
材１０６を回転自在に支持して回転型モータとす
ることもできる。この例の場合、１次モードでは
第１５図Ａのような振動となり、２次モードおよ
び３次モードではそれぞれ第１５図Ｂ，Ｃのよう
な振動となる。１２１は、基台である。圧電素子
部４の分極方法は前述の同様である。その他の構
成効果は第１の実施例と同様である。

第１６図および第１７図は、ロ字状の磁性体よ
りなる振動子１０１を、スペーサ１０５を介して
２枚重合的に配置し、両振動子１０１の間に永久
磁石よりなる被接触部材１０６を矢印Ｑ方向に直
線的に進退自在に配置したものである。４本の対
向辺１０３は第９図の運動をするように圧電素子
部４を取付ける。その他は第１の実施例と同様で
ある。

なお、前記各実施例では、対向辺３，１０３の
隣り合う２面のみに圧電素子部４を貼り付けた
が、３面に圧電素子部４を貼り付けても、また４
面に貼付けてもよい。３面に貼付けた場合は、残
りの１面に被接触部材６，６′，１０６を接触さ
せるようにすることが望ましい。４面に貼付けた
場合は、絶縁部材を介して対向辺３と被接触部材
６，６′，１０６とを接触させることが望ましい。
絶縁部材は６，６′，１０６側に設けても、対向
辺３側に設けてもよい。

第１８図ないし第２０図は、各々振動子４０１
〜４０１″を圧電材料で形成し、直接に圧電素子
部４０４〜４０４″を形成した実施例を示す。圧
電材料としては、PZT（ジルコンチタン酸鉛磁
器）等の圧電セラミツク、または圧電セラミツク
とプラスチツクとの複合圧電材料等が用いられ
る。なお、これら圧電材料は磁性を有しないが、
プラスチツクと磁性材料との混合物に内電セラミ
ツクスを混合した材料で形成し、振動子４０１〜
４０１″の全体に磁性体としての特徴を持たせて
も良い。また、磁性材料を混合する代わりに、振
動子４０１〜４０１″に後述のように設ける各電
極を磁性材料で形成し、振動子４０１〜４０１″
に磁性体としての効果を持たせても良い。

第１８図の例は、振動子４０１を１個のコ字形
振動部材４０２からなるものとし、方形断面形状
の対向辺４０３の隣り合う２面に、１次モードの
縦効果を利用した圧電素子部４０４を直接に形成
したものである。各圧電素子部４０４は、対向辺
４０４の長手方向と垂直な複数本の電極a₁，b₁を
前記長手方向に配列し、これら１本おきの電極
a₁，b₁どうしを接続部a₂，b₂で接続して２組の電
極組ａ，ｂを形成する。すなわち、電極a₁，b₁を
横方向に交差指状に設ける。これら２組の電極組
ａ，ｂ間に直流電圧を印加して、分極処理を施
す、図の＋，−は分極の極性を示す。このように
分極処理して、第６図の電源装置５と同様な電源
装置により高周波電圧を印加すれば、対向辺４０
３は圧電素子部４０４の主として圧電縦効果によ
る伸縮が生じ、屈曲振動を行う。また、対向辺４
０３の隣合う２面の圧電素子部４０４に位相差を
持つ電圧を印加すれば、対向辺４０３の先端は円
または楕円運動を行う。なお、各圧電素子部４０
４の電極a₁，b₁は２本だけでもよい。

第１９図の例は、対向辺４０３′の隣り合う２
面に、圧電横効果を利用し圧電素子部４０４′を
形成したものである。この例では、電極ｃ，ｄは
縦方向の交差指状に設ける。すなわち、各圧電素
子部４０４′は、対向辺４０３′の長手方向に沿つ
て２本または多数本の平行な電極ｃ，ｄからなる
交差指電極を形成する。この電極ｃ，ｄ間に直流
電圧を印加して分極処理を施す。図の＋，−は分
極の極性を示す。このように分極処理して電極
ｃ，ｄ間に高周波電圧を印加すれば、対向辺４０
３′は圧電素子部４０４′の圧電横効果による伸縮
を生じ屈曲振動を行う。その他の構成作用は、第
１８図の実施例と同様である。

第２０図の例は、振動子４０１″が１個のロ字
状の振動部材４０２″の２次の屈曲モードを利用
する実施例で、各対向辺４０３″の隣合う２面の
各々に圧電横効果を利用した圧電素子部４０４″
を２個づつ形成したものである。すなわち、対向
辺４０３″に長手方向中央部の両側に位置して、
長手方向に沿う電極ｅ，ｆを２本ずつ平行に４本
設け、平行な２本ずつ１組としてこの２本の間に
直流電圧を印加して分極処理する、このとき、１
組目の電極ｅ，ｆと２組目の電極ｅ，ｆとは極性
を反対にして分極し、同相の高周波電圧を印加す
るかまたは、分極を同一方向とし反対の極性を高
周波電圧を印加する。

これら第１８図ないし第２０図の振動子４０１
〜４０１″を用いて前記各実施例と同様に接触部
材６，３６等と組合せることにより、往復動型ま
たは回転型等の圧電駆動装置が構成される。

なお、これら第１８図ないし第２０図の例の同
様に、第１０図、第１１図、第１６図の例のよう
に振動子が複数個の振動部材からなるものにおい
ても、振動子を圧電材料で形成して直接に電極を
形成することもできる。

また、貼付けの場合と同様に、対向辺４０３〜
４０３″の３面または４面に圧電素子部４０４〜
４０４″を設けることもでき、さらに高次モード
で対向辺４０３〜４０３″を振動させるように構
成することもできる。

このように、振動子４０１〜４０１″に圧電セ
ラミツク等の圧電材料を用いて振動子４０１〜４
０１″に圧素電子部４０４〜４０４″を直接に形成
することにより、圧電素子の貼着が省略でき、接
着層がないことから性能の安定が図れる。また、
圧電素子を貼付けたものと異なり、貼付け誤差に
よる特性のばらつきがなく、かつ工数に削減され
生産性が向上する。しかも、形状的にも複雑なも
のが可能となり、コスト面および性能面で有利な
圧電駆動装置が構成できる。

〔発明の効果〕

この発明の圧電駆動装置は、振動子をコ字状ま
たはロ字状としてあるので、その両対向辺が互い
に共振し、大きな振幅が得られる。しかも、振動
子と被接触部材との間に永久磁石と磁性体を設け
ているので、一定の接触力が極めて簡易に得ら
れ、さらに磁力による駆動力の増加があり、その
ため、電気的エネルギを効率良く機械的駆動力に
変換できる。

また、振動子の共振は、２本の対向辺が連続し
た基端部において非振動状態となるように行われ
るので、基端部を支持部とすることにより、支持
によつて振動を妨げることがなく、このことから
も高効率が得られる。また、このように振動子に
振動しない箇所があることから、振動子と被接触
部材のいずれかを固定側としても可動側としても
用いることができる。さらに、振動子は２本の対
向辺を有し、この部分で被接触部材に接するの
で、接触点が多点化される。そのため、摩耗が軽
減され、かつ安定した駆動が可能となるという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図
はその破断側面図、第３図は同じくその振動モー
ドの説明図、第４図Ａは同じくその振動子の平面
図、第４図Ｂは同じくその正面図、第５図は同じ
くその動作説明図、第６図ば同じくその電源装置
のブロツク図、第７図Ａ，Ｂはそれぞれ他の実施
例の平面図および破断側面図、第８図Ａはさらに
他の実施例の平面図、第８図Ｂはその正面図、第
９図は同じくその動作説明図、第１０図はさらに
他の実施例の振動子の斜視図、第１１図はさらに
他の実施例の振動子の斜視図、第１２図Ａ，Ｂは
それぞれその全体の破断平面図および縦断側面
図、第１３図はさらに他の実施例の斜視図、第１
４図はその破断側面図、第１５図は同じくその振
動モードの説明図、第１６図はさらに他の実施例
の振動子の斜視図、第１７図はその全体の斜視
図、第１８図ないし第２０図はそれぞれ互いに異
なるさらに他の実施例における振動子の斜視図で
ある。 １，１′，１″，１０１，４０１〜４０１″……
振動子、２，１０２，４０２，４０２′，４０
２″……振動部材、３，１０３，３０３，３０
３′，３０３″……対向辺、４，４₁〜４_4，４０
４，４０４′，４０４″……圧電素子部、５……電
源装置置、６，６′，１６，１０６，２０６，３
０６……被接触部材、７……永久磁石。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 振動子１と、電源装置５と、被接触部材６と
   を有する圧電駆動装置であつて、 前記振動子１は弾性を有する材料によりコ字状
   および口の字状のいずれかの形状に形成され、か
   つ一対の対向辺３の断面形状が各々ほぼ方形に形
   成され、それぞれ少なくとも隣合う２面に圧電素
   子部４を有してなり、 前記電源装置５は前記各対向辺３の隣合う圧電
   素子部４に位相差を持たせて高周波電圧を印加す
   ることにより前記各対向辺３の最大振幅部を円ま
   たは楕円運動させるものであり、 前記被接触部材６は前記振動子１の対向辺３と
   接触するものであり、 前記振動子１の前記対向辺３の最大振幅部と前
   記被接続部材６の前記対向辺３と接触する部分の
   少なくとも一部とのいずれか一方を永久磁石７と
   し、地方を磁性体とし、 さらに前記被接触部材６または振動子１のいず
   れかが移動可能である圧電駆動装置。 ２ 前記圧電素子部は、前記振動子に圧電素子を
   貼着して形成される特許請求の範囲第１項記載の
   圧電駆動装置。 ３ 前記振動子は圧電セラミツクで構成し、前記
   圧電素子部はこの圧電セラミツクに駆動用電極を
   直接形成してなる特許請求の範囲第１項記載の圧
   電駆動装置。 ４ 前記振動子は、１個の振動部材からなる特許
   請求の範囲第２項または第３項記載の圧電駆動装
   置。 ５ 前記振動子は、２個の振動部材からなる特許
   請求の範囲第２項または第３項記載の圧電駆動装
   置。 ６ 前記２個の振動子は、所定の間隔を介在させ
   て重合的に配設され、前記被接触部材が前記振動
   子の２対の対向辺に接触される特許請求の範囲第
   ５項記載の圧電駆動装置。 ７ 前記２個の振動子は、個々の前記振動部材が
   コ字状をなすものであつてＨ型に配設され、前記
   被接触部材が前記振動子の２対の対向辺に接触さ
   れている特許請求の範囲第５項記載の圧電駆動装
   置。 ８ 前記被接触部材は平板状に形成され、前記被
   接触部材または前記振動子のいずれかが直線的に
   駆動される特許請求の範囲第２項または第３項記
   載の圧電駆動装置。 ９ 前記被接触部材は、円板状に形成され、前記
   被接触部材または前記振動子のいずれかが回転的
   に駆動される特許請求の範囲第２項または第３項
   記載の圧電駆動装置。 １０ 前記振動子の材質は磁性体である特許請求
   の範囲第１項ないし第９項のいずれかに記載の圧
   電駆動装置。 １１ 前記振動子は永久磁石でない磁性体よりな
   り、前記被接触部材の前記対向辺と接触する部分
   が永久磁石よりなる特許請求の範囲第１項ないし
   第９項のいずれかに記載の圧電駆動装置。