JPH05121797A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
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- JPH05121797A JPH05121797A JP28275591A JP28275591A JPH05121797A JP H05121797 A JPH05121797 A JP H05121797A JP 28275591 A JP28275591 A JP 28275591A JP 28275591 A JP28275591 A JP 28275591A JP H05121797 A JPH05121797 A JP H05121797A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、光共振器のミラ−が汚れた場合
に、そのミラ−を取外すことなく出力の回復が計れるガ
スレ−ザ発振装置を提供することを目的とする。 【構成】気密容器２１のレ−ザ光の光軸方向に対応する
両端側壁に形成された透光部２４と、透光部２４と対向
する気密容器２１の外面側に配設されているとともに光
共振器を形成するミラ−２８を保持した保持部材２７
と、一端を側壁の外面の透光部２４の周囲に接合させ他
端を保持部材２７のミラ−２８の周囲に接合させるとと
もに軸線を上記レ−ザ光の光軸に対して所定角度傾斜さ
せて設けられたベロ−ズ２５と、このベロ−ズ２５を圧
縮することで保持部材２７を側壁の外面に対して接近さ
せながら平行移動させるとともに所定の移動位置で移動
不能に保持する調整ロッド３５およびナット３７とを具
備したことを特徴とする。
に、そのミラ−を取外すことなく出力の回復が計れるガ
スレ−ザ発振装置を提供することを目的とする。 【構成】気密容器２１のレ−ザ光の光軸方向に対応する
両端側壁に形成された透光部２４と、透光部２４と対向
する気密容器２１の外面側に配設されているとともに光
共振器を形成するミラ−２８を保持した保持部材２７
と、一端を側壁の外面の透光部２４の周囲に接合させ他
端を保持部材２７のミラ−２８の周囲に接合させるとと
もに軸線を上記レ−ザ光の光軸に対して所定角度傾斜さ
せて設けられたベロ−ズ２５と、このベロ−ズ２５を圧
縮することで保持部材２７を側壁の外面に対して接近さ
せながら平行移動させるとともに所定の移動位置で移動
不能に保持する調整ロッド３５およびナット３７とを具
備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光共振器を形成する出
力ミラ−と高反射ミラ−とがガスレ−ザ媒質が充填され
る気密容器と一体的に設けられる内部鏡型のガスレ−ザ
発振装置に関する。
力ミラ−と高反射ミラ−とがガスレ−ザ媒質が充填され
る気密容器と一体的に設けられる内部鏡型のガスレ−ザ
発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｆ2 レ−ザ、エキシマレ−ザあるいはＴ
ＥＡＣＯ2 レ−ザなどのようにガスレ−ザ媒質を大気圧
よりも高い圧力で気密容器内に充填して使用するガスレ
−ザ発振装置においては、光共振器を気密容器と一体的
に設ける、いわゆる内部鏡型としたものがある。
ＥＡＣＯ2 レ−ザなどのようにガスレ−ザ媒質を大気圧
よりも高い圧力で気密容器内に充填して使用するガスレ
−ザ発振装置においては、光共振器を気密容器と一体的
に設ける、いわゆる内部鏡型としたものがある。
【０００３】図６と図７は従来の内部鏡型のガスレ−ザ
発振装置を示す。すなわち、図中１は内部にガスレ−ザ
媒質が充填された気密容器である。この気密容器１内に
は一対の主電極２が所定間隔で離間対向して配設されて
いる。これら主電極２は高圧電源３にそれぞれ接続され
ている。そして、これら主電極２に高電圧を印加して放
電を発生させれば、その放電によって上記ガスレ−ザ媒
質が励起されてレ−ザ光Ｌが発生する。
発振装置を示す。すなわち、図中１は内部にガスレ−ザ
媒質が充填された気密容器である。この気密容器１内に
は一対の主電極２が所定間隔で離間対向して配設されて
いる。これら主電極２は高圧電源３にそれぞれ接続され
ている。そして、これら主電極２に高電圧を印加して放
電を発生させれば、その放電によって上記ガスレ−ザ媒
質が励起されてレ−ザ光Ｌが発生する。
【０００４】上記気密器密１のレ−ザ光Ｌの光軸方向両
端側壁にはそれぞれ第１の透光部４が形成されている。
この第１の透光部４と対応する上記側壁の外面にはベロ
−ズ５の軸方向一端が気密に取着されている。このベロ
−ズ５の他端は板状の保持部材６の一側面に気密に接合
されている。この保持部材６には図７に示すように第２
の透光部７が形成されている。この第２の透光部７と対
応する上記保持部材６の外面には光共振器を形成するミ
ラ−８が固定フランジ９によって気密に保持されてい
る。
端側壁にはそれぞれ第１の透光部４が形成されている。
この第１の透光部４と対応する上記側壁の外面にはベロ
−ズ５の軸方向一端が気密に取着されている。このベロ
−ズ５の他端は板状の保持部材６の一側面に気密に接合
されている。この保持部材６には図７に示すように第２
の透光部７が形成されている。この第２の透光部７と対
応する上記保持部材６の外面には光共振器を形成するミ
ラ−８が固定フランジ９によって気密に保持されてい
る。
【０００５】上記保持部材６の四隅部にはそれぞれねじ
ロッド１１が螺合されている。このねじロッド１１の一
端にはボ−ル部１２が設けられ、このボ−ル部１２は上
記側壁の外面に設けられた支持部１３に回転自在に支持
されている。上記ねじロッド１１の他端には摘み１４が
設けられ、この摘み１４によってねじロッド１１を回転
させることで上記保持部材６に保持されたミラ−８の傾
きを調整できるようになっている。
ロッド１１が螺合されている。このねじロッド１１の一
端にはボ−ル部１２が設けられ、このボ−ル部１２は上
記側壁の外面に設けられた支持部１３に回転自在に支持
されている。上記ねじロッド１１の他端には摘み１４が
設けられ、この摘み１４によってねじロッド１１を回転
させることで上記保持部材６に保持されたミラ−８の傾
きを調整できるようになっている。
【０００６】ところで、このような構成のガスレ−ザ発
振装置においては、一対の主電極２間で放電が繰り返し
て点弧されることでこれら主電極２間の放電空間部に多
量の放電生成物が発生することが避けられない。この放
電生成物は放電時の衝撃波で伝播したり、ガスレ−ザ媒
質に混入しレ−ザ光Ｌによって化学反応を起こすなどし
て上記ミラ−８の内面に付着する。
振装置においては、一対の主電極２間で放電が繰り返し
て点弧されることでこれら主電極２間の放電空間部に多
量の放電生成物が発生することが避けられない。この放
電生成物は放電時の衝撃波で伝播したり、ガスレ−ザ媒
質に混入しレ−ザ光Ｌによって化学反応を起こすなどし
て上記ミラ−８の内面に付着する。
【０００７】そのため、上記ミラ−８のレ−ザ光Ｌが当
たる部分は黒く汚れ、その汚れが種になって加速度的に
汚れが進から、レ−ザ光Ｌの出力低下や汚れがレ−ザ光
Ｌの熱エネルギを吸収し、ミラ−８を損傷させるなどの
ことがある。
たる部分は黒く汚れ、その汚れが種になって加速度的に
汚れが進から、レ−ザ光Ｌの出力低下や汚れがレ−ザ光
Ｌの熱エネルギを吸収し、ミラ−８を損傷させるなどの
ことがある。
【０００８】上記ミラ−８の汚れを除去するには、ミラ
−８を保持部材６から外して清掃しなければならないか
ら、気密容器１の気密状態が壊される。そのため、ミラ
−８を清掃する度に気密容器１に対して排気やガスレ−
ザ媒質の入れ替えなどを行わなければならないから、レ
−ザ発振を再開させるのに時間が掛かるということがあ
る。
−８を保持部材６から外して清掃しなければならないか
ら、気密容器１の気密状態が壊される。そのため、ミラ
−８を清掃する度に気密容器１に対して排気やガスレ−
ザ媒質の入れ替えなどを行わなければならないから、レ
−ザ発振を再開させるのに時間が掛かるということがあ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は光
共振器を形成するミラ−が汚れると、このミラ−を取り
外して清掃したり、交換しなければならなかったので、
気密容器の気密状態が壊されるため、レ−ザ発振を再開
させるのに多くの手間と時間がかかるということがあっ
た。
共振器を形成するミラ−が汚れると、このミラ−を取り
外して清掃したり、交換しなければならなかったので、
気密容器の気密状態が壊されるため、レ−ザ発振を再開
させるのに多くの手間と時間がかかるということがあっ
た。
【００１０】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、ミラ−が汚れて出力が
低下したときに、そのミラ−を気密容器から取り外すこ
となく出力を回復させることができるようにしたをガス
レ−ザ発振装置を提供することにある。
ので、その目的とするところは、ミラ−が汚れて出力が
低下したときに、そのミラ−を気密容器から取り外すこ
となく出力を回復させることができるようにしたをガス
レ−ザ発振装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、ガスレ−ザ媒質が充填される気密容器
と、この気密容器内に対向して配設されこれらの間で発
生する放電で上記ガスレ−ザ媒質を励起する一対の主電
極と、上記気密容器の上記レ−ザ光の光軸方向に対応す
る両端側壁に形成された透光部と、この透光部と対向す
る上記側壁の外面側に配設されているとともに光共振器
を形成するミラ−を保持した保持部材と、一端を上記側
壁の外面の上記透光部の周囲に接合させ他端を上記保持
部材の上記ミラ−の周囲に接合させるとともに軸線を上
記レ−ザ光の光軸に対して所定角度傾斜させて設けられ
たベロ−ズと、このベロ−ズをその軸線方向に圧縮し上
記保持部材を上記側壁の外面に対して接近する方向と上
記光軸と交差する方向とに移動させるとともに所定の移
動位置を越えさせない保持駆動機構とを具備したことを
特徴とする。
にこの発明は、ガスレ−ザ媒質が充填される気密容器
と、この気密容器内に対向して配設されこれらの間で発
生する放電で上記ガスレ−ザ媒質を励起する一対の主電
極と、上記気密容器の上記レ−ザ光の光軸方向に対応す
る両端側壁に形成された透光部と、この透光部と対向す
る上記側壁の外面側に配設されているとともに光共振器
を形成するミラ−を保持した保持部材と、一端を上記側
壁の外面の上記透光部の周囲に接合させ他端を上記保持
部材の上記ミラ−の周囲に接合させるとともに軸線を上
記レ−ザ光の光軸に対して所定角度傾斜させて設けられ
たベロ−ズと、このベロ−ズをその軸線方向に圧縮し上
記保持部材を上記側壁の外面に対して接近する方向と上
記光軸と交差する方向とに移動させるとともに所定の移
動位置を越えさせない保持駆動機構とを具備したことを
特徴とする。
【００１２】
【作用】上記構成によれば、ミラ−の一部が汚れたなら
ば、保持部材を保持駆動機構によって気密容器の側壁に
対して平行移動させることで、上記ミラ−の汚れていな
い部分をレ−ザ光の光軸上に位置させることができる。
ば、保持部材を保持駆動機構によって気密容器の側壁に
対して平行移動させることで、上記ミラ−の汚れていな
い部分をレ−ザ光の光軸上に位置させることができる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明を図面を参照して説明する。
【００１４】図１乃至図４はこの発明の第１の実施例を
示し、図４において２１は内部にガスレ−ザ媒質が大気
圧よりも高い圧力で封入された気密容器である。この気
密容器２１の内部には一対の主電極２２が離間対向して
配設されている。これら主電極２２の一方は高圧電源２
３のプラス側に接続され、他方はマイナス側に接続され
ている。これら一対の主電極２２に高電圧が印加される
と、これらの間に上記ガスレ−ザ媒質を励起する主放電
が点弧され、レ−ザ光Ｌが発生するようになっている。
示し、図４において２１は内部にガスレ−ザ媒質が大気
圧よりも高い圧力で封入された気密容器である。この気
密容器２１の内部には一対の主電極２２が離間対向して
配設されている。これら主電極２２の一方は高圧電源２
３のプラス側に接続され、他方はマイナス側に接続され
ている。これら一対の主電極２２に高電圧が印加される
と、これらの間に上記ガスレ−ザ媒質を励起する主放電
が点弧され、レ−ザ光Ｌが発生するようになっている。
【００１５】上記気密容器２１の上記レ−ザ光Ｌの光軸
Ｏ1 方向に沿う一端側と他端側との側壁２１ａにはそれ
ぞれ開孔からなる第１の透光部２４が形成されている。
上記側壁２１ａ外面の上記第１の透光部２４の周囲に対
応する部分には、図１に示すように軸線Ｏ2 を上記レ−
ザ光Ｌの光軸Ｏ1 に対して角度θで傾斜させて金属製の
ベロ−ズ２５の一方のフランジ２５ａが気密に接合固定
されている。このベロ−ズ２５の他方のフランジ２５ｂ
は第２の透光部２６が形成された矩形板状の保持部材２
７の一側面の上記第２の透孔部２６の周囲に対応する部
分に接合固定されている。つまり、このベロ−ズ２５
は、蛇腹状の本体部２５ｃの両端に設けられた一対の上
記フランジ部２５ａ、２５ｂが上記本体部２５ｃの軸線
Ｏ2 に対して予め角度θで同方向に傾斜して設けられて
いる。
Ｏ1 方向に沿う一端側と他端側との側壁２１ａにはそれ
ぞれ開孔からなる第１の透光部２４が形成されている。
上記側壁２１ａ外面の上記第１の透光部２４の周囲に対
応する部分には、図１に示すように軸線Ｏ2 を上記レ−
ザ光Ｌの光軸Ｏ1 に対して角度θで傾斜させて金属製の
ベロ−ズ２５の一方のフランジ２５ａが気密に接合固定
されている。このベロ−ズ２５の他方のフランジ２５ｂ
は第２の透光部２６が形成された矩形板状の保持部材２
７の一側面の上記第２の透孔部２６の周囲に対応する部
分に接合固定されている。つまり、このベロ−ズ２５
は、蛇腹状の本体部２５ｃの両端に設けられた一対の上
記フランジ部２５ａ、２５ｂが上記本体部２５ｃの軸線
Ｏ2 に対して予め角度θで同方向に傾斜して設けられて
いる。
【００１６】上記ベロ−ズ２５の内径寸法は上記第１、
第２の透光部２４、２６の内径寸法に比べて十分に大径
に形成され、このベロ−ズ２５の内部空間を介して上記
一対の透光部２４、２６が連通している。
第２の透光部２４、２６の内径寸法に比べて十分に大径
に形成され、このベロ−ズ２５の内部空間を介して上記
一対の透光部２４、２６が連通している。
【００１７】上記保持部材２７の他側面には上記第２の
透光部２６を閉塞する状態でミラ−２８の一方の面の周
辺部が第１のＯリング２９を介して接合されている。こ
のミラ−２８の他方の面の周辺部には第２のＯリング３
１を介して押えフランジ３２が接合されている。この押
えフランジ３２は上記保持部材２７にねじ３３によって
取付け固定されている。上記気密容器２１の光軸方向一
端側と他端側に設けられた一対のミラ−２８（一方が高
反射ミラ−で、他方が部分反射ミラ−である。）で光共
振器を形成しており、この光共振器によって気密容器２
１内で発生したレ−ザ光Ｌを増幅するようになってい
る。
透光部２６を閉塞する状態でミラ−２８の一方の面の周
辺部が第１のＯリング２９を介して接合されている。こ
のミラ−２８の他方の面の周辺部には第２のＯリング３
１を介して押えフランジ３２が接合されている。この押
えフランジ３２は上記保持部材２７にねじ３３によって
取付け固定されている。上記気密容器２１の光軸方向一
端側と他端側に設けられた一対のミラ−２８（一方が高
反射ミラ−で、他方が部分反射ミラ−である。）で光共
振器を形成しており、この光共振器によって気密容器２
１内で発生したレ−ザ光Ｌを増幅するようになってい
る。
【００１８】上記保持部材２７の四隅部には、図３に示
すように上記ベロ−ズ２５の傾斜方向に沿って長い長孔
３４が形成されている。各長孔３４には調整ロッド３５
のおねじ３５ａが形成された一端部が挿入されている。
このおねじ３５ａには保持部材２７の一側面に接合する
押えナット３６と、他側面に接合する調整ナット３７と
が螺合されている。また、上記各調整ロッド３５の他端
は気密容器２１の側壁２１ａの外面に設けられた取付部
３８に連結されている。
すように上記ベロ−ズ２５の傾斜方向に沿って長い長孔
３４が形成されている。各長孔３４には調整ロッド３５
のおねじ３５ａが形成された一端部が挿入されている。
このおねじ３５ａには保持部材２７の一側面に接合する
押えナット３６と、他側面に接合する調整ナット３７と
が螺合されている。また、上記各調整ロッド３５の他端
は気密容器２１の側壁２１ａの外面に設けられた取付部
３８に連結されている。
【００１９】上記構成のガスレ−ザ発振装置において、
最初はベロ−ズ２５を最も伸長させ、かつ一対のミラ−
２８が平行に対向するよう調整する。ベロ−ズ２５を伸
長させた状態では、ミラ−２８の幅方向一端側がレ−ザ
光Ｌの光軸Ｏ1 上に位置している。
最初はベロ−ズ２５を最も伸長させ、かつ一対のミラ−
２８が平行に対向するよう調整する。ベロ−ズ２５を伸
長させた状態では、ミラ−２８の幅方向一端側がレ−ザ
光Ｌの光軸Ｏ1 上に位置している。
【００２０】このような状態で高圧電源２３を作動さ
せ、一対の主電極２２間に高電圧を印加すれば、これら
主電極２２間で発生する主放電によってガスレ−ザ媒質
が励起されてレ−ザ光Ｌが発生する。レ−ザ光Ｌは一対
のミラ−２８間で反射を繰り返して増幅され、反射率の
低い一方のミラ−２８から発振出力される。
せ、一対の主電極２２間に高電圧を印加すれば、これら
主電極２２間で発生する主放電によってガスレ−ザ媒質
が励起されてレ−ザ光Ｌが発生する。レ−ザ光Ｌは一対
のミラ−２８間で反射を繰り返して増幅され、反射率の
低い一方のミラ−２８から発振出力される。
【００２１】このようなレ−ザ発振を繰り返すと、ミラ
−２８のレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ1 上に位置する部分に放電
生成物が付着して汚損され、レ−ザ光Ｌの出力低下やミ
ラ−２８の損傷を招く。
−２８のレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ1 上に位置する部分に放電
生成物が付着して汚損され、レ−ザ光Ｌの出力低下やミ
ラ−２８の損傷を招く。
【００２２】そこで、ミラ−２８が汚れて出力が低下し
た場合には、保持部材２７を保持した４本の調整ロッド
３５のおねじ３５ａに螺合された押えナット３６を緩め
てから、調整ナット３７をねじ込む。それによって、保
持部材２７はベロ−ズ２５を復元力に抗して圧縮させな
がら図１に矢印ａで示す気密容器２１の側壁２１ａに接
近する方向に変位する。
た場合には、保持部材２７を保持した４本の調整ロッド
３５のおねじ３５ａに螺合された押えナット３６を緩め
てから、調整ナット３７をねじ込む。それによって、保
持部材２７はベロ−ズ２５を復元力に抗して圧縮させな
がら図１に矢印ａで示す気密容器２１の側壁２１ａに接
近する方向に変位する。
【００２３】また、上記ベロ−ズ２５はその軸線Ｏ1 を
レ−ザ光Ｌの軸線Ｏ2 に対して角度θで傾けて設けられ
ているから、このベロ−ズ２５を圧縮させることによっ
て保持部材２７は矢印ａで示す接近方向だけでなく、矢
印ｂで示す上記側壁２１ａの幅方向である、レ−ザ光Ｌ
の光軸Ｏ1 と直交する方向にも上記側壁２１ａに対して
平行に移動する。
レ−ザ光Ｌの軸線Ｏ2 に対して角度θで傾けて設けられ
ているから、このベロ−ズ２５を圧縮させることによっ
て保持部材２７は矢印ａで示す接近方向だけでなく、矢
印ｂで示す上記側壁２１ａの幅方向である、レ−ザ光Ｌ
の光軸Ｏ1 と直交する方向にも上記側壁２１ａに対して
平行に移動する。
【００２４】上記保持部材２７が平行移動すれば、図２
に示すようにミラ−２８も幅方向に移動し、その幅方向
一端側がレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ1 上からずれ、レ−ザ光Ｌ
の光軸Ｏ1 上にはミラ−２８の新たな部分、つまり、放
電生成物が付着していない清浄な部分が位置することに
なる。したがって、その状態で保持部材２７を固定して
レ−ザ光Ｌを出力すれば、レ−ザ光Ｌは一対のミラ−２
７の放電生成物が付着していない部分で反射することに
なるから、出力の低下やミラ−２７を損傷させるような
ことがない。
に示すようにミラ−２８も幅方向に移動し、その幅方向
一端側がレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ1 上からずれ、レ−ザ光Ｌ
の光軸Ｏ1 上にはミラ−２８の新たな部分、つまり、放
電生成物が付着していない清浄な部分が位置することに
なる。したがって、その状態で保持部材２７を固定して
レ−ザ光Ｌを出力すれば、レ−ザ光Ｌは一対のミラ−２
７の放電生成物が付着していない部分で反射することに
なるから、出力の低下やミラ−２７を損傷させるような
ことがない。
【００２５】すなわち、上記構成のガスレ−ザ装置によ
れば、ミラ−２７が放電生成物で汚損されても、そのミ
ラ−２７を気密容器２１から取り外すことなく、出力の
回復を計ることができる。
れば、ミラ−２７が放電生成物で汚損されても、そのミ
ラ−２７を気密容器２１から取り外すことなく、出力の
回復を計ることができる。
【００２６】図５はこの発明の第２の実施例を示す。こ
の実施例は気密容器２１の側壁２１ａ外面と、保持部部
材２７の上記側壁２１ａと対向する一側面とにそれぞれ
テ−パ面４１を有するスペ−サ４２が設けられている。
これらスペ−サ４２のテ−パ面４１は、平行に離間対向
しているとともに、上記側壁２１ａに対して所定の角度
で傾斜している。また、各スペ−サ４２には側壁２１ａ
に形成された第１の透光部２４および保持部材２７に形
成された第２の透光部２６に対応する連通孔４２ａが形
成されている。
の実施例は気密容器２１の側壁２１ａ外面と、保持部部
材２７の上記側壁２１ａと対向する一側面とにそれぞれ
テ−パ面４１を有するスペ−サ４２が設けられている。
これらスペ−サ４２のテ−パ面４１は、平行に離間対向
しているとともに、上記側壁２１ａに対して所定の角度
で傾斜している。また、各スペ−サ４２には側壁２１ａ
に形成された第１の透光部２４および保持部材２７に形
成された第２の透光部２６に対応する連通孔４２ａが形
成されている。
【００２７】各スペ−サ４２のテ−パ面４１には、ベロ
−ズ４３の蛇腹状の本体部４３ａの両端に設けられたフ
ランジ部４３ｂが接合固定されている。このフランジ部
４３ｂは、上記本体部４３ａの軸線に対してほぼ直角に
設けられている。
−ズ４３の蛇腹状の本体部４３ａの両端に設けられたフ
ランジ部４３ｂが接合固定されている。このフランジ部
４３ｂは、上記本体部４３ａの軸線に対してほぼ直角に
設けられている。
【００２８】このような構成によれば、ベロ−ズ４３は
上記スペ−サ４２のテ−パ面４１の傾斜角度に応じてそ
の軸線をレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ1 に対して傾斜させて設け
ることができるから、保持部材２７を気密容器２１の側
壁２１ａに接近する方向に移動させれば、この保持部材
２７を上記側壁２１ａの幅方向に対して平行に移動させ
ることができる。つまり、スペ−サ４２を用いること
で、本体部４２ａに対してフランジ部４２ｂがほぼ直角
に設けられた通常のベロ−ズ４３を用いることができ
る。
上記スペ−サ４２のテ−パ面４１の傾斜角度に応じてそ
の軸線をレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ1 に対して傾斜させて設け
ることができるから、保持部材２７を気密容器２１の側
壁２１ａに接近する方向に移動させれば、この保持部材
２７を上記側壁２１ａの幅方向に対して平行に移動させ
ることができる。つまり、スペ−サ４２を用いること
で、本体部４２ａに対してフランジ部４２ｂがほぼ直角
に設けられた通常のベロ−ズ４３を用いることができ
る。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、気
密容器の軸方向一端側と他端側とにそれぞれ設けられる
光共振器用のミラ−を保持するベロ−ズの軸線を、レ−
ザ光の光軸に対して所定の角度で傾斜させるようにし
た。
密容器の軸方向一端側と他端側とにそれぞれ設けられる
光共振器用のミラ−を保持するベロ−ズの軸線を、レ−
ザ光の光軸に対して所定の角度で傾斜させるようにし
た。
【００３０】そのため、上記ミラ−のレ−ザ光の光軸上
に位置する部分が放電生成物によって汚れたならば、上
記ベロ−ズを圧縮すれば、上記ミラ−が平行移動し、放
電生成物が付着していない清浄な部分をレ−ザ光の光軸
上に位置させることができるから、ミラ−が汚れて出力
が低下する度に、ミラ−を取外して気密容器の気密状態
を壊すことなく出力の回復を計ることができる。
に位置する部分が放電生成物によって汚れたならば、上
記ベロ−ズを圧縮すれば、上記ミラ−が平行移動し、放
電生成物が付着していない清浄な部分をレ−ザ光の光軸
上に位置させることができるから、ミラ−が汚れて出力
が低下する度に、ミラ−を取外して気密容器の気密状態
を壊すことなく出力の回復を計ることができる。
【図１】この発明の第１の実施例を示すミラ−の保持構
造の拡大断面図。
造の拡大断面図。
【図２】同じくベロ−ズを圧縮させた状態の拡大断面
図。
図。
【図３】同じく気密容器の端面図。
【図４】同じく一部断面した気密容器の平面図。
【図５】この発明の第２の実施例を示すミラ−の保持構
造の拡大断面図。
造の拡大断面図。
【図６】従来の気密容器の平面図。
【図７】同じくミラ−の保持構造の拡大断面図。
２１…気密容器、２２…主電極、２４…第１の透光部、
２５…ベロ−ズ、２７…保持部材、２８…ミラ−、３５
…調整ロッド（保持駆動機構）、３６…押えナット（保
持駆動機構）、３７…調整ナット（保持駆動機構）。
２５…ベロ−ズ、２７…保持部材、２８…ミラ−、３５
…調整ロッド（保持駆動機構）、３６…押えナット（保
持駆動機構）、３７…調整ナット（保持駆動機構）。
Claims (1)
- 【請求項１】 ガスレ−ザ媒質が充填される気密容器
と、この気密容器内に対向して配設されこれらの間で発
生する放電で上記ガスレ−ザ媒質を励起する一対の主電
極と、上記気密容器の上記レ−ザ光の光軸方向に対応す
る両端側壁に形成された透光部と、この透光部と対向す
る上記側壁の外面側に配設されているとともに光共振器
を形成するミラ−を保持した保持部材と、一端を上記側
壁の外面の上記透光部の周囲に接合させ他端を上記保持
部材の上記ミラ−の周囲に接合させるとともに軸線を上
記レ−ザ光の光軸に対して所定角度傾斜させて設けられ
たベロ−ズと、このベロ−ズをその軸線方向に圧縮し上
記保持部材を上記側壁の外面に対して接近する方向と上
記光軸と交差する方向とに移動させるとともに所定の移
動位置を越えさせない保持駆動機構とを具備したことを
特徴とするガスレ−ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28275591A JPH05121797A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28275591A JPH05121797A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121797A true JPH05121797A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=17656643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28275591A Pending JPH05121797A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05121797A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116448718A (zh) * | 2023-04-19 | 2023-07-18 | 河北子曰机械设备有限公司 | 光腔衰荡调谐单元及光腔衰荡光谱装置 |
-
1991
- 1991-10-29 JP JP28275591A patent/JPH05121797A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116448718A (zh) * | 2023-04-19 | 2023-07-18 | 河北子曰机械设备有限公司 | 光腔衰荡调谐单元及光腔衰荡光谱装置 |
| CN116448718B (zh) * | 2023-04-19 | 2023-12-05 | 河北子曰机械设备有限公司 | 光腔衰荡调谐单元及光腔衰荡光谱装置 |
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