JPH05124839A - 熱的加工可能な断熱ガラス - Google Patents

熱的加工可能な断熱ガラス

Info

Publication number
JPH05124839A
JPH05124839A JP3286230A JP28623091A JPH05124839A JP H05124839 A JPH05124839 A JP H05124839A JP 3286230 A JP3286230 A JP 3286230A JP 28623091 A JP28623091 A JP 28623091A JP H05124839 A JPH05124839 A JP H05124839A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
heat
glass
insulating glass
thin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3286230A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Honda
智 本多
Masaya Takayama
昌也 高山
Nobuyuki Takeuchi
伸行 竹内
Hironobu Iida
裕伸 飯田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central Glass Co Ltd
Original Assignee
Central Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Central Glass Co Ltd filed Critical Central Glass Co Ltd
Priority to JP3286230A priority Critical patent/JPH05124839A/ja
Publication of JPH05124839A publication Critical patent/JPH05124839A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】透明ガラス基板表面に、膜厚が３〜１００ｎｍ
のＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉ又はそれらの
合金からなる少なくとも１層の金属或いは窒化物薄膜
を、膜厚が５〜３０ｎｍのＳｉ、Ａｌ又はその合金の窒
化物薄膜でもって挟み込むよう被膜積層した多層膜から
少なくとも成ることを特徴とする熱的加工可能な断熱ガ
ラス。更に下地材或いは／並びに最外側表層として、膜
厚が１０〜１５０ｎｍの透明誘電体薄膜を被覆積層した
ス多層膜とし、例えば実質的に５層とすることで、単板
での使用できる熱的加工可能な断熱ガラス。 【効果】空気中であっても焼き入れ処理あるいは／なら
びに加熱曲げ成形加工前後において、可視光透過率、日
射透過率あるいは色調等の光学特性ならびに耐久性等の
変化を格段に低減でき、透視性や色調に違和感がなく、
充分断熱性能を保持して使用でき、ことに建築用はもち
ろん自動車用等に有用なものとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、太陽放射エネルギーを
効果的に遮蔽する熱線反射性能を有し、特に成膜後、焼
き入れ処理加工あるいは／ならびに加熱曲げ成形加工を
施した際、その断熱性能、色調ならびに透視性等の光学
特性をほぼ保持し得る、建築用もしくは自動車用として
有用な、熱的加工可能な断熱ガラスを提供するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、建築用や車両用窓ガラス等におい
て、断熱性能を有する、種々の形状、大きさ等の曲げガ
ラスや強化ガラスが、そのデザイン上や安全性等に優
れ、よりよい社会環境を得ることができることならび
に、冷房等をより効果的に実施し、よりよい居住性を得
ることができること等から急速に増加し、例えばコーナ
ー部分やドアー部等その採用する頻度が高くなってきて
いる。
【０００３】一方、断熱ガラスとしては、その色調、熱
的特性からＳＵＳ（ステンレス）、Ｃｒ、Ｔｉ等の金属
膜、窒化膜が量産性およびコスト等の点で、熱線反射機
能膜として、他の透明干渉膜と組み合わせてスパッタ法
などで成膜実用化されており、これらの膜を曲げガラス
や強化ガラスに使用する場合は、予め曲げ成形あるいは
強化処理したガラスにこれらの熱線反射機能膜をスパッ
タで成膜することによって得ているものであったもの
の、曲げ成形ガラスあるいは強化ガラスを予め準備し、
しかる後成膜することのため、製造時の日程などの点で
工程のロス、ならびに成膜時における作業性の困難さお
よび膜厚の不均一等の膜欠陥の発現など品質低下等が大
きく、したがって前もって膜付き平面状断熱ガラスを通
常品として在庫しておき、必要に応じて所定の形状に切
断加工した後、熱的強化処理や加熱曲げ成形加工をする
ようにできる製造方法ならびに製品が望まれている。
【０００４】しかしながら、従来の成膜構成では熱的強
化処理加工あるいは加熱曲げ成形加工時に、膜が例えば
雰囲気中の酸素と反応して酸化するため、酸化物となる
とともに透過性が高くなり、膜の光学的な特性が変化し
たことにより、色調が変化し、断熱性が大幅に低下する
という欠点があり、安定して確実にかつ高品位に、例え
ば前記処理あるいは加工前後での可視光透過率の変化が
常に１０％程度以内であるものに成し得ることは困難な
ものであった。
【０００５】一方例えば貴金属の熱線反射膜が加熱加工
処理中における酸化を防止するため、耐熱金属であるＡ
ｌ、Ｎｉ、ＮｉＣｒ等でサンドイッチしてバリアー層と
する方法、あるいはＺｎ、Ｔｉ等を厚くサンドイッチし
て酸化が生じても熱線反射膜まで到達しないようにする
方法などが試みられているものの、これらバリアー層の
目的が前記金属膜が酸化されることで熱線反射膜を保護
しようとするため、例えば５〜１０％以上の可視光透過
率の上昇ならびに色調の変化等を招くことが避けられな
いものであり、例えば成膜後の熱的加工処理前後での製
品を、同時に建物の同一壁面で、透視性あるいは色調の
違和感を充分解消し、懸念無く安心して使用できるよう
なことには成り得難い状況にある。
【０００６】例えば特開昭６３ー２６５８４４号公報に
は、ガラス基板表面に、金属窒化物被膜を含む吸収膜を
形成した後、非酸化性雰囲気中で曲げ加工する曲げ熱線
反射ガラスの製造方法が記載されており、非酸化性雰囲
気がＮ2 、Ａｒ及びＨ2 よりなる群から選ばれる１種又
は２種以上よりなる雰囲気であること、金属窒化物が窒
化クロム、窒化チタン又は窒化チタンアルミニウムであ
ること、ならびに吸収膜が金属窒化被膜とその上に形成
された金属酸化物被膜、酸化チタン又は酸化スズとから
なることが開示されている。
【０００７】また例えば、特開昭６３ー２６５８４６号
公報には、ガラス基板表面に窒化クロム被膜が形成さ
れ、更にその上にアルミニウム、酸化アルミニウム、窒
化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムよりなる群から
選ばれる少なくとも１種の被膜が形成された熱線反射ガ
ラスを曲げ加工してなる曲げ熱線反射ガラス、およびそ
の製造方法が開示されている。
【０００８】さらに例えば、特開平１ー２０６０３５号
公報には、可視光透過性を有する基材と、該基材上に形
成された貴金属よりなる熱線反射層と、該熱線反射層上
に形成されたアルミニウムを主体とする金属又はアルミ
ニウムと珪素を主体とする金属の窒化物又は酸窒化物よ
りなる被覆層とを有する可視光透過性を有する熱線反射
板が記載されており、前記基材と熱線反射層との間に金
属の酸化物、窒化物又は酸窒化物よりなる透明誘電体層
が形成されていてもよいこと、ならびに前記被覆層の上
に金属酸化物よりなる透明誘電体層が形成されているこ
と等が開示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする問題点】前述したように、例
えば特開昭６３ー２６５８４４号公報に記載の製造方法
では、少なくとも曲げ成形装置において、非酸化性雰囲
気を達成するために、真空排気装置ならびに不活性ガス
供給装置等が必要となり、極めて高価な曲げ成形装置お
よび方法となって、曲げ熱線反射ガラスも高価なものと
なり、空気中での加熱曲げ成形加工では透過性があるも
のへと大きく変化し、色調の変化ならびに断熱性低下を
極めて招き易いものである。
【００１０】また例えば、特開昭６３ー２６５８４６号
公報に記載のものおよびその製造方法は、アルミニウム
膜のような金属膜を保護膜として被膜したとしても、例
えば空気中で加熱処理した際、窒化クロム膜の酸化が避
けられず、可視光透過率あるいは可視光反射率の変化が
大きく、加熱処理しないものとの色調違和感が避けられ
ず、同一場所での使用ができないものである。
【００１１】さらに例えば、特開平１ー２０６０３５号
公報に記載の可視光透過性を有する熱線反射板では、ス
パッタ雰囲気を酸素不存在又は微量存在の不活性ガス又
は窒素ガス雰囲気とすることができ、貴金属よりなる熱
線反射層の酸化、劣化防止のための金属層を形成する必
要がない等というものであるものの、該公報記載の構成
薄膜で仮に成膜後熱的加工処理を行うことがあるとして
も、銀を充分保護し酸化を防止し、可視光透過率、色調
あるいは断熱性能、さらには耐久性、耐薬品性等を必ず
しも充分満足して不変となるようにできるとは言い難い
ものである。
【００１２】
【問題点を解決するための手段】本発明は、従来のかか
る問題点に鑑みてなしたものであって、熱線反射機能を
有する、ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉまたは
それらの合金からなる少なくとも１層の金属あるいは窒
化物薄膜と、バリアー的機能を有するＳｉ、Ａｌまたは
その合金の窒化物薄膜とを、さらに透明誘電体薄膜とを
巧みに組み合わせて、例えば実質的に５層として被覆積
層した多層膜とすることにより、熱的加工処理において
も、加工処理炉中の酸素量に左右されない、しかも耐熱
性、耐薬品性、耐久性、耐摩耗性等を兼ね具える多層膜
を、大面積ガラス板に長時間安定して効率よく成膜する
ことができ、得られた多層膜付きガラス板を空気中では
もちろん各種条件でもって、熱的強化処理などの焼き入
れ処理もしくは加熱曲げ成形加工することが適宜自在に
でき、かつ前記処理加工前後における可視光透過率や断
熱性能の変化が常に１０％程度以内となるとともに、５
％程度以内でも充分達成可能等、色調の変化も併せて安
定確実に格段に低減でき、その光学特性の変化ならびに
耐久性、耐摩耗性の変化等が取るに足らない程度のもの
となり、しかも高作業性、高効率ならびに高品位となる
熱的加工可能な断熱ガラスを提供するものである。
【００１３】すなわち、本発明は、透明ガラス基板の表
面に、膜厚が３〜１００ｎｍのＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃ
ｒ、Ｚｒ、Ｎｉまたはそれらの合金からなる少なくとも
１層の金属あるいは窒化物薄膜を、膜厚が５〜３０ｎｍ
のＳｉ、Ａｌまたはその合金の窒化物薄膜でもって挟み
込むよう被膜積層した多層膜から少なくとも成ることを
特徴とする熱的加工可能な断熱ガラス。
【００１４】ならびに、前記熱的加工可能な断熱ガラス
において、前記多層膜の下地材あるいは／ならびに前記
多層膜の被覆層である最外側表層として、膜厚が１０〜
１５０ｎｍの透明誘電体薄膜を被膜積層した多層膜から
成ることを特徴とする上述した熱的加工可能な断熱ガラ
ス。。および、前記透明誘電体薄膜が、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｔ
ａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｓｉの酸化物薄膜あるいは酸窒化物薄
膜で成ることを特徴とする上述した熱的加工可能な断熱
ガラス。
【００１５】さらに、前記断熱ガラスが、前記多層膜を
積層成膜した後、焼き入れ処理加工あるいは／ならびに
熱的曲げ成形加工して成ることを特徴とする上述した熱
的加工可能な断熱ガラス。さらにまた、前記焼き入れ処
理加工あるいは／ならびに加熱曲げ成形加工後、該熱的
加工前後における、前記断熱ガラスの可視光透過率の変
化が１０％以内であることを特徴とする前述した熱的加
工可能な断熱ガラスをそれぞれ提供するものである。
【００１６】ここで、前記したように、膜厚が５〜３０
ｎｍのＳｉ、Ａｌまたはその合金の窒化物薄膜を用いる
こととしたのは、該薄膜は可視域でほぼ透明であり、５
ｎｍ以上あれば加熱時に酸素があっても、前記ＳＵＳ、
Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉまたはそれらの合金から
なる少なくとも１層の金属あるいは窒化物薄膜を保護す
るバリアー層としての役目を果たすものとなり、また酸
素によって前記Ｓｉ、Ａｌまたはその合金の窒化物薄膜
が酸化されたとしても、これらの薄膜は依然としてほぼ
透明であって、屈折率が若干低下するのみである。した
がってこの程度の屈折率の変化であれば、光学干渉に大
きく影響を与えず、結果的に極めて変化の少ないものが
得られる。３０ｎｍを超えると、該Ｓｉ、Ａｌまたはそ
の合金の窒化物薄膜のスパッタレートは比較的低く、あ
まり厚いと経済性が悪くなるとともに、バリアーとして
の効果の向上もそれほど得られなくなり、最大３０ｎｍ
もあれば充分である。
【００１７】該Ｓｉ、Ａｌまたはその合金の窒化物薄膜
でもって挟み込むようにしたのは、前記加熱処理加工時
中の酸素の移動により、ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚ
ｒ、Ｎｉまたはそれらの合金からなる少なくとも１層の
金属あるいは窒化物薄膜が酸化することを、サンドイッ
チしたことで防ぐためであり、ことに該Ｓｉ、Ａｌまた
はその合金の窒化物薄膜は必ずＡｒ＋Ｎ2 雰囲気ガス中
でスパッタする必要がある。さらに、これらのバリアー
的な薄膜は耐湿性や耐薬品性の点で、とくに単板として
使用する際には充分とは言い難く、これらの上にオーバ
ーコート層、例えば透明誘電体層を１０ｎｍ程度以上す
ることが必要である。さらにまたサンドイッチしない
と、ガラス基板の界面または外表面からの水分あるいは
酸素により、加熱処理加工時に前記ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔ
ａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉまたはそれらの合金からなる少な
くとも１層の金属あるいは窒化物薄膜が変質するため、
可視光透過率等の光学特性における変化の少ないものは
得難く、必ず必要な前記ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚ
ｒ、Ｎｉまたはそれらの合金からなる少なくとも１層の
金属あるいは窒化物薄膜を、挟み込むことが必要であ
る。
【００１８】また、前記膜厚が３〜１００ｎｍのＳＵ
Ｓ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉまたはそれらの合金
からなる少なくとも１層の金属あるいは窒化物薄膜を用
いることとしたのは、比較的安定性がありかつ熱線反射
機能を有するためであり、３ｎｍ未満であれば、可視光
透過率が高くなり過ぎて断熱性が低く、１００ｎｍを超
えると、透視性が低下し、窓ガラス本来の採光等の機能
が得られ難くなるためであり、可視光透過率や可視光反
射率との関係もあり、３〜１００ｎｍとしたものであ
る。好ましくは５〜８０ｎｍ程度の膜厚である。
【００１９】さらに、膜厚が１０〜１５０ｎｍの透明誘
電体薄膜を用いることとしたのは、１０ｎｍ未満では、
耐湿性や耐薬品性等の点で充分とは言えず、成膜した後
の膜付きガラス基板を、例えば保管環境が厳しいなかで
保管等する際には、前記各薄膜の変質による劣化が生じ
る可能性があって防止し難くなるため、１０ｎｍ以上の
膜厚が必要であり、また１５０ｎｍを超えると、経済的
に充分とは言えないためである。さらに干渉による色調
のコントロールにおいても大体１５〜１００ｎｍ程度で
行うので、これらから好ましい膜厚の範囲もこの程度で
ある。
【００２０】またさらに、前記多層膜を積層成膜した
後、焼き入れ処理あるいは／ならびに加熱曲げ成形加工
するに当たり、ことに５５０〜６８０°Ｃの温度範囲に
おいて該処理あるいは／ならびに加工を行うものであ
り、この温度範囲であれば、前記ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、
Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉまたはそれらの合金からなる少なくと
も１層の金属あるいは窒化物薄膜をＳｉ、Ａｌまたはそ
の合金の窒化物薄膜が、さらに透明誘電体薄膜が酸化防
止、耐久性や耐薬品性等の保護膜として充分その機能を
発揮できるためである。好ましい温度範囲は５８０〜６
５０°Ｃである。
【００２１】さらにまた、前記処理加工あるいは／なら
びに曲げ加工前後における、前記断熱ガラスの可視光透
過率の変化が１０％以内となる前記処理あるいは／なら
びに加工であることとしたのは、高温熱的処理加工後に
おける、色調や断熱性等の変化が充分小さく、熱処理加
工前の断熱ガラスと比べて遜色なく、例えば高温熱処理
加工したものと熱処理加工前のものとを、同一建物面に
なんらの支障なく使用できる等を奏するものとなるから
である。より好ましい可視光透過率の変化は５％程度以
内である。
【００２２】さらにまた、前記透明ガラス基板として
は、所謂無機質の透明板ガラスはもちろん、着色ガラス
であってもよく、その種類あるいは色調、形状等に特に
限定されるものではなく、さらに曲げ板ガラスとしては
もちろん、各種強化ガラスや強度アップガラス、平板や
単板で使用できるとともに、複層ガラスあるいは合せガ
ラスとしても使用できることは言うまでもない。
【００２３】
【作用】前述したとおり、本発明の熱的加工可能な断熱
ガラスは、透明ガラス基板上に、熱線反射機能を有し比
較的安定な、ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉま
たはそれらの合金からなる少なくとも１層の金属あるい
は窒化物薄膜を、バリアー的機能を有するＳｉ、Ａｌま
たはその合金の窒化物薄膜で挟み込むように少なくとも
積層成膜し、さらに下地材あるいは／ならびに最外側表
層として適宜、耐久性と耐薬品性と耐摩耗性がある透明
誘電体薄膜を被膜して巧みに組み合わせ、例えば実質的
に５層として成る多層膜を、装置上ならびに製造上も効
率よくガラス基板表面に積層成膜したものにすることに
より、ことに比較的高温で熱的処理加工する時において
も、前記熱線反射機能を有する薄膜の酸化が発現し易い
のに対し、前述したこれらバリアー的薄膜とともに保護
的薄膜とが相補い合うこととなり、特に優れた酸化防止
性を発揮するとともに、耐薬品性、耐摩耗性、耐久性な
らびに耐熱性等を有するものとし、スパッタ成膜時、切
り出し加工時、焼き入れ処理あるいは／ならびに加熱曲
げ成形加工した時またはその後においても、例えば欠陥
の発現、破損または破壊等の発生の恐れがなく、ことに
また量産性はもちろん少数多品種でも適宜自在に対応し
得る等、生産性に優れたものであり、また例えば空気中
で高温熱処理加工を実施しても、その後における透視
性、断熱性あるいは色調等の光学特性はもちろん、耐久
性等においてもその変化が格段に少ない、むしろ不変と
言っても過言でいないと言えるようなものとなり、建物
等で施工する際においても、前記熱的加工処理を施した
ものと施さない断熱ガラスとの区別なくかつ制約なく適
宜自在に選択採用できる等、有用な熱的加工可能な断熱
ガラスを提供するものである。
【００２４】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
【００２５】実施例１ 大きさ３００ｍｍ×３００ｍｍ、厚さ６ｍｍのフロート
ガラス板（ＦＬ６）を中性洗剤、水すすぎ、アルコール
で順次洗浄し、乾燥した後、ＤＣマグネトロンスパッタ
リング装置の真空槽内にセットしてあるＳｎ、Ｓｉ3 Ｎ
4、Ｃｒのターゲットに対向して上方を往復できるよう
セットし、次に前記槽内を真空ポンプで約５×１０-6Ｔ
ｏｒｒまでに脱気した後、該真空槽内にＡｒガスおよび
酸素ガスを導入して、真空度を約２×１０-3Ｔｏｒｒに
保持し、前記Ｓｎターゲットに約０．５ｋｗの電力を印
加し、前記混合ガスによるＤＣ反応性スパッタの中を、
前記Ｓｎターゲット上方においてスピード約２００ｍｍ
/ ｍｉｎで前記ガラス板を搬送することによって、約２
０ｎｍのＳｎＯｘ薄膜を第１層として成膜した。成膜が
完了した後、前記Ｓｎターゲットへの印加を停止した。
【００２６】次いで、前記槽内を真空ポンプで約５×１
０-6Ｔｏｒｒまでに脱気した後、該真空槽内にＡｒと窒
素の混合ガスを導入し、真空度を約３×１０-3Ｔｏｒｒ
に保持し、前記Ｓｉ3 Ｎ4 ターゲットに約１．０ｋｗの
電力を印加し、前記混合ガスによるＲＦ反応性スパッタ
の中を、前記Ｓｉ3 Ｎ4 ターゲット上方においてスピー
ド約１００ｍｍ/ ｍｉｎで前記ガラス板を搬送すること
によって、約１０ｎｍのＳｉＮｘ薄膜を第２層目として
成膜した。成膜が完了した後、前記Ｓｉ3 Ｎ4 ターゲッ
トへの印加を停止した。
【００２７】さらに次いで、前記槽内を真空ポンプで約
５×１０-6Ｔｏｒｒまでに脱気した後、該真空槽内にＡ
ｒガスを導入し、真空度を約３×１０-3Ｔｏｒｒに保持
し、前記Ｃｒターゲットに約０．５ｋｗの電力を印加
し、前記ガスによるＤＣスパッタの中を、前記Ｃｒター
ゲット上方においてスピード約１０００ｍｍ/ ｍｉｎで
前記ガラス板を搬送することによって、約５ｎｍのＣｒ
薄膜を第３層目成膜した。成膜が完了した後、前記Ｃｒ
ターゲットへの印加を停止した。
【００２８】さらにまた次いで順次、前記第２層と同様
に実施して、膜厚約１０ｎｍのＳｉＮｘ薄膜を第４層と
して成膜し、さらに前記第１層と同様に実施して、前記
搬送スピードのみ約４００ｍｍ／ｍｉｎにすることによ
り、膜厚約１０ｎｍのＳｎＯｘ薄膜を第５層として表１
に示すように成膜し、熱的加工可能な断熱ガラスを得
た。
【００２９】得られた５層積層膜の光学特性を日立製作
所製３４０型自記分光光度計で測定後、加熱炉に挿入
し、常温から約６００℃まで約１時間で昇温後、約６０
０℃で約１０分間保持するとともに曲げ成形加工してか
ら、その後自然放冷した。加熱曲げ成形加工後の光学特
性を前記と同様に測定した。
【００３０】得られた曲げ断熱ガラスにおける加熱曲げ
成形加工前後の光学特性は、表１に示すように、例えば
可視光透過率の変化が２．３％、日射透過率の変化が
０．７％、色調も同一であって、格段に変化がなく極め
て優れたものであった。
【００３１】実施例２〜４ 表１に示す所定の膜厚の各薄膜を実施例１と同様の条件
および操作等で行い、表１に示す膜構成の多層積層膜を
ガラス基板上に形成した。その後実施例１と同様に加熱
曲げ成形前後の光学特性の変化を測定した。
【００３２】得られた曲げ断熱ガラスは、表１に示すよ
うに、光学特性の変化が実施例１と同様に少なく、例え
ば可視光透過率の変化が２．２〜１．６％、日射透過率
の変化が０．７〜０．１％、各色調も不変となる等、各
種の特性においてもその変化が格段に小さく、色調等に
違和感が見られないものであった。
【００３３】実施例５ 表１に示す所定の膜厚の各薄膜を実施例１と同様の条件
および操作等で行い、表１に示すように、第１層を窒化
物とする等前記と多少替えた膜構成の多層積層膜をガラ
ス基板上に形成した。その後実施例１と同様に加熱曲げ
成形前後の光学特性の変化を測定した。
【００３４】得られた曲げ断熱ガラスは、表１に示すよ
うに、光学特性の変化が実施例１と同様に少なく、例え
ば可視光透過率の変化が３．１％、日射透過率の変化が
１％、各色調は不変となる等、各種の特性においてもそ
の変化が多少数値的に大きくなっているものの従来に比
し格段に小さく、色調等に違和感が見られないものであ
った。
【００３５】比較例１〜３ 表１に示すように、貴金属でない金属薄膜を用いて、透
明誘電体薄膜や窒化物でもって、３層に実施例と同様な
条件および操作等で成膜し、加熱曲げ成形加工前後での
比較を行うも、該加工前後において、酸化反応等による
と推定される作用で、例えば可視光透過率の変化が３
５．２〜１９．３％、日射透過率の変化が３３．７〜１
７．８％と色調の変化が大きい等、透視性になるととも
に断熱性が悪化することとなって、これら該前後での光
学的違和感が大きいものを同時に使用することも困難と
なり、建築物等に熱的加工したものとしないものとを同
時に採用できないものであるといっても過言ではないも
のとなる等、明らかに本発明の熱的加工可能な断熱ガラ
スより劣るものであった。
【００３６】
【表１】
【００３７】
【発明の効果】以上前述したように、本発明は、熱線反
射機能を有する、ＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎ
ｉまたはそれらの合金からなる少なくとも１層の金属あ
るいは窒化物薄膜を、Ｓｉ、Ａｌまたはその合金の窒化
物薄膜で挟み込み、透明誘電体薄膜とを巧みに組み合わ
せて、例えば実質的に５層として成る多層膜を、装置上
も製造上も効率よくガラス基板表面に積層成膜したもの
にすることにより、ことに該積層成膜後、空気中で熱的
焼き入れ加工や加熱曲げ成形加工を施すことによって
も、その前後における可視光透過率、日射透過率あるい
は色調等の光学特性ならびに耐久性などの変化がほぼな
いといってもよい程度に、格段に低減せめることがで
き、透視性や色調に違和感がなくかつ断熱性能を保持し
たものとなり、さらに必要に応じて熱的処理加工でき、
無駄なく比較的低コストで製品化し得る等、建築用もし
くは自動車用等として有用な、熱的加工可能な断熱ガラ
スを提供するものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/06 8414−4Ｋ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 透明ガラス基板の表面に、膜厚が３〜１
    ００ｎｍのＳＵＳ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｎｉまた
    はそれらの合金からなる少なくとも１層の金属あるいは
    窒化物薄膜を、膜厚が５〜３０ｎｍのＳｉ、Ａｌまたは
    その合金の窒化物薄膜でもって挟み込むよう被膜積層し
    た多層膜から少なくとも成ることを特徴とする熱的加工
    可能な断熱ガラス。
  2. 【請求項２】 前記熱的加工可能な断熱ガラスにおい
    て、前記多層膜の下地材あるいは／ならびに前記多層膜
    の被覆層である最外側表層として、膜厚が１０〜１５０
    ｎｍの透明誘電体薄膜を被膜積層した多層膜から成るこ
    とを特徴とする請求項１記載の熱的加工可能な断熱ガラ
    ス。
  3. 【請求項３】 前記透明誘電体薄膜が、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｔ
    ａ、Ｃｒ、Ｚｒ、Ｓｉの酸化物薄膜あるいは酸窒化物薄
    膜で成ることを特徴とする請求項２記載の熱的加工可能
    な断熱ガラス。
  4. 【請求項４】 前記断熱ガラスが、前記多層膜を積層成
    膜した後、焼き入れ処理加工あるいは／ならびに熱的曲
    げ成形加工して成ることを特徴とする請求項１記載の熱
    的加工可能な断熱ガラス。
  5. 【請求項５】 前記焼き入れ処理加工あるいは／ならび
    に加熱曲げ成形加工後、該熱的加工前後における、前記
    断熱ガラスの可視光透過率の変化が１０％以内であるこ
    とを特徴とする請求項４記載の熱的加工可能な断熱ガラ
    ス。
JP3286230A 1991-10-31 1991-10-31 熱的加工可能な断熱ガラス Pending JPH05124839A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3286230A JPH05124839A (ja) 1991-10-31 1991-10-31 熱的加工可能な断熱ガラス

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3286230A JPH05124839A (ja) 1991-10-31 1991-10-31 熱的加工可能な断熱ガラス

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05124839A true JPH05124839A (ja) 1993-05-21

Family

ID=17701659

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3286230A Pending JPH05124839A (ja) 1991-10-31 1991-10-31 熱的加工可能な断熱ガラス

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05124839A (ja)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08133792A (ja) * 1994-10-31 1996-05-28 Central Glass Co Ltd 熱線反射紫外線吸収透明体
FR2744117A1 (fr) * 1996-01-11 1997-08-01 Saint Gobain Vitrage Vitrage avec couches reflechissantes et son procede de fabrication
EP0823407A3 (fr) * 1996-08-07 1998-08-19 Saint-Gobain Vitrage Substrat verrier muni d'une couche réfléchissante
WO2001021540A1 (fr) * 1999-09-23 2001-03-29 Saint-Gobain Glass France Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire
WO2002090281A3 (en) * 2001-05-03 2004-06-17 Guardian Industries Heat treatable coated articles with metal nitride layer and methods of making same
US7081301B2 (en) 2003-10-14 2006-07-25 Guardian Industries Corp. Coated article with and oxide of silicon zirconium or zirconium yttrium oxide in overcoat, and/or niobium nitrude in ir reflecting layer
JP2009132611A (ja) * 2000-11-25 2009-06-18 Saint-Gobain Glass France 金属反射用の薄層を含む多層皮膜を有する透明基板
WO2009084442A1 (ja) * 2007-12-27 2009-07-09 Asahi Glass Company, Limited 熱線反射ガラス、および熱線反射ガラスの製造方法
JP2010500271A (ja) * 2006-08-11 2010-01-07 フオン・アルデンネ・アンラーゲンテヒニク・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 焼入れ可能なソーラーコントロール層系およびその製造方法
JP2017007215A (ja) * 2015-06-23 2017-01-12 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 透明断熱材料及びその製造方法
WO2018129135A1 (en) 2017-01-05 2018-07-12 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride based ir reflecting layer(s)
WO2021170959A1 (fr) 2020-02-28 2021-09-02 Saint-Gobain Glass France Vitrage de controle solaire comprenant une couche de nitrure de titane
FR3118440A1 (fr) 2020-12-31 2022-07-01 Saint-Gobain Glass France Vitrage antisolaire comprenant une couche mince à base de nitrure de titane et une couche de nitrure de silicium sous-stœchiométriques en azote.
WO2024160567A1 (de) * 2023-02-02 2024-08-08 Saint-Gobain Glass France Beschichtetes substrat mit wärmedämmenden und antireflektiven eigenschaften
FR3145933A1 (fr) 2023-02-16 2024-08-23 Saint-Gobain Glass France Vitrage d’isolation thermique et/ou de protection solaire comprenant une couche de nitrure de titane déposée par HiPIMS

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08133792A (ja) * 1994-10-31 1996-05-28 Central Glass Co Ltd 熱線反射紫外線吸収透明体
FR2744117A1 (fr) * 1996-01-11 1997-08-01 Saint Gobain Vitrage Vitrage avec couches reflechissantes et son procede de fabrication
EP0823407A3 (fr) * 1996-08-07 1998-08-19 Saint-Gobain Vitrage Substrat verrier muni d'une couche réfléchissante
EP1947485A1 (fr) * 1999-09-23 2008-07-23 Saint-Gobain Glass France Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire
WO2001021540A1 (fr) * 1999-09-23 2001-03-29 Saint-Gobain Glass France Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire
FR2799005A1 (fr) * 1999-09-23 2001-03-30 Saint Gobain Vitrage Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire
JP2003509327A (ja) * 1999-09-23 2003-03-11 サン−ゴバン グラス フランス 太陽輻射に作用する薄層の積層を有するガラス
JP2009132611A (ja) * 2000-11-25 2009-06-18 Saint-Gobain Glass France 金属反射用の薄層を含む多層皮膜を有する透明基板
WO2002090281A3 (en) * 2001-05-03 2004-06-17 Guardian Industries Heat treatable coated articles with metal nitride layer and methods of making same
US7081301B2 (en) 2003-10-14 2006-07-25 Guardian Industries Corp. Coated article with and oxide of silicon zirconium or zirconium yttrium oxide in overcoat, and/or niobium nitrude in ir reflecting layer
US7405004B2 (en) 2003-10-14 2008-07-29 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article and method of making same
JP2010500271A (ja) * 2006-08-11 2010-01-07 フオン・アルデンネ・アンラーゲンテヒニク・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 焼入れ可能なソーラーコントロール層系およびその製造方法
WO2009084442A1 (ja) * 2007-12-27 2009-07-09 Asahi Glass Company, Limited 熱線反射ガラス、および熱線反射ガラスの製造方法
JP2017007215A (ja) * 2015-06-23 2017-01-12 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 透明断熱材料及びその製造方法
WO2018129135A1 (en) 2017-01-05 2018-07-12 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride based ir reflecting layer(s)
EP3565791B1 (en) * 2017-01-05 2022-09-21 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride based ir reflecting layer(s)
EP4122898A1 (en) * 2017-01-05 2023-01-25 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride based ir reflecting layer(s)
WO2021170959A1 (fr) 2020-02-28 2021-09-02 Saint-Gobain Glass France Vitrage de controle solaire comprenant une couche de nitrure de titane
US11884580B2 (en) 2020-02-28 2024-01-30 Saint-Gobain Glass France Solar-control glazing unit comprising a layer of titanium nitride
FR3118440A1 (fr) 2020-12-31 2022-07-01 Saint-Gobain Glass France Vitrage antisolaire comprenant une couche mince à base de nitrure de titane et une couche de nitrure de silicium sous-stœchiométriques en azote.
WO2022144518A1 (fr) 2020-12-31 2022-07-07 Saint-Gobain Glass France Vitrage antisolaire comprenant une couche mince a base de nitrure de titane et une couche de nitrure de silicium sous-stoechiometriques en azote
WO2024160567A1 (de) * 2023-02-02 2024-08-08 Saint-Gobain Glass France Beschichtetes substrat mit wärmedämmenden und antireflektiven eigenschaften
FR3145933A1 (fr) 2023-02-16 2024-08-23 Saint-Gobain Glass France Vitrage d’isolation thermique et/ou de protection solaire comprenant une couche de nitrure de titane déposée par HiPIMS

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3974583B2 (ja) ニオブ−チタン層を有する薄膜コーティング
JP2888507B2 (ja) 金属真空被覆物品とその製造方法
US10654749B2 (en) Solar control coatings providing increased absorption or tint
KR100215520B1 (ko) 열처리된피복유리의제조방법
JP3322347B2 (ja) 透明な耐熱性ガラス物品及びその製造方法
CA1335887C (en) Neutral sputtered films of metal alloy oxides
EP3004014B1 (en) Low-emissivity and anti-solar glazing
EP0336257B1 (en) Low emissivity film for automotive head load reduction
EP3004015B1 (en) Low-emissivity glazing
JP3435514B2 (ja) 可視光透過性の耐熱ガラス製品
JPH08336923A (ja) 高透過率、低輻射率の耐熱性窓またはウィンドシールドおよびその製造方法
PL187951B1 (pl) Sposób powlekania szkła i płyta szklana z przezroczystą powłoką cienkowarstwową
JPH01301537A (ja) 高透過性低放射性物品及びその製法
JPH05124839A (ja) 熱的加工可能な断熱ガラス
CN113227269A (zh) 涂覆有含光吸收材料的涂层的制品
AU2016397940A1 (en) Bronze colored heat treatable coated article having low solar factor value
CN101203464A (zh) 具有热性能叠层的基材
AU2016397939A1 (en) Green colored heat treatable coated article having low solar factor value
KR970000383B1 (ko) 열선반사 유리 및 그 제조방법
JP6459374B2 (ja) 窓ガラスおよび積層膜付き透明基板
JP2574008B2 (ja) 高耐久性熱線遮へいガラスおよびその製造方法
KR102759137B1 (ko) 저방사 유리용 적층체
JPH0597475A (ja) 曲げ断熱ガラスおよびその製造法
JPH0597476A (ja) 熱処理可能な断熱ガラスおよびその製法
JPH09110472A (ja) スパッタ法による膜及びその形成法