JPH05128514A - 蒸着磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
蒸着磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH05128514A JPH05128514A JP3291158A JP29115891A JPH05128514A JP H05128514 A JPH05128514 A JP H05128514A JP 3291158 A JP3291158 A JP 3291158A JP 29115891 A JP29115891 A JP 29115891A JP H05128514 A JPH05128514 A JP H05128514A
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- JP
- Japan
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- oxygen
- vapor deposition
- magnetic recording
- recording medium
- nozzle
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸着磁気記録媒体の磁性層形成時の真空蒸着
において、溶解した蒸着材の輻射熱による酸素導入ノズ
ルの歪を防止し、安定した酸素導入を図り、面的に安定
した磁気特性を有する蒸着磁気記録媒体を得ることを目
的とする。 【構成】 酸素導入ノズルに冷却水循環パイプをろう付
し、酸素導入ノズルを冷却することにより、いかなる輻
射熱においても、酸素導入ノズルの初期流量分布を維持
し、安定した酸素導入が図れる。
において、溶解した蒸着材の輻射熱による酸素導入ノズ
ルの歪を防止し、安定した酸素導入を図り、面的に安定
した磁気特性を有する蒸着磁気記録媒体を得ることを目
的とする。 【構成】 酸素導入ノズルに冷却水循環パイプをろう付
し、酸素導入ノズルを冷却することにより、いかなる輻
射熱においても、酸素導入ノズルの初期流量分布を維持
し、安定した酸素導入が図れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高密度磁気記録に最適な
金属薄膜型の蒸着磁気記録媒体の製造方法に関するもの
である。
金属薄膜型の蒸着磁気記録媒体の製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録の分野においては、ディ
ジタル化，小型化，長時間化等の高性能化がすすんでい
るが、それにともなって高密度磁気記録媒体の要求が高
まり磁気記録層を強磁性金属薄膜で構成した金属薄膜型
の磁気記録媒体が短波長記録に極めて有利なことから盛
んに検討されている。磁気記録媒体に要求される性能と
しては、磁性体固有の性能である感度，ノイズ，歪，消
去特性等と磁性層の表面及び裏面の処理により得られる
走行性能，耐久性能等が挙げられる。
ジタル化，小型化，長時間化等の高性能化がすすんでい
るが、それにともなって高密度磁気記録媒体の要求が高
まり磁気記録層を強磁性金属薄膜で構成した金属薄膜型
の磁気記録媒体が短波長記録に極めて有利なことから盛
んに検討されている。磁気記録媒体に要求される性能と
しては、磁性体固有の性能である感度，ノイズ，歪，消
去特性等と磁性層の表面及び裏面の処理により得られる
走行性能，耐久性能等が挙げられる。
【０００３】以下に従来の斜め蒸着方法について説明す
る。図６は、従来の真空蒸着槽内部の蒸着部を示すもの
であり、１は巻取り部、２は巻出し部、３は冷却キャ
ン、４は酸素導入ノズル、５はシャッター、６は蒸発
源、７は電子銃、８は防着板、９はポリエチレンテレフ
タレートのフィルム基板である。
る。図６は、従来の真空蒸着槽内部の蒸着部を示すもの
であり、１は巻取り部、２は巻出し部、３は冷却キャ
ン、４は酸素導入ノズル、５はシャッター、６は蒸発
源、７は電子銃、８は防着板、９はポリエチレンテレフ
タレートのフィルム基板である。
【０００４】以上のように構成された蒸着装置の蒸着方
法について説明する。まず、蒸着するポリエチレンテレ
フタレートのフィルム基板９を巻出し側にセットし、真
空排気後、電子銃７により蒸着材を溶解する。その後、
酸素導入ノズル４より規定の酸素量を導入し、ライン速
度が規定速度に到達後、シャッター５を開閉し蒸着す
る。この時、シャッター５で規制される最低入射角及び
酸素ノズルの位置により磁気特性が大きく変化し、最低
入射角が高く、酸素ノズルがシャッター先端部にある方
が磁気特性の良いことが知られている。さらに、酸素ノ
ズルの吹き出し角度，吹き出し量によっても磁気特性，
蒸着膜の耐久性等が左右され、酸素ノズルの安定性が性
能，品質に重要なウエイトを占めることが一般的に知ら
れている。
法について説明する。まず、蒸着するポリエチレンテレ
フタレートのフィルム基板９を巻出し側にセットし、真
空排気後、電子銃７により蒸着材を溶解する。その後、
酸素導入ノズル４より規定の酸素量を導入し、ライン速
度が規定速度に到達後、シャッター５を開閉し蒸着す
る。この時、シャッター５で規制される最低入射角及び
酸素ノズルの位置により磁気特性が大きく変化し、最低
入射角が高く、酸素ノズルがシャッター先端部にある方
が磁気特性の良いことが知られている。さらに、酸素ノ
ズルの吹き出し角度，吹き出し量によっても磁気特性，
蒸着膜の耐久性等が左右され、酸素ノズルの安定性が性
能，品質に重要なウエイトを占めることが一般的に知ら
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、蒸着磁
気記録媒体の生産性の向上にともない電子銃のＰｏｗｅ
ｒを上げる必要があり、さらには蒸着効率を高めるた
め、蒸着部の開口部を広げたり、蒸発源を移動させたり
して蒸発レートを高くする取り組みが行われているが、
それにともない輻射熱による影響が増加し、酸素導入ノ
ズルにおいても、この輻射熱によりノズルの酸素吹き出
し穴が変形し、酸素ノズルの幅方向分布や酸素吹き付け
角度がバラツキ、幅方向，長手方向に安定した酸素導入
が図れなくなり、面的に安定した磁気特性を有する蒸着
磁気記録媒体が得られないという問題点を有していた。
気記録媒体の生産性の向上にともない電子銃のＰｏｗｅ
ｒを上げる必要があり、さらには蒸着効率を高めるた
め、蒸着部の開口部を広げたり、蒸発源を移動させたり
して蒸発レートを高くする取り組みが行われているが、
それにともない輻射熱による影響が増加し、酸素導入ノ
ズルにおいても、この輻射熱によりノズルの酸素吹き出
し穴が変形し、酸素ノズルの幅方向分布や酸素吹き付け
角度がバラツキ、幅方向，長手方向に安定した酸素導入
が図れなくなり、面的に安定した磁気特性を有する蒸着
磁気記録媒体が得られないという問題点を有していた。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、蒸着レートの向上にともない輻射熱が上昇しても
安定した酸素導入を図り、面的に安定な磁気特性を有す
る蒸着磁気記録媒体を得ることを目的とする。
ので、蒸着レートの向上にともない輻射熱が上昇しても
安定した酸素導入を図り、面的に安定な磁気特性を有す
る蒸着磁気記録媒体を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の蒸着磁気記録媒体の製造方法は、シャッター
の先端部に設けた酸素導入ノズルを冷却するものであ
る。
に本発明の蒸着磁気記録媒体の製造方法は、シャッター
の先端部に設けた酸素導入ノズルを冷却するものであ
る。
【０００８】
【作用】酸素導入ノズルを冷却することにより、いかな
る蒸着時の輻射熱に長時間さらされても、蒸着材で覆わ
れない限り、ノズルの吹き出し穴は変化することなく、
幅、長手においても、ノズル穴、吹き出し流量の初期分
布を維持することができ、常に安定した酸素導入を図る
ことができる。
る蒸着時の輻射熱に長時間さらされても、蒸着材で覆わ
れない限り、ノズルの吹き出し穴は変化することなく、
幅、長手においても、ノズル穴、吹き出し流量の初期分
布を維持することができ、常に安定した酸素導入を図る
ことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１０】図１は本発明に使用した酸素導入ノズル
で、１０は酸素導入ノズル本体、１１は冷却水循環パイ
プである。酸素導入ノズルは本体の長さ６００mm，直径
１０mmのパイプに１０mmの間隔で５０箇所直径０．２mm
の穴を開けたものである。この酸素導入ノズルを用い
て、図６の構成で蒸着を行なった。
で、１０は酸素導入ノズル本体、１１は冷却水循環パイ
プである。酸素導入ノズルは本体の長さ６００mm，直径
１０mmのパイプに１０mmの間隔で５０箇所直径０．２mm
の穴を開けたものである。この酸素導入ノズルを用い
て、図６の構成で蒸着を行なった。
【００１１】蒸着条件は、最低入射角１０度，蒸着材Ｃ
o，蒸着基板ＰＥＴ，蒸着幅５００mm，蒸着速度１００
ｍ／min，酸素流量３．０Ｌ／min，酸素導入ノズルへの
冷却水流量２Ｌ／min，冷却水温度２０℃、で透過率が
２％一定になるように電子銃のＰｏｗｅｒを調整し、１
００００ｍ処理した。
o，蒸着基板ＰＥＴ，蒸着幅５００mm，蒸着速度１００
ｍ／min，酸素流量３．０Ｌ／min，酸素導入ノズルへの
冷却水流量２Ｌ／min，冷却水温度２０℃、で透過率が
２％一定になるように電子銃のＰｏｗｅｒを調整し、１
００００ｍ処理した。
【００１２】蒸着の処理前後で酸素導入ノズルの各々の
吹き出し穴からの酸素吹き出し流量を流量計により測定
した結果を図２に示す。縦軸は酸素流量、横軸は酸素導
入ノズルの幅方向の吹き出し穴である。尚、酸素導入ノ
ズル本体への酸素供給圧縮は１kg／cm2とした。又、こ
のようにして得られた磁気記録媒体の磁気特性をＶＳＭ
で測定した結果を図３に示す。縦軸は保持力、横軸は蒸
着原反の幅方向で測定点数を１０点とした。グラフ上の
実線は蒸着始め、破線は蒸着終わりで蒸着の長手を表わ
す。次に酸素導入ノズルの冷却水を停止し、上記と同じ
蒸着条件で１００００ｍ処理し、上記同様、幅方向の磁
気特性を図４、酸素導入ノズルの幅方向の流量分布を図
５に示す。
吹き出し穴からの酸素吹き出し流量を流量計により測定
した結果を図２に示す。縦軸は酸素流量、横軸は酸素導
入ノズルの幅方向の吹き出し穴である。尚、酸素導入ノ
ズル本体への酸素供給圧縮は１kg／cm2とした。又、こ
のようにして得られた磁気記録媒体の磁気特性をＶＳＭ
で測定した結果を図３に示す。縦軸は保持力、横軸は蒸
着原反の幅方向で測定点数を１０点とした。グラフ上の
実線は蒸着始め、破線は蒸着終わりで蒸着の長手を表わ
す。次に酸素導入ノズルの冷却水を停止し、上記と同じ
蒸着条件で１００００ｍ処理し、上記同様、幅方向の磁
気特性を図４、酸素導入ノズルの幅方向の流量分布を図
５に示す。
【００１３】以上の結果より、酸素導入ノズル冷却する
ことにより、高レートにともなう高い輻射熱を受けても
長手、幅方向で安定した磁気特性を有する磁気記録媒体
を得ることができる。
ことにより、高レートにともなう高い輻射熱を受けても
長手、幅方向で安定した磁気特性を有する磁気記録媒体
を得ることができる。
【００１４】尚、本実施例では冷却パイプを酸素導入ノ
ズルと平行にろう付したものを使用したが、冷却パイプ
を酸素導入ノズルに螺旋状に取り付けたり、又は、ジャ
ケット構造を有する酸素導入ノズルを用いてもよい。
ズルと平行にろう付したものを使用したが、冷却パイプ
を酸素導入ノズルに螺旋状に取り付けたり、又は、ジャ
ケット構造を有する酸素導入ノズルを用いてもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、本発明は、シャッター先
端部に設けられた酸素導入ノズルを冷却することによ
り、いかなる高い輻射熱に長時間さらされても安定した
酸素導入がはかれ、面的（幅，長手）に安定した磁気特
性を有する蒸着磁気記録媒体を得ることができる。
端部に設けられた酸素導入ノズルを冷却することによ
り、いかなる高い輻射熱に長時間さらされても安定した
酸素導入がはかれ、面的（幅，長手）に安定した磁気特
性を有する蒸着磁気記録媒体を得ることができる。
【図１】本発明の実施例に用いた冷却パイプ付き酸素導
入ノズルの見取図
入ノズルの見取図
【図２】本発明の一実施例の酸素導入ノズルを冷却した
時の蒸着前後の酸素導入ノズルの幅方向流量分布図
時の蒸着前後の酸素導入ノズルの幅方向流量分布図
【図３】本発明の一実施例の酸素導入ノズルを冷却した
時の蒸着の幅、長手の保磁力測定結果を示す特性図
時の蒸着の幅、長手の保磁力測定結果を示す特性図
【図４】従来の酸素導入ノズルを冷却しない時の蒸着の
幅、長手の保磁力測定結果を示す特性図
幅、長手の保磁力測定結果を示す特性図
【図５】従来の酸素導入ノズルを冷却しない時の蒸着後
の酸素導入ノズルの幅方向の流量分布を示す特性図
の酸素導入ノズルの幅方向の流量分布を示す特性図
【図６】真空蒸着機の構造を示す模式図
１０ 酸素導入ノズル本体 １１ 冷却水循環パイプ
Claims (1)
- 【請求項１】 蒸着磁気記録媒体の蒸着層形成時に酸素
導入ノズルを冷却することを特徴とする蒸着磁気記録媒
体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3291158A JPH05128514A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 蒸着磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3291158A JPH05128514A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 蒸着磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05128514A true JPH05128514A (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=17765199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3291158A Pending JPH05128514A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 蒸着磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05128514A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0872344A2 (en) | 1997-04-16 | 1998-10-21 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording method and ink jet recording apparatus therefor |
| US6238730B1 (en) * | 1997-06-25 | 2001-05-29 | Sony Corporation | Gas introduction pipe and magnetic recording medium production method using the pipe |
-
1991
- 1991-11-07 JP JP3291158A patent/JPH05128514A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0872344A2 (en) | 1997-04-16 | 1998-10-21 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording method and ink jet recording apparatus therefor |
| US6238730B1 (en) * | 1997-06-25 | 2001-05-29 | Sony Corporation | Gas introduction pipe and magnetic recording medium production method using the pipe |
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