JPH0512857U - 非接触型節水弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 非接触型節水弁における、弁体の閉鎖時に、
該弁体と流体流入口との間隙を調節しうる機構を提案す
る。 【構成】 ピストン部材１５を回動自在なピストンロッ
ド２０によって螺着貫設せしめるとともに、該ピストン
ロッド先端に前記弁体１７を固設した作動部材１６を螺
着して、前記ピストンロッドの回動によって前記作動部
材を前後動せしめ、もって弁体の閉鎖時における該弁体
と前記流体流入口との間隙を調節しうるようにした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ウエハ等の電子部品の洗浄に使用される非接触型節水弁の改良に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハ等の精密電子部品を純水液等によって洗浄するに際して、一般に節水弁 と呼ばれる流体供給弁が使用される。この節水弁は、洗浄用タンク内に流体を満 たすためのいわゆる一般的な切換弁機構と、流体の停滞によるバクテリア類の発 生を防止するために前記弁機構の閉鎖時においても常時少量の流体を供給する機 構とを含んでいる。

【０００３】 本出願人は、実開平３−２９７８２号公報として公開されているように、この 種節水弁として、バルブの開閉作動時に弁体と流体流入口との接触によって引き 起こされる微量のちり、屑（パーティクルともいう）が洗浄中の電子部品に付着 して製品欠点を生じさせることを防ぐために、弁体の閉鎖時に該弁体と流体流入 口との間を非接触として、ここにわずかな間隙を形成することによって、連続的 に少量の流体を供給する非接触型節水弁の構造を提案した。

【０００４】 しかるに、この公開技術にあっては、所期の目的は達成されたものの、今度は 弁体閉鎖時における前記間隙の開口量を調節することが要求されるに至った。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

この考案はこのような要請に応えて、非接触型節水弁における、弁体の閉鎖時 に、該弁体と前記流体流入口との間隙を調節しうる機構を提案するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

すなわち、この考案は、ピストン部材の前後動により前進後退する弁体を含み 、前記ピストン部材の前進時において前記弁体と流体流入口との間にわずかな間 隙を形成するようにした非接触型節水弁において、前記ピストン部材を回動自在 なピストンロッドによって螺着貫設せしめるとともに、該ピストンロッド先端に 前記弁体を固設した作動部材を螺着して、前記ピストンロッドの回動によって前 記作動部材を前後動せしめ、もって弁体の前進時における該弁体と前記流体流入 口との間隙を調節しうるようにしたことを特徴とする非接触型節水弁に係る。

【０００７】

【実施例】

以下添付の図面に従ってこの考案の実施例を説明する。 図１はこの考案に係る非接触型節水弁の一例を示す全体縦断面図、図２はその 微調整機構におけるねじ部の関係を示す模式図、図３は調節用の回動ハンドルお よびそのストッパを示す要部の平面図である。

【０００８】 図１に図示したように、この非接触型節水弁１０は、ピストン部材１５の前後 動により前進後退する弁体１７を含み、前記ピストン部材１５の前進時において 、作動部材１６を介して固設された前記弁体１７と流体流入口１９との間にわず かな間隙Ｃを形成するようにしたものである。

【０００９】 弁体、ここではダイヤフラム弁体１７は、図のように、ピストン部材１５およ び作動部材１６を介して作動されるのであるが、同図の上部に示される開閉調整 ロッド１２によって、ピストン部材１５のピストンロッド２０の後退位置が規制 され、これによって弁体１７後退時における開度（最大開度）が定められる。こ の実施例における弁体１７の開閉ストロークは最大約４ｍｍである。符号１２Ａ は調節つまみ、１２Ｂはそのロックナットである。

【００１０】 なお、図１において、１１Ａはバルブケース、１１Ｂは前記バルブケース１１ Ａに着脱自在に取付けられたバルブキャップ、１３は純水等の流体の入口ポート 、１４はその出口ポート、１７Ａはダイヤフラムクッション、１８はスプリング 、２０はピストンロッド、４１はピストン部材１５を前進させ弁を閉じる弁閉用 エアの流入口、４２は同じくピストン部材１５を後退させ弁を開く弁開用エアの 流入口である。

【００１１】 この考案は、前記したように、ピストン部材１５の前進時、つまり弁体閉鎖時 において、弁体１７と流体流入口１９との間に形成される間隙Ｃの開口量を調節 しうるようにしたもので、その機構を次に示す。

【００１２】 すなわち、前記ピストン部材１５のピストンロッド２０は、図示のように、そ の後端部において回動ハンドル３０が固設されているとともに、ねじ部２１によ って回動自在に該ピストン部材１５に螺着貫設されている。そして、さらにピス トンロッド２０は、その先端部に形成されたねじ部２２によって前記弁体１７を 固設した作動部材１６と螺着している。

【００１３】 ここで、符号２４はピストン部材１５の回り止めピンで、これによって、ピス トンロッド２０の回動は、該ピストン部材１５を回動させることなく、作動部材 １６を前後動せしめる。

【００１４】 従って、前記ピストンロッド２０の回動によって、その作動部材１６螺着部 におけるねじピッチ分に応じ、前記作動部材１６を前後動せしめ、もって弁体１ ７と前記流体流入口１９との間の間隙Ｃが調節される。 図２はこの間隙Ｃの微調整機構におけるねじ部の関係を示す模式図であるが、 ピストンロッド２０に設けた二つのねじ部、つまりピストン部材１５の螺着部２ １と作動部材１６の螺着部２２のねじピッチを変えることによって、より精密な 微調整を行うことができる。

【００１５】 すなわち、図２の例では、ピストン部材１５の螺着部２１のねじピッチａを１ ｍｍ、作動部材１６の螺着部２２のねじピッチｂを１．５ｍｍとし、ピストンロ ッド２０の１回転によって、その差ｂ−ａ、つまり０．５ｍｍだけ作動部材１６ が動くようになっている。従って、もし、ピストンロッド２０を１２分の１回転 させるとすれば、作動部材１６（つまり弁体１７）は０．５／１２ｍｍ、つまり 約０．０４ｍｍだけ動くわけである。

【００１６】 図３は、ピストンロッド２０を回動させる調節用のハンドル３０を示すもので あるが、この図のように、ハンドル３０を１２分割したものを使用すれば、その １分割分に対して間隙Ｃがどれだけ変化するかが容易にわかる。

【００１７】 そして、この例ではハンドル３０に設けられた切欠３１内にロックピン３５を 挿入することによってピストンロッド２０の固定を行うようになっている。符号 ３６はピン開放溝である。

【００１８】 以上のように構成された非接触型節水弁においては、先ず洗浄用タンクに流体 を満たす場合は、弁体を開き、このとき、開閉調整ロッド１２によって流量調整 された最大開度にピストン１５部材が後退し、ダイヤフラム弁体１７と流入口１ ９との間に形成された最大間隙を通じて流体が入口ポート１３から出口ポート１ ４へと流出し、最大の流出量で洗浄用タンクに流体が短時間に注入される。

【００１９】 洗浄用タンク内に所定量の流体が満たされ該洗浄用タンク内でウエハ等の洗浄 処理が開始されると、エアの切換えによってピストン１５部材が前進して弁体１ ７が閉の状態に移動される。このとき、この考案の節水弁１０においてはこの場 合、弁体１７と流入口１９との間には調整された所定間隙Ｃの間隙が形成される ので圧送された流体は該間隙を経て常時少量ずつ流出されることなり、洗浄用タ ンク内の流体は停滞することなく少量ずつ補給される。

【００２０】

【考案の効果】

以上の説明からも明らかなように、本考案にあっては、弁体と流体流入口との 接触が無い非接触型の弁構造であるので、接触に伴うパーティクルの発生を完全 に防止することができる。

【００２１】 同時にこの考案では、弁体と流入口と間の間隙を所望のものに調整できるので 、必要に応じ流体の流量を適宜調節することができ、作業の精度および効率を図 ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に係る非接触型節水弁の一例を示す全
体縦断面図である。

【図２】その微調整機構におけるねじ部の関係を示す模
式図である。

【図３】同じく調節用の回動ハンドルおよびそのストッ
パを示す要部の平面図である。 １０ 非接触型節水弁 １１Ａ バルブケース １１Ｂ バルブキャップ １２ 開閉調整ロッド １５ ピストン部材 １６ 作動部材 １７ 弁体 １９ 流入口 ２０ ピストンロッド ２１ ねじ部（ピストン部材との） ２２ ねじ部（作動部材との） ３０ 回動ハンドル ３１ 切欠 ３５ ロックピン

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ピストン部材の前後動により前進後退す
   る弁体を含み、前記ピストン部材の前進時において前記
   弁体と流体流入口との間にわずかな間隙を形成するよう
   にした非接触型節水弁において、 前記ピストン部材を回動自在なピストンロッドによって
   螺着貫設せしめるとともに、該ピストンロッド先端に前
   記弁体を固設した作動部材を螺着して、前記ピストンロ
   ッドの回動によって前記作動部材を前後動せしめ、もっ
   て弁体の前進時における該弁体と前記流体流入口との間
   隙を調節しうるようにしたことを特徴とする非接触型節
   水弁。
2. 【請求項２】 請求項１において、ピストンロッドにお
   けるピストン部材螺着部のねじピッチよりも作動部材螺
   着部のねじピッチが大きく構成された非接触型節水弁。
3. 【請求項３】 請求項１において、ピストンロッドに回
   動ハンドルおよびそのストッパが形成された非接触型節
   水弁。