JPH0513399A - 遠心乾燥装置 - Google Patents
遠心乾燥装置Info
- Publication number
- JPH0513399A JPH0513399A JP16476991A JP16476991A JPH0513399A JP H0513399 A JPH0513399 A JP H0513399A JP 16476991 A JP16476991 A JP 16476991A JP 16476991 A JP16476991 A JP 16476991A JP H0513399 A JPH0513399 A JP H0513399A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- wafer
- carrier
- adapter
- centrifugal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】一つの遠心乾燥装置を用いて寸法の異なるウェ
ーハを乾燥する場合に、洗浄の必要なロータの交換を行
わないですむようにする。 【構成】小さい径のウェーハ１のためのウェーハキャリ
ア２と大きい径のウェーハの乾燥に用いるロータ３の間
に生ずる空間を、ワンタッチで着脱できるアダプタ５を
用いて埋めることにより、アダプタ５さえ準備すれば同
一のロータ３を用いて寸法の異なるウェーハ１を乾燥す
ることができる。
ーハを乾燥する場合に、洗浄の必要なロータの交換を行
わないですむようにする。 【構成】小さい径のウェーハ１のためのウェーハキャリ
ア２と大きい径のウェーハの乾燥に用いるロータ３の間
に生ずる空間を、ワンタッチで着脱できるアダプタ５を
用いて埋めることにより、アダプタ５さえ準備すれば同
一のロータ３を用いて寸法の異なるウェーハ１を乾燥す
ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高速回転による遠心力
を利用して主として半導体ウェーハの表面の液体をふり
切って迅速に乾燥する遠心乾燥装置に関する。
を利用して主として半導体ウェーハの表面の液体をふり
切って迅速に乾燥する遠心乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体のウェーハ処理工程において、ウ
ェーハ表面を清浄にするため薬品水溶液, 有機溶媒, 水
などの液体を使用して洗浄することがしばしば行われ
る。そのような湿式洗浄をしたあとでウェーハを短時間
で乾燥することは、半導体製造工程の時間を短縮する上
で重要であり、そのために遠心力を利用した乾燥装置を
用いることはよく知られている。遠心乾燥装置は、ウェ
ーハを支持したキャリアをロータ内に収容し、ロータを
モータを用いて回転させる装置である。
ェーハ表面を清浄にするため薬品水溶液, 有機溶媒, 水
などの液体を使用して洗浄することがしばしば行われ
る。そのような湿式洗浄をしたあとでウェーハを短時間
で乾燥することは、半導体製造工程の時間を短縮する上
で重要であり、そのために遠心力を利用した乾燥装置を
用いることはよく知られている。遠心乾燥装置は、ウェ
ーハを支持したキャリアをロータ内に収容し、ロータを
モータを用いて回転させる装置である。
【０００３】図２はそのような遠心乾燥装置を示し、ウ
ェーハ１をキャリア２に入れ、そのキャリアを円筒状ロ
ータ３にセットする。図３はキャリア２をロータ３にセ
ットした状態を示し、ロータ３内の内部の空間にキャリ
ア２が嵌め込まれ、キャリア２の頂部21がロータ３内壁
の溝31に係合する。キャリア２はふっ素樹脂の注型で形
成され、その間にウェーハ１をはさむことができる複数
の衝立状部分が上下で連結されてなり、図示しないがそ
の脚部はロータ１の内壁の凹部にさし込まれる。キャリ
ア２に挿入されたウェーハ１はロータ３の内面突出部32
に抑えられる。ロータ３を図２に示すように乾燥装置の
本体４に入れ、蓋41を閉じ、操作パネル42の操作により
1000〜3000rpm で回転させると、キャリア２も同時に回
転し、ウェーハ１表面の液体は遠心力でふき飛ばされる
ので短時間で乾燥することができる。
ェーハ１をキャリア２に入れ、そのキャリアを円筒状ロ
ータ３にセットする。図３はキャリア２をロータ３にセ
ットした状態を示し、ロータ３内の内部の空間にキャリ
ア２が嵌め込まれ、キャリア２の頂部21がロータ３内壁
の溝31に係合する。キャリア２はふっ素樹脂の注型で形
成され、その間にウェーハ１をはさむことができる複数
の衝立状部分が上下で連結されてなり、図示しないがそ
の脚部はロータ１の内壁の凹部にさし込まれる。キャリ
ア２に挿入されたウェーハ１はロータ３の内面突出部32
に抑えられる。ロータ３を図２に示すように乾燥装置の
本体４に入れ、蓋41を閉じ、操作パネル42の操作により
1000〜3000rpm で回転させると、キャリア２も同時に回
転し、ウェーハ１表面の液体は遠心力でふき飛ばされる
ので短時間で乾燥することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】径の異なる複数種類の
ウェーハの乾燥を行う場合、従来は各寸法のウェーハに
対してそれぞれ専用のロータのある遠心乾燥装置を準備
するか、１台の遠心乾燥装置を用いてウェーハの寸法に
合わせてロータを交換していた。しかし、前者の方式で
は乾燥装置が複数となるため、設置場所が広くなる欠点
があった。また後者の場合は、設置場所は１台分で良い
が、ロータの交換のための時間、ロータと駆動部を切り
はずすときに塵埃が飛散するためその都度必要となる洗
浄時間など時間の損失が多くなる欠点があった。
ウェーハの乾燥を行う場合、従来は各寸法のウェーハに
対してそれぞれ専用のロータのある遠心乾燥装置を準備
するか、１台の遠心乾燥装置を用いてウェーハの寸法に
合わせてロータを交換していた。しかし、前者の方式で
は乾燥装置が複数となるため、設置場所が広くなる欠点
があった。また後者の場合は、設置場所は１台分で良い
が、ロータの交換のための時間、ロータと駆動部を切り
はずすときに塵埃が飛散するためその都度必要となる洗
浄時間など時間の損失が多くなる欠点があった。
【０００５】本発明の目的は、このような欠点を除去
し、一台で複数の寸法のウェーハの乾燥が少ない時間の
損失でできる遠心乾燥装置を提供することにある。
し、一台で複数の寸法のウェーハの乾燥が少ない時間の
損失でできる遠心乾燥装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、ウェーハを支持したキャリアをロータ
内に収容し、ロータおよびその中のウェーハキャリアを
回転させてウェーハ表面に付着した液体を除去する遠心
乾燥装置において、ロータの内部空間に挿入されてその
内壁に係合すると共に、ウェーハキャリアが挿入されて
その内壁に係合する内部空間を有する治具が使用可能で
あるものとする。そして、治具が外面および内面にロー
タおよびウェーハキャリアの突出部の嵌入可能な溝を有
することが有効である。また治具が金属よりなることも
有効である。
めに、本発明は、ウェーハを支持したキャリアをロータ
内に収容し、ロータおよびその中のウェーハキャリアを
回転させてウェーハ表面に付着した液体を除去する遠心
乾燥装置において、ロータの内部空間に挿入されてその
内壁に係合すると共に、ウェーハキャリアが挿入されて
その内壁に係合する内部空間を有する治具が使用可能で
あるものとする。そして、治具が外面および内面にロー
タおよびウェーハキャリアの突出部の嵌入可能な溝を有
することが有効である。また治具が金属よりなることも
有効である。
【０００７】
【作用】ロータおよびウェーハキャリアと係合するアダ
プタ治具を用いることにより、アダプタさへ準備すれば
従来のウェーハキャリアを用いて一つのロータに複数種
類の寸法のウェーハを収容することが可能になるため、
複数の遠心乾燥装置を用いる必要がない。またロータを
交換しないので塵埃が飛散することがないため、異なる
寸法のウェーハを収容する際の洗浄が不要であり、さら
にアダプタはウェーハに接触しないので金属を材料とし
て機械加工でつくることができる。
プタ治具を用いることにより、アダプタさへ準備すれば
従来のウェーハキャリアを用いて一つのロータに複数種
類の寸法のウェーハを収容することが可能になるため、
複数の遠心乾燥装置を用いる必要がない。またロータを
交換しないので塵埃が飛散することがないため、異なる
寸法のウェーハを収容する際の洗浄が不要であり、さら
にアダプタはウェーハに接触しないので金属を材料とし
て機械加工でつくることができる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例の遠心乾燥装置のロ
ータ内に４インチウェーハを収容した状態を示し、図
２, 図３と共通の部分には同一の符号が付されている。
この場合は、５インチウェーハ用ロータ３に４インチウ
ェーハアダプタ５を挿入する。このアダプタ５は図４に
示すような角筒状で、外面に方形溝51および半円形溝52
が形成されている。この溝51, 52にロータ３の内面の突
出部32, 33が嵌入する。これにより、ロータ３が回転す
るときにはアダプタ５も回転する。アダプタ５の内面に
は溝53および帯状貫通孔54が形成されており、４インチ
用ウェーハキャリア２の突出部21が溝53に入り、脚部22
が孔54に入る。これにより、キャリア２およびそれに挿
し込まれ、アダプタ５の内面の突出部55に抑えられる直
径４インチのウェーハ１はアダプタ５, ロータ３と共に
回転する。４インチ用ウェーハキャリア２は従来用いら
れていたものがそのまま用いられる。この場合、ウェー
ハ１, ウェーハキャリア２およびアダプタ５の重量配分
をロータ３の中心に対して各方向にすべて均等化させ、
ロータ回転時に偏心が起きないようにする。
ータ内に４インチウェーハを収容した状態を示し、図
２, 図３と共通の部分には同一の符号が付されている。
この場合は、５インチウェーハ用ロータ３に４インチウ
ェーハアダプタ５を挿入する。このアダプタ５は図４に
示すような角筒状で、外面に方形溝51および半円形溝52
が形成されている。この溝51, 52にロータ３の内面の突
出部32, 33が嵌入する。これにより、ロータ３が回転す
るときにはアダプタ５も回転する。アダプタ５の内面に
は溝53および帯状貫通孔54が形成されており、４インチ
用ウェーハキャリア２の突出部21が溝53に入り、脚部22
が孔54に入る。これにより、キャリア２およびそれに挿
し込まれ、アダプタ５の内面の突出部55に抑えられる直
径４インチのウェーハ１はアダプタ５, ロータ３と共に
回転する。４インチ用ウェーハキャリア２は従来用いら
れていたものがそのまま用いられる。この場合、ウェー
ハ１, ウェーハキャリア２およびアダプタ５の重量配分
をロータ３の中心に対して各方向にすべて均等化させ、
ロータ回転時に偏心が起きないようにする。
【０００９】この遠心乾燥装置を用い、５インチウェー
ハを乾燥するときは、４インチアダプタ５を外し、５イ
ンチウェーハを装着した５インチウェーハキャリアをロ
ータ３に挿入する。４インチウェーハを乾燥するとき
は、まずロータ３に４インチ用アダプタ５を挿入し、そ
のあとに４インチウェーハ１を装着した４インチウェー
ハキャリア２を挿入する。ロータとアダプタの係合、ア
ダプタとキャリアの係合は、溝部と突出部で行われるか
ら、アダプタの挿入, 取外し, アダプタへのキャリアの
挿入, 取外しはすべてワンタッチで簡単にできる。な
お、前述のようにアダプタはウェーハに接触しないの
で、ステンレス鋼あるいはアルミニウムのような金属を
材料として、機械加工により製作することができ、ウェ
ーハキャリアのように樹脂注型用の金型を必要としない
ので、寸法の異なるウェーハに対するアダプタの製作が
簡単である。
ハを乾燥するときは、４インチアダプタ５を外し、５イ
ンチウェーハを装着した５インチウェーハキャリアをロ
ータ３に挿入する。４インチウェーハを乾燥するとき
は、まずロータ３に４インチ用アダプタ５を挿入し、そ
のあとに４インチウェーハ１を装着した４インチウェー
ハキャリア２を挿入する。ロータとアダプタの係合、ア
ダプタとキャリアの係合は、溝部と突出部で行われるか
ら、アダプタの挿入, 取外し, アダプタへのキャリアの
挿入, 取外しはすべてワンタッチで簡単にできる。な
お、前述のようにアダプタはウェーハに接触しないの
で、ステンレス鋼あるいはアルミニウムのような金属を
材料として、機械加工により製作することができ、ウェ
ーハキャリアのように樹脂注型用の金型を必要としない
ので、寸法の異なるウェーハに対するアダプタの製作が
簡単である。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、ロータとウェーハキャ
リアの間の空間を埋めるアダプタを使用することによ
り、寸法の異なるウェーハに対する複数種のキャリアを
同一ロータにセットすることが可能になるため、１台の
遠心乾燥装置で寸法の異なるウェーハの乾燥でき、乾燥
装置を設置するために大きな面積を必要としない。ま
た、ウェーハ寸法変更の時にロータの交換を行う必要が
ないので、装置内の洗浄の手数が省略でき、かつアダプ
タは金属が使用できるので低価格で製作することができ
る。
リアの間の空間を埋めるアダプタを使用することによ
り、寸法の異なるウェーハに対する複数種のキャリアを
同一ロータにセットすることが可能になるため、１台の
遠心乾燥装置で寸法の異なるウェーハの乾燥でき、乾燥
装置を設置するために大きな面積を必要としない。ま
た、ウェーハ寸法変更の時にロータの交換を行う必要が
ないので、装置内の洗浄の手数が省略でき、かつアダプ
タは金属が使用できるので低価格で製作することができ
る。
【図１】本発明の一実施例の遠心乾燥装置のロータの正
面図
面図
【図２】従来の遠心乾燥装置の斜視図
【図３】図２の装置のロータの拡大斜視図
【図４】本発明によるアダプタの斜視図
１ ウェーハ
２ ウェーハキャリア
２１ キャリア突出部
２２ キャリア脚部
３ ロータ
３２ ロータ突出部
３３ ロータ突出部
５ アダプタ
５１ アダプタ溝
５２ アダプタ溝
５３ アダプタ溝
５４ アダプタ貫通孔
５５ アダプタ突出部
Claims (3)
- 【請求項１】ウェーハを支持したキャリアをロータ内に
収容し、ロータおよびその中のウェーハキャリアを回転
させてウェーハ表面に付着した液体を除去するものにお
いて、ロータの内部空間に挿入されてその内壁に係合す
ると共に、ウェーハキャリアが挿入されて内壁に係合す
る内部空間を有する治具が使用可能であることを特徴と
する遠心乾燥装置。 - 【請求項２】治具が外面および内面にロータおよびウェ
ーハキャリアの突出部の嵌入可能な溝を有する請求項１
記載の遠心乾燥装置。 - 【請求項３】治具が金属よりなる請求項１あるいは２記
載の遠心乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16476991A JPH0513399A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 遠心乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16476991A JPH0513399A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 遠心乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0513399A true JPH0513399A (ja) | 1993-01-22 |
Family
ID=15799585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16476991A Pending JPH0513399A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | 遠心乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0513399A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6884615B2 (en) | 2002-07-09 | 2005-04-26 | Futaba Corporation | Microplate |
-
1991
- 1991-07-05 JP JP16476991A patent/JPH0513399A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6884615B2 (en) | 2002-07-09 | 2005-04-26 | Futaba Corporation | Microplate |
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