JPH05134711A - マスフローコントローラ制御ユニツト - Google Patents
マスフローコントローラ制御ユニツトInfo
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- JPH05134711A JPH05134711A JP29743791A JP29743791A JPH05134711A JP H05134711 A JPH05134711 A JP H05134711A JP 29743791 A JP29743791 A JP 29743791A JP 29743791 A JP29743791 A JP 29743791A JP H05134711 A JPH05134711 A JP H05134711A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- flow controller
- display
- control unit
- conversion circuit
- Prior art date
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- Pending
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- Flow Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 マスフローコントローラ制御ユニット１１
は、ＭＰＵ基板１５とＡ／Ｄ変換基板１６とＤ／Ａ変換
基板１７，１８とシリアルＩ／Ｏ２８とを備え、マスフ
ローコントローラ１２はＡ／Ｄ・Ｄ／Ａ変換基板１６〜
１８に接続され、装置制御システム１４はシリアルＩ／
Ｏ２８により回線を通じて結ばれる。マスフローコント
ローラ１２とのアナログ信号の授受は基板１６〜１８を
介し行われるが、装置制御システム１４とはデータ通信
によりリンクされる。 【効果】 装置制御システムとはコンパクトな別体装置
としてマスフローコントローラ近傍へ配置可能となり、
アナログ信号の通路短縮が図れ、マスフローコントロー
ラの安定動作を可能とし、ハード設計が行ない易い。装
置制御システムにてマスフローコントローラに対するＡ
／Ｄ入力、Ｄ／Ａ出力用制御を行う必要が無くソフトウ
エア開発も行い易い。
は、ＭＰＵ基板１５とＡ／Ｄ変換基板１６とＤ／Ａ変換
基板１７，１８とシリアルＩ／Ｏ２８とを備え、マスフ
ローコントローラ１２はＡ／Ｄ・Ｄ／Ａ変換基板１６〜
１８に接続され、装置制御システム１４はシリアルＩ／
Ｏ２８により回線を通じて結ばれる。マスフローコント
ローラ１２とのアナログ信号の授受は基板１６〜１８を
介し行われるが、装置制御システム１４とはデータ通信
によりリンクされる。 【効果】 装置制御システムとはコンパクトな別体装置
としてマスフローコントローラ近傍へ配置可能となり、
アナログ信号の通路短縮が図れ、マスフローコントロー
ラの安定動作を可能とし、ハード設計が行ない易い。装
置制御システムにてマスフローコントローラに対するＡ
／Ｄ入力、Ｄ／Ａ出力用制御を行う必要が無くソフトウ
エア開発も行い易い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマスフローコントローラ
のドライバとして機能するマスフローコントローラ制御
ユニットに関する。
のドライバとして機能するマスフローコントローラ制御
ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】マスフローコントローラはガス、液体等
の流体流路における質量流量を調整するものであり、例
えば、半導体装置製造分野において材料ガス、薬液等を
輸送するラインに設置される。このような生産ラインに
は、その工程全般の制御を司る装置制御システムなるも
のが設置され、マスフローコントローラのドライブ制御
もその装置制御システムの役割とされている。
の流体流路における質量流量を調整するものであり、例
えば、半導体装置製造分野において材料ガス、薬液等を
輸送するラインに設置される。このような生産ラインに
は、その工程全般の制御を司る装置制御システムなるも
のが設置され、マスフローコントローラのドライブ制御
もその装置制御システムの役割とされている。
【０００３】図４は従来の装置制御システムの内部構成
を概略示すものである。この図において、符号１がその
装置制御システムであり、ＭＰＵ基板２とＡ／Ｄ変換基
板３とＤ／Ａ変換基板４，５と入出力基板６，７と定電
圧電源８とを備え、複数のマスフローコントローラ９の
制御機能を有する。
を概略示すものである。この図において、符号１がその
装置制御システムであり、ＭＰＵ基板２とＡ／Ｄ変換基
板３とＤ／Ａ変換基板４，５と入出力基板６，７と定電
圧電源８とを備え、複数のマスフローコントローラ９の
制御機能を有する。
【０００４】ＭＰＵ基板２はＣＰＵを構成するものであ
り、内部の制御全般を司るものである。Ａ／Ｄ変換基板
３は、複数のマスフローコントローラ９，９，…が接続
可能とされ、これらマスフローコントローラ９，９，…
からのアナログデータ信号をディジタルデータ信号に変
換し、ＭＰＵ基板２に送信する。ＭＰＵ基板２は受信デ
ータ信号に基づいてマスフローコントローラ９，９，…
の作動状態を監視する。
り、内部の制御全般を司るものである。Ａ／Ｄ変換基板
３は、複数のマスフローコントローラ９，９，…が接続
可能とされ、これらマスフローコントローラ９，９，…
からのアナログデータ信号をディジタルデータ信号に変
換し、ＭＰＵ基板２に送信する。ＭＰＵ基板２は受信デ
ータ信号に基づいてマスフローコントローラ９，９，…
の作動状態を監視する。
【０００５】このＭＰＵ基板２はマスフローコントロー
ラ９，９，…一つ一つをドライブ制御するためのディジ
タル制御信号を発生する機能を有し、このディジタル制
御信号はＤ／Ａ変換基板４，５によりマスフローコント
ローラ向けにアナログ信号に変換され、各マスフローコ
ントローラ９，９，…に与えられる。
ラ９，９，…一つ一つをドライブ制御するためのディジ
タル制御信号を発生する機能を有し、このディジタル制
御信号はＤ／Ａ変換基板４，５によりマスフローコント
ローラ向けにアナログ信号に変換され、各マスフローコ
ントローラ９，９，…に与えられる。
【０００６】その他、入出力基板６，７は他の制御対象
とのインタフェイスとなるものである。定電圧電源８は
内部構成要素に電源電圧を供給するものである。
とのインタフェイスとなるものである。定電圧電源８は
内部構成要素に電源電圧を供給するものである。
【０００７】以上のようなシステムにより、マスフロー
コントローラはその工程に配されている他の装置と共に
装置制御システムにより制御され、当該他の装置と密接
に関連された状態で作動するようになっている。
コントローラはその工程に配されている他の装置と共に
装置制御システムにより制御され、当該他の装置と密接
に関連された状態で作動するようになっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
マスフローコントロールシステムにおいて各マスフロー
コントローラの装置制御システムに対する接続は配線ケ
ーブルにより行われるが、マスフローコントローラに対
してはアナログ信号を取扱うことから、その配線の設計
にあたっては配線抵抗による信号劣化を極力避けるよう
に配慮する必要がある。
マスフローコントロールシステムにおいて各マスフロー
コントローラの装置制御システムに対する接続は配線ケ
ーブルにより行われるが、マスフローコントローラに対
してはアナログ信号を取扱うことから、その配線の設計
にあたっては配線抵抗による信号劣化を極力避けるよう
に配慮する必要がある。
【０００９】しかしながら、上述装置制御システムは概
して大型であり、また保守保全性、周囲の環境等との関
係で大概はマスフローコントローラの近傍に設置するこ
とができないため、どうしてもケーブルが長くなり、電
装ハード設計において大きな制約を生んでいる。
して大型であり、また保守保全性、周囲の環境等との関
係で大概はマスフローコントローラの近傍に設置するこ
とができないため、どうしてもケーブルが長くなり、電
装ハード設計において大きな制約を生んでいる。
【００１０】また、装置制御システムは多数のマスフロ
ーコントローラの制御を一手に引き受けるばかりでな
く、他の装置との関連においてその制御を行うことか
ら、Ａ／Ｄ入力、Ｄ／Ａ出力のために繁雑なデータ処理
が必要となる。そのため、装置制御プログラムの開発に
あたっては多くの時間と労力を費やすこととなってい
る。
ーコントローラの制御を一手に引き受けるばかりでな
く、他の装置との関連においてその制御を行うことか
ら、Ａ／Ｄ入力、Ｄ／Ａ出力のために繁雑なデータ処理
が必要となる。そのため、装置制御プログラムの開発に
あたっては多くの時間と労力を費やすこととなってい
る。
【００１１】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、マスフ
ローコントロールシステムのハードウエア、ソフトウエ
ア両開発面において労力の削減に寄与するマスフローコ
ントローラ制御ユニットを提供することにある。
みてなされたもので、その目的とするところは、マスフ
ローコントロールシステムのハードウエア、ソフトウエ
ア両開発面において労力の削減に寄与するマスフローコ
ントローラ制御ユニットを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明の
マスフローコントローラ制御ユニットは、１または２以
上のマスフローコントローラからのアナログデータ信号
をディジタルデータ信号に変換するマスフローコントロ
ーラ接続用Ａ／Ｄ変換回路と、上記１または２以上のマ
スフローコントローラをドライブ制御するためのディジ
タル制御信号をアナログ制御信号に変換して当該マスフ
ローコントローラに与えるマスフローコントローラ接続
用Ｄ／Ａ変換回路と、上記Ａ／Ｄ変換回路の出力をディ
ジタル通信路に送出するとともに前記ディジタル制御信
号を該ディジタル通信路から受入れて上記Ｄ／Ａ変換回
路に与える通信制御部とを備えている。
マスフローコントローラ制御ユニットは、１または２以
上のマスフローコントローラからのアナログデータ信号
をディジタルデータ信号に変換するマスフローコントロ
ーラ接続用Ａ／Ｄ変換回路と、上記１または２以上のマ
スフローコントローラをドライブ制御するためのディジ
タル制御信号をアナログ制御信号に変換して当該マスフ
ローコントローラに与えるマスフローコントローラ接続
用Ｄ／Ａ変換回路と、上記Ａ／Ｄ変換回路の出力をディ
ジタル通信路に送出するとともに前記ディジタル制御信
号を該ディジタル通信路から受入れて上記Ｄ／Ａ変換回
路に与える通信制御部とを備えている。
【００１３】請求項２記載のマスフローコントローラ制
御ユニットは、流路状態表示器と、流体流路に配された
流量計からのアナログデータ信号をディジタルデータ信
号に変換する流量計接続用Ａ／Ｄ変換回路と、マスフロ
ーコントローラ接続用Ａ／Ｄ変換回路および流量計接続
用Ａ／Ｄ変換回路からのディジタルデータ信号の内容に
基づいて上記流体流路における流量実効値を求めこれを
流路状態表示器にモニタさせる表示制御部とを備えてい
る。
御ユニットは、流路状態表示器と、流体流路に配された
流量計からのアナログデータ信号をディジタルデータ信
号に変換する流量計接続用Ａ／Ｄ変換回路と、マスフロ
ーコントローラ接続用Ａ／Ｄ変換回路および流量計接続
用Ａ／Ｄ変換回路からのディジタルデータ信号の内容に
基づいて上記流体流路における流量実効値を求めこれを
流路状態表示器にモニタさせる表示制御部とを備えてい
る。
【００１４】請求項３記載の本発明のマスフローコント
ローラ制御ユニットは、マスフローコントローラ一つに
ついてのデータ表示機能を有し流路状態表示器として機
能するディスプレイと、表示切替え操作を行うための操
作部と、この表示切替え指令に応答して上記ディスプレ
イにおける表示内容を各マスフローコントローラ毎に切
替え表示させるべく切替え指令を表示制御部に与える切
替え指令発生部とを備えている。
ローラ制御ユニットは、マスフローコントローラ一つに
ついてのデータ表示機能を有し流路状態表示器として機
能するディスプレイと、表示切替え操作を行うための操
作部と、この表示切替え指令に応答して上記ディスプレ
イにおける表示内容を各マスフローコントローラ毎に切
替え表示させるべく切替え指令を表示制御部に与える切
替え指令発生部とを備えている。
【００１５】請求項４記載の本発明のマスフローコント
ローラ制御ユニットは、警報器と、マスフローコントロ
ーラ接続用Ａ／Ｄ変換回路及び流量計接続用Ａ／Ｄ変換
回路からのディジタルデータ信号に基づいて流体流路の
状態をチェックしその結果において異常があるときに警
報器を作動させる流路監視部とを備えている。
ローラ制御ユニットは、警報器と、マスフローコントロ
ーラ接続用Ａ／Ｄ変換回路及び流量計接続用Ａ／Ｄ変換
回路からのディジタルデータ信号に基づいて流体流路の
状態をチェックしその結果において異常があるときに警
報器を作動させる流路監視部とを備えている。
【００１６】請求項５記載の本発明のマスフローコント
ローラ制御ユニットは、流路監視部におけるチェック結
果をディジタル通信路に送出する通信制御部を備えてい
る。
ローラ制御ユニットは、流路監視部におけるチェック結
果をディジタル通信路に送出する通信制御部を備えてい
る。
【００１７】
【作用】本発明は、マスフローコントローラを相手に授
受を行うアナログ信号と対応するディジタル信号につい
てディジタル通信機能を有することから、装置制御シス
テムとはディジタル通信路を介して接続しコンパクトな
別体装置としてマスフローコントローラの近傍に配すこ
とが可能となるので、マスフローコントローラとやり取
りを行うアナログ信号の通路短縮を図ることができ、そ
の分、マスフローコントローラの安定動作を可能とし、
電装ハード設計を行ないやすくする。
受を行うアナログ信号と対応するディジタル信号につい
てディジタル通信機能を有することから、装置制御シス
テムとはディジタル通信路を介して接続しコンパクトな
別体装置としてマスフローコントローラの近傍に配すこ
とが可能となるので、マスフローコントローラとやり取
りを行うアナログ信号の通路短縮を図ることができ、そ
の分、マスフローコントローラの安定動作を可能とし、
電装ハード設計を行ないやすくする。
【００１８】また、本発明は、装置制御システムにおい
てマスフローコントローラに対するＡ／Ｄ入力、Ｄ／Ａ
出力のための制御を行う必要が無いため、ソフトウエア
開発も行いやすくなる。
てマスフローコントローラに対するＡ／Ｄ入力、Ｄ／Ａ
出力のための制御を行う必要が無いため、ソフトウエア
開発も行いやすくなる。
【００１９】そして、請求項２記載の本発明によれば、
流路状態をモニタする機能を持つことから、マスフロー
コントローラ近傍の現場で作業者の目視による監視が可
能となり、異変に対して迅速に対応することができ、事
故発生等の未然防止を図ることができる。
流路状態をモニタする機能を持つことから、マスフロー
コントローラ近傍の現場で作業者の目視による監視が可
能となり、異変に対して迅速に対応することができ、事
故発生等の未然防止を図ることができる。
【００２０】特に、請求項３記載の本発明によれば、そ
のモニタ手段がマスフローコントローラ一つについての
表示能力を持つものを用い、その表示内容を切替え表示
するようになっているため、ディスプレイとしては簡単
なものでよく、ユニット筐体の更なるコンパクト化に寄
与するものとなる。
のモニタ手段がマスフローコントローラ一つについての
表示能力を持つものを用い、その表示内容を切替え表示
するようになっているため、ディスプレイとしては簡単
なものでよく、ユニット筐体の更なるコンパクト化に寄
与するものとなる。
【００２１】さらに、請求項４記載の本発明は、流体流
路の状態に異常が発生したとき、これを報知する機能を
有することから、常に監視していなくとも異常発生に確
実に対処することが可能である。
路の状態に異常が発生したとき、これを報知する機能を
有することから、常に監視していなくとも異常発生に確
実に対処することが可能である。
【００２２】また、流路状態のモニタを参照すること
で、より的確な対応も可能である。
で、より的確な対応も可能である。
【００２３】さらにまた、請求項５記載の本発明は、流
路監視部におけるチェック結果をディジタル通信路に送
出することができるために、従前の装置制御システムに
おけるデータ処理に対しても支障がない。
路監視部におけるチェック結果をディジタル通信路に送
出することができるために、従前の装置制御システムに
おけるデータ処理に対しても支障がない。
【００２４】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
つつ説明する。
つつ説明する。
【００２５】図１は本発明の一実施例に係るマスフロー
コントローラ制御ユニット（以下、ＭＣ制御ユニットと
いう。）の内部構成を示すものであり、図２はその他装
置との接続態様を示すものである。
コントローラ制御ユニット（以下、ＭＣ制御ユニットと
いう。）の内部構成を示すものであり、図２はその他装
置との接続態様を示すものである。
【００２６】これらの図において、符号１１で示すもの
が本発明のＭＣ制御ユニットである。このＭＣ制御ユニ
ット１１は図２に示すように複数のマスフローコントロ
ーラ１２，１２，…と接続可能な他、複数の流量計１
３，１３，…とも接続可能とされ、これらと信号の授受
を行うものとなっている。１４は装置制御システムであ
って、本発明ＭＣ制御ユニット１１とディジタルシリア
ル通信回線を介して接続される。このＭＣ制御ユニット
１１の筐体は例えば据置き型のボックスから形成され、
後述するＡＣ１００Ｖ電源ケーブル、マスフローコント
ローラ接続用コネクタ、流量計接続用コネクタが計９
個、通信用コネクタが１個設けられ、マスフローコント
ローラ１２の近くに設置することが可能なものである。
が本発明のＭＣ制御ユニットである。このＭＣ制御ユニ
ット１１は図２に示すように複数のマスフローコントロ
ーラ１２，１２，…と接続可能な他、複数の流量計１
３，１３，…とも接続可能とされ、これらと信号の授受
を行うものとなっている。１４は装置制御システムであ
って、本発明ＭＣ制御ユニット１１とディジタルシリア
ル通信回線を介して接続される。このＭＣ制御ユニット
１１の筐体は例えば据置き型のボックスから形成され、
後述するＡＣ１００Ｖ電源ケーブル、マスフローコント
ローラ接続用コネクタ、流量計接続用コネクタが計９
個、通信用コネクタが１個設けられ、マスフローコント
ローラ１２の近くに設置することが可能なものである。
【００２７】図１に示すように、ＭＣ制御ユニット１１
は、１枚のＭＰＵ基板１５と１枚のＡ／Ｄ変換基板１６
と２枚のＤ／Ａ変換基板１７，１８とマスフローコント
ローラ接続端子１９と流量計接続端子２０と１枚のＬＣ
Ｄ表示器用ドライバ基板２１とＬＣＤ表示器２２と定電
圧源２３とＲＥＡＤＹモニタ２４とブザー２５とブザー
リセットスイッチ２６とデータ切替えスイッチ２７とシ
リアルＩ／Ｏポート２８とを備え、基板１５〜１８，２
１同士はバスラインにより接続されている。
は、１枚のＭＰＵ基板１５と１枚のＡ／Ｄ変換基板１６
と２枚のＤ／Ａ変換基板１７，１８とマスフローコント
ローラ接続端子１９と流量計接続端子２０と１枚のＬＣ
Ｄ表示器用ドライバ基板２１とＬＣＤ表示器２２と定電
圧源２３とＲＥＡＤＹモニタ２４とブザー２５とブザー
リセットスイッチ２６とデータ切替えスイッチ２７とシ
リアルＩ／Ｏポート２８とを備え、基板１５〜１８，２
１同士はバスラインにより接続されている。
【００２８】ＭＰＵ基板１５は本ユニットのＣＰＵとし
て位置付けられ、内部制御全般を司るものであり、その
機能詳細については後述する。
て位置付けられ、内部制御全般を司るものであり、その
機能詳細については後述する。
【００２９】Ａ／Ｄ変換基板１６、Ｄ／Ａ変換基板１
７，１８はマスフローコントローラ１２及び流量計１３
と本ユニット１１とのインタフェイスとなるものであ
る。すなわち、Ａ／Ｄ変換基板１６は０Ｖ〜５Ｖのアナ
ログ入力を９チャネル有し、マスフローコントローラ１
２及び流量計１３からのアナログデータ信号をディジタ
ルデータ信号に変換し、ＭＰＵ基板１５に送信する機能
を持つ。Ｄ／Ａ変換基板１７，１８は、０Ｖ〜５Ｖのア
ナログ出力を１枚に３チャネルずつで計６チャネルを有
し、ＭＰＵ基板１５からの質量流量設定値を示しマスフ
ローコントローラ１２に対するす制御信号となるディジ
タル信号をアナログ制御信号に変換し、各マスフローコ
ントローラ１２に与える役割を果たす。
７，１８はマスフローコントローラ１２及び流量計１３
と本ユニット１１とのインタフェイスとなるものであ
る。すなわち、Ａ／Ｄ変換基板１６は０Ｖ〜５Ｖのアナ
ログ入力を９チャネル有し、マスフローコントローラ１
２及び流量計１３からのアナログデータ信号をディジタ
ルデータ信号に変換し、ＭＰＵ基板１５に送信する機能
を持つ。Ｄ／Ａ変換基板１７，１８は、０Ｖ〜５Ｖのア
ナログ出力を１枚に３チャネルずつで計６チャネルを有
し、ＭＰＵ基板１５からの質量流量設定値を示しマスフ
ローコントローラ１２に対するす制御信号となるディジ
タル信号をアナログ制御信号に変換し、各マスフローコ
ントローラ１２に与える役割を果たす。
【００３０】ここでは、Ａ／Ｄ変換基板１６には６台の
マスフローコントローラ１２と流量計１３とが接続さ
れ、Ｄ／Ａ変換基板１７，１８には３台ずつ計その６台
のマスフローコントローラ１２が接続されるようになっ
ている。接続端子１９はそれら基板１６〜１８から引出
されたものであり、接続端子２０はＡ／Ｄ変換基板１６
から引出されたものである。
マスフローコントローラ１２と流量計１３とが接続さ
れ、Ｄ／Ａ変換基板１７，１８には３台ずつ計その６台
のマスフローコントローラ１２が接続されるようになっ
ている。接続端子１９はそれら基板１６〜１８から引出
されたものであり、接続端子２０はＡ／Ｄ変換基板１６
から引出されたものである。
【００３１】ＬＣＤ表示器用ドライバ基板２１はＭＰＵ
基板１５からの表示データについてＬＣＤ表示器２２を
駆動制御するもので、このＬＣＤ表示器２２は例えば１
６桁×２行の表示能力を有するものとされる。定電圧電
源２３は内部回路やマスフローコントローラ１２並びに
流量計１３に対して電源を供給するもので、ＡＣ１００
Ｖ商用電源コンセントへの差込みプラグを有する。ＲＥ
ＡＤＹモニタ２４はＭＰＵ基板１５が通信ＯＫの状態で
あるとき、例えばＬＥＤを点灯させ、その状態をモニタ
するためのものである。ブザー２５はマスフローコント
ローラ１２や流量計１３の処理対象となる流体流路系統
における流量に異変が生じたときに警報とブザーを鳴ら
すためのものである。ブザーリセットスイッチ２６は、
作動中のブザー２５を鳴りやまらせるためのものであ
る。データ切替えスイッチ２７はＬＣＤ表示器２２にお
ける表示内容を切替えるためのものである。シリアルＩ
／Ｏポート２８は本ユニット１１と装置制御システム１
４とを結ぶ通信回線が接続される。
基板１５からの表示データについてＬＣＤ表示器２２を
駆動制御するもので、このＬＣＤ表示器２２は例えば１
６桁×２行の表示能力を有するものとされる。定電圧電
源２３は内部回路やマスフローコントローラ１２並びに
流量計１３に対して電源を供給するもので、ＡＣ１００
Ｖ商用電源コンセントへの差込みプラグを有する。ＲＥ
ＡＤＹモニタ２４はＭＰＵ基板１５が通信ＯＫの状態で
あるとき、例えばＬＥＤを点灯させ、その状態をモニタ
するためのものである。ブザー２５はマスフローコント
ローラ１２や流量計１３の処理対象となる流体流路系統
における流量に異変が生じたときに警報とブザーを鳴ら
すためのものである。ブザーリセットスイッチ２６は、
作動中のブザー２５を鳴りやまらせるためのものであ
る。データ切替えスイッチ２７はＬＣＤ表示器２２にお
ける表示内容を切替えるためのものである。シリアルＩ
／Ｏポート２８は本ユニット１１と装置制御システム１
４とを結ぶ通信回線が接続される。
【００３２】次に、以上のように構成された本実施例の
動作について第３図をも参照しつつ説明する。まず、装
置制御システム１４から設定データ送信開始の問合わせ
が送信される。この問合わせはＭＰＵ基板１５にて受信
される。すると、このＭＰＵ基板１５においては、受信
準備が出来ているか否かを確認し、出来ている場合に受
信準備完了を返信する。準備完了を受取った装置制御シ
ステム１４は各マスフローコントローラ１２の設定値と
各流量計１３における実効上・下限の設定値を送信す
る。各設定データはＭＰＵ基板１５にて受取られる。こ
れにより、装置制御システム１４からＭＣ制御ユニット
１１へのダウンロードが行われ、ＭＰＵ基板１５は、受
取ったデジタルデータをＤ／Ａ変換基板１７，１８へ送
り、これらにおいてアナログ信号に変換された後に各マ
スフローコントローラ１９に与えられる。この際、ＭＰ
Ｕ基板１５は各マスフローコントローラ１２の設定デー
タをＤ／Ａ変換出力に必要なデータ処理を行い、一定周
期で出力する。また一方で、ＭＰＵ基板１５は各マスフ
ローコントローラ１２、流量計１３から得られた実効値
を返信し、装置制御システム１４へのアップロードを行
う共にその実効値をＬＣＤ表示器用ドライバ２１へ供給
する。この際、ＭＰＵ基板１５はＡ／Ｄ変換基板２０か
らのサンプリング出力を一定周期で読込み、レベル変換
等のデータ処理を行う。
動作について第３図をも参照しつつ説明する。まず、装
置制御システム１４から設定データ送信開始の問合わせ
が送信される。この問合わせはＭＰＵ基板１５にて受信
される。すると、このＭＰＵ基板１５においては、受信
準備が出来ているか否かを確認し、出来ている場合に受
信準備完了を返信する。準備完了を受取った装置制御シ
ステム１４は各マスフローコントローラ１２の設定値と
各流量計１３における実効上・下限の設定値を送信す
る。各設定データはＭＰＵ基板１５にて受取られる。こ
れにより、装置制御システム１４からＭＣ制御ユニット
１１へのダウンロードが行われ、ＭＰＵ基板１５は、受
取ったデジタルデータをＤ／Ａ変換基板１７，１８へ送
り、これらにおいてアナログ信号に変換された後に各マ
スフローコントローラ１９に与えられる。この際、ＭＰ
Ｕ基板１５は各マスフローコントローラ１２の設定デー
タをＤ／Ａ変換出力に必要なデータ処理を行い、一定周
期で出力する。また一方で、ＭＰＵ基板１５は各マスフ
ローコントローラ１２、流量計１３から得られた実効値
を返信し、装置制御システム１４へのアップロードを行
う共にその実効値をＬＣＤ表示器用ドライバ２１へ供給
する。この際、ＭＰＵ基板１５はＡ／Ｄ変換基板２０か
らのサンプリング出力を一定周期で読込み、レベル変換
等のデータ処理を行う。
【００３３】ＬＣＤ表示器用ドライバ２１は、受取った
データをＬＣＤ表示器２２へ送りモニタさせる。このＬ
ＣＤ表示器２２に表示される実効値異常はリアルタイム
に更新される。また、ＬＣＤ表示器２２に表示されるデ
ータの内容はデータ切替えスイッチ２７により各チャネ
ルを順に切替え表示できる。つまり、作業者がスイッチ
２７をボタン等で操作すれば、ＭＰＵ基板１５がその受
信の度にＬＣＤ表示器用ドライバ２１へ表示対象のチャ
ネル切替えを指示する。これにより、ＬＣＤ表示器用ド
ライバ２１はＬＣＤ表示器２２の表示を他チャネルのも
のに切替える。したがって、作業者が見たいチャネルを
選択することができる。
データをＬＣＤ表示器２２へ送りモニタさせる。このＬ
ＣＤ表示器２２に表示される実効値異常はリアルタイム
に更新される。また、ＬＣＤ表示器２２に表示されるデ
ータの内容はデータ切替えスイッチ２７により各チャネ
ルを順に切替え表示できる。つまり、作業者がスイッチ
２７をボタン等で操作すれば、ＭＰＵ基板１５がその受
信の度にＬＣＤ表示器用ドライバ２１へ表示対象のチャ
ネル切替えを指示する。これにより、ＬＣＤ表示器用ド
ライバ２１はＬＣＤ表示器２２の表示を他チャネルのも
のに切替える。したがって、作業者が見たいチャネルを
選択することができる。
【００３４】また同時にＭＰＵ基板１５においては実効
上・下限値に基づいて得られた実効値のチェックを行
い、異常があればブザー２５を作動させ警報を鳴らす。
そして、ブザーリセットスイッチ２６がオンされると、
ＭＰＵ基板１５がブザー２５の作動を止める。
上・下限値に基づいて得られた実効値のチェックを行
い、異常があればブザー２５を作動させ警報を鳴らす。
そして、ブザーリセットスイッチ２６がオンされると、
ＭＰＵ基板１５がブザー２５の作動を止める。
【００３５】よって、本実施例のＭＣ制御ユニット１１
によれば、マスフローコントローラ２専用の装置制御シ
ステム１４とは別体のコンパクトでマスフローコントロ
ーラ１２の近傍に配すことが可能である。よって、マス
フローコントローラ１２とやり取りを行うアナログ信号
の通路、つまりＡ／Ｄ変換基板１６及びＤ／Ａ変換基板
１７，１８とマスフローコントローラ１２との間のアナ
ログ信号経路の短縮を図ることができ、その分、マスフ
ローコントローラ１２の動作安定化を可能としていると
ともに、電装ハード設計を行ないやすくしている。
によれば、マスフローコントローラ２専用の装置制御シ
ステム１４とは別体のコンパクトでマスフローコントロ
ーラ１２の近傍に配すことが可能である。よって、マス
フローコントローラ１２とやり取りを行うアナログ信号
の通路、つまりＡ／Ｄ変換基板１６及びＤ／Ａ変換基板
１７，１８とマスフローコントローラ１２との間のアナ
ログ信号経路の短縮を図ることができ、その分、マスフ
ローコントローラ１２の動作安定化を可能としていると
ともに、電装ハード設計を行ないやすくしている。
【００３６】また、装置制御システム１４においてマス
フローコントローラ１２に対するＡ／Ｄ入力、Ｄ／Ａ出
力のための制御を行う必要が無いため、ソフトウエア開
発も行いやすくなる。
フローコントローラ１２に対するＡ／Ｄ入力、Ｄ／Ａ出
力のための制御を行う必要が無いため、ソフトウエア開
発も行いやすくなる。
【００３７】また、ＬＣＤ表示器２２により流路状態を
モニタする機能を持つことから、マスフローコントロー
ラ１２近傍の現場において作業者の目視による監視が可
能となり、異変に対して迅速に対応することができる。
モニタする機能を持つことから、マスフローコントロー
ラ１２近傍の現場において作業者の目視による監視が可
能となり、異変に対して迅速に対応することができる。
【００３８】特に、本実施例によれば、ＬＣＤ表示器２
２においてマスフローコントローラ１２のチャネル一つ
ずつを切替え表示するものとなっているために、そのＬ
ＣＤ表示器２２としては簡単なものでよく、ユニット１
１の筐体の更なるコンパクト化に寄与するものとなって
いる。
２においてマスフローコントローラ１２のチャネル一つ
ずつを切替え表示するものとなっているために、そのＬ
ＣＤ表示器２２としては簡単なものでよく、ユニット１
１の筐体の更なるコンパクト化に寄与するものとなって
いる。
【００３９】さらに、流体流路の状態に異常が発生した
とき、ブザー２５を作動させることで警報を発するよう
になっていることから、常に監視していなくとも異常発
生に確実に対処することが可能である。
とき、ブザー２５を作動させることで警報を発するよう
になっていることから、常に監視していなくとも異常発
生に確実に対処することが可能である。
【００４０】また、上述ＬＣＤ表示器２２による流路状
態のモニタを参照することで、より的確な対応も可能で
ある。
態のモニタを参照することで、より的確な対応も可能で
ある。
【００４１】さらにまた、ＭＰＵ基板１５における実効
値チェック結果を装置制御システム１４に送ることがで
きるために、装置制御システムにおける従前行っていた
データ処理に対しても支障がない。
値チェック結果を装置制御システム１４に送ることがで
きるために、装置制御システムにおける従前行っていた
データ処理に対しても支障がない。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、マ
スフローコントローラを相手に授受を行うアナログ信号
と対応するディジタル信号についてディジタル通信機能
を有することから、装置制御システムとはディジタル通
信路を介して接続しコンパクトな別体装置としてマスフ
ローコントローラの近傍に配すことが可能となるので、
マスフローコントローラとやり取りを行うアナログ信号
の通路短縮を図ることができ、その分、マスフローコン
トローラの安定動作が可能となり、電装ハード設計を行
ないやすくすることができる。
スフローコントローラを相手に授受を行うアナログ信号
と対応するディジタル信号についてディジタル通信機能
を有することから、装置制御システムとはディジタル通
信路を介して接続しコンパクトな別体装置としてマスフ
ローコントローラの近傍に配すことが可能となるので、
マスフローコントローラとやり取りを行うアナログ信号
の通路短縮を図ることができ、その分、マスフローコン
トローラの安定動作が可能となり、電装ハード設計を行
ないやすくすることができる。
【００４３】また、本発明によれば、装置制御システム
においてマスフローコントローラに対するＡ／Ｄ入力、
Ｄ／Ａ出力のための制御を行う必要が無いため、ソフト
ウエア開発も行いやすくすることができる。
においてマスフローコントローラに対するＡ／Ｄ入力、
Ｄ／Ａ出力のための制御を行う必要が無いため、ソフト
ウエア開発も行いやすくすることができる。
【００４４】これにより、マスフローコントローラ制御
システムはシリアルＩ／Ｏポートを装備している市販の
パソコンでも構築可能となる。
システムはシリアルＩ／Ｏポートを装備している市販の
パソコンでも構築可能となる。
【００４５】そして、請求項２記載の本発明によれば、
流路状態をモニタする機能を持つことから、マスフロー
コントローラ近傍の現場で作業者の目視による監視が可
能となり、異変に対して迅速に対応することができ、事
故発生等の未然防止を図ることができる。
流路状態をモニタする機能を持つことから、マスフロー
コントローラ近傍の現場で作業者の目視による監視が可
能となり、異変に対して迅速に対応することができ、事
故発生等の未然防止を図ることができる。
【００４６】特に、請求項３記載の本発明によれば、そ
のモニタ手段がマスフローコントローラ一つについての
表示能力を持つものを用い、その表示内容を切替え表示
するようになっているため、ディスプレイとしては簡単
なものでよく、ユニット筐体の更なるコンパクト化に寄
与するものとなる。
のモニタ手段がマスフローコントローラ一つについての
表示能力を持つものを用い、その表示内容を切替え表示
するようになっているため、ディスプレイとしては簡単
なものでよく、ユニット筐体の更なるコンパクト化に寄
与するものとなる。
【００４７】さらに、請求項４記載の本発明によれば、
流体流路の状態に異常が発生したとき、これを報知する
機能を有することから、常に監視していなくとも異常発
生に確実に対処することが可能である。
流体流路の状態に異常が発生したとき、これを報知する
機能を有することから、常に監視していなくとも異常発
生に確実に対処することが可能である。
【００４８】また、流路状態のモニタを参照すること
で、より的確な対応も可能である。
で、より的確な対応も可能である。
【００４９】さらにまた、請求項５記載の本発明は、流
路監視部におけるチェック結果をディジタル通信路に送
出することができるために、従前の装置制御システムに
おけるデータ処理に対しても支障がない。
路監視部におけるチェック結果をディジタル通信路に送
出することができるために、従前の装置制御システムに
おけるデータ処理に対しても支障がない。
【図１】本発明の一実施例に係るマスフローコントロー
ラ制御ユニットの構成を示すブロック図。
ラ制御ユニットの構成を示すブロック図。
【図２】図１に示すマスフローコントローラ制御ユニッ
トとマスフローコントローラ及び装置制御システムとの
接続態様を示すブロック図。
トとマスフローコントローラ及び装置制御システムとの
接続態様を示すブロック図。
【図３】図１に示すマスフローコントローラ制御ユニッ
トの動作説明用サイクル線図。
トの動作説明用サイクル線図。
【図４】従来のマスフローコントローラ制御ユニットの
構成を示すブロック図。
構成を示すブロック図。
１１ マスフローコントローラ制御ユニット １２ マスフローコントローラ １３ 流量計 １４ 装置制御システム １５ ＭＰＵ基板 １６ Ａ／Ｄ変換基板 １７，１８ Ｄ／Ａ変換基板 １９ マスフローコントローラ接続用コネクタ ２０ 流量計接続用コネクタ ２１ ＬＣＤ表示器用ドライバ ２２ ＬＣＤ表示器 ２５ ブザー警報器 ２６ ブザーリセットスイッチ ２７ データ切替えスイッチ ２８ シリアルＩ／Ｏポート
Claims (5)
- 【請求項１】１または２以上のマスフローコントローラ
からのアナログデータ信号をディジタルデータ信号に変
換するマスフローコントローラ接続用Ａ／Ｄ変換回路
と、 前記１または２以上のマスフローコントローラをドライ
ブ制御するためのディジタル制御信号をアナログ制御信
号に変換して当該マスフローコントローラに与えるマス
フローコントローラ接続用Ｄ／Ａ変換回路と、 前記マスフローコントローラ接続用Ａ／Ｄ変換回路の出
力をディジタル通信路に送出するとともに前記ディジタ
ル制御信号を該ディジタル通信路から受入れて前記マス
フローコントローラ接続用Ｄ／Ａ変換回路に与える通信
制御部とを備えているマスフローコントローラ制御ユニ
ット。 - 【請求項２】流路状態表示器と、 流体流路に配された流量計からのアナログデータ信号を
ディジタルデータ信号に変換する流量計接続用Ａ／Ｄ変
換回路と、 マスフローコントローラ接続用Ａ／Ｄ変換回路および該
流量計接続用Ａ／Ｄ変換回路からのディジタルデータ信
号の内容に基づいて前記流体流路における流量実効値を
求めこれを前記流路状態表示器にモニタさせる表示制御
部とを備えている請求項１記載のマスフローコントロー
ラ制御ユニット。 - 【請求項３】マスフローコントローラ一つについてのデ
ータ表示機能を有し流路状態表示器として機能するディ
スプレイと、 表示切替え操作を行うための操作部と、 該表示切替え指令に応答して前記ディスプレイにおける
表示内容を各マスフローコントローラ毎に切替え表示さ
せるべく切替え指令を表示制御部に与える切替え指令発
生部とを備えている請求項２記載のマスフローコントロ
ーラ制御ユニット。 - 【請求項４】警報器と、 マスフローコントローラ接続用Ａ／Ｄ変換回路及び流量
計接続用Ａ／Ｄ変換回路からのディジタルデータ信号に
基づいて流体流路の状態をチェックしその結果において
異常があるときに警報器を作動させる流路監視部とを備
えている請求項１〜３のうちいずれか１項記載のマスフ
ローコントローラ制御ユニット。 - 【請求項５】流路監視部におけるチェック結果をディジ
タル通信路に送出する通信制御部を備えている請求項３
記載のマスフローコントローラ制御ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29743791A JPH05134711A (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | マスフローコントローラ制御ユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29743791A JPH05134711A (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | マスフローコントローラ制御ユニツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05134711A true JPH05134711A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17846515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29743791A Pending JPH05134711A (ja) | 1991-11-13 | 1991-11-13 | マスフローコントローラ制御ユニツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05134711A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006059322A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-03-02 | Boc Group Inc:The | 流体流制御装置及びシステム |
| JP2007087029A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Yamatake Corp | 流量制御装置および流体混合器 |
| JP2016021219A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-02-04 | 株式会社堀場エステック | 中継器 |
| JP2016085226A (ja) * | 2010-10-20 | 2016-05-19 | 株式会社堀場エステック | 流体計測システム |
| US9719829B2 (en) | 2010-10-20 | 2017-08-01 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Fluid measurement system |
-
1991
- 1991-11-13 JP JP29743791A patent/JPH05134711A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006059322A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-03-02 | Boc Group Inc:The | 流体流制御装置及びシステム |
| JP2007087029A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Yamatake Corp | 流量制御装置および流体混合器 |
| JP2016085226A (ja) * | 2010-10-20 | 2016-05-19 | 株式会社堀場エステック | 流体計測システム |
| US9719829B2 (en) | 2010-10-20 | 2017-08-01 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Fluid measurement system |
| JP2016021219A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-02-04 | 株式会社堀場エステック | 中継器 |
| US10216162B2 (en) | 2014-06-20 | 2019-02-26 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Fluid control and measurement system with a relay |
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