JPH05140734A

JPH05140734A - 真空蒸着装置

Info

Publication number: JPH05140734A
Application number: JP32970991A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Suzuki; 俊明鈴木
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1991-11-20
Filing date: 1991-11-20
Publication date: 1993-06-08

Abstract

(57)【要約】【構成】蒸着源と被蒸着体の中間にシャッターを配設
し、該シャッターの先端により蒸発蒸気流の被蒸着体へ
の入射角を規制して蒸着を行う真空蒸着装置において、
前記シャッターの先端部に略中央に孔を有する突起を設
ける。【効果】連続して蒸着可能な時間が延び、その間に製
造し得る蒸着テープの製造長が長くなり、生産性が向上
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体、蒸着テー
プ等の製造のための真空蒸着装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】金属あるいはＣｏ─Ｎｉ系の合金等の磁
性材料を非磁性支持体上に直接被着して磁性金属薄膜を
形成した薄膜媒体は、抗磁力、角形比及び短波長域にお
ける電磁変換特性等に優れていること、磁性層の薄膜化
が可能なため記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さ
いこと、或いは、磁性層中に非磁性体であるバインダー
等を含有しないために磁性材料の充填密度を高くできる
等、数々の利点を有している。

【０００３】そして、上述の薄膜媒体の製造には、通
常、大量生産性に適するという点から真空蒸着法が採用
され、長手方向の角型比を高めることのできる斜め蒸着
法が広く用いられている。

【０００４】この斜め蒸着法は、被蒸着体であるポリエ
チレンテレフタレート等の高分子材料からなる非磁性支
持体（いわゆるベースフィルム）を送り出しロールから
供給し、これを冷却キャンに沿わせて走行させながら蒸
発源から蒸発させた金属磁性材料を所定の入射角でその
表面に蒸着するというものである。

【０００５】この時、金属磁性材料は、冷却キャンの下
方に設けられた蒸発源であるルツボ内に充填されてお
り、加熱装置によって加熱され、蒸発蒸気流となり、ベ
ースフィルム上に磁性層として被着する。一般的に、こ
の蒸発蒸気流のベースフィルムへの入射角を制御するた
めに、冷却キャンとルツボの間であって該冷却キャンの
近傍に冷却キャンの周面と対向するような状態で、窓部
を有し湾曲形成されたマスクと更にその窓部を覆うこと
ができる形状に湾曲形成されたシャッターが設けられて
いる。蒸着時、上記マスクの窓部を覆っているシャッタ
ーを開閉することによって、上記のような金属磁性材料
の蒸発蒸気流のベースフィルムへの蒸着範囲を限定し、
該シャッターの先端にて入射角を制御するものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のような真空蒸着
装置を用いて蒸着テープの製造を行おうとする時、生産
性を考慮すれば、一回の製造でなるべく長尺の蒸着テー
プを製造するのが望ましい。そこで、上記真空室内のル
ツボに一定時間おきに原料の供給を行う等の手段がとら
れている。

【０００７】ところが、長時間にわたって製造を行う
と、蒸発した金属磁性材料の一部がシャッターの先端部
に付着してしまう。付着物が少量の間は問題ないが、付
着物の量が増えてくると、その付着物がシャッター先端
部より剥がれてシャッター先端部より迫り出し、ベース
フィルムの所定の蒸着範囲への金属磁性材料の蒸発蒸気
流の蒸着を妨げてしまう。従って、蒸着の際の入射角度
の制御、さらには膜厚分布の制御が困難となる。さらに
付着が進めば、付着物は自重によってシャッター先端部
よりルツボ及びその周辺に落下してしまう。このことに
よって、金属磁性材料の蒸発が不可能となり、製造を中
断せざるを得ない。従って、付着物が剥離あるいは落下
に至るまでの時間によって蒸着可能な時間が決まり、こ
の間に製造し得る蒸着テープの製造長が制約されること
になる。

【０００８】そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであって、連続して蒸着することが可
能な時間を延ばすことができ、生産性を向上させること
のできる真空蒸着装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、蒸着源と被蒸着体の中間にシャッター
を配し、そのシャッターの先端により蒸発蒸気流の被蒸
着体への入射角を規制している蒸着装置において、前記
シャッターの先端部に略中央に孔を有する突起を設けた
ことを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】真空蒸着加工時において、長時間にわたって製
造を行うと、蒸発した金属磁性材料の一部がシャッター
の先端部に付着してしまい、付着物の量が増加すると、
付着物がシャッター先端部より剥がれ、シャッター先端
部より迫り出し、蒸着を妨げてしまう。さらに付着が進
めば、付着物は自重によってルツボ及びその周辺に落下
してしまい、金属磁性材料の蒸発が不可能となり、製造
を中断せざるを得ない。

【００１１】これに対して、シャッターの先端部に略中
央に孔を有する突起を設けると、付着物の剥離あるいは
落下が起こりにくくなり、連続して蒸着することが可能
な時間が延長され、連続して製造し得る蒸着テープの製
造長が長くなる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明を適用した真空蒸着装置を図面
を参照しながら具体的に説明する。

【００１３】この蒸着装置は、図１に示すように、内部
が低圧状態となされた真空室１内の上部左右に送り出し
ロール３，巻取りロール４を配設するとともに、真空室
１内中央部には冷却キャン５を配してなるものである。
また、送り出しロール３と冷却キャン５の間にはガイド
ロール６、冷却キャン５と巻取りロールの間にはガイド
ロール７が配設されている。

【００１４】上記冷却キャン５は、送り出しロール３に
巻装されたベースフィルム２を図中下方に引き出すよう
に設けられ、上記各ロール３，４の径よりも大径となさ
れている。なお、送り出しロール３、巻取りロール４及
び冷却キャン５は、それぞれベースフィルム２の幅とほ
ぼ同じ幅を有する円筒状をなすものであり、また冷却キ
ャン５には、内部に図示しない冷却装置が設けられ、上
記ベースフィルム２の温度上昇による変形等を抑制し得
るような構成とされている。

【００１５】なお、ガイドロール６，７は、送り出しロ
ール３から冷却キャン５及び冷却キャン５から巻取りロ
ール４に亘って走行するベースフィルム２に所定のテン
ションをかけ、該ベースフィルム２が確実に冷却キャン
５の周面上を走行するようになされている。

【００１６】また、冷却キャン５の下方にルツボ８が設
けられ、このルツボ８内に金属磁性材料９が充填されて
いる。このルツボ８は、上記冷却キャン５の幅と同一の
幅からなるものである。上記冷却キャン５の側方には、
加熱装置１０が設けられている。さらに、上記冷却キャ
ン５と上記金属磁性材料９の充填されたルツボ８の間で
あって、冷却キャン５の近傍に冷却キャンの周面と対向
するような状態で、窓部１１ａを有し湾曲形成されたマ
スク１１と更にその窓部１１ａを覆うことができる形状
に湾曲形成されたシャッター１２が設けられている。

【００１７】シャッター１２は冷却キャン５の周面に沿
って可動であり、図２に示すようにシャッター１２の先
端部１２ａは若干厚さが薄くなっており、中央に孔を有
する突起１３が設けられている。上記突起１３の材質と
しては通常の金属の使用が可能で、鉄，アルミニウム，
銅やステンレス鋼等が使用できる。また、突起１３は高
さ２〜１０ｍｍ程度のものが望ましく、面密度２〜１０
個／１００ｃｍ²程度で配設するのが望ましい。突起１
３の高さが２ｍｍ以下であると、付着物が固着しないの
で効果がなく、また１０ｍｍ以上であると、シャッター
１２の先端部１２ａの角度規制に影響を与える。突起１
３を配設する面密度が２個／１００ｃｍ²以下である
と、付着物が固着しないので効果がなく、１０個／１０
０ｃｍ²以上であると、シャッター１２の先端部１２ａ
の角度規制に影響を与える。

【００１８】このような突起は市販のナットを流用し、
これを溶接等の手法によって固定することによって、容
易に形成することができる。この時、使用し得るナット
としては、Ｍ３〜Ｍ６（ＪＩＳ規格）が好ましい。

【００１９】以上のように構成される真空蒸着装置にお
いては、送り出しロール３に巻装された被蒸着体である
ベースフィルム２は、反時計回り方向に定速回転する送
り出しロール３から時計回り方向に定速回転する冷却キ
ャン５へと供給され、この冷却キャン５の周面に沿って
走行した後、反時計回り方向に定速回転するようになさ
れた巻取りロール４に巻き取られるようになされてい
る。

【００２０】そして、被蒸着体である上記ベースフィル
ム２は上記冷却キャン５の周面を通過する際に蒸着加工
される。

【００２１】すなわち、ルツボ８に充填された金属磁性
材料９が、電子ビーム銃等によって構成されてなる加熱
装置１０によって加熱され蒸発蒸気流となり、上記冷却
キャン５の周面を定速走行する被蒸着体であるベースフ
ィルム２上に磁性層として被着形成されるようになされ
ている。

【００２２】この際、上述のマスク１１の窓部１１ａを
覆っているシャッター１２を開閉することによって、蒸
着範囲が限定され、シャッタ１２ーの先端部１２ａによ
って金属磁性材料９の蒸発蒸気流の入射角が決定され
る。このような蒸着装置を用いて長時間にわたって製造
を行うと、シャッター１２の先端部１２ａに蒸発した金
属磁性材料９の一部が付着するが、シャッター１２の先
端部１２ａに突起１３が配設されているため、長時間に
わたって製造を行っても、突起１３の中央の孔に付着物
が強く入り込んで固着し、付着物の落下が起こりにく
い。

【００２３】そこで、以上の構成を有する真空蒸着装置
を用いて、以下のように蒸着テープの試作を行った。本
試作では、金属磁性材料としてＣｏ₈₀−Ｎｉ₂₀（数字は
重量パーセントを示す。）を使用した。シャッター１２
としては、厚さＴが４０ｍｍ，幅Ｗが１０００ｍｍのも
ので、先端部１２ａの厚さｔが５ｍｍ、長さｌが２０ｍ
ｍのものを使用した。突起１３としては、高さ５ｍｍ，
最大外径１１．５ｍｍのＭ６六角ナットを使用し、２０
ｃｍピッチで６個を溶接を行って取りつけた。

【００２４】以上のようなシャッター１２を用いて製造
を行った場合を実施例とした。また、シャッター１２に
突起１３を配設しないで製造を行った場合を比較例とし
た。これらの製造条件及び製造可能テープ長を表１に示
す。

【００２５】

【表１】

【００２６】表１の結果を見てわかるように、上記シャ
ッター１２の先端部１２ａに突起１３としてＭ６六角ナ
ットを配設したシャッター１２を用いて製造を行った実
施例は、シャッター１２の先端部１２ａに突起１３を配
設しないで製造を行った比較例と比較して、同一の製造
条件下で２倍の製造可能テープ長を得ることができた。
なお、付着物の落下を防ぐために、シャッター先端部に
溝を形成して製造を行ってみたが、従来のシャッターを
用いた製造と同程度の製造長で付着物の落下が起こって
しまった。

【００２７】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、シャッターの先端部に略中央に孔を有す
る突起を配設しているので、付着物をこの突起に強く固
着させ、付着物の剥離あるいは落下を起こりにくくする
ことができる。したがって、連続して蒸着することが可
能な時間を延ばすことができ、連続して製造し得る蒸着
テープの製造長が長いものとし、生産性を向上すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】真空蒸着装置の構成例を示す模式図である。

【図２】シャッター先端部を示す斜視図である。

【符号の説明】

１・・・・真空室２・・・・非磁性支持体５・・・・冷却キャン８・・・・ルツボ９・・・・金属磁性材料１１・・・マスク１２・・・シャッター１２ａ・・先端部１３・・・突起

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】蒸着源と被蒸着体の中間にシャッターを
配し、該シャッターの先端により蒸発蒸気流の被蒸着体
への入射角を規制してなる蒸着装置において、前記シャッターの先端部に略中央に孔を有する突起を設
けたことを特徴とする真空蒸着装置。