JPH09209129A

JPH09209129A - 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置

Info

Publication number: JPH09209129A
Application number: JP1596196A
Authority: JP
Inventors: Kazunobu Chiba; 一信千葉; Jota Ito; 条太伊藤; Tsutomu Takeda; 勉武田
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-01-31
Filing date: 1996-01-31
Publication date: 1997-08-12

Abstract

(57)【要約】【課題】磁性材料を真空槽外の大気中から連続して真
空槽内に供給し、安価な磁気記録媒体を得る。【解決手段】非磁性支持体２上に真空薄膜形成技術に
より強磁性金属薄膜を形成するに際し、該強磁性金属薄
膜の構成材料として使用される金属又は合金等の強磁性
材料９を真空槽１外の大気中から蒸着源に連続的に供給
する。この強磁性材料９の供給手段としては、複数の排
気手段により大気圧と真空槽内の圧力の差が一定に保た
れるようになされた差動排気機構等が好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体上に
真空薄膜形成技術により強磁性金属薄膜からなる磁性層
を成膜する際に用いて好適な磁気記録媒体の製造方法及
び製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばビデオテープレコーダ等の磁気記
録の分野においては、高密度化が一層強く要求されてお
り、これに対応する磁気記録媒体として、金属、或いは
Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｏ等の強磁性
金属材料を、メッキや真空薄膜形成技術（真空蒸着法や
スパッタリング法、イオンプレーティング法等）によっ
てポリエステルフィルムやポリアミド、ポリイミドフィ
ルム等の非磁性支持体上に直接被着せしめて磁性層を形
成する、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案
され注目を集めている。

【０００３】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、抗
磁力や角形比等に優れ、磁性層の厚みを極めて薄くでき
る為、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さく短波
長での電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層中に
非磁性材であるバインダーを混入する必要がないため磁
性材料の充填密度を高めることができる等、数々の利点
を有している。このため、この金属磁性薄膜型の磁気記
録媒体は、磁気特性的な優位さ故に高密度磁気記録の主
流になると考えられる。

【０００４】かかる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体にお
いては、電磁変換特性を向上させ、より高出力化を図る
ために、磁性層を形成する際に、磁性層を構成する磁性
材料を非磁性支持体の表面に対して斜め方向から蒸着さ
せる、いわゆる斜方蒸着法が使用されている。

【０００５】この斜方蒸着法により磁気記録媒体を製造
するに際し、蒸着源より蒸発せしめられた蒸気流をシャ
ッタやマスクで覆い、被処理体である非磁性支持体の表
面に対して所定の入射角を有して斜め入射する蒸着成分
のみを使用することで優れた磁気特性及び電磁変換特性
を実現している。このため、上記非磁性支持体の表面に
対して所定の入射角を有する蒸着成分以外の余分な蒸着
成分は、水冷された上記シャッタやマスクに付着し、蒸
着終了後に清掃破棄されるようになされている。

【０００６】また、この斜方蒸着法では、生産性の向上
を図るために、長時間の連続蒸着を行うのが一般的であ
る。このような状況から、上記磁性層の構成材料である
金属又は合金の供給を連続して、又は断続的に行う必要
がある。

【０００７】このような金属又は合金の供給方法として
は、一般的には直径１０ｍｍ以下の線状体（ワイヤー）
でルツボ上部より連続的に供給するワイヤー法や、直径
１０ｍｍ程度で長さが数１０ｍｍ程度のペレット状の金
属又は合金材料を一定間隔でルツボ内に投入するペレッ
ト供給方式、直径６０〜８０ｍｍの棒状に加工された金
属又は合金材料をルツボ下部から連続的に上昇させるロ
ッドフィード方式等が使用されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
金属又は合金の供給方法には、いずれの場合も以下のよ
うな問題点が存在する。

【０００９】即ち、上記ワイヤー法は、金属又は合金を
線状（ワイヤー状）に加工するための加工費が高く合金
コストが大きい。

【００１０】同様に、上記ペレット供給方式も一度ワイ
ヤー状に金属又は合金を加工し、更にそのワイヤーを一
定長に切断するため、加工費が高く、しかもルツボへの
供給時にルツボ内の金属又は合金の湯面の暴れやスプラ
ッシュ等が問題となる。

【００１１】また、上記ロッドフィード方式は、加工費
の点では上述の２者に勝るものの、直径の大きな材料を
ルツボ下部、若しくは横方から供給する構造をとる必要
があり、蒸着装置の大型化が避けられないという欠点を
抱えている。

【００１２】更に、これら供給方法においては、金属又
は合金は蒸着のバッチ毎に真空槽内にセッティングさ
れ、真空排気前に真空槽内に供給配置されるという方法
をとっている。

【００１３】このため、磁性材料の形状異常等による供
給中断や供給機構のトラブル等が発生した場合、蒸着を
中断して真空槽を大気圧に戻し、復旧後に再び真空排気
を行ってから蒸着を再開しなければならない。

【００１４】また、ワイヤー状合金（金属）やロッドフ
ィード用合金（金属）は、１回の蒸着で使用する長さ
（の整数倍）にして製造しないと、端数が発生し該端数
部分は再溶解する等の処理を行う必要があり、無駄にな
る割合が大きくコスト的な点から改善が要求されてい
る。

【００１５】そこで、本発明は、このような実情に鑑み
て提案されたものであって、磁性材料を真空槽外の大気
中から連続して真空槽内に供給し、安価な磁気記録媒体
を得ることを可能とする磁気記録媒体の製造方法及び製
造装置を提供する事を目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上述の目
的を達成せんものと鋭意研究の結果、磁性材料を真空槽
外の大気中から連続的に供給する機構を設置して成膜を
行うことにより、磁性材料の加工費をかけることなく、
効率的な連続蒸着が可能となり、安価な磁気記録媒体を
製造することが可能となることをみいだし、本発明を完
成するに至ったものである。

【００１７】即ち、本発明の磁気記録媒体の製造方法
は、非磁性支持体上に真空薄膜形成技術により強磁性金
属薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法において、上
記強磁性金属薄膜を形成する際に、該強磁性金属薄膜の
構成材料として使用される金属又は合金を真空槽外の大
気中から連続的に供給することを特徴とするものであ
る。

【００１８】また、本発明の磁気記録媒体の製造装置
は、非磁性支持体上に真空薄膜形成技術により強磁性金
属薄膜を形成する磁気記録媒体の製造装置において、上
記強磁性金属薄膜の構成材料として使用される金属又は
合金を真空槽外の大気中から連続的に供給する機構を有
することを特徴とするものである。

【００１９】本発明の製造方法及び製造装置により製造
される磁気記録媒体としては、非磁性支持体上に真空薄
膜形成技術により強磁性金属薄膜が磁性層として形成さ
れる、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が挙げら
れる。

【００２０】上記金属磁性薄膜型の磁気記録媒体におい
て、上記非磁性支持体や強磁性金属薄膜を構成する強磁
性材料等は従来よりこの種の磁気記録媒体において使用
されているものがいずれも使用可能であり、特に限定さ
れるものではない。

【００２１】具体的に例示するならば、上記強磁性材料
としてはＣｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｏ等
の強磁性金属材料が挙げられる。また、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎ
ｉ等の強磁性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｏ，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−
Ｐｔ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ
等の強磁性合金等も使用可能である。

【００２２】上記磁性層は、これら強磁性材料からなる
強磁性金属薄膜の単層膜であっても良いし、多層膜であ
っても良い。

【００２３】また、上記非磁性支持体と上記強磁性金属
薄膜間、或いは多層膜の場合には、各層間の付着力の向
上、並びに抗磁力の制御等のために、下地層、又は中間
層を設けても良い。更に、例えば磁性層表面近傍が耐食
性の改善等のために酸化物となっていても良い。

【００２４】この強磁性金属薄膜を形成する手段として
は、真空下で上述の強磁性金属材料を加熱蒸発させ上記
非磁性支持体上に被着せしめる真空蒸着法が好適であ
り、この他強磁性金属材料の蒸発を放電中で行うイオン
プレーティング法等、いわゆるＰＶＤ法が使用可能であ
る。

【００２５】このようにして成膜される強磁性金属薄膜
上には、保護膜層が形成されても良い。

【００２６】この保護膜層の構成材料としては、通常こ
の種の磁気記録媒体において使用されるものであればい
かなるものであっても良い。具体的に例示するならば、
カーボン、ＣｒＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＢＮ、Ｃｏ酸化物、Ｍ
ｇＯ、ＳｉＯ₂、Ｓｉ₃Ｏ₄、ＳｉＮｘ、ＳｉＣ、ＳｉＮ
ｘ−ＳｉＯ₂、ＺｒＯ₂、ＴｉＯ₂ 、ＴｉＣ等が挙げられ
る。

【００２７】この保護膜層は、これら保護膜層材料から
なる単層膜であっても良いし、多層膜であっても良い。

【００２８】本発明においては、この強磁性金属薄膜を
形成する際に、上記強磁性材料を真空槽外の大気中から
連続的に供給する。これにより、上記強磁性材料の加工
費を必要とすることなく、効率良く連続蒸着を行うこと
が可能となる。従って、コストの低下が図られ、安価な
磁気記録媒体を製造することが可能となる。また、この
方法は、簡便な原料供給方法であるため、既設の製造装
置に比較的簡単に取り付けることが可能であり、また新
規に作成する場合でも安価に作製することができる。

【００２９】勿論、本発明により製造される磁気記録媒
体の構成としては、これに限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲での変更、例えば必要に応
じてバックコート層を形成したり、上記非磁性支持体上
に下塗り層を形成したり、潤滑剤剤、防錆剤等の各種層
を形成することはなんら差し支えない。この場合、上記
バックコート層に含まれる非磁性顔料、樹脂結合剤、或
いは上記潤滑剤層に含まれる材料等としては、従来公知
のものがいずれも使用可能である。

【００３０】

【実施例】以下、本発明を具体的な実施例により説明す
るが、本発明がこの実施例に限定されるものでないこと
は言うまでもない。

【００３１】実施例１先ず、本実施例において作製した磁気テープの磁性層を
形成する際に使用した連続巻取り式真空蒸着装置の構成
について説明する。

【００３２】この連続巻取り式真空蒸着装置は、図１に
示すように、頭部と底部にそれぞれ設けられた排気口１
５から排気され内部が真空状態（ここでは真空度７×１
０^-2Ｐａとした。）となされた真空室１内に図１中の時
計回り方向に定速回転する送りロール３と、同様に時計
回り方向に定速回転する巻取りロール４とが設けられ、
これら送りロール３から巻取りロール４に向かって被処
理体であるテープ状の非磁性支持体２が順次走行するよ
うになされている。

【００３３】これら送りロール３側から巻取りロール４
側に亘って上記非磁性支持体２が走行する中途部には、
該非磁性支持体２を図１中下方に引き出すように設けら
れるとともに、上記各ロール３，４の径よりも大径とな
された冷却キャン５が図１中時計回り方向に定速回転す
るように設けられている。

【００３４】この冷却キャン５は、内部に設けられた冷
却手段（図示せず。）により所定の温度に冷却されるよ
うな構成を有しており、該冷却キャン５の外周面に沿っ
て走行される上記非磁性支持体２の蒸着時の温度上昇に
よる変形等を防止するようになされている。

【００３５】これら送りロール３、巻取りロール４及び
冷却キャン５は、それぞれ上記非磁性支持体２の幅と略
同じ長さからなる円筒状をなすものである。

【００３６】従って、この真空蒸着装置においては、上
記非磁性支持体２が、上記送りロール３から順次送り出
され、上記冷却キャン５の外周面に沿って通過し、更に
上記巻取りロール４に巻き取られていくようになされて
いる。

【００３７】なお、上記送りロール３と上記冷却キャン
５との間、及び該冷却キャン５と上記巻取りロール４と
の間には、それぞれガイドロール６，７が配設され、上
記送りロール３から上記冷却キャン５及び該冷却キャン
５から上記巻取りロール４に亘って走行する上記非磁性
支持体２に所定のテンションをかけつつ、該非磁性支持
体２が円滑に走行するようになされている。

【００３８】また、上記真空室１内には、上記冷却キャ
ン５の下方にるつぼ８が配設され、このるつぼ８の内部
に強磁性材料９が充填される。

【００３９】ここで、上記真空室１には、その側壁を貫
通して差動排気機構１９が配設され、該差動排気機構１
９により上記強磁性材料９が上記真空室１の外部の大気
中から連続的に上記ルツボ８端部に供給されるような構
成となされている。

【００４０】上記差動排気機構１９は、図２に示すよう
に、適当な形状の強磁性材料１８が導入される円筒型の
強磁性材料導入管２０と、該強磁性材料導入管２０に上
記強磁性材料１８を連続して供給する強磁性材料供給手
段２１と、大気圧と上記真空室１内の圧力差を一定に保
つための複数（例えば３つ）の排気手段２２，２３，２
４とから構成される。

【００４１】上記強磁性材料導入管２０は、上記強磁性
材料供給手段２１より導入口２０ａを介して導入される
上記強磁性材料１８との隙間が極力小さくなるようにな
されるとともに、該強磁性材料導入管２０自体の長さが
長くされることが好ましい。これにより、コンダクタン
スを稼ぐことができ、真空度を保つことができる。

【００４２】本実施例では、上記強磁性材料１８として
所定の直径（例えば６ｍｍ）を有する棒状のものを使用
し、この強磁性材料１８が導入される強磁性材料導入管
２０として内径６．５ｍｍ、長さ約１５００ｍｍのもの
を使用した。

【００４３】この時、上記強磁性材料１８は、原材料と
してコイル状に巻かれた状態であるので、上記強磁性材
料導入管２０に導入される前に、直線状にのばして（整
形して）供給する必要がある。

【００４４】なお、上記強磁性材料１８の供給速度は、
上記るつぼ８端部に供給された上記強磁性材料１８のる
つぼ８表面からの蒸発による該るつぼ８の湯面の減少が
ないように（即ち、該るつぼ８の湯面の高さが一定にな
るように）適宜調節した。

【００４５】また、上記排気手段２２，２３，２４は、
上記強磁性材料導入管２０の中途部に所定の間隔を空け
てそれぞれ取り付けられる。これら排気手段２２，２
３，２４としては、各種ポンプがいずれも使用可能であ
り、なんら限定されるものではないが、大気側から順に
真空度を向上させるために、真空室１に近い位置に配設
されるものほど高精度のものを使用することが好まし
い。本実施例においては、大気側より順に第１の排気手
段２２としてロータリーポンプを、第２の排気手段２３
としてルーツポンプを、第３の排気手段２４としてはタ
ーボ分子ポンプをそれぞれ用いた。

【００４６】従って、この真空蒸着装置においては、上
記強磁性材料１８が上記強磁性材料供給手段２１より上
記強磁性材料導入管２０の導入口２０ａを介して導入さ
れ、上記強磁性材料導入管２０を通過しながら大気圧と
真空室１内の圧力差が一定に保たれた状態で上記真空室
１外部の大気中から連続的に上記るつぼ８の端部に供給
されるようになされており、効率良く連続蒸着を行うこ
とができる。これにより、既設の製造装置に比較的簡単
に上述のような差動排気機構１９を取り付けるだけで安
価な磁気記録媒体を製造することが可能となる。

【００４７】一方、上記真空室１の側壁には、上記るつ
ぼ８内に充填された上記強磁性材料９を加熱蒸発させる
ための手段として電子銃１０が外付けされる。この電子
銃１０より発せられる電子線Ｘが上記るつぼ８内の上記
強磁性材料（ここではＣｏ₉₀Ｎｉ₁₀を用いた。）９上
に照射されるような位置に配設される。そして、この電
子銃１０によって加熱溶融せしめられ上記るつぼ６より
蒸発せしめられた蒸気流は、上記冷却キャン５の外周面
に沿って走行する非磁性支持体２上に蒸着され、磁性層
として形成されるようになされている。

【００４８】ここで、通常上記電子銃１０から発せられ
る電子線Ｘは、幅方向に一定周期でスキャンすることで
幅方向の蒸気分布を均一化しているが、本実施例では上
記強磁性材料１８が供給されるるつぼ８端部側は蒸着レ
ートが低くなるため、電子線Ｘのスキャン条件を変更し
て幅方向の蒸気分布が均一となるように制御した。

【００４９】また、上記冷却キャン５とるつぼ８との間
で、上記冷却キャン５の近傍には、シャッタ１３が配設
される。このシャッタ１３は、上記冷却キャン５の外周
面に沿って走行する上記非磁性支持体２の所定領域を覆
うかたちで形成され、該シャッタ１３から露出する上記
非磁性支持体２の表面上にのみ上記るつぼ６より蒸発せ
しめられた蒸気流が蒸着するようになされている。即
ち、このシャッタ１３により上記るつぼ６より蒸発せし
められた蒸気流の上記非磁性支持体２の表面に対する入
射角が規制され、所定の角度範囲で上記非磁性支持体２
の表面に斜め蒸着が行われることになる。

【００５０】更に、このような蒸着に際し、得られる強
磁性金属薄膜の粒子の微細化を図るために導入される酸
素ガスの酸素ガス導入口８が上記真空室１の側壁を貫通
して配設される。そして、この酸素ガス導入口８を介し
て酸素ガスが上記非磁性支持体２の表面に供給され、磁
気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られている。

【００５１】なお、上記真空室１の略中央部には、上記
るつぼ６が設けられた領域と上記送りロール３及び巻取
りロール４が配設された領域とを分断する如く仕切り板
１６が配設される。この仕切り板１６により上記真空室
１内は、上記非磁性支持体２の送り出し或いは巻き取り
が行われるテープ送り・巻取り室１１（図１中上方側）
と上記非磁性支持体２に対する蒸着が行われる蒸着室１
２（図１中下方側）とに二分された構造となり、上記る
つぼ６より蒸発せしめられた蒸気流が上記非磁性支持体
２に対する蒸着が行われる領域以外の領域に拡散するの
を防止するようになされている。

【００５２】そこで、このような構成を有するの真空蒸
着装置を用い、下塗り層としてアクリル酸エステルを主
成分とする水溶性ラテックスが密度１０００万個／ｍｍ
²で塗布されたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
からなる厚み１０μｍ、１５０ｍｍ幅のベースフィルム
上に下記の条件にて酸素雰囲気中でＣｏ−Ｎｉ合金を斜
め蒸着し、膜厚２００ｎｍのＣｏ−Ｎｉ膜なる強磁性金
属薄膜の単層膜を磁性層として形成した。

【００５３】＜蒸着時の条件＞蒸気流の入射角θ：４５〜９０゜蒸着源：Ｃｏ₉₀Ｎｉ₁₀合金（数値は重量％を表す。）非磁性支持体の送り速度：２５ｍ／分蒸着時の真空度：５〜８×１０^-2Ｐａ酸素ガス導入量：２５０ｃｃ／分次いで、上記ベースフィルムの磁性層形成面の反対面側
にカーボンとウレタンバインダーの混合系からなるバッ
クコート層を塗布厚が０．６μｍとなるように形成し
た。

【００５４】続いて、上記磁性層表面にパーフルオロポ
リエーテルを用いてトップコート層を塗布形成した。

【００５５】更に、得られた幅広のベースフィルムを８
ｍｍ幅にスリットしてサンプルテープを作製した。

【００５６】実施例２上記実施例１で作製した磁気テープの磁性層を形成する
際に使用した連続巻取り式真空蒸着装置において、上記
差動排気機構１９の上記強磁性材料１８の形状をペレッ
ト状（ここでは直径１０ｍｍ、長さ１２ｍｍとした）に
変え、それ以外の部材は実施例１と同一構成とし、この
真空蒸着装置を用いて実施例１と同様にサンプルテープ
を作製した。

【００５７】ここで、上記強磁性材料１８の供給に際
し、予めペレット状に加工されたものを使用したので、
上述のように整形する必要はない。但し、供給時に、ペ
レットとペレットの間やペレットと上記強磁性材料導入
管２０の間に大きな隙間が生じると、蒸着室１２内の真
空度に乱れが生じ上記差動排気機構１９では圧力差の制
御ができなくなるので、供給時にはペレットを極力整列
して上記隙間が小さくなるように配慮した。

【００５８】以上のようにして各実施例において作製し
たサンプルテープ、及び比較用として上記連続巻取り式
真空蒸着装置において、上記差動排気機構１９の上記強
磁性材料１８として直径が６ｍｍの線状のものを用い、
これをるつぼ８の側面より連続押し出しによりるつぼ８
の湯面の高さが一定となるように供給した場合（比較例
１）、また直径１０ｍｍ、長さ１２ｍｍのペレット状の
ものをるつぼ８の湯面の高さが一定となる時間間隔で断
続的に供給した場合（比較例２）について、ドロップア
ウト及び磁気特性をそれぞれ評価した。

【００５９】なお、上記強磁性材料１８の形状及び供給
方法（形態）の違いを確認するためのテストとして同一
ロットの溶解合金を各々の形状に加工した。この時の使
用した合金の不純物含有量は下記表１に示す通りであ
る。

【００６０】

【表１】

【００６１】ドロップアウトは、ソニー社製のハイバン
ド８ミリビデオデッキ；ＥＶ−Ｓ９００（商品名）を改
造したものを用い、再生出力レベルから１６ｄＢ／１０
μ秒以上の出力低下をドロップアウトとして１０分間測
定を行い、１分間当たりのドロップアウト数を求めた。
この結果を下記表２に示す。

【００６２】また、下記表２中に、上記実施例１，２及
び比較例１，２で使用した各強磁性材料１８の形状によ
る加工コストを併せて示す。一般に、上記強磁性材料１
８のコストは、加工プロセスが多くなれば、また加工形
状が小さくなれば高くなる。

【００６３】

【表２】

【００６４】磁気特性は、試料振動型磁力計（ＶＳＭ）
で測定した。この結果を下記表３に示す。

【００６５】

【表３】

【００６６】表２及び表３に示すように、本実施例１，
２において、ドロップアウト及び磁気特性などの製品品
質は、従来の強磁性材料の供給方法を用いた場合（比較
例１，２）とほぼ同等のレベルが得られ、上述のような
差動排気機構により上記強磁性材料を真空室外から連続
的に供給したことによる実害は発生していないことが判
った。

【００６７】また、比較例１では、上記強磁性材料の形
状を比較的細い線状としたが、長時間の蒸着に対応する
ためには相当量の長さが必要となり、これを巻取るため
のリール機構や湾曲した線状合金を直線状に矯正するた
めの機構等を真空室内に配置する必要があり、装置全体
の構成が大きくなってしまう。このような理由から、既
存の設備への設置は容易ではない。

【００６８】同様に、比較例２では、ペレット状の強磁
性材料を供給するに際し、ペレットを整列させるための
機構等を真空室内に配置する必要があり、この場合も装
置全体の構成が大きくなるという欠点がある。

【００６９】これに対して、本実施例１，２では、上記
強磁性材料を供給するための機構が真空室外の大気中に
配置される構成となっているため、上記差動排気機構が
真空室の側壁に外付けされるものの、真空室自体の構造
は単純化され、装置全体がコンパクトになる。

【００７０】更に、比較例１では、真空室内に残ったワ
イヤー状の強磁性材料はいったん取り出し、真空室内に
はまた新たなワイヤーを供給することが必要であり、残
ったワイヤーは再度溶解して新たに長いワイヤー化材と
して使用される。これは、合金の加工を何度も繰り返す
ことにつながり、合金コストを引き上げることになるた
め好ましくない。

【００７１】また、比較例２のように、蒸着のバッチ毎
に原料合金の供給を行う場合、真空室内での原料の切り
替えや、その後の補給が困難なため、予め余分に原料合
金を供給しておく必要があり、装置容積に占める原料供
給系の割合が大きく、ポンプも大型化する必要があるな
どコストアップになる要素が多い。

【００７２】これに対して、本実施例１、２では、上記
差動排気機構を既設の製造装置にも比較的簡単に取り付
けることが可能であり、また新規に作製する場合でも安
価に製造することができる。

【００７３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
においては、非磁性支持体上に真空蒸着法により強磁性
金属薄膜からなる磁性層を形成する際に、前記強磁性金
属薄膜の構成材料として使用される強磁性材料を大気中
から連続して供給するので、安価な磁気記録媒体を実現
することができる。

【００７４】また、本発明において用いられる蒸発源へ
の上記強磁性材料の供給手段は、比較的構造が簡単であ
り、またコンパクトでスペースをとらない構造とするこ
とができるので、既存の設備にも容易に導入することが
可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用して磁気テープを製造する際に使
用した真空蒸着装置の一構成例を示す模式図である。

【図２】大気中から蒸着源に強磁性材料を供給するため
の差動排気機構の一構成例を示す模式図である。

【符号の説明】

１真空室２非磁性支持体３送りロール４巻取りロール５冷却キャン６，７ガイドロール８るつぼ９強磁性材料１０電子銃１１テープ送り・巻取り室１２蒸着室１３シャッタ１４酸素ガス導入口１５排気口１６仕切り板１８強磁性材料１９差動排気機構２０強磁性材料導入管２１強磁性材料供給手段２２，２３，２４排気手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｆ 41/20 Ｈ０１Ｆ 41/20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体上に真空薄膜形成技術によ
り強磁性金属薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法に
おいて、上記強磁性金属薄膜を形成する際に、該強磁性金属薄膜
の構成材料として使用される金属又は合金を真空槽外の
大気中から連続的に供給することを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法。
【請求項２】非磁性支持体上に真空薄膜形成技術によ
り強磁性金属薄膜を形成する磁気記録媒体の製造装置に
おいて、上記強磁性金属薄膜の構成材料として使用される金属又
は合金を真空槽外の大気中から連続的に供給する機構を
有することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
【請求項３】差動排気機構を有することを特徴とする
請求項１記載の磁気記録媒体の製造装置。