JPH05142293A - Icテスト方法、及びそのテスタ - Google Patents
Icテスト方法、及びそのテスタInfo
- Publication number
- JPH05142293A JPH05142293A JP3331306A JP33130691A JPH05142293A JP H05142293 A JPH05142293 A JP H05142293A JP 3331306 A JP3331306 A JP 3331306A JP 33130691 A JP33130691 A JP 33130691A JP H05142293 A JPH05142293 A JP H05142293A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burn
- board
- test
- ics
- expected value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ICの実装状態でのバーンイン工程を可能に
するとともに、複数のICが全自動でテストできるよう
にし、信頼度の向上、及びテスト時間の短縮を図る。 【構成】 ICテスト方法は、バーンインボードにIC
を実装してテスト信号を印加し、テスト信号が印加され
たICからの動作出力と期待値とを比較する。また、テ
スタは、全てのICを動作させる信号発生器と、期待値
を発生させる期待値発生器と、複数のICの一つの動作
出力を択一する切替器と、択一された出力と期待値とを
比較する比較器とを備える。そして、信号発生器は、バ
ーンインボード上に実装されたICに実際の動作条件と
同一のテスト信号が印加できるものとする。
するとともに、複数のICが全自動でテストできるよう
にし、信頼度の向上、及びテスト時間の短縮を図る。 【構成】 ICテスト方法は、バーンインボードにIC
を実装してテスト信号を印加し、テスト信号が印加され
たICからの動作出力と期待値とを比較する。また、テ
スタは、全てのICを動作させる信号発生器と、期待値
を発生させる期待値発生器と、複数のICの一つの動作
出力を択一する切替器と、択一された出力と期待値とを
比較する比較器とを備える。そして、信号発生器は、バ
ーンインボード上に実装されたICに実際の動作条件と
同一のテスト信号が印加できるものとする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、バーンインボードにお
けるICテスト方法、及びそのテスタに関する。
けるICテスト方法、及びそのテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路などの信頼度テスト方法のひと
つにバーンイン法がある。図4はバーンインボードの断
線チェックに使用される従来のテスタを表す斜視図であ
る。バーンインボード1には複数のソケット3が設けら
れ、ソケット3にはICが実装されていない。バーンイ
ンボード1の端部接点にはエッジコネクタ5が接続さ
れ、エッジコネクタ5はGO/NG表示がなされるチェ
ッカー7へと接続されている。また、チェッカー7には
一つのテスト用プローブ9が接続され、プローブ9は手
作業により選択的に複数のソケット3の一つへ差し換え
られるようになっている。
つにバーンイン法がある。図4はバーンインボードの断
線チェックに使用される従来のテスタを表す斜視図であ
る。バーンインボード1には複数のソケット3が設けら
れ、ソケット3にはICが実装されていない。バーンイ
ンボード1の端部接点にはエッジコネクタ5が接続さ
れ、エッジコネクタ5はGO/NG表示がなされるチェ
ッカー7へと接続されている。また、チェッカー7には
一つのテスト用プローブ9が接続され、プローブ9は手
作業により選択的に複数のソケット3の一つへ差し換え
られるようになっている。
【0003】このように構成される断線チェックテスタ
(テスタ)11において、テスト時、チェッカー7によ
りチェック信号が発生されると、チェック信号がエッジ
コネクタ5を介してバーンインボード1に送り込まれ、
送り込まれたチェック信号がソケット3のコンタクト部
からプローブ9との接触を通してチェッカー7に再び取
り込まれる。そして、チェッカー7は、送り込んだチェ
ック信号と、送り戻されたチェック信号との一致・不一
致により、バーンインボード1配線のGO/NG判定を
し、断線チェックを行うのである。
(テスタ)11において、テスト時、チェッカー7によ
りチェック信号が発生されると、チェック信号がエッジ
コネクタ5を介してバーンインボード1に送り込まれ、
送り込まれたチェック信号がソケット3のコンタクト部
からプローブ9との接触を通してチェッカー7に再び取
り込まれる。そして、チェッカー7は、送り込んだチェ
ック信号と、送り戻されたチェック信号との一致・不一
致により、バーンインボード1配線のGO/NG判定を
し、断線チェックを行うのである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
テスト方法では、テスト用のプローブ9の差し換えが手
作業により行われていたため、その接続状態には個人差
が有り、接触不良の原因となる不具合が発生していて
も、プローブ9を左右上下に動かすことで不具合が解消
されてしまい、誤判定を引き起こす原因を包含してい
た。また、従来のテスタでは、バーンインボード1上の
配線パターンの断線、及び短絡はテストできるが、IC
を実装した際のICのリードとソケットのコンタクトと
の接触状態はチェックすることができず、テストを実施
しても、接触不良の発生しているソケット3に実装され
たICが、バーンインされずに出荷される虞れがあり、
信頼度の低下を招く原因ともなっていた。更に、上述の
如く、プローブ9の挿入は手作業により行っていたた
め、作業効率が悪く、テスト時間が長くなる要因となっ
ていた。
テスト方法では、テスト用のプローブ9の差し換えが手
作業により行われていたため、その接続状態には個人差
が有り、接触不良の原因となる不具合が発生していて
も、プローブ9を左右上下に動かすことで不具合が解消
されてしまい、誤判定を引き起こす原因を包含してい
た。また、従来のテスタでは、バーンインボード1上の
配線パターンの断線、及び短絡はテストできるが、IC
を実装した際のICのリードとソケットのコンタクトと
の接触状態はチェックすることができず、テストを実施
しても、接触不良の発生しているソケット3に実装され
たICが、バーンインされずに出荷される虞れがあり、
信頼度の低下を招く原因ともなっていた。更に、上述の
如く、プローブ9の挿入は手作業により行っていたた
め、作業効率が悪く、テスト時間が長くなる要因となっ
ていた。
【0005】本発明は上記状況に鑑みてなされたもの
で、バーンインボード上のソケットにICを実装した際
の、ICリードとソケットコンタクトとに生じる接触不
良の不正確な検出が除去できるとともに、全自動でのテ
ストが可能となるICテスト方法、及びそのテスタを提
供し、もって、テスト信頼度の向上、及びテスト時間の
短縮を図ることを目的とする。
で、バーンインボード上のソケットにICを実装した際
の、ICリードとソケットコンタクトとに生じる接触不
良の不正確な検出が除去できるとともに、全自動でのテ
ストが可能となるICテスト方法、及びそのテスタを提
供し、もって、テスト信頼度の向上、及びテスト時間の
短縮を図ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係るICテスト方法は、バーンインボードに
ICを実装し、実装したICにテスト信号を印加し、テ
スト信号が印加されたICからの出力と期待値とを比較
することで判定を行うことを特徴とする。そして、テス
タは、バーンインボード上に実装された全てのICを動
作させる信号発生器と、この信号発生器のテスト信号よ
り期待値を発生させる期待値発生器と、前記実装された
複数のICの一つの動作出力を択一する切替器と、この
択一された一つのICの出力と前記期待値とを比較する
比較器とからなることを特徴とする。また、実際動作時
に近似状態でのテストを可能にするため、テスタには実
際のバーンイン条件と同一のテスト信号を印加してIC
を動作させる信号発生器を備えることが好ましい。
の本発明に係るICテスト方法は、バーンインボードに
ICを実装し、実装したICにテスト信号を印加し、テ
スト信号が印加されたICからの出力と期待値とを比較
することで判定を行うことを特徴とする。そして、テス
タは、バーンインボード上に実装された全てのICを動
作させる信号発生器と、この信号発生器のテスト信号よ
り期待値を発生させる期待値発生器と、前記実装された
複数のICの一つの動作出力を択一する切替器と、この
択一された一つのICの出力と前記期待値とを比較する
比較器とからなることを特徴とする。また、実際動作時
に近似状態でのテストを可能にするため、テスタには実
際のバーンイン条件と同一のテスト信号を印加してIC
を動作させる信号発生器を備えることが好ましい。
【0007】
【作用】ICが実装されたバーンインボードにテスト信
号が印加され、実際動作時におけるICの出力が期待値
と比較され、テスト時のIC取り付け条件が実装時の条
件と等しくなり、テスト信頼度が高くなる。複数のIC
にテスト信号が印加され、全てのICが同時に動作信号
を出力し、複数の動作信号のうちの一つのICの出力が
順次切替器により択一され、この一つのICの出力が期
待値発生器からの値と順次比較されることで、複数IC
を判定するためのIC差し換え作業等が一度となる。I
Cが実装されたバーンインボードにバーンイン条件と同
一のテスト信号が印加され、期待値と比較されるICの
出力値が実際の動作出力値で判定が行えるようになる。
号が印加され、実際動作時におけるICの出力が期待値
と比較され、テスト時のIC取り付け条件が実装時の条
件と等しくなり、テスト信頼度が高くなる。複数のIC
にテスト信号が印加され、全てのICが同時に動作信号
を出力し、複数の動作信号のうちの一つのICの出力が
順次切替器により択一され、この一つのICの出力が期
待値発生器からの値と順次比較されることで、複数IC
を判定するためのIC差し換え作業等が一度となる。I
Cが実装されたバーンインボードにバーンイン条件と同
一のテスト信号が印加され、期待値と比較されるICの
出力値が実際の動作出力値で判定が行えるようになる。
【0008】
【実施例】以下、本発明に係るICテスト方法、及びそ
のテスタの好適な実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。図2は本発明に係るテスタの構成を表す説明図であ
る。テスタ21には上下動自在な上蓋付のボード押え2
3が設けられ、ボード押え23は下降することでバーン
インボード1を所定位置にセットするようになってい
る。一方、バーンインボード1の下方にはマルチプレク
サー(スキャナー)付フィクスチャー(フィクスチャ
ー)25が配設され、フィクスチャー25はシリンダ2
7により押し上げられるようになっている。したがっ
て、フィクスチャー25が押し上げられることで、バー
ンインボード1裏面のIC出力に相当するソケットピン
にフィクスチャーのプローブピンが結合されるようにな
っているのである。
のテスタの好適な実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。図2は本発明に係るテスタの構成を表す説明図であ
る。テスタ21には上下動自在な上蓋付のボード押え2
3が設けられ、ボード押え23は下降することでバーン
インボード1を所定位置にセットするようになってい
る。一方、バーンインボード1の下方にはマルチプレク
サー(スキャナー)付フィクスチャー(フィクスチャ
ー)25が配設され、フィクスチャー25はシリンダ2
7により押し上げられるようになっている。したがっ
て、フィクスチャー25が押し上げられることで、バー
ンインボード1裏面のIC出力に相当するソケットピン
にフィクスチャーのプローブピンが結合されるようにな
っているのである。
【0009】バーンインボード1の端部接点1aにはジ
ャック29が対向して設けられ、ジャック29はシリン
ダ31が伸長されることにより端部接点1aに装着され
るようになっている。ジャック29にはパターン発生及
びドライバーボード(ドライバーボード)33が接続さ
れ、ドライバーボード33はリファレンスボード35へ
接続されている。つまり、パターン発生及びドライバー
ボード33からのチェック信号はジャック29を介して
バーンインボード1上の全てのICに入力されるととも
に、リファレンスボード35にも基準パターンがそれぞ
れ入力されるようになっている。
ャック29が対向して設けられ、ジャック29はシリン
ダ31が伸長されることにより端部接点1aに装着され
るようになっている。ジャック29にはパターン発生及
びドライバーボード(ドライバーボード)33が接続さ
れ、ドライバーボード33はリファレンスボード35へ
接続されている。つまり、パターン発生及びドライバー
ボード33からのチェック信号はジャック29を介して
バーンインボード1上の全てのICに入力されるととも
に、リファレンスボード35にも基準パターンがそれぞ
れ入力されるようになっている。
【0010】リファレンスボード35にはコンパレータ
37が接続され、リファレンスボード35に入力された
基準パターンはコンパレータ37に送られるようになっ
ている。コンパレータ37には上述のフィクスチャー2
5が接続され、テスト結果がコンパレータ37に送られ
るようになっている。つまり、コンパレータ37では、
リファレンスボード35からの基準パターンと、フィク
スチャー25を経由したテスト結果が比較できるように
なっている。コンパレータ37にはコントローラー39
が接続され、コントローラー39はコンパレータ37で
の比較結果を順次内部メモリーに格納するようになって
いる。
37が接続され、リファレンスボード35に入力された
基準パターンはコンパレータ37に送られるようになっ
ている。コンパレータ37には上述のフィクスチャー2
5が接続され、テスト結果がコンパレータ37に送られ
るようになっている。つまり、コンパレータ37では、
リファレンスボード35からの基準パターンと、フィク
スチャー25を経由したテスト結果が比較できるように
なっている。コンパレータ37にはコントローラー39
が接続され、コントローラー39はコンパレータ37で
の比較結果を順次内部メモリーに格納するようになって
いる。
【0011】また、コントローラー39は、ドライバー
ボード33とも接続され、チェック信号の出力を制御で
きるようになっている。更に、コントローラー39には
CRT41、及びプリンター43が接続され、テスト結
果が表示、及び印字できるようになっている。即ち、テ
スト終了とともに、結果が「不良」の場合はCRT4
1、及びプリンター43に「FAIL」表示し、同時に
バーンインボード不良マップ(図3参照)上に「F」を
表示する。また、結果が「良」の場合は「PASS」を
表示し、同時にバーインボード不良マップ上に「・」を
表示する。バーインボード不良マップ上では「F」、
「・」表示が実際のソケットに対応した位置で表示され
るので、どのソケット部にパターン切れ、及びソケット
との接触不良等が発生しているのかが一目で判定できる
ようになっている。尚、これらの表示出力は、RS23
2Cを介して他のデータ処理装置へも送ることができる
ようになっている。
ボード33とも接続され、チェック信号の出力を制御で
きるようになっている。更に、コントローラー39には
CRT41、及びプリンター43が接続され、テスト結
果が表示、及び印字できるようになっている。即ち、テ
スト終了とともに、結果が「不良」の場合はCRT4
1、及びプリンター43に「FAIL」表示し、同時に
バーンインボード不良マップ(図3参照)上に「F」を
表示する。また、結果が「良」の場合は「PASS」を
表示し、同時にバーインボード不良マップ上に「・」を
表示する。バーインボード不良マップ上では「F」、
「・」表示が実際のソケットに対応した位置で表示され
るので、どのソケット部にパターン切れ、及びソケット
との接触不良等が発生しているのかが一目で判定できる
ようになっている。尚、これらの表示出力は、RS23
2Cを介して他のデータ処理装置へも送ることができる
ようになっている。
【0012】このように構成されたテスタ21は、テス
ト結果の表示、及び印字が終了した後、バーンインボー
ド1をジャック29、フィクスチャー25、及びボード
押え23から、シリンダ27、31の駆動により解放す
るようになっている。テスタ21は、以上一連の構成が
コントローラー39により動作制御されるようになって
おり、スタートボタンを押すだけで、電源のON/OF
Fを含めて全て自動的に行えるようになっている。
ト結果の表示、及び印字が終了した後、バーンインボー
ド1をジャック29、フィクスチャー25、及びボード
押え23から、シリンダ27、31の駆動により解放す
るようになっている。テスタ21は、以上一連の構成が
コントローラー39により動作制御されるようになって
おり、スタートボタンを押すだけで、電源のON/OF
Fを含めて全て自動的に行えるようになっている。
【0013】次に、図1に基づいて本実施例に係るIC
テスト方法を説明する。図1は本発明に係るICテスト
方法を説明するブロック図である。先ず、バーンインボ
ード1のソケット3にIC53を実装し、装着ガイドを
有したフィクスチャー25に載置し、上下よりバーンイ
ンボード1を押え込み、IC53の出力ピンとフィクス
チャー25のコンタクトプローブ55を機械駆動部(シ
リンダ27等)57により接触させる。
テスト方法を説明する。図1は本発明に係るICテスト
方法を説明するブロック図である。先ず、バーンインボ
ード1のソケット3にIC53を実装し、装着ガイドを
有したフィクスチャー25に載置し、上下よりバーンイ
ンボード1を押え込み、IC53の出力ピンとフィクス
チャー25のコンタクトプローブ55を機械駆動部(シ
リンダ27等)57により接触させる。
【0014】次いで、信号発生器及び電源(ドライバー
ボード33等)59よりバーインを行う条件又は類似条
件のテスト信号をジャック29より印加し、バーンイン
ボード1上の全てのIC53を動作させる。そして、バ
ーンインボード1上のIC53の出力をコントローラー
39内の制御部61からの信号で切替器(フィクスチャ
ー25)63により選択し、比較器(コンパレータ3
7)65に送り、期待値発生器(ドライバーボード33
等)67からのデータと比較し、GO/NG判定を行
う。
ボード33等)59よりバーインを行う条件又は類似条
件のテスト信号をジャック29より印加し、バーンイン
ボード1上の全てのIC53を動作させる。そして、バ
ーンインボード1上のIC53の出力をコントローラー
39内の制御部61からの信号で切替器(フィクスチャ
ー25)63により選択し、比較器(コンパレータ3
7)65に送り、期待値発生器(ドライバーボード33
等)67からのデータと比較し、GO/NG判定を行
う。
【0015】判定結果は全てコントローラー39内のデ
ータ処理部69に送られ、記憶される。バーンインボー
ド1上の全てのIC53のテストが終了するまで、切替
器63で順次IC53を選択し、同様のテストを行う。
判定結果はテスト終了時に表示、印字する。判定結果の
表示、印字はテスト途中で行うことも可能である。そし
て、印字ではバーンインボード1上全てのICの結果が
不良マップとなって出力される。
ータ処理部69に送られ、記憶される。バーンインボー
ド1上の全てのIC53のテストが終了するまで、切替
器63で順次IC53を選択し、同様のテストを行う。
判定結果はテスト終了時に表示、印字する。判定結果の
表示、印字はテスト途中で行うことも可能である。そし
て、印字ではバーンインボード1上全てのICの結果が
不良マップとなって出力される。
【0016】本発明に係るICテスト方法、及びそのテ
スタによれば、全自動でバーンインボードテストを行う
ことができるので、テスト時間の短縮が可能となるとと
もに、メモリ、及びロジック等広範囲に適用が可能であ
るので、例えば、バーンインボードIC挿入機に利用
し、挿入機とテスタ機能を一体化することにより、作業
効率を大幅に向上させることも可能となる。尚、テスタ
21は、ICの出力が複数有るもの、及び入出力が共通
ピンになっているICのテストも可能となっている。
スタによれば、全自動でバーンインボードテストを行う
ことができるので、テスト時間の短縮が可能となるとと
もに、メモリ、及びロジック等広範囲に適用が可能であ
るので、例えば、バーンインボードIC挿入機に利用
し、挿入機とテスタ機能を一体化することにより、作業
効率を大幅に向上させることも可能となる。尚、テスタ
21は、ICの出力が複数有るもの、及び入出力が共通
ピンになっているICのテストも可能となっている。
【0017】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るICテスト方法は、ICが実装されたバーンインボー
ドにテスト信号が印加され、実際動作時におけるICの
出力が期待値と比較されるので、配線パターンのオープ
ン又はショート、ソケットとICリードの接触不良(ソ
ケットコンタクト及びICリード不良等)、ICの動作
不良(逆挿入等)が包括的にテストされ、バーンイン工
程における不正確な検出が除去でき、テストの信頼度を
著しく向上させることができる。また、本発明に係るテ
スタは、複数のICにテスト信号が印加され、全てのI
Cが同時に動作信号を出力し、一つのICの出力が期待
値発生器からの値と順次比較されるので、複数ICを同
時にテストすることができ、テストを高速化することが
できる。更に、本発明に係るテスタは、実際のバーンイ
ン条件と同一のテスト信号を印加してICを動作させる
ので、期待値と比較されるICの出力値が実際の動作出
力値で判定が行え、テストの信頼度を更に向上させるこ
とができる。更に又、全てのICの出力信号がバーンイ
ンボード上回路を経由してジャックに出力するいわゆる
モニターバーンインボードについても、ジャックからの
出力値を切替器に入力することによりボード押え、シリ
ンダ駆動部、フィクスチャーを使用しないで同様なテス
トが可能となる。
るICテスト方法は、ICが実装されたバーンインボー
ドにテスト信号が印加され、実際動作時におけるICの
出力が期待値と比較されるので、配線パターンのオープ
ン又はショート、ソケットとICリードの接触不良(ソ
ケットコンタクト及びICリード不良等)、ICの動作
不良(逆挿入等)が包括的にテストされ、バーンイン工
程における不正確な検出が除去でき、テストの信頼度を
著しく向上させることができる。また、本発明に係るテ
スタは、複数のICにテスト信号が印加され、全てのI
Cが同時に動作信号を出力し、一つのICの出力が期待
値発生器からの値と順次比較されるので、複数ICを同
時にテストすることができ、テストを高速化することが
できる。更に、本発明に係るテスタは、実際のバーンイ
ン条件と同一のテスト信号を印加してICを動作させる
ので、期待値と比較されるICの出力値が実際の動作出
力値で判定が行え、テストの信頼度を更に向上させるこ
とができる。更に又、全てのICの出力信号がバーンイ
ンボード上回路を経由してジャックに出力するいわゆる
モニターバーンインボードについても、ジャックからの
出力値を切替器に入力することによりボード押え、シリ
ンダ駆動部、フィクスチャーを使用しないで同様なテス
トが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るICテスト方法を説明するブロッ
ク図である。
ク図である。
【図2】本発明に係るテスタの構成を表す説明図であ
る。
る。
【図3】バーンインボード不良マップを表す説明図であ
る。
る。
【図4】バーンインボードの断線チェックに使用される
従来のテスタを表す斜視図である。
従来のテスタを表す斜視図である。
1 バーンインボード 21 テスタ 53 IC 59 信号発生器 63 切替器 65 比較器 67 期待値発生器
Claims (3)
- 【請求項1】 バーンインボードにICを実装し、該実
装したICにテスト信号を印加し、該テスト信号が印加
されたICからの出力と期待値とを比較することで判定
を行うICテスト方法。 - 【請求項2】 バーンインボード上に実装された全ての
ICを動作させる信号発生器と、該信号発生器のテスト
信号より期待値を発生させる期待値発生器と、前記実装
された複数のICの一つの動作出力を択一する切替器
と、該択一された一つのICの出力と前記期待値とを比
較する比較器とからなることを特徴とするテスタ。 - 【請求項3】 バーンインボード上に実装されたICに
実際のバーンイン条件と同一のテスト信号を印加してI
Cを動作させる信号発生器を備えたことを特徴とするテ
スタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3331306A JPH05142293A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | Icテスト方法、及びそのテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3331306A JPH05142293A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | Icテスト方法、及びそのテスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142293A true JPH05142293A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=18242214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3331306A Pending JPH05142293A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | Icテスト方法、及びそのテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142293A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100471544B1 (ko) * | 2002-05-30 | 2005-03-10 | 주식회사 유니테스트 | 실장과 에이티이가 통합된 반도체 소자 테스트 장치 |
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
| US9354953B2 (en) | 2014-07-24 | 2016-05-31 | International Business Machines Corporation | System integrator and system integration method with reliability optimized integrated circuit chip selection |
-
1991
- 1991-11-19 JP JP3331306A patent/JPH05142293A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100471544B1 (ko) * | 2002-05-30 | 2005-03-10 | 주식회사 유니테스트 | 실장과 에이티이가 통합된 반도체 소자 테스트 장치 |
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
| US9354953B2 (en) | 2014-07-24 | 2016-05-31 | International Business Machines Corporation | System integrator and system integration method with reliability optimized integrated circuit chip selection |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6120816B2 (ja) | ||
| JPH04130639A (ja) | プローブカードの触針とウェーハとの接触検出方法および検出装置 | |
| JPH08306750A (ja) | 半導体試験装置 | |
| US20070164763A1 (en) | Method for detecting abnormality of probe card | |
| EP0120446A2 (en) | Digital equipment tester | |
| JPH05142293A (ja) | Icテスト方法、及びそのテスタ | |
| JP3805888B2 (ja) | Ic試験装置 | |
| KR0164836B1 (ko) | 무선장비 자동 시험장치와 그 방법 | |
| US5572669A (en) | Bus cycle signature system | |
| KR200318664Y1 (ko) | 회로보드 테스트용 프로브 카드의 핀 검사장치 | |
| JPH05190637A (ja) | 半導体集積回路の試験方法 | |
| JP3066072U (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH0921846A (ja) | 検査装置 | |
| JPH0511022A (ja) | 回路基板検査装置 | |
| JP4062424B2 (ja) | メモリテストシステム及びメモリテスト方法 | |
| JP2002139543A (ja) | 検査装置 | |
| KR0137697B1 (ko) | 자동시험장치에서 계측기를 이용한 부품 에러 자동탐지 장치 및 그 방법 | |
| JPH11304874A (ja) | テストバーンインボード | |
| JP2000131381A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JP2011227014A (ja) | プリント基板テスト装置 | |
| KR20000003778A (ko) | 오디오용 인쇄회로기판의 오픈/숏트 검사방법 | |
| JP2002090423A (ja) | スキャン障害解析方法および試験装置 | |
| JPH04500724A (ja) | Ic回路の動作状態の検査装置 | |
| JPH0758315B2 (ja) | 回路基板検査方法 | |
| JPH0581867B2 (ja) |