JPH0514534Y2

JPH0514534Y2 -

Info

Publication number: JPH0514534Y2
Application number: JP1987034379U
Authority: JP
Priority date: 1987-03-11
Filing date: 1987-03-11
Publication date: 1993-04-19
Anticipated expiration: 2002-03-11
Also published as: JPS63142865U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、改良されたガスレーザ放電管に関す
るものである。

（従来の技術）ガスレーザ装置では、気体を直流グロー放電、
あるいは無声放電（高周波放電）させてレーザ媒
体を励起させるが、グロー放電における電極構造
に関しては、電流をできるだけ流せるようにする
工夫がもつぱらなされてきた。従つて装置では、
微弱なレーザ光を安定して出力することができな
いという欠点があつた。

そこで本考案者等は、先に、弱い出力から強い
出力までの広い範囲にわたつて安定した放電が可
能な電極構造を提案した（実公昭60−22621号公
報参照）。即ち、第８図に示したように、放電電
極の陰極１１が筒状で、その陽極１２側端部に斜
状部１３を有し、かつその斜状部の先端に針状部
１４を有する構造からなつている。この構成によ
れば、微小電極領域では電流を針状部１４の先端
で受け、電流が増えるに従つて放電領域が順次根
本の方まで広がり、さらに大電流になるに従つて
斜状部１３から電極全体に広がるようになる。そ
の結果、非常に低い出力から高い出力までのレー
ザ光を安定して出射することができる。

（考案が解決しようとする問題点）ところが、上記電極構造では、針状部１４に放
電が集中するので、放電によるスパツタリングが
生じ、電極の損傷が大きく、また、長時間の使用
によりスパツタ生成物が放電管の内壁に付着し、
ひいてはスパツタ生成物を介して放電が起こり、
放電が不安定になるおそれがある。

本考案は、上記問題点を解決するためになされ
たもので、長時間の放電安定性を有するガスレー
ザ放電管を提供するものである。

（問題点を解決するための手段）本考案のガスレーザ放電管は、陽極を含む空間
領域と陰極を含む空間領域とが、一部で連通する
ように開口部を有する高低抗体からなる隔壁で隔
てられ、開口部が、陰極面に対向するとともに、
陽極に近い側が極端に狭く、遠くになるに従つて
順次広くなる構成としたものである。

第１図は、本考案の基本的構成を示す概念図で
あり、１は陽極、２は陰極である。３は、陽極１
が含まれる空間領域４と陰極２が含まれる空間領
域５とを隔てる隔壁である。隔壁３には両空間領
域４及び５を連通する開口部６が設けられてい
る。開口部６は陰極に対向し、その形状として
は、陽極に近い側が狭く、遠くになるに従つて順
次広くなつている。例えば、第２図に示すような
錐状のスリツト６ａ、あるいは第３図に示すよう
な円筒の斜め切断面６ｂのようにする。

（作用）上記構成によれば、微小電極領域ではスリツト
６ａの先端部、あるいは円筒の斜め切断面６ｂの
陽極側端部Ａで放電が起こり、電流の増加に伴つ
て放電が開口部の広い側へ広がつていき、大電流
領域では開口部の全体Ｂで放電が起こるようにな
る。

（実施例）以下、図面を参照して実施例を詳細に説明す
る。第４図は、本考案の一実施例を示したもの
で、第１図と同一名称のものは同一の符号を付し
てある。ここでは、陰極２として円筒状のものを
使用し、陽極１を含む空間領域４と陰極２を含む
空間領域５とを隔てる隔壁３の開口部（円筒の斜
め切断面）６を囲むようにしている。

以上のように構成された本実施例における放電
動作は、放電電流の増加とともに開口部６の陽極
側端部の狭い部分から次第に広い部分へ広がるこ
とは、（作用）の項で述べた通りである。従つて、
微小電流領域から大電流領域にわたつて極めて安
定した放電が得られ、しかも陰極では常に広い面
積で受けることになるから耐スパツタ性におい
て、従来のものに比べて飛躍的に向上したものと
なる。

第５図及び第６図は、それぞれ本考案の他の実
施例を示したもので、第５図のものは、陰極２の
部分を放電管の外側へ引き出した構造を有し、ま
た第６図のものは、陰極２を有底円筒状にしたも
のである。

このように、開口端を陰極で囲うように配置す
ることによつて、たとえ陰極材料がスパツタされ
ることになつても、スパツタ生成物は陰極自体へ
戻る確率が高く、従来のものに比較して陰極以外
の放電管内壁へのスパツタ生成物の付着量を少な
くすることができる特徴がある。

開口部としては、陽極側が極端に狭く、陽極か
ら離れるに従つて広くなるような形状がよく、第
７図ａのようなスリツト、ｂのような斜め切断面
の端部にさらに小さなスリツトを加えた形状にす
ると、微小電流領域での放電を安定化することが
できる。

（考案の効果）以上説明したように、本考案によれば、レーザ
の弱い出力から強い出力までの広い範囲にわたつ
て長期に安定した放電を得ることができ、特に、
従来の放電管の構造では困難であつた微小出力時
のレーザ出力を安定して得ることができる。しか
も電極の損傷も少なく、ガスレーザ放電管として
の信頼性を高め、また寿命を延ばすことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の基本的構成を示す概念図、
第２図及び第３図は、それぞれ同陰極と隔壁の開
口部との関係を示す図、第４図は、本考案の一実
施例の構成図、第５図及び第６図は、それぞれ本
考案の他の実施例の要部構成図、第７図は、開口
部の形状例を示す図、第８図は、従来例の構成図
である。１……陽極、２……陰極、３……隔壁、４，５
……空間領域、６……開口部。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 陽極を含む空間領域と陰極を含む空間領域と
が、一部で連通するように開口部を有する高低
抗体からなる隔壁で隔てられ、前記開口部が、
陰極面に対向するとともに、前記陽極に近い側
が極端に狭く、遠くなるに従つて順次広く開口
するような錐状スリツト、若しくは円筒の斜め
切断面の陽極に近い側にさらに小さなスリツト
を加えた形状になつていることを特徴とするガ
スレーザ放電管。 (2) 陰極が有底円筒状をなし、その陰極の内部
に、隔壁の開口部が挿入されていることを特徴
とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記載のガ
スレーザ放電管。