JPH0514902U - ワーク表面検査装置 - Google Patents
ワーク表面検査装置Info
- Publication number
- JPH0514902U JPH0514902U JP6325091U JP6325091U JPH0514902U JP H0514902 U JPH0514902 U JP H0514902U JP 6325091 U JP6325091 U JP 6325091U JP 6325091 U JP6325091 U JP 6325091U JP H0514902 U JPH0514902 U JP H0514902U
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- light
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】被測定面の表面欠陥を確実かつ容易に検出する
ことができ、しかも装置全体の小型化および軽量化を可
能にする。 【構成】被測定面12に向かって検出光Lを発生させる
投光手段14と、この被測定面12からの反射光L0を
受光する検出手段16と、前記投光手段14から導出さ
れた検出光Lを前記検出手段16の受光面18で収束さ
せる集光光学系20とを備え、この集光光学系20は、
階段状に屈折面が設けられたプリズム形状レンズである
フレネルレンズ30を有する。
ことができ、しかも装置全体の小型化および軽量化を可
能にする。 【構成】被測定面12に向かって検出光Lを発生させる
投光手段14と、この被測定面12からの反射光L0を
受光する検出手段16と、前記投光手段14から導出さ
れた検出光Lを前記検出手段16の受光面18で収束さ
せる集光光学系20とを備え、この集光光学系20は、
階段状に屈折面が設けられたプリズム形状レンズである
フレネルレンズ30を有する。
Description
【0001】
本考案は、例えば塗装面上にごみ不良による凹凸部、傷、ピンホール等の欠陥 が存在するか否かを検査するためのワーク表面検査装置に関する。
【0002】
従来から、塗装面等の鏡面上にごみ不良による凹凸部、傷あるいはピンホール 等の欠陥が存在するか否かを自動的に検出するために種々の装置が提案されてい る。
【0003】 この種の装置として、例えば特開昭63−100308号公報に開示された表 面欠陥検査装置が知られている。この従来技術では、光源から導出された検出光 が、拡散ユニットで拡散されて格子に照射され、凸レンズによって被測定面に照 射され、さらに反射されて検出手段に前記格子の実像を結像させるよう構成され ている。
【0004】
ところで、上記従来技術では、検出光を検出手段に収束させるために凸レンズ を使用しているが、この凸レンズの球面収差によって、前記凸レンズの異なる位 置に入射するそれぞれの光の焦点が異なってしまう。特に、検査範囲を大きくす るために大型の凸レンズが用いられる際、この現象が顕著になって検出手段であ るカメラ等に入射される光が相当に減少してしまう。これによって、被測定面の 表面欠陥により発生する明暗のコントラストが不鮮明となり、前記表面欠陥を正 確に検出することが困難となる問題がある。
【0005】 しかも、凸レンズが使用されるため、この凸レンズの肉厚に対応して装置全体 が大型化するとともに、軽量化が図れないという欠点も指摘されている。
【0006】 本考案は、この種の問題を解決するものであり、被測定面の表面欠陥を確実か つ容易に検出することができ、しかも装置全体の小型化および軽量化を可能にす るワーク表面検査装置を提供することを目的とする。
【0007】
前記の目的を達成するために、本考案は、被測定面に向かって検出光を発生さ せる投光手段と、 前記被測定面からの反射光を受光する検出手段と、 前記投光手段から導出された検出光を前記検出手段の受光面で収束させる集光 光学系とを備え、 前記集光光学系は、フレネルレンズを有することを特徴とする。
【0008】
上記の本考案に係るワーク表面検査装置では、投光手段から導出された検出光 を検出手段の受光面で収束させる集光光学系にフレネルレンズが備えられている ため、このフレネルレンズの異なる部位に入射した各光は、焦点ずれを生ずるこ となく全て検出手段の受光面に照射される。このため、被測定面の表面欠陥を容 易かつ確実に検出することができる。
【0009】
本考案に係るワーク表面検査装置について実施例を挙げ、添付の図面を参照し て以下に説明する。
【0010】 図1および図2において、参照符号10は、本実施例に係るワーク表面検査装 置を示す。このワーク表面検査装置10は、被測定面12に向かって検出光Lを 発生させる投光手段14と、この被測定面12からの反射光L0を受光する検出 手段16と、前記投光手段14から導出された検出光Lを前記検出手段16の受 光面18で収束させる集光光学系20とを備える。
【0011】 投光手段14は、ハロゲンランプ等の光源22と、複数の光ファイバがランダ ムミックス状に配列された光ファイバ束24と、この光ファイバ束24と集光光 学系20との間に配設されるとともに、ピンホール26が設けられた遮蔽板28 とを備える。
【0012】 集光光学系20は、階段状に屈折面が設けられたプリズム形状レンズであるフ レネルレンズ30を有し、検出手段16は、CCDカメラ32を有する。図3に 示すように、このCCDカメラ32の被測定面12上での撮像範囲H1は、方形 であり、一方、光源22から被測定面12に照射される検出光Lの照射範囲H2 は、略円形であり、この照射範囲H2が、撮像範囲H1を包含するよう構成され る。
【0013】 ワーク表面検査装置10は、図2に示すように、ロボット40に装着されてお り、光源22がこのロボット40のアーム42に固定されるとともに、集光光学 系20および検出手段16が手首部44に固定されている。この検出手段16は 、各種画像処理や面積計測等を行う画像処理回路46に接続され、この画像処理 回路46とロボットコントローラ48とが、マスタコントローラ50に接続され て検査データや撮像位置データをこのマスタコントローラ50に入力する。
【0014】 次に、このように構成されるワーク表面検査装置10の動作について説明する 。
【0015】 まずロボットコントローラ48を介してロボット40が駆動され、手首部44 に装着された集光光学系20および検出手段16が、塗装済みの自動車車体の被 測定面12に対して位置決めされる。次いで、光源22から導出された検出光L は、光ファイバ束24および遮蔽板28のピンホール26を通って集光光学系2 0を構成するフレネルレンズ30によって収束され、被測定面12に照射される 。
【0016】 この被測定面12で反射した反射光L0は、検出手段16を構成するCCDカ メラ32の受光面18で収束される一方、図4に示すように、この被測定面12 上にごみ不良等による凸部Fが存在すると、この凸部Fで反射した反射光L1は 、前記受光面18に入射しない。この情報は、画像処理回路46に供給されて被 測定面12の良否が判定される。
【0017】 この場合、本実施例では、集光光学系20にフレネルレンズ30が使用されて いるため、このフレネルレンズ30に導入された全ての検出光Lは、焦点ずれを 生ずることなくCCDカメラ32の受光面18で収束される。このため、被測定 面12の表面欠陥に基づく入射光のコントラストが鮮明となり、この被測定面1 2の良否判定が正確に行われるとともに、広い有効検査エリアを確保することが できるという効果が得られる。しかも、フレネルレンズ30は板状であるために 、従来の凸レンズに比べて薄肉かつ軽量となり、ワーク表面検査装置10全体の 小型化並びに軽量化が容易に達成されるという利点がある。
【0018】 さらに、光源22から導出された検出光Lは、複数の光ファイバがランダムミ ックス状に配列された光ファイバ束24および遮蔽板28のピンホール26を通 るため、被測定面12の検査範囲に均一な明るさを維持して照射される。すなわ ち、単純配列の光ファイバ束を使用すると検査範囲の中心部が周辺部と比べて明 るくなってしまい、欠陥検出が全範囲で均一に行い難くなってしまうが、本実施 例の光ファイバ束24を用いることにより全検査範囲に均一な明るさを確保する ことができる。従って、この被測定面12の表面欠陥を確実かつ高精度に検出す ることが可能になる。
【0019】 なお、被測定面12に入射する検出光Lと反射する反射光L0とのなす角度α (図1参照)は、40°〜70°程度が好適であり、これ以上大きいと欠陥の発 見およびその欠陥の大きさの測定が不正確になってしまう。
【0020】 また、被測定面12上の検査範囲を大きく設定するためには、フレネルレンズ 30と被測定面12との距離を焦点距離の1/3以下に選択することが望ましく 、これにより図4において被測定面12上の凸部Fに対して検出光Lが略平行光 となって入射し、この凸部Fの検出が容易かつ確実になるという効果も得られる 。
【0021】 その上、本実施例では、図3に示すように、光源22から被測定面12に照射 される検出光Lの略円形状照射範囲H2が、CCDカメラ32の被測定面12上 での方形状撮像範囲H1を包含するよう構成されている。このため、被測定面1 2を間欠走査する際に、照射範囲H2が撮像範囲H1よりも小さい場合のような 画像間のラップによるむだや画像ぬけ等(図5参照) を生ずることがない。これ によって、効率的に少ない画像数で広域検査ができるとともに、画像ぬけのない 高精度な検査が可能になる。
【0022】
本考案に係るワーク表面検査装置によれば、以下の効果が得られる。
【0023】 投光手段から導出された検出光を検出手段の受光面で収束させる集光光学系に フレネルレンズが備えられているため、このフレネルレンズの異なる部位に入射 した各光は、焦点ずれを生ずることなく全て検出手段の受光面に照射される。こ のため、被測定面の表面欠陥を容易かつ確実に検出することができるとともに、 広い有効検査エリアを確保することが可能になる。しかも、フレネルレンズが板 状であるために、従来の凸レンズに比べて薄肉かつ軽量となり、ワーク表面検査 装置全体の小型化並びに軽量化が容易に達成される。
【図1】本実施例に係るワーク表面検査装置の概略構成
図である。
図である。
【図2】前記ワーク表面検査装置とこれを装着するロボ
ットの概略説明図である。
ットの概略説明図である。
【図3】被測定面上の照射範囲と撮像範囲との説明図で
ある。
ある。
【図4】被測定面上の検出光と反射光との説明図であ
る。
る。
【図5】照射範囲が撮像範囲よりも狭い場合の説明図で
ある。
ある。
10…ワーク表面検査装置 12…被測定面 14…投光手段 16…検出手段 18…受光面 20…集光光学系 22…光源 24…光ファイバ束 26…ピンホール 28…遮蔽板 30…フレネルレンズ 32…CCDカメラ 40…ロボット
Claims (3)
- 【請求項1】被測定面に向かって検出光を発生させる投
光手段と、 前記被測定面からの反射光を受光する検出手段と、 前記投光手段から導出された検出光を前記検出手段の受
光面で収束させる集光光学系とを備え、 前記集光光学系は、フレネルレンズを有することを特徴
とするワーク表面検査装置。 - 【請求項2】請求項1記載の装置において、投光手段
は、光源と、 複数の光ファイバがランダムミックス状に配列された光
ファイバ束と、 前記光ファイバ束と集光光学系との間に配設されるとと
もに、ピンホールが設けられた遮蔽板とを備えることを
特徴とするワーク表面検査装置。 - 【請求項3】請求項1記載の装置において、投光手段か
ら被測定面に照射される検出光の照射範囲が、検出手段
の前記被測定面上における撮像範囲を包含することを特
徴とするワーク表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6325091U JPH0514902U (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | ワーク表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6325091U JPH0514902U (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | ワーク表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0514902U true JPH0514902U (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=13223818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6325091U Pending JPH0514902U (ja) | 1991-08-09 | 1991-08-09 | ワーク表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0514902U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042971A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Ibiden Co Ltd | パターン検査装置および検査方法 |
-
1991
- 1991-08-09 JP JP6325091U patent/JPH0514902U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042971A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Ibiden Co Ltd | パターン検査装置および検査方法 |
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