JPH0515419U - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】照明ムラ率を基準範囲内に短時間に自動補正す
る。 【構成】照明ムラ分布モニタ１に表示された結果を判断
処理部２にて、基準設定値との差を比較して可否を判断
し、否の場合には補正量設定出力回路３にて補正量を定
め、駆動部４に出力信号を送り、補正動作を行なうもの
である。 【効果】人の判断及び人による調整を必要とせず、照明
ムラを適時自動補正できる事により、調整時間が短縮化
され、且つ作業性の向上が計られる効果がある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体製造装置に関し、特に半導体基板（ウェーハ）の製造に於ける 照明ムラ自動補正機構付露光装置において照明光源（ランプ）の変動により発生 する照明ムラを自動的に補正する露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の照明ムラの補正は、図２に示すように、照明ムラ率を測定し、照明ムラ 分布モニタ１に表示された結果を人間が観て、前記照明ムラ率が基準範囲内に入 っているか否かの判断１０２をしており、基準範囲内から外れていた場合マニュ アル補正機構６を操作し、調整を行なっている。

【０００３】 前記調整を行なった後、再度照明ムラ率の測定を行ない、前記照明ムラ分布モ ニタ１に表示された結果を、再度人間が観て、照明ムラ率が基準範囲内に入った かを確認する。

【０００４】 入っていない場合は、再度調整を行なわなければならない為、照明ムラ率が基 準範囲内に入る（使用化１１）まで人間が観て判断して、調整する事の繰り返し 作業となっており、人間の調整方法により調整時間の長短が左右される。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

このような従来の照明ムラ調整方法では、照明ムラが変化する毎に、照明ムラ の分布を取り、人間が照明ムラの状態を観て判断し、調整を行なわなければなら ない為、確認に手間がかかる。

【０００６】 更に、微調整も必要とするので、調整が長時間となるような問題点があった。

【０００７】 本考案の目的は、前記問題点を解決し、容易に照明ムラの調整ができるように した半導体製造装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案の半導体製造装置の構成は、照明ムラ率を測定する照明ムラ分布モニタ と、前記照明ムラ率が入力され前記照明ムラ率を予め設定された基準値と比較し て判定結果を出力する判断処理部と、前記判定結果の出力信号を用いて前記設定 された基準値に対しての誤差を算出し、補正量を設定する補正量設定出力回路と 、前記補正量設定出力回路からの出力信号により前記モニタに対して補正動作を 行なう駆動部とを備えていることを特徴とする。

【０００９】

【実施例】

図１は本考案の一実施例の照明ムラ補正機構の全体を示すブロック図である。

【００１０】 図１において、本実施例では、照明ムラ分布モニタ１の結果を出力して、判断 処理部２に入力し、照明ムラ量が予め設定された基準値内にあるかを判定する。 ここで、判定した結果がＮＧであった場合、補正量設定出力回路３により、前記 照明ムラ設定基準値に対し誤差量を算出し、補正量を設定して出力する。

【００１１】 次に、前記補正量設定出力回路３から出力された信号により、駆動部４を動作 させる。

【００１２】 この駆動部４が動作し終わった後、再測定し、照明ムラ分布モニタ１の結果に て、設定基準値内に入っているかを前記判断処理部２に於いて、再判定する。

【００１３】 再判定した結果がＯＫの場合は、補正動作は終了する（使用可１１）。

【００１４】 前記判断処理部２に於ける再判定結果がＮＧであった場合は、前述した動作を 再度実行していき、照明ムラ分布が判断処理部２でＯＫとなるまで繰り返し行な い、一定の照明ムラ分布を得る。

【００１５】 前述した一連の動作を自動で行なうことにより、従来人間が行なっている為に 生じる補正方法のバラツキや、調整ミス等を防止できるので、調整回数の低減が 計られると共に、調整時間が従来の１／３〜１／２以下とすることが可能となる 。

【００１６】 以上のように、照明光源（ランプ）の光量減衰や劣化等により、照度ムラが基 準値を外れた場合に於いて、状況を補正機構にフィードバックし、ランプ位置及 びレンズ位置の自動修正を行なうことにより、均一な照度を得る。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案は、照明ムラ自動補正機構を備えることにより、 従来人間が行なっていた補正作業を装置に組み込まれた自動補正機構により行な う為、補正時間を短縮出来る効果と、人間の補正方法のバラツキによる調整ミス を防止できるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の半導体製造装置を示すブロ
ック図である。

【図２】従来の照明ムラ補正機構のブロック図である。

【符号の説明】

１ 照明ムラ分布モニタ ２ 判断処理部 ３ 補正量設定回路 ４ 駆動部 ５ 照明ムラ自動補正機構 ６ マニュアル補正機構

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 照明ムラ率を測定する照明ムラ分布モニ
   タと、前記照明ムラ率が入力され前記照明ムラ率を予め
   設定された基準値と比較して判定結果を出力する判断処
   理部と、前記判定結果の出力信号を用いて前記設定され
   た基準値に対しての誤差を算出し、補正量を設定する補
   正量設定出力回路と、前記補正量設定出力回路からの出
   力信号により前記モニタに対して補正動作を行なう駆動
   部とを備えていることを特徴とする半導体製造装置。