JPH05157453A - 処理炉 - Google Patents

処理炉

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JPH05157453A
JPH05157453A JP3319424A JP31942491A JPH05157453A JP H05157453 A JPH05157453 A JP H05157453A JP 3319424 A JP3319424 A JP 3319424A JP 31942491 A JP31942491 A JP 31942491A JP H05157453 A JPH05157453 A JP H05157453A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 容器側とタイトボックス側の差圧が所定値を
越え必要以上に大きくなるとタイトボックスの破損が起
る。これを簡略な構成で防止する処理炉を提供する。 【構成】 容器1側とタイトボックス2側とを連通する
連通路11、12を設けるとともにこの連通路11、1
2に所定値を越えた差圧によって連通路11、12を開
成作動する弁機構Vを設置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば粉末成形品
の焼結に用いられる焼結炉に関する。
【0002】
【従来の技術】各種の成形助剤(ワックス等の有機剤)
をバインダーとして成形された粉末成形品の焼結に際し
ては、その成形助剤の炭素分が成形品に好ましくない浸
炭現象を引き起こすなど悪影響を及ぼすことから、焼結
前処理として比較的低温に加熱し成形品に含まれている
有機助剤を蒸発させて予め除去しておく必要がある。こ
の目的のために最近ではこれを単一の焼結炉で連続的に
行わせるようにしている。この種の焼結炉ではワックス
除去工程で発生するベーパー(不純物)から炉内のの汚
染を防止するため、いわゆるガスフロー方式による不純
物の排出手段がとられている。すなわち、この方式の処
理炉は外壁を構成する容器とこの容器の内方に設置され
たタイトボックスを主要部として構成されている。この
タイトボックスは成形品(処理物)を収納するための内
室でその外方には加熱用のヒータが設置されている。こ
の容器とタイトボックスには真空排気機器に接続された
排気管が連接されて排気されるが、ガスフロー方式が実
現できるよう容器内がタイトボックスより若干高圧にな
るよう所定の差圧が維持される。したがってタイトボッ
クスの蓋の間隙からフローガスがタイトボックス内に一
方的に流入される。そのため粉末成形品から発生したベ
ーパーなどは容器内に漏れることなく、タイトボックス
内からの不純物がフローガスとともに排気によって外部
に排出されることになる。ところで、タイトボックスは
通常グラファイトで形成されるが、浸透性を有していて
前記差圧によって容器内からタイトボックス内へガスが
浸透する。もちろんこのガス浸透を考慮して排気が行わ
れ、容器内とタイトボックス内とは所望の差圧に維持さ
れる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】容器側とタイトボック
ス側の所定の差圧によってガスフロー方式が実現され、
ワックス除去工程で発生するベーパー(不純物)から炉
内の汚染を防止することができるが、これはタイトボッ
クスが比較的小容量の小形タイプの場合である。すなわ
ちこの場合はガス浸透量もタイトボックスの小容量に相
応して発生し、所望の差圧が実現する。しかしながら、
処理物の大形化に対処すべくタトボックスの容量が大形
した場合は、浸透ガス量がタイトボックスの大容量に比
較して少なく排気の進行につれて内圧は低下していく。
しかも最近特にタイトボックスの材質の改良が行われて
浸透性が低くなり浸透ガス量がさらに少なくなる傾向に
あり、タイトボックスの大容量に相応した浸透ガス量が
発生しない。したがって容器側とタイトボックス側の差
圧が所定値を越えることになるが、差圧が必要以上に大
きくなると大形のタイトボックスの破損が起る。これを
防止するためには差圧が所定値を越えると真空排気機器
の作動を停止させるなどの制御を行うことも考えられる
が、この種処理炉における真空排気機器は大容量でこれ
ら機器の作動制御はその追従が円滑でなく、制御操作性
が悪いなどタイトボックス保護装置として実用的ではな
い。
【0004】この発明は、このような問題点を解決する
処理炉を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明が提供する処理
炉は、容器側とタイトボックス側とを連通する連通路を
設けるとともにこの連通路に所定値以上の差圧にて連通
路を開成作動する弁機構を設置して構成したものであ
る。連通路は具体的には容器に連接する排気管とタイト
ボックスに連接する排気管との間に設置するかあるいは
容器とタイトボックスとの隔壁に直接的に設置する。弁
機構としてはいわゆるチェック弁(逆止弁)を採用しこ
れを連通路内に設置する。
【0006】
【作用】容器側とタイトボックス側との差圧が所定値を
越えると、その差圧でチェック弁が連通路を開成するよ
う作動する。この作動によって両側の差圧が少なくな
り、所定値以上の差圧発生は解消される。
【0007】
【実施例】以下、図面に示す2つの実施例にしたがって
この発明を説明する。
【0008】まず図1と図2は、第1の実施例としての
処理炉を容器とタイトボックスとのそれぞれに連接する
両排気管との間に設置して構成した実施例を示す図で、
図1は処理炉としての焼結炉全体を示し、図2は本発明
の要部となるタイトボックス保護装置を拡大して示して
いる。すなわち、図において1は水冷二重炉胴形式で構
成された容器(チャンバー)であり、2はこの容器1内
の炉心部に設置されたタイトボックスである。このタイ
トボックス2は、筒状の本体2Aと断熱材で形成された
両端のタイトボックス蓋4Bの内面に内張された蓋部2
Bとからなる。3はこのタイトボックス2の周りに複数
本等間隔に配置されたヒータであり、4Aはこれらタイ
トボックス2およびヒータ3を包囲して設けられた断熱
材である。なおこれらタイトボックス2、ヒータ3、断
熱材4A、4B等は、全てグラファイトによって構成さ
れている。5は容器1内に不活性ガス(フローガス)を
流入させるための導入管である。6はタイトボックス2
に連接された排気管であり、また9は容器1に連接され
た排気管であって、ともに真空排気機器(真空ポンプ装
置)10に接続されている。そしてこの真空排気機器1
0の作動によってそれぞれの内部が真空排気されるが、
この場合図面には示されていないが、タイトボックス2
と容器1の排気量が異なり両者には差圧が発生する。8
は排気管6に介設した開閉弁である。
【0009】この焼結炉では、ガス導入管5から容器1
内に低圧の不活性ガスを供給するとともにタイトボック
ス蓋4Bに貫設した通気管7、7を通してタイトボック
ス2内に逆流不能に不活性ガスを流入させ、ガスフロー
方式を実現させて、タイトボックス2内に装入した処理
物(粉末成形品)Wのワックス除去処理を行う。通気管
をタイトボックス蓋4Bに貫設しないで、タイトボック
ス蓋4Bをタイトボックス2の筒軸芯方向に進退移動さ
せ、タイトボックス本体2Aと蓋4Bとの間に間隙をつ
くって逆流不能に不活性ガスを流入させるガスフロー方
式もある。
【0010】さて、この発明は以上の構成において、弁
機構Vを有するタイトボックス保護装置を排気管6と9
との間に設置したものである。すなわち11と12は排
気管6と9との間に配設され排気管6と9とを連通する
連通路で、弁機構Vと絞り機構Sが直列的に介設されて
いる。このタイトボックス保護装置の構成の詳細は図2
に示すとおりで、弁機構Vは接続管13と弁箱16から
なる弁室内に球弁14と圧縮バネ15が内設されてい
る。球弁14は圧縮バネ15にて上方の弁座に付勢され
逆止弁を構成している。いわゆるチェック弁で、排気管
9側と排気管6側との差圧が所定値を越えると、その差
圧が球弁14に作用し圧縮バネ15の付勢力に抗して通
路を開成するよう作動する。この開成作動は排気管9側
と排気管6側との差圧が所定値以下になるまで行われ
る。そのために圧縮バネ15の付勢力はこの差圧の所定
値との関連で設定される。図示例ではこの圧縮バネ15
の付勢力は固定的であるが、調節できるチェック弁とす
ることも可能である。他方絞り機構Sは、箱体17内の
隘路にニードル18がつまみTにて進退する構成で、絞
り量が調整可能になっている。この絞り機構Sによって
流体の急激な流れが発生せず弁機構Vの適確かつ安定し
た作動が保障される。
【0011】第1の実施例としての処理炉は以上のとお
りであり、大形化したタイトボックス2のために、その
内方の圧力が必要以上に低下して容器1内との差圧が所
定値を越えると、その差圧力が球弁14に作用して連通
路11,12が開成し、両側が連通して差圧が少なくな
る。したがって常時差圧は所定値以下に維持され、ガス
フロー方式が実現されることになる。
【0012】つぎに第2の実施例としての処理炉を図3
と図4にしたがって説明する。第2の実施例は、容器1
とタイトボックス2との隔壁部に直接的にタイトボック
ス保護装置を設置したものである。図3はそのタイトボ
ックス保護装置の位置でタイトボックス2を横断して示
す図であり、図4は同じくその位置で縦断して示す図で
ある。なお以下の説明においては図1、図2と同一の符
号で示される部品は、図1、図2と同一のものであり詳
細な説明は省略する。図において、19が容器1とタイ
トボックス2との隔壁部であるタイトボックス本体2A
と断熱材4Aとに貫設された連通管体で、内方の通路に
て容器1内とタイトボックス2内を連通する。この連通
路の上方の弁座には球弁20が対置されている。この球
弁20には下端に支持板22が付された支持杆21が吊
設されていて、支持板22上に載置された重錘23によ
って球弁20は弁座に付勢され、逆止弁(チェック弁)
を構成している。この重錘23、球弁20、支持板22
および支持杆21全体の重量が球弁20を弁座に付勢す
る力となるが、この付勢力は容器1とタイトボックス2
との間で起こる差圧が所定値となるよう設定されてい
る。
【0013】第2の実施例は以上のとおりであり、タイ
トボックス2内の圧力が必要以上に低下して容器1内と
の差圧が所定値を越えると、球弁20は上方に浮動して
連通管体19の連通路を開成する。そして差圧が少なく
なって所定値以下になると全体の重量が作用して球弁2
0は弁座に付勢され連通路を閉塞する。したがって、常
に所定値内の差圧が維持されてガスフロー方式が実現さ
れることになる。 この発明の特徴は以上のとおりであ
るが、上記ならびに図示例に限定されるものではなく、
種々の変形実施例を挙げることができる。すなわちこの
発明の要部であるタイトボックス保護装置の構成特に弁
機構の構成については、チェック弁として採用される殆
どの逆止弁が利用可能で、たとえば圧縮バネの代わりに
板バネやゴム弾性体を利用したチェック弁や作動圧力調
整可能なチェック弁も採用できる。図3、図4に示され
る弁機構では自重を付勢力にした例であるが、これを図
1、図2に示される圧縮バネなどの弾性体とすることも
可能である。すなわち図1、図2に示される逆止弁を連
通管体の代わりに設置することも可能である。絞り機構
Sの並設は必須ではないが、並設することが弁機構の作
動上望まれる。ただ並設の場合図示例以外に弁機構と一
体的に構成とすることも可能である。この弁機構による
タイトボックス保護装置の設置位置は図3、図4に示さ
れるように容器1やタイトボックス2に可及的に近接さ
せることが望ましく、図1、図2に示される場合でもな
るべく処理炉に近接して設置するのがよい。ところで図
1、図2において排気管6,9と容器1,タイトボック
ス2との連接関係を簡略に示したが、これは装置の機能
上必要な範囲で模擬化したためで、実際の装置における
連接構造は機密性を具備するなど複雑である。したがっ
てこれら排気管の連接構造は図示例の構造、位置と解釈
されてはならない。たとえば図示例では連通管体の上端
をタイトボックス内周に一致させて取り付けた構造とし
たが、連通管体をタイトボックス内周面より内方に突出
させた状態で取り付けてもよい。さらに容器やタイトボ
ックスについても図示例に限定されず、たとえばタイト
ボックス2は断熱材で包囲されていない構造の場合にも
この発明は適用可能である。処理炉は焼結炉のみに限定
されず、タイトボックスを必要とする他の熱処理のため
の処理炉にもこの発明は適用できる。
【0014】
【発明の効果】この発明は以上説明したとおりであるか
ら、特に大形化したタイトボックスの場合、その内方の
圧力が必要以上に低下して容器内との差圧が所定値を越
えるとその差圧力によって弁機構が作動して両側の連通
路が開成し、差圧は自動的に所定値以下になり、必要以
上の差圧によるタイトボックスの破損は未然に防止され
る。そして常に所望の差圧が維持されタイトボックス内
を所望の圧力にすることができる利点がある。しかもき
わめて簡略な構成で所望の差圧発生が迅速かつ円滑に行
われ、経済的かつ実用的な処理炉を提供する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による第1実施例の構成を示す図であ
る。
【図2】この発明による第1実施例の要部を示す図であ
る。
【図3】この発明による第2実施例の要部構成を示す図
である。
【図4】この発明による第2実施例の要部構成を示す図
である。
【符号の説明】
1…容器 2…タイトボックス 2A…タイトボックス本体 2B…タイトボックス蓋部 3…ヒータ 4A…断熱材 4B…タイトボックス蓋 5…不活性ガス導入管 6,9…排気管 10…真空機器 11,12…連通路 13…接続管 14,20…球弁 15…圧縮バネ 16…弁箱 17…箱体 18…ニードル 19…連通管体 21…支持杆 22…支持板 23…重錘 W…処理物 V…弁機構 S…絞り機構 T…つまみ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成4年7月31日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】第2の実施例は以上のとおりであり、タイ
トボックス2内の圧力が必要以上に低下して容器1内と
の差圧が所定値を越えると、球弁20は上方に浮動して
連通管体19の連通路を開成する。そして差圧が少なく
なって所定値以下になると全体の重量が作用して球弁2
0は弁座に付勢され連通路を閉塞する。したがって、常
に所定値内の差圧が維持されてガスフロー方式が実現さ
れることになる。この発明の特徴は以上のとおりである
が、上記ならびに図示例に限定されるものではなく、種
々の変形実施例を挙げることができる。すなわちこの発
明の要部であるタイトボックス保護装置の構成特に弁機
構の構成については、チェック弁として採用される殆ど
の逆止弁が利用可能で、たとえば圧縮バネの代わりに板
バネやゴム弾性体を利用したチェック弁や作動圧力調整
可能なチェック弁も採用できる。図3、図4に示される
弁機構では自重を付勢力にした例であるが、これを図
1、図2に示される圧縮バネなどの弾性体とすることも
可能である。すなわち図1、図2に示される逆止弁を連
通管体の代わりに設置することも可能である。絞り機構
Sの併設は必須ではないが、併設することが弁機構の作
動上望まれる。ただ併設の場合図示例以外に弁機構と一
体的に構成することも可能である。この弁機構によるタ
イトボックス保護装置の設置位置は図3、図4に示され
るように容器1やタイトボックス2に可及的に近接させ
ることが望ましく、図1、図2に示される場合でもなる
べく処理炉に近接して設置するのがよい。ところで図
1、図2において排気管6、9と容器1、タイトボック
ス2との連接関係を簡略に示したが、これは装置の機能
上必要な範囲で模擬化したためで、実際の装置における
連接構造は機密性を具備するなど複雑である。したがっ
てこれら排気管の連接機構は図示例の構造、位置と解釈
されてはならない。たとえば図示例では連通管体の上端
をタイトボックス内周に一致させて取り付けた構造とし
たが、連通管体をタイトボックス内周面より内方に突出
させた状態で取り付けてもよい。さらに容器やタイトボ
ックスについても図示例に限定されず、たとえばタイト
ボックス2は断熱材で包囲されていない構造の場合にも
この発明は適用可能である。処理炉は焼結炉のみに限定
されず、タイトボックスを必要とする他の熱処理のため
の処理炉にもこの発明は適用できる。すなわち、他の適
用炉として例えば加圧真空炉やシンターヒップ炉などを
挙げることができる。図5はその場合の実施例を示すも
のである。すなわち、この種の炉においても、容器であ
る炉胴1内にタイトボックス2を設置し、タイトボック
ス2の外周にヒータ3を配置し、これらタイトボックス
2およびヒータ3を断熱材4Aで囲繞した点、および、
前記炉胴1に開設した導入管5から処理ガスを導入しそ
のガスをタイトボックス2内に流入させるようにした点
において、前記各実施例と同様の炉構造を有するもので
あり、その結果として、内外差圧の増大によりタイトボ
ックス2の破損が生じ易いという同様の問題を抱える。
その上、この炉に特有の問題として、破損防止を目的と
してタイトボックス2の蓋を開けたまま処理が進められ
ることがあるが、この時に圧力の上昇とともにタイトボ
ックス2の内外の対流が増加し、その結果、この種の炉
において最も望まれるところの均一な温度分布状態が悪
化して製品欠陥を増大させるという不都合を生じる。こ
のような炉に対して、本発明は、タイトボックス2の周
壁であって導入管5に対応する部位に、タイトボックス
2内と炉胴1内との連通路となり且つその連通路を開閉
する弁機構の機能を備えた導入機構100を螺着してい
る。この導入機構100の内部構造は、図6に拡大図示
するように、有底筒状をなし下端開口部101a以外の
部位に気密性を持たせたケース101と、そのケース1
01内の中心部に固設され上端にシート部102aを形
成した弁座102と、その弁座102内に穿設され一端
側のポート103aをシート部102aに開口させると
ともに他端側のポート103bをケース101の周壁を
貫通して炉胴1内に連通させてなる抜き孔103と、ケ
ース101の内周に昇降自在に収容され前記シート部1
02aに着脱してポート103aを開閉するグラファイ
ト等の耐熱材料からなるウェイト104とを具備してな
る。シート部102aとウェイト104とが本発明の弁
機構Vを構成している。この弁機構Vは、ポートの開口
面積をAp 、炉胴1内の圧力をP1 、タイトボックス2
内の圧力をP2 、ウェイトの重量をWとした場合に、式 Ap (P1 −P2 )>W …(1) が成立するときに前記ポート103aを開成し、式 Ap (P1 −P2 )≦W …(2) が成り立つときにポート103aを閉塞する。このよう
な構成のものであると、導入管5から流入したガスは抜
き孔103を通ってポート103aに至る。このとき、
式(2)が成立していれば、ポート103aが閉塞され
るためガスはウェイト104の下面でせき止められる。
その状態で時間がたつと、次第に圧力P1 が増大し、遂
に(1)式が成立する状態になる。そして、ポート10
3aが開き、ガスがタイトボックス2に流れ込む。この
ため、内外差圧P1−P2 が極端に増大してタイトボッ
クスを破損させるという不都合がない。その上、このも
のは(2)式が成立している間にガスがヒータ3により
適度に加熱されるので、ポート103aが開いてタイト
ボックス2内に流入したときに対流により内部の温度分
布を乱すこともない。そのため、従来に比べて処理物を
均一加熱する上でより有効であり、製品の品質を向上さ
せる効果が得られる。さらに他の実施例としては、例え
ば弁機構の変形例として図7に示すように弁体201と
ウェイト202の間に支点203を設けるようにしても
よい。また、前記各実施例において連通路や弁機構は複
数個設けられていてもよい。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図5
【補正方法】追加
【補正内容】
【図5】この発明による他の実施例の要部構成を示す断
面図である。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図6
【補正方法】追加
【補正内容】
【図6】図5の部分拡大断面図である。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図7
【補正方法】追加
【補正内容】
【図7】この発明による更に他の実施例の要部構成を示
す断面図である。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【符号の説明】 1…容器 2…タイトボックス 2A…タイトボックス本体 2B…タイトボックス蓋部 3…ヒータ 4A…断熱材 4B…タイトボックス蓋 5…不活性ガス導入管 6、9…排気管 10…真空機器 11、12…連通路 13…接続管 14、20…球弁 15…圧縮バネ 16…弁箱 17…箱体 18…ニードル 19…連通管体 21…支持杆 22…支持板 23…重錘 100…導入機構 W…処理物 V…弁機構 S…絞り機構 T…つまみ
【手続補正6】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】追加
【補正内容】
【図5】
【手続補正7】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】追加
【補正内容】
【図6】
【手続補正8】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図7
【補正方法】追加
【補正内容】
【図7】

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】容器内またはこの容器内に連接される排気
    管内と前記容器内に内設されたタイトボックスまたはこ
    のタイトボックスに連接される排気管内とを連通させる
    連通路と、この連通路に設置され前記容器側とタイトボ
    ックス側との差圧が所定値を越えたときその差圧で作動
    し差圧が所定値以下になるまで前記連通路を開成させる
    弁機構とを具備してなることを特徴とする処理炉。
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