JPH0515862A - 除塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 イオン化エアーを射出するノズル１を除塵す
るワーク２に向けて配設し、このノズル１より射出され
るイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめる
エアー制御機構をエアー供給側に設けた除塵装置。 【効果】 イオン化エアーをねらったワーク２に的確に
吹き付けることができ、しかもこのイオン化エアーを断
続射出若しくは強弱射出せしめて圧力差をつけてワーク
２に吹き付けるため、単なる吹き付けに比し著しい除塵
効果を発揮し、特に小さいものでありながら微細な塵を
完全に除塵することが要望されている電子部品の除塵に
極めて秀れた除塵装置となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、イオン化エアーを吹き
付け、ワーク表面に付着した微細な不純物・異物などの
塵を除去する除塵装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、電極間に生じさせたコロナ放電に
より空気をイオン化し、このイオン化エアーによりワー
ク表面の静電気を中和除去し、ワーク表面に静電付着す
る塵を除く除電器は公知である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、単に空
気をイオン化し、ワーク表面の静電気を除去しようとす
る手段では、十分な除塵効果を発揮し得ない。

【０００４】また近年、たとえば小さな電子部品などの
完全除塵が要望されている。

【０００５】そこで、イオン化エアーを集中的にワーク
に的確に当て除塵効果を高めることに着眼し、イオン化
エアーを生成する除電器（イオン化エアー発生器）にエ
アー供給装置を設け、このエアー供給装置の送風圧によ
りノズルからワークに向けてイオン化エアーを射出する
ノズル方式の除塵装置の試作研究を進めてきた。

【０００６】しかし、この試作研究の結果、単にノズル
よりワークにイオン化エアーを吹き付けても、ワーク表
面の塵が逆にかえってこの吹き付けられるイオン化エア
ーにより押さえ付けられ一層付着固定してしまう問題や
ワーク表面近傍に形成されてしまう層流（表面層流現
象）により邪魔されてイオン化エアーがワーク表面に連
続到達できない問題などがあり、予期していた著しい除
塵効果を発揮しえないことを見い出した。

【０００７】本発明は、このようにして見い出された問
題点を解決し、著しい除塵効果を発揮するノズルによる
スポット吹き付け式の除塵装置を提供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】添付図面を参照して本発
明の要旨を説明する。

【０００９】イオン化エアーを射出するノズル１を除塵
するワーク２に向けて配設し、このノズル１より射出さ
れるイオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめ
るエアー制御機構をエアー供給側に設けたことを特徴と
する除塵装置に係るものである。

【００１０】また、ボックス３内に除塵するワーク２を
通過移送せしめる移送装置４を設け、この移送装置４に
より移送されるワーク２にイオン化エアーを射出するノ
ズル１をワーク２に向けてボックス３内に配設し、この
ノズル１より射出されるイオン化エアーを断続射出若し
くは強弱射出せしめるエアー制御機構をエアー供給側に
設け、前記ボックス３にイオン化エアーにより除塵され
た塵６を集塵する集塵装置５を設けたことを特徴とする
除塵装置に係るものである。

【００１１】

【作用】ノズル１より射出されるイオン化エアーがワー
ク２に吹き付けられる。

【００１２】このイオン化エアーによりワーク２に帯電
する静電気が中和除去され、ワーク２表面に静電付着し
ている塵６の付着力が失われ、且つエアー風圧により塵
６は飛散され、除塵される。

【００１３】また、このイオン化エアーは、断続射出若
しくは強弱射出され、圧力差のあるイオン化エアーがワ
ーク２に吹き付けられるため、単なるイオン化エアーの
吹き付けによっては除塵されない塵６もこの圧力差によ
り塵６に振動が与えられ、除塵されることとなる。

【００１４】また、ワーク２表面に前述した図１に示す
表面層流が生じても圧力差による衛撃波作用により表面
層流を破ってイオン化エアーがワーク２表面に到達し、
静電中和作用を良好に果たすこととなり、除塵効果が向
上することとなる。

【００１５】

【実施例】本実施例のイオン化エアーを射出するノズル
１は、イオン化エアー発生器７の排出口に突設したもの
で、イオン化エアー発生器７は図７に示すように発生器
７内の対向電極８・８（図６，図７に示す）に高電圧を
印加する高圧電源18を電源接続部９を介して接続し、こ
の高電圧により対向電極８・８にコロナ放電を生じせし
め、エアーを所望の極性のイオン状態にする構造であ
る。このイオン化エアー発生器７の送風パイプ連結部10
に送風パイプ11'を接続してエアーを送風する送風装置1
1（エアー供給装置）をイオン化エアー発生器７に接続
し、この送風圧によりコロナ放電によりイオン化された
イオン化エアーをノズル１よりワーク２に向けて射出さ
せるものである。

【００１６】このイオン化エアーは、＋，−のイオン化
エアーを混合したものであって、ワーク２の帯電状況に
応じて＋，−のイオン量を調整するものである。（＋の
みあるいは−のみのイオン化エアーとする場合もあ
る。）本実施例では、制御機構を送付装置11に設け、図
２に示すようにこの制御機構によりエアーを供給する送
風装置11の駆動スイッチをＯＮ・ＯＦＦさせて、送風
圧、即ちノズル１より射出されるイオン化エアーのワー
ク２への吹き付け圧力がのこぎり波形となるように強弱
射出状態とし、この圧力ピーク値を最も除塵に適する圧
力に設定し、再びこのピーク値に立ち上がる時間間隔を
実験結果に基づき最適な間隔に調整設定している。

【００１７】従って、このピーク値で除塵されない塵６
も、イオン化エアーの吹き付け圧力が弱まることで、ピ
ーク値で除塵されず逆に押さえ付けられた反作用により
浮き上がり次のピーク値で飛散する。また、この強弱の
圧力差により塵６に振動が生じ飛散する作用も発揮す
る。

【００１８】また、表面層流を生じるためにイオン化エ
アーが連続的にワーク２表面に到達できないためにイオ
ン化エアーの静電中和作用が発揮し得ず、塵６の付着力
が低下しないという問題も、この強弱射出によりイオン
化エアーが衛撃波となって表面層流を破ってワーク２表
面に到達することとなり解決される。

【００１９】尚、本実施例は、実験データに基づく一実
施例に過ぎず、射出停止時間のある断続射出状態（パル
ス射出状態）にしても良く、除塵するワーク２などの諸
条件に応じて適宜制御変更し得るものである。

【００２０】また、この断続射出若しくは強弱射出手段
も適宜設計し得るもので、本実施例はエアー供給側の源
である送風装置11の出力を直接制御しているが、電磁弁
などを設け、この開閉を制御しても良い。

【００２１】また、イオン化エアーの生成についてもワ
ークの静電極性に応じて極性を適宜変え、その＋，−の
イオン量も中和作用が良好となるように調整し得る電源
を用いることが望ましい。

【００２２】次に前記請求項１記載の発明に係る実施例
を適用し、製品化に適合する請求項２に係る発明におけ
る実施例について説明する。

【００２３】本実施例は、図３に示すようにワーク２の
移送導入口12と排出口13にエアー射出器14・14によって
エアーカーテンを形成して密閉したボックス３に、導入
口12から排出口13へとワーク２を移送する移送装置４を
設け、この移送装置４により移送されるワーク２に向け
て前記イオン化エアーを射出するノズル１を配設し、ボ
ックス３下方に集塵装置５を設けて除塵した塵６の再付
着を防止している。図中符号22はイオン化エアーを吹き
付ける前に単なるエアーを吹き付ける荒除塵用のエアー
ノズルである。

【００２４】また、図５は、ノズル１を上下左右あらゆ
る方向に配設し、移送装置４の移送ベルトを網状とした
場合のシステム化構成図を示したもので、図中符号15は
集塵ダクト，16は除塵済ワーク収納部，17はファン21付
フィルターで、ファン21から集塵ダクト15へフィルター
17により浄化した外気の空気流を形成し、除塵した塵６
を良好に集塵ダクト15へ導くようにしているものであ
る。19はワーク供給部、20はワーク飛散防止網である。

【００２５】図８は、高圧電源18，送風装置11，イオン
化エアー発生器７，ノズル１で構成されるイオン化エア
ー発生装置の概略図を図示したもので図中符号23は、送
風装置11のエアー導入パイプである。

【００２６】

【発明の効果】本発明は上述のように構成したから、イ
オン化エアーをねらったワークに的確に吹き付けること
ができ、しかもこのイオン化エアーを断続射出若しくは
強弱射出せしめて圧力差をつけてワークに吹き付けるた
め、単なる吹き付けに比し著しい除塵効果を発揮し、特
に小さいものでありながら微細な塵を完全に除塵するこ
とが要望されている電子部品の除塵に極めて秀れた除塵
装置となる。

【００２７】また、ボックス内に移送装置を設け、この
ボックス内に前記ノズルをワークに向けて配設し、更に
集塵装置を設ければ、単に移送装置に供給するだけで自
動除塵され、除塵した塵が再付着することもなく、設置
も製作容易で概存のワーク移送機に取り付けることも可
能となる極めて実用性に秀れた除塵装置となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の拡大説明図である。

【図２】本実施例の吹き付け圧力状態を示す圧力波形並
びに送風装置のスイッチ切り換え動作説明図である。

【図３】請求項２記載の発明に係る本実施例の概略構成
図である。

【図４】請求項２記載の発明に係る本実施例の要部の拡
大説明図である。

【図５】請求項２記載の発明に係る本実施例のシステム
化構成図である。

【図６】本実施例のノズルを突設したイオン化エアー発
生器の概略正断面図である。

【図７】本実施例のノズルを突設したイオン化エアー発
生器の概略側断面図である。

【図８】本実施例のノズル付イオン化エアー発生装置の
構成概略図である。

【符号の説明】

１ ノズル ２ ワーク ３ ボックス ４ 移送装置 ５ 集塵装置 ６ 塵

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 イオン化エアーを射出するノズルを除塵
   するワークに向けて配設し、このノズルより射出される
   イオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめるエ
   アー制御機構をエアー供給側に設けたことを特徴とする
   除塵装置。
2. 【請求項２】 ボックス内に除塵するワークを通過移送
   せしめる移送装置を設け、この移送装置により移送され
   るワークにイオン化エアーを射出するノズルをワークに
   向けてボックス内に配設し、このノズルより射出される
   イオン化エアーを断続射出若しくは強弱射出せしめるエ
   アー制御機構をエアー供給側に設け、前記ボックスにイ
   オン化エアーにより除塵された塵を集塵する集塵装置を
   設けたことを特徴とする除塵装置。