JPH0516461Y2

JPH0516461Y2 -

Info

Publication number: JPH0516461Y2
Application number: JP1986170286U
Authority: JP
Priority date: 1986-11-07
Filing date: 1986-11-07
Publication date: 1993-04-30
Anticipated expiration: 2001-11-07
Also published as: JPS6375667U

Description

【考案の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本考案は、真空に保たれた処理容器に取り付け
られた回転軸を外気からシールする装置に関する
ものである。

〈従来の技術〉回転軸を真空からシールする装置としては、グ
ランドパツキン、メカニカルシール、ウイルソン
シール等が公知で、第３図に示す様に、これらシ
ール材は回転軸に取り付けられている。

〈考案が解決しようとする問題点〉容器内の被処理物が粉体ではない固体の場合に
は、あるいはシール部材を侵しにくい液体や気体
の場合には、第３図に示す装置で回転軸の真空シ
ールは十分可能であつた。

ところが被処理物が固体、特に粉体である場合
には、シール内に固体が入り込みシール材を摩耗
させたり、被処理物がシール材を侵すような液や
気体の場合には、シール性を保てなくなり、外気
を機内へ吸い込む場合があり、この際には粉塵爆
発やガス爆発等の危険があつた。

また、シール性が悪くなり外気の吸い込みが生
じている場合、これを適確に検知することは困難
であつた。

そこで、この問題を解決するため従来は第４図
に示す様に、被処理物のシール材への流入を防ぐ
シール材１を軸の周囲に配し、さらに真空シール
を保つシール材２を軸の周囲に配置した装置が提
案された。しかし、このような装置によつても被
処理のシール材２との接触を完全に防ぐことはで
きなかつた。

また、シールからの空気の流入を検知する装置
としては、第４図に示す様に処理容器の圧力を測
定し、空気の流入した場合の圧力変化を読みと
り、シール材からの外気の流入を検知していた。
この装置によると、処理容器の容量が小さい場合
には、有効であるが、処理容器の容量が大きい場
合には、わずかの外気の流入では圧力計の指示が
変化せず、シール材からの外気の流入を早期に検
知することはできなかつた。

本考案者らは上記問題点を解決するための鋭意
研究した結果、２以上のシール材を回転軸の周囲
に分離して配置することによつて真空処理装置に
取り付けられた回転軸を外気から有効にシールで
きることを見い出した。

〈問題点を解決するための手段〉すなわち、本発明は、 (イ) 内部に真空空間を有する処理容器を貫通して
取り付けられた回転軸と、 (ロ) 該容器と外気との間に該回転軸に内蔵する気
密室と、 (ハ) 該気密室に内蔵された該回転軸の周囲に分離
して配置された２以上のシール材とからなり、 (ニ) かつ、該気密室には、該気密室内に設けられ
た回転軸受と該気密室を構成する壁によつて被
処理物堆積部が形成されていることを特徴とす
る真空シール装置である。

換言すれば、気密室を設けてシール材を分離す
ることにより、処理容器の被処理物がシール材と
接触しない様にしたものである。さらに気密室に
圧力計を設置することにより、シール材からの外
気の流入を検知できるようにしたものである。

〈実施例および具体的実施例〉本考案の実施例を図面に基づき、さらに詳しく
説明する。

第１図および第２図は、本考案に係る装置を用
いた真空シール装置の一例を示す断面図である。
真空に保たれた処理容器５に隣接する位置に気密
室３を設け、更に処理容器５と気密室３を貫通す
る回転軸４を設け、気密室３内の処理容器５側に
シール材１を配置して、被処理物の気密室３への
流入を防ぎ、気密室３内の外気側６の回転軸４の
周囲にシール材２を配置して外気をシールする。
なお、上述回転軸４は、気密室３内の回転軸受１
０、シール材１，２によつて支えられており、し
かも、第１，２図から明らかなように、気密室を
構成する壁（上下底部を含む）１１は、回転軸受
１０とで被処理物堆積部を形成しており、これに
よつて、第２図のように被処理物が流入しても、
該被処理物がシール材１，２部分で滞留せず、該
堆積部に落下堆積９するので、シール材１，２と
被処理物を隔離することができ、被処理物によつ
てシール材１，２が侵されることがないという特
徴を発揮する。さらに、気密室３に圧力計７を設
置して、シール材からの外気の流入を検知すると
好ましい。

シール材１は、被処理物を遮断できるものであ
ればよく、グランドパツキン、オイルシール等で
よい。

シール材２は、真空が遮断できるものであれば
よく、ウイルソンシール、メカニカルシール、グ
ランドパツキン等でよい。また、気密室３にシー
ル材１を通つて流入した被処理物９を取り出せる
様、バルブ８を設けてもよい。

圧力計７は減圧計であればよく、ブルドン管式
の圧力計でもよい。

（具体的実施例）回転数30rpm、軸径φ190、処理容器の圧力
30Torrでポリビニルアルコール（PVA）を粉砕
する装置において、 (1) 本考案の第１図の真空シール装置を用いた場
合、2000時間シール性が変わらなかつた。

(2) 従来法の第４図の真空シール装置を用いた場
合、シール材内にPVA粉が流入し、100時間で
シールが不良になつた。

また、本考案の第１図の装置では、処理容器を
真空ポンプで吸引し圧力を30Torrに保つていて
も、100Torr／sec程度のわずかの外気の流入
で気密室の圧力は50Torrを示し、外気がシール
から流入したことを検知できた。

〈作用〉次に、本考案が達成される作用について第２図
を用いて説明する。

シール材１を通つて気密室３へ流入した被処理
物は、気密室内の回転軸受１０と該気密室の壁１
１によつて形成された被処理物堆積部の空間ある
いは底部に堆積し、シール材２に接触する可能性
は少ない。従つて、シール材２が被処理物に侵さ
れたりしないため、良好なシール性を保持できる
のである。

また、気密室３の容量は処理容器５の容量に比
べてかなり小さくできるため、わずかの外気がシ
ール材２から気密室３へ流入しても、気密室内の
圧力が変化し、圧力計７により外気の流入が検知
できるのである。

〈効果〉本考案の効果は以下のとおりである。

(1) 真空処理容器に隣接された機密室内の回転軸
の周囲に分離して２以上のシール材が配置され
てなるため、シール材が被処理物により摩耗し
たり、侵されたりすることなく、長時間良好な
シール性を保持できる。

(2) わずかな外気がシール材から流入しても検知
できる。

(3) 設備費が安価である。

【図面の簡単な説明】

第１〜２図は、本考案実施態様の一例を示す説
明図である。第３〜４図は、公知の真空シール装
置を示す図である。１，２……シール材、３……気密室、４……回
転軸、５……処理容器、６……外気、７……圧力
計、８……バルブ、９……被処理物の堆積、１０
……回転軸受、１１……気密室を構成する壁。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) (イ) 内部に真空空間を有する処理容器を貫通
して取り付けられた回転軸と、 (ロ) 該容器と外気との間に該回転軸を内蔵する
気密室と、 (ハ) 該気密室に内蔵された該回転軸の周囲に分
離して配置された２以上のシール材とからな
り、 (ニ) かつ、該気密室には、該気密室内に設けら
れた回転軸受と該気密室を構成する壁によつ
て被処理物堆積部が形成されていることを特
徴とする真空シール装置。 (2) 該気密室が、圧力計を有するものである実用
新案登録請求の範囲第１項記載の真空シール装
置。