JPH05165522A - 自動搬送システムのマニュアル運転方法 - Google Patents
自動搬送システムのマニュアル運転方法Info
- Publication number
- JPH05165522A JPH05165522A JP3333449A JP33344991A JPH05165522A JP H05165522 A JPH05165522 A JP H05165522A JP 3333449 A JP3333449 A JP 3333449A JP 33344991 A JP33344991 A JP 33344991A JP H05165522 A JPH05165522 A JP H05165522A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- host computer
- processing
- cassette
- transfer
- operator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】搬送ロボットとホストコンピュータとの連携に
より全自動搬送を行う自動搬送システムにおいて、搬送
ロボットに代りマニュアル運転する場合に処理条件の選
択ミスや処理ロットの処理装置への適用ミスをなくす
る。 【構成】搬送物の識別信号をマニュアル入力するインタ
ーフェースを設け、その搬送物の識別信号をホストコン
ピュータに通信入力することにより、半導体ウェハカセ
ットのみを人力搬送で行い、他の判断はホストコンピュ
ータが行うシステムとする。
より全自動搬送を行う自動搬送システムにおいて、搬送
ロボットに代りマニュアル運転する場合に処理条件の選
択ミスや処理ロットの処理装置への適用ミスをなくす
る。 【構成】搬送物の識別信号をマニュアル入力するインタ
ーフェースを設け、その搬送物の識別信号をホストコン
ピュータに通信入力することにより、半導体ウェハカセ
ットのみを人力搬送で行い、他の判断はホストコンピュ
ータが行うシステムとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は自動搬送システムのマニ
ュアル運転方法に関する。
ュアル運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場のウエハカセットを搬送
し処理する自動搬送システムを例にあげて、以下説明す
る。工程内搬送ロボットとホストコンピュータとの連携
により、全自動にて操業を行っている装置の場合、従来
は工程内搬送ロボットのメンテナンスのときや故障等の
トラブルが生じたときは、オペレータがロボットに代り
ロボットと同じ操作をすべて行いながら、全作業をマニ
ュアルにて操業しなければならなかった。
し処理する自動搬送システムを例にあげて、以下説明す
る。工程内搬送ロボットとホストコンピュータとの連携
により、全自動にて操業を行っている装置の場合、従来
は工程内搬送ロボットのメンテナンスのときや故障等の
トラブルが生じたときは、オペレータがロボットに代り
ロボットと同じ操作をすべて行いながら、全作業をマニ
ュアルにて操業しなければならなかった。
【０００３】これは搬送の単位であるカセットのＩＤ
（識別番号）をホストコンピュータに通信する手段がな
いためであり、このためにマニュアルで装置を操業する
ことによりレシピ（処理条件）の選択をオペレータが判
断しながら行うなどの非定常作業が不可避である。
（識別番号）をホストコンピュータに通信する手段がな
いためであり、このためにマニュアルで装置を操業する
ことによりレシピ（処理条件）の選択をオペレータが判
断しながら行うなどの非定常作業が不可避である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
マニュアル運転方法を改善し、レシピの選択ミスを防止
し、処理ロットの適切な処理装置への供給を図り、供給
ミスなどを防止することを目的とする。
マニュアル運転方法を改善し、レシピの選択ミスを防止
し、処理ロットの適切な処理装置への供給を図り、供給
ミスなどを防止することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、搬送ロボット
とホストコンピュータとの連携により全自動搬送を行う
自動搬送システムの搬送ロボットに代るマニュアル運転
方法において、搬送物の特定信号をマニュアル入力する
インターフェイスを設け、該インタフェイスを用いて搬
送物の識別信号をホストコンピュータに通信入力し、そ
の後ホストコンピュータの指示により処理を行いカセッ
ト搬送のみをマニュアルで行うことを特徴とする自動搬
送システムのマニュアル運転方法である。
とホストコンピュータとの連携により全自動搬送を行う
自動搬送システムの搬送ロボットに代るマニュアル運転
方法において、搬送物の特定信号をマニュアル入力する
インターフェイスを設け、該インタフェイスを用いて搬
送物の識別信号をホストコンピュータに通信入力し、そ
の後ホストコンピュータの指示により処理を行いカセッ
ト搬送のみをマニュアルで行うことを特徴とする自動搬
送システムのマニュアル運転方法である。
【０００６】
【作用】全自動搬送ロボットは、処理すべきウエハカセ
ットのＩＤをホストコンピュータより通知され、ホスト
コンピュータは記憶にしたがってそのウエハカセットの
次の処理をロボットに指令し、ロボットはホストコンピ
ュータの指令によりそのカセットを次の工程に搬送する
ようになっている。
ットのＩＤをホストコンピュータより通知され、ホスト
コンピュータは記憶にしたがってそのウエハカセットの
次の処理をロボットに指令し、ロボットはホストコンピ
ュータの指令によりそのカセットを次の工程に搬送する
ようになっている。
【０００７】搬送ロボットがメンテナンス又は故障など
により可動できないときは、オペレータがカセットを見
て、そのカセットを処理すべき次の工程や作業を判断
し、カセットを次の工程に搬送したり、カセットにウエ
ハの入替などの変更を加えたりする。このオペレータの
マニュアル操作はミスが皆無とは言い難く、処理工程の
各所でアラームが発生しその回復に忙殺され、処理の進
行が阻害されることがあった。
により可動できないときは、オペレータがカセットを見
て、そのカセットを処理すべき次の工程や作業を判断
し、カセットを次の工程に搬送したり、カセットにウエ
ハの入替などの変更を加えたりする。このオペレータの
マニュアル操作はミスが皆無とは言い難く、処理工程の
各所でアラームが発生しその回復に忙殺され、処理の進
行が阻害されることがあった。
【０００８】本発明は、オペレータがカセットＩＤをホ
ストコンピュータに送信入力するインターフェイスを設
けて通信可能とし、ホストコンピュータの指示に従って
次のレシピを決定しオペレータがカセットを見て判断す
ることをなくした。すなわち、ホストコンピュータに （ａ）ロットの処理条件の確認 （ｂ）処理条件の選択 （ｃ）ロットの正否、内容の確認 を全く委任することにより見落としや誤認を生ずること
がなくなった。
ストコンピュータに送信入力するインターフェイスを設
けて通信可能とし、ホストコンピュータの指示に従って
次のレシピを決定しオペレータがカセットを見て判断す
ることをなくした。すなわち、ホストコンピュータに （ａ）ロットの処理条件の確認 （ｂ）処理条件の選択 （ｃ）ロットの正否、内容の確認 を全く委任することにより見落としや誤認を生ずること
がなくなった。
【０００９】
【実施例】図２は半導体処理工場における全自動搬送処
理の手順を示したものである。 （１）コンピュータ端末より処理順をホストコンピュー
タに登録する。 （２）装置の空きを確認してオペレータが処理順先頭カ
セットを出庫する。 （１１）工程内搬送ロボットが装置に搬送する。 （１２）装置より搬入完了信号を受信する。 （１３）ホストコンピュータより装置に処理条件を送信
する。 （５）装置より処理開始報告を受信する。
理の手順を示したものである。 （１）コンピュータ端末より処理順をホストコンピュー
タに登録する。 （２）装置の空きを確認してオペレータが処理順先頭カ
セットを出庫する。 （１１）工程内搬送ロボットが装置に搬送する。 （１２）装置より搬入完了信号を受信する。 （１３）ホストコンピュータより装置に処理条件を送信
する。 （５）装置より処理開始報告を受信する。
【００１０】ホストコンピュータは処理開始処理を実行
する。 （６）装置より処理終了報告を受信する。ホストコンピ
ュータは処理終了処理を実行する。 （１４）工程内搬送ロボットが装置より搬出し、ストッ
カに入庫する。もし、搬送ロボットがオフラインとなっ
たときは図３に示す全マニュアル操作となっていた。 （１）コンピュータ端末より処理順をホストコンピュー
タに登録する。 （２）装置の空きを確認してオペレータが処理順先頭カ
セットを出庫する。
する。 （６）装置より処理終了報告を受信する。ホストコンピ
ュータは処理終了処理を実行する。 （１４）工程内搬送ロボットが装置より搬出し、ストッ
カに入庫する。もし、搬送ロボットがオフラインとなっ
たときは図３に示す全マニュアル操作となっていた。 （１）コンピュータ端末より処理順をホストコンピュー
タに登録する。 （２）装置の空きを確認してオペレータが処理順先頭カ
セットを出庫する。
【００１１】オペレータが装置の前まで行って確認す
る。 （２１）オペレータがカセットを装置まで搬送する。処
理対象のカセットであるか確認する手段がない。 （２２）オペレータが装置の処理条件を選択する。処理
条件の選択を間違える可能性がある。 （２３）オペレータが装置を操作し処理を開始する。
る。 （２１）オペレータがカセットを装置まで搬送する。処
理対象のカセットであるか確認する手段がない。 （２２）オペレータが装置の処理条件を選択する。処理
条件の選択を間違える可能性がある。 （２３）オペレータが装置を操作し処理を開始する。
【００１２】装置とホストコンピュータの両方で開始処
理が必要である。 （２４）ホストコンピュータより処理開始をオペレータ
が入力する。入力を忘れる可能性がある。 （２５）ホストコンピュータより処理終了をオペレータ
が入力する。入力を忘れる可能性がある。 （２７）装置の処理終了をオペレータが確認し、カセッ
トを装置より搬出し、ストッカに入庫する。
理が必要である。 （２４）ホストコンピュータより処理開始をオペレータ
が入力する。入力を忘れる可能性がある。 （２５）ホストコンピュータより処理終了をオペレータ
が入力する。入力を忘れる可能性がある。 （２７）装置の処理終了をオペレータが確認し、カセッ
トを装置より搬出し、ストッカに入庫する。
【００１３】本発明ではこれを図１に示すように改善し
た。図１の（１）、（２）、（５）、（６）の工程は図
２と同じである。 （１）コンピュータ端末より処理順をホストコンピュー
タに登録する。 （２）装置の空きを確認してオペレータが処理順先頭カ
セットを出庫する。ホストコンピュータ端末にて確認可
能。 （３）オペレータがカセットを装置まで搬送し、装置端
末よりカセットＩＤをホストコンピュータに入力する。
た。図１の（１）、（２）、（５）、（６）の工程は図
２と同じである。 （１）コンピュータ端末より処理順をホストコンピュー
タに登録する。 （２）装置の空きを確認してオペレータが処理順先頭カ
セットを出庫する。ホストコンピュータ端末にて確認可
能。 （３）オペレータがカセットを装置まで搬送し、装置端
末よりカセットＩＤをホストコンピュータに入力する。
【００１４】この操作を行う機能を装置に付加すること
によりこの工程以降の手順を全自動と同様に自動処理す
ることが可能となる。 （４）ホストコンピュータにてカセットのＩＤのチェッ
クを行い装置に処理条件を送信する。 （５）装置より処理開始報告を受信する。
によりこの工程以降の手順を全自動と同様に自動処理す
ることが可能となる。 （４）ホストコンピュータにてカセットのＩＤのチェッ
クを行い装置に処理条件を送信する。 （５）装置より処理開始報告を受信する。
【００１５】ホストコンピュータは処理開始処理を実行
する。 （６）装置より処理終了報告を受信する。ホストコンピ
ュータは処理終了処理を実行する。 （７）オペレータがが装置より搬出し、ストッカに入庫
する。 以上、半導体工場における例について述べたが、本発明
はこれに限るものではなく、同様の全自動操作を行う工
程に応用することができる。
する。 （６）装置より処理終了報告を受信する。ホストコンピ
ュータは処理終了処理を実行する。 （７）オペレータがが装置より搬出し、ストッカに入庫
する。 以上、半導体工場における例について述べたが、本発明
はこれに限るものではなく、同様の全自動操作を行う工
程に応用することができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によればレシピの選択ミスがなく
なった。また、処理ロットの装置へのかけちがいを防止
することができる。
なった。また、処理ロットの装置へのかけちがいを防止
することができる。
【図１】搬送システムのフローチャートである。
【図２】搬送システムのフローチャートである。
【図３】搬送システムのフローチャートである。
Claims (1)
- 【請求項１】 搬送ロボットとホストコンピュータとの
連携により全自動搬送を行う自動搬送システムの搬送ロ
ボットに代るマニュアル運転方法において、搬送物の特
定信号をマニュアル入力するインターフェイスを設け、
該インタフェイスを用いて搬送物の識別信号をホストコ
ンピュータに通信入力し、その後ホストコンピュータの
指示により処理を行いカセット搬送のみをマニュアルで
行うことを特徴とする自動搬送システムのマニュアル運
転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3333449A JPH05165522A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 自動搬送システムのマニュアル運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3333449A JPH05165522A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 自動搬送システムのマニュアル運転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05165522A true JPH05165522A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18266219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3333449A Withdrawn JPH05165522A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 自動搬送システムのマニュアル運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05165522A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010078287A (ko) * | 2000-02-04 | 2001-08-20 | 가네꼬 히사시 | 반도체반송설비의 특수로트반송제어시스템 및 방법과 장치및 기록매체 |
-
1991
- 1991-12-17 JP JP3333449A patent/JPH05165522A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010078287A (ko) * | 2000-02-04 | 2001-08-20 | 가네꼬 히사시 | 반도체반송설비의 특수로트반송제어시스템 및 방법과 장치및 기록매체 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |