JPH051662Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、油回転ポンプと油拡散ポンプを組み
合せた排気装置からなる真空ポンプの保護装置に
関するものである。

（従来技術） 真空槽内での加工あるいは実験を行う場合、そ
の真空度が10^-2Torrを越える場合には油回転ポ
ンプと油拡散ポンプを組み合せた排気装置からな
る真空装置が用いられることが多い。

（考案が解決しようとする課題） 上記従来技術に於ては、何らかの原因で真空洩
れを生じ、その洩れ量が比較的多い場合には拡散
ポンプ油が劣化し、かなりな手間を要する拡散ポ
ンプのオーバーホールをすることになる。また、
洩れが甚だしい場合にはポンプの破損にもつなが
る。しかし、拡散ポンプ吸入口のゲートバルブを
開閉するには、かなりな力とストロークを要する
ため、高価なエアシリンダー等のアクチユエータ
が必要になるため、現状では特に高級な装置以外
では洩れを生じた場合に拡散ポンプの吸入口を閉
じると共に、拡散ポンプのヒータ電源を切るとい
つた安全装置は装備されていないという問題点が
あつた。

（課題を解決するための手段） 本考案は上記問題点を解決することを目的と
し、油回転ポンプと油拡散ポンプを組み合せた排
気装置からなる真空装置に於て、油拡散ポンプの
吸入口に自重で落下するシヤツターを配設し、所
定の真空度検出信号によりシヤツター開状態をシ
ヤツター閉状態にすると同時に、油拡散ポンプの
ヒータ電源をオフにする手段を備えたことを特徴
とするものである。

（実施例） 第１図、第２図は本考案の第１実施例である。
１は油回転ポンプ、２は油拡散ポンプ、３は該油
拡散ポンプ２の吸入口４のゲートバルブ、５は該
ゲートバルブ３を開閉するシヤツター板で、吸入
口４前面との当接部にはＯリング６が装着されて
いる。シヤツター板５上端には蝶番７が装着され
上下方向に回動自在になつており、上方の掛金８
に係止し、開状態に保持されるようになつてい
る。９は油拡散ポンプ２のヒータ、１０は該ヒー
タ９の電磁開閉器である。

次に作用について説明する。シヤツター板５は
常時上方点数位置に回動し、掛金８に係止し、開
状態に保持しておく。真空槽１１内で有人又は無
人で加工あるいは実験を行つている時、真空度が
一定値、例えば10^-2Torr以下に低下すると真空
計１２からのアナログ出力によつてメータリレー
１３が作動し、その接点出力によつてソレノイド
１４を作動し、シヤツター板５の掛金８を解除す
るとシヤツター板５は自重で落下し、油拡散ポン
プ２の吸入口４を閉じ、同時に電磁開閉器１０を
作動してヒータ９の電源をオフにする。

第３図は本考案の第２実施例で、シヤツター板
５はリンク機構１８で上方点線位置に回動し、そ
の位置に掛金で保持されている。この掛金の係止
を外す作用は第１実施例と同様である。

（効果） 本考案は、油回転ポンプと油拡散ポンプを組み
合せた排気装置からなる真空装置に於て、油拡散
ポンプの吸入口に自重で落下するシヤツターを配
設し、所定の真空度検出信号によりシヤツター開
状態をシヤツター閉状態にすると同時に、油拡散
ポンプのヒータ電源をオフにする手段を備えてい
るので、真空度が所定値以下になつた場合、高価
なエアシリンダー等のアクチユエータを用いるこ
となく、シヤツター板の自重を利用して油拡散ポ
ンプの吸入口を閉じ、ヒータの電源をオフするこ
とができ、油拡散ポンプの油劣化を防止して油拡
散ポンプの破損を防ぎ、手間を要する拡散ポンプ
のオーバーホールを不要とすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１実施例全体の構成を示す
ブロツク図、第２図は第１図のシヤツター部正断
面図、第３図は本考案の第２実施例シヤツター部
正断面図である。 １……油回転ポンプ、２……油拡散ポンプ、３
……ゲートバルブ、４……吸入口、５……シヤツ
ター板、７……蝶番、８……掛金、９……油拡散
ポンプのヒータ、１０……ヒータの電磁開閉器、
１１……真空槽、１２……真空計、１３……メー
タリレー、１４……ソレノイド、１８……リンク
機構。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 油回転ポンプと油拡散ポンプを組み合せた排気
   装置からなる真空装置に於て、油拡散ポンプの吸
   入口に自重で落下するシヤツターを配設し、所定
   の真空度検出信号によりシヤツター開状態をシヤ
   ツター閉状態にすると同時に、油拡散ポンプのヒ
   ータ電源をオフにする手段を備えた真空装置の保
   護装置。