JPH0229260Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0229260Y2 JPH0229260Y2 JP19839985U JP19839985U JPH0229260Y2 JP H0229260 Y2 JPH0229260 Y2 JP H0229260Y2 JP 19839985 U JP19839985 U JP 19839985U JP 19839985 U JP19839985 U JP 19839985U JP H0229260 Y2 JPH0229260 Y2 JP H0229260Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- vacuum pump
- valve
- exhaust valve
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は、真空排気装置に関するものである。
真空排気装置としては、例えば、実開昭59−
71980号公報に記載のようなものが知られている。
71980号公報に記載のようなものが知られている。
しかし、このような真空排気装置では、排気バ
ルブに対して被排気体側の圧力が真空ポンプ側の
圧力よりも低い場合に排気バルブが開となる誤動
作が生じる危険性があり、このため、被排気体内
に真空ポンプ側のガスが突出して被排気体内の部
品を損傷させたり、また、真空ポンプからの油分
が被排気体内に逆流して被排気体内の部品を汚染
するといつた問題が生じる。
ルブに対して被排気体側の圧力が真空ポンプ側の
圧力よりも低い場合に排気バルブが開となる誤動
作が生じる危険性があり、このため、被排気体内
に真空ポンプ側のガスが突出して被排気体内の部
品を損傷させたり、また、真空ポンプからの油分
が被排気体内に逆流して被排気体内の部品を汚染
するといつた問題が生じる。
本考案の目的は、排気バルブの誤動作を防止す
ることで、被排気体内への真空ポンプ側のガスの
突出や真空ポンプからの油分の逆流を防止でき、
被排気体内の部品の損傷や汚染を防止できる真空
排気装置を提供することにある。
ることで、被排気体内への真空ポンプ側のガスの
突出や真空ポンプからの油分の逆流を防止でき、
被排気体内の部品の損傷や汚染を防止できる真空
排気装置を提供することにある。
本考案は、被排気体に排気管で連結された真空
ポンプと、前記排気管に設けられた排気バルブ
と、該排気バルブに対して前記被排気体側の圧力
と前記真空ポンプ側の圧力とをそれぞれ検出する
圧力検出手段と、該手段で検出した前記被排気体
側の圧力が前記真空ポンプ側の圧力と同等若しく
は高い条件のみにて前記排気バルブを開き該排気
バルブの開状態を維持する制御回路とを具備した
ことを特徴とするもので、被排気体側の圧力が真
空ポンプ側の圧力と同等若しくは高い条件のみで
排気バルブを開き該排気バルブの開状態を維持す
ることで、被排気体内への真空ポンプ側のガスの
突出や真空ポンプからの油分の逆流を防止しよう
としたものである。
ポンプと、前記排気管に設けられた排気バルブ
と、該排気バルブに対して前記被排気体側の圧力
と前記真空ポンプ側の圧力とをそれぞれ検出する
圧力検出手段と、該手段で検出した前記被排気体
側の圧力が前記真空ポンプ側の圧力と同等若しく
は高い条件のみにて前記排気バルブを開き該排気
バルブの開状態を維持する制御回路とを具備した
ことを特徴とするもので、被排気体側の圧力が真
空ポンプ側の圧力と同等若しくは高い条件のみで
排気バルブを開き該排気バルブの開状態を維持す
ることで、被排気体内への真空ポンプ側のガスの
突出や真空ポンプからの油分の逆流を防止しよう
としたものである。
〔考案の実施例〕
本考案の一実施例を第１図、第２図により説明
する。第１図はシステム構成であり、第２図に制
御回路を示す。
する。第１図はシステム構成であり、第２図に制
御回路を示す。
システム構成は、被排気体であるチヤンバ１、
真空ポンプ２の間に排気バルブ３が有り排気バル
ブ３のチヤンバ側及び真空ポンプ側に圧力スイツ
チ４及び５がある。制御回路はバルブ開指令信号
６と排気バルブ用電磁弁コイル３ａ、圧力スイツ
チ４の接点４ａ、圧力スイツチ５の接点５ａ及び
インターロツク解除用リレー７（接点は７ａ）で
構成される。
真空ポンプ２の間に排気バルブ３が有り排気バル
ブ３のチヤンバ側及び真空ポンプ側に圧力スイツ
チ４及び５がある。制御回路はバルブ開指令信号
６と排気バルブ用電磁弁コイル３ａ、圧力スイツ
チ４の接点４ａ、圧力スイツチ５の接点５ａ及び
インターロツク解除用リレー７（接点は７ａ）で
構成される。
この場合、圧力スイツチの設定は排気バルブ側
は真空検出、チヤンバ側は大気圧検出とする。
は真空検出、チヤンバ側は大気圧検出とする。
例えば、半導体製造装置に於けるバルブの開は
真空ポンプを起動し真空ポンプ側の圧力が十分下
がつた時点でチヤンバ間のバルブを開けることが
真空ポンプからの油分の逆流を防止するため必要
となつている。又、真空ポンプを起動せず且つチ
ヤンバ内が大気圧のときもバルブを開出すること
が必要となつている。このため、バルブ開の条件
として真空ポンプ側が真空又はチヤンバ側が大気
圧ということが必要となつている。一方、チヤン
バ内が大気圧で排気側が真空となつた場合にバル
ブを開けるとチヤンバ内のガスが排気側に流れ排
気側の圧力が上昇するという現象が発生する。こ
のためインターロツクはバルブ開指令時にインタ
ーロツク条件を監視し条件を満たしていればバル
ブを開け、開けた後はインターロツクを解除する
ことが必要となる。
真空ポンプを起動し真空ポンプ側の圧力が十分下
がつた時点でチヤンバ間のバルブを開けることが
真空ポンプからの油分の逆流を防止するため必要
となつている。又、真空ポンプを起動せず且つチ
ヤンバ内が大気圧のときもバルブを開出すること
が必要となつている。このため、バルブ開の条件
として真空ポンプ側が真空又はチヤンバ側が大気
圧ということが必要となつている。一方、チヤン
バ内が大気圧で排気側が真空となつた場合にバル
ブを開けるとチヤンバ内のガスが排気側に流れ排
気側の圧力が上昇するという現象が発生する。こ
のためインターロツクはバルブ開指令時にインタ
ーロツク条件を監視し条件を満たしていればバル
ブを開け、開けた後はインターロツクを解除する
ことが必要となる。
第２図では、圧力スイツチ４の接点４ａはチヤ
ンバが大気圧で接点閉、圧力スイツチ５の接点５
ａは排気側が真空時に接点閉となる。すなわち、
バルブ開指令６がONとすると、３ａ〜４ａ又は
５ａ〜６の回路でインターロツク条件が満たされ
ていない電磁弁コイル３ａが駆動されバルブ３は
開となる。と同時にインターロツク解除用リレー
７を励磁しその接点７ａを閉とする。このため一
旦リレー７がONするとバルブ用電磁弁コイル３
ａは３ａ〜７ａ〜６の回路でインターロツク用接
点４ａ，５ａに無関係にONし続ける。又、バル
ブ開指令信号６をOFFするとインターロツク解
除リレー７が電磁弁コイル３ａと同時にOFFと
なり、再びバルブを開けるためには、インターロ
ツ条件を満たすことが必要となる。
ンバが大気圧で接点閉、圧力スイツチ５の接点５
ａは排気側が真空時に接点閉となる。すなわち、
バルブ開指令６がONとすると、３ａ〜４ａ又は
５ａ〜６の回路でインターロツク条件が満たされ
ていない電磁弁コイル３ａが駆動されバルブ３は
開となる。と同時にインターロツク解除用リレー
７を励磁しその接点７ａを閉とする。このため一
旦リレー７がONするとバルブ用電磁弁コイル３
ａは３ａ〜７ａ〜６の回路でインターロツク用接
点４ａ，５ａに無関係にONし続ける。又、バル
ブ開指令信号６をOFFするとインターロツク解
除リレー７が電磁弁コイル３ａと同時にOFFと
なり、再びバルブを開けるためには、インターロ
ツ条件を満たすことが必要となる。
尚、本実施例はリレーを用いたものであるが、
リレーの代わりにIC、トランジスタ等を用いる
ことも出来る。
リレーの代わりにIC、トランジスタ等を用いる
ことも出来る。
本考案によると排気バルブ開の確実なインター
ロツクが実施でき誤動作による被排気体内の部品
の損傷や汚染を防止出来るという効果がある。
ロツクが実施でき誤動作による被排気体内の部品
の損傷や汚染を防止出来るという効果がある。
第１図は、本考案による真空排気装置の一実施
例を示す構成図、第２図は、第１図装置の制御回
路の回路図である。 １……チヤンバ、２……真空ポンプ、３……排
気バルブ、４，５……圧力スイツチ、６……バル
ブ開指令信号、７……インターロツク解除用リレ
ー。
例を示す構成図、第２図は、第１図装置の制御回
路の回路図である。 １……チヤンバ、２……真空ポンプ、３……排
気バルブ、４，５……圧力スイツチ、６……バル
ブ開指令信号、７……インターロツク解除用リレ
ー。
Claims (1)
- 被排気体に排気管で連結された真空ポンプと、
前記排気管に設けられた排気バルブと、該排気バ
ルブに対して前記被排気体側の圧力と前記真空ポ
ンプ側の圧力とをそれぞれ検出する圧力検出手段
と、該手段で検出した前記被排気体側の圧力が前
記真空ポンプ側の圧力と同等若しくは高い条件の
みにて前記排気バルブを開き該排気バルブの開状
態を維持する制御回路とを具備したことを特徴と
する真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19839985U JPH0229260Y2 (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19839985U JPH0229260Y2 (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62176488U JPS62176488U (ja) | 1987-11-09 |
| JPH0229260Y2 true JPH0229260Y2 (ja) | 1990-08-06 |
Family
ID=31159050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19839985U Expired JPH0229260Y2 (ja) | 1985-12-25 | 1985-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229260Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5216433B2 (ja) * | 2007-06-26 | 2013-06-19 | 株式会社ミツトヨ | 真空排気装置および真空排気方法 |
-
1985
- 1985-12-25 JP JP19839985U patent/JPH0229260Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62176488U (ja) | 1987-11-09 |
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