JPH05166850A - 吸着用チャック - Google Patents
吸着用チャックInfo
- Publication number
- JPH05166850A JPH05166850A JP33666991A JP33666991A JPH05166850A JP H05166850 A JPH05166850 A JP H05166850A JP 33666991 A JP33666991 A JP 33666991A JP 33666991 A JP33666991 A JP 33666991A JP H05166850 A JPH05166850 A JP H05166850A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- chuck
- lead frame
- adsorption
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 平板状の非吸着物を一時的に吸着する吸着用
チャックに関し、特に複数の孔が設けられた平板状の非
吸着物、例えば、半導体装置等の構成部材であるリード
フレームを変形させることなく吸着できる吸着用チャッ
クの提供を目的とする。 【構成】 吸着孔31a 内を減圧し、この吸着孔31a によ
り複数の隙間C が設けられた平板状の非吸着物10を吸着
する吸着用チャックにおいて、多孔性でゴム弾性を有す
るスポンジ状の通気性部材33を吸着孔31a 内に装着して
吸着用チャックを構成する。
チャックに関し、特に複数の孔が設けられた平板状の非
吸着物、例えば、半導体装置等の構成部材であるリード
フレームを変形させることなく吸着できる吸着用チャッ
クの提供を目的とする。 【構成】 吸着孔31a 内を減圧し、この吸着孔31a によ
り複数の隙間C が設けられた平板状の非吸着物10を吸着
する吸着用チャックにおいて、多孔性でゴム弾性を有す
るスポンジ状の通気性部材33を吸着孔31a 内に装着して
吸着用チャックを構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平板状の非吸着物を一
時的に吸着する吸着用チャック、特に複数の孔が設けら
れた平板状の非吸着物、例えば、半導体装置等の構成部
材であるリードフレームを変形させることなく吸着でき
る吸着用チャックに関する。
時的に吸着する吸着用チャック、特に複数の孔が設けら
れた平板状の非吸着物、例えば、半導体装置等の構成部
材であるリードフレームを変形させることなく吸着でき
る吸着用チャックに関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、リードフレームを吸着するために
使用されている従来の吸着用チャックについて図２を参
照して説明する。図２は、従来の吸着用チャックを説明
するための図であって、同図(a) は吸着用チャックの吸
着面の正面図、同図(b) は吸着用チャックの要部側断面
図、同図(c) はリードフレームの部分平面図である。
使用されている従来の吸着用チャックについて図２を参
照して説明する。図２は、従来の吸着用チャックを説明
するための図であって、同図(a) は吸着用チャックの吸
着面の正面図、同図(b) は吸着用チャックの要部側断面
図、同図(c) はリードフレームの部分平面図である。
【０００３】リードフレーム10を吸着する従来の吸着用
チャック20は、同図(a) と同図(b)で示すように、複数
の吸着孔21を２列に点列して構成していた。そして、こ
の吸着用チャック20によりリードフレーム10を吸着して
ピックアップするには、同図(b) に示すように、まず、
一方の列の吸着孔21をリードフレーム10の一方のクレド
ール11 (同図(c) 参照) の領域Ａに当接させるととも
に、他方の列の吸着孔21をリードフレーム10のクレドー
ル11の領域Ａに当接させる。
チャック20は、同図(a) と同図(b)で示すように、複数
の吸着孔21を２列に点列して構成していた。そして、こ
の吸着用チャック20によりリードフレーム10を吸着して
ピックアップするには、同図(b) に示すように、まず、
一方の列の吸着孔21をリードフレーム10の一方のクレド
ール11 (同図(c) 参照) の領域Ａに当接させるととも
に、他方の列の吸着孔21をリードフレーム10のクレドー
ル11の領域Ａに当接させる。
【０００４】しかる後、排気装置（図示せず）によりそ
れぞれ吸着孔21内を減圧し、吸着用チャック20を矢印Ｕ
方向に上昇すると、リードフレーム10はこの吸着孔21に
より吸着されて吸着用チャック20とともにを矢印Ｕ方向
に上昇してピックアップされることとなる。
れぞれ吸着孔21内を減圧し、吸着用チャック20を矢印Ｕ
方向に上昇すると、リードフレーム10はこの吸着孔21に
より吸着されて吸着用チャック20とともにを矢印Ｕ方向
に上昇してピックアップされることとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述したように従来の
吸着用チャック20は、リードフレーム10のクレドール11
に吸着孔21の先端を当接するように構成されていた。
吸着用チャック20は、リードフレーム10のクレドール11
に吸着孔21の先端を当接するように構成されていた。
【０００６】このようにリードフレーム10の吸着に際し
てクレドール11に吸着孔21の先端を当接するように構成
しているのは、点線で囲まれたリードフレーム10の中央
部、すなわち、インナーリード12やダイステージ13が設
けられて多くの隙間Ｃが点在した領域Ｂに吸着孔21の先
端を当接してリードフレーム10を吸着しようとしても、
これらの隙間Ｃから大量の空気が吸着孔21内に流入して
減圧状態とならないという周知の事実によるものであ
る。
てクレドール11に吸着孔21の先端を当接するように構成
しているのは、点線で囲まれたリードフレーム10の中央
部、すなわち、インナーリード12やダイステージ13が設
けられて多くの隙間Ｃが点在した領域Ｂに吸着孔21の先
端を当接してリードフレーム10を吸着しようとしても、
これらの隙間Ｃから大量の空気が吸着孔21内に流入して
減圧状態とならないという周知の事実によるものであ
る。
【０００７】したがって、此れまでは、リードフレーム
10のクレドール11間の距離に対応させた複数種の吸着用
チャックを準備しなければならなかった。本発明は、こ
のような問題を解消するためになされたものであって、
その目的はクレドール間の距離がそれぞれ異なるリード
フレームを吸着できる吸着用チャックを提供することに
ある。
10のクレドール11間の距離に対応させた複数種の吸着用
チャックを準備しなければならなかった。本発明は、こ
のような問題を解消するためになされたものであって、
その目的はクレドール間の距離がそれぞれ異なるリード
フレームを吸着できる吸着用チャックを提供することに
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１に示す如く前記目的
は、吸着孔31a 内を減圧し、この吸着孔31a により複数
の隙間Ｃが設けられた平板状の非吸着物10を吸着する吸
着用チャックにおいて、多孔性でゴム弾性を有するスポ
ンジ状の通気性部材33が吸着孔31a 内に装着されている
ことを特徴とする吸着用チャックにより達成される。
は、吸着孔31a 内を減圧し、この吸着孔31a により複数
の隙間Ｃが設けられた平板状の非吸着物10を吸着する吸
着用チャックにおいて、多孔性でゴム弾性を有するスポ
ンジ状の通気性部材33が吸着孔31a 内に装着されている
ことを特徴とする吸着用チャックにより達成される。
【０００９】
【作用】本発明の吸着用チャックは、その吸着孔31a に
多孔性でゴム弾性を有するスポンジ状の通気性部材33を
装着し、この吸着孔31a はコンダクタンスの小さい複数
の微少吸着孔を並列した如くに構成されている。
多孔性でゴム弾性を有するスポンジ状の通気性部材33を
装着し、この吸着孔31a はコンダクタンスの小さい複数
の微少吸着孔を並列した如くに構成されている。
【００１０】したがって、本発明の吸着用チャックの吸
着孔31a を複数の隙間Ｃが設けられた平板状の非吸着
物、例えば、前述したリードフレーム10の中央部、すな
わち、インナーリード12やダイステージ13が設けられて
多くの隙間Ｃが点在した領域Ｂに当接した際に、インナ
ーリード12やダイステージ13に対面した吸着孔31a の一
部は吸着作用を示してリードフレーム10を吸着する。
着孔31a を複数の隙間Ｃが設けられた平板状の非吸着
物、例えば、前述したリードフレーム10の中央部、すな
わち、インナーリード12やダイステージ13が設けられて
多くの隙間Ｃが点在した領域Ｂに当接した際に、インナ
ーリード12やダイステージ13に対面した吸着孔31a の一
部は吸着作用を示してリードフレーム10を吸着する。
【００１１】斯くして、本発明の吸着用チャックは、リ
ードフレーム10の隙間Ｃが点在する中央部をも吸着でき
るために、クレドール間の距離が異なる多くの種類のリ
ードフレームを吸着できる。
ードフレーム10の隙間Ｃが点在する中央部をも吸着でき
るために、クレドール間の距離が異なる多くの種類のリ
ードフレームを吸着できる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例の吸着用チャックに
ついて図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の
一実施例の吸着用チャックを説明するための図であっ
て、同図(a) は吸着用チャックの吸着面の正面図、同図
(b) は吸着用チャックの要部側断面図、同図(c) はリー
ドフレームの部分平面図である。
ついて図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の
一実施例の吸着用チャックを説明するための図であっ
て、同図(a) は吸着用チャックの吸着面の正面図、同図
(b) は吸着用チャックの要部側断面図、同図(c) はリー
ドフレームの部分平面図である。
【００１３】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。本発明の一実施例の吸着用チャック30は、中空の
直方体の底面だけ撤去した形状、すなわち、升を伏せた
ような形状で内部が吸着孔31a となるヘッド31、ヘッド
31の天井に設けた貫通孔31b に周囲を溶着して吸着孔31
a 内に連通した管内が排気装置（図示せず）にも連通し
て昇降装置（図示せず）により矢印Ｕ及び矢印Ｄ方向に
昇降されるパイプ状の昇降棹32と、ヘッド31の吸着孔31
a 内に一端部を装着するとともに、この吸着孔31a から
僅かに突出した多孔性でゴム弾性を有するスポンジ状の
通気性部材、例えば、発泡ポリウレタン33とを含んで構
成したものである。
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。本発明の一実施例の吸着用チャック30は、中空の
直方体の底面だけ撤去した形状、すなわち、升を伏せた
ような形状で内部が吸着孔31a となるヘッド31、ヘッド
31の天井に設けた貫通孔31b に周囲を溶着して吸着孔31
a 内に連通した管内が排気装置（図示せず）にも連通し
て昇降装置（図示せず）により矢印Ｕ及び矢印Ｄ方向に
昇降されるパイプ状の昇降棹32と、ヘッド31の吸着孔31
a 内に一端部を装着するとともに、この吸着孔31a から
僅かに突出した多孔性でゴム弾性を有するスポンジ状の
通気性部材、例えば、発泡ポリウレタン33とを含んで構
成したものである。
【００１４】したがって、かかる多孔性の発泡ポリウレ
タン33を装着した本発明の一実施例の吸着用チャック30
の吸着孔31a は、実質的にコンダクタンスの小さい複数
の微少吸着孔を並列した如くに構成されている。
タン33を装着した本発明の一実施例の吸着用チャック30
の吸着孔31a は、実質的にコンダクタンスの小さい複数
の微少吸着孔を並列した如くに構成されている。
【００１５】このため、この吸着用チャックの吸着孔31
a をリードフレーム10の中央部、すなわち、インナーリ
ード12やダイステージ13が設けられて多くの隙間Ｃが点
在した領域Ｂに当接した際に、インナーリード12やダイ
ステージ13に対面した吸着孔31a の一部は吸着作用を示
してリードフレーム10を吸着できる。
a をリードフレーム10の中央部、すなわち、インナーリ
ード12やダイステージ13が設けられて多くの隙間Ｃが点
在した領域Ｂに当接した際に、インナーリード12やダイ
ステージ13に対面した吸着孔31a の一部は吸着作用を示
してリードフレーム10を吸着できる。
【００１６】斯くして、本発明の吸着用チャック30は、
リードフレーム10の隙間Ｃが点在する中央部をも吸着で
きるために、クレドール間の距離が異なる多くの種類の
リードフレームを吸着できることとなる。
リードフレーム10の隙間Ｃが点在する中央部をも吸着で
きるために、クレドール間の距離が異なる多くの種類の
リードフレームを吸着できることとなる。
【００１７】また、発泡ポリウレタン33は吸着孔31a か
ら突出しているためにリードフレーム10への当たりが緩
和されて、吸着時に発生し易いリードフレーム10の変形
も防止されることとなる。
ら突出しているためにリードフレーム10への当たりが緩
和されて、吸着時に発生し易いリードフレーム10の変形
も防止されることとなる。
【００１８】図３は、本発明の一実施例の吸着用チャッ
クと従来の吸着用チャックの実用比較データを示す図で
あって、同図(a) はそれぞれの吸着用チャックによりリ
ードフレームを吸着した際の吸着失敗率のデータを示す
図、同図(b) はそれぞれの吸着用チャックによりリード
フレームの裏面側を吸着した際のボンディングワイヤの
変形率のデータを示す図である。なお、このボンディン
グワイヤは、リードフレームの表面側に搭載された半導
体チップとこのリードフレーム間を接続した直径が２５
μｍの金線である。
クと従来の吸着用チャックの実用比較データを示す図で
あって、同図(a) はそれぞれの吸着用チャックによりリ
ードフレームを吸着した際の吸着失敗率のデータを示す
図、同図(b) はそれぞれの吸着用チャックによりリード
フレームの裏面側を吸着した際のボンディングワイヤの
変形率のデータを示す図である。なお、このボンディン
グワイヤは、リードフレームの表面側に搭載された半導
体チップとこのリードフレーム間を接続した直径が２５
μｍの金線である。
【００１９】本発明の一実施例の吸着用チャック30は、
従来の吸着用チャック20に比べてリードフレームの吸着
失敗率もボンディングワイヤの変形率も低くその効果は
顕著であることが図３のデータから読み取れる。
従来の吸着用チャック20に比べてリードフレームの吸着
失敗率もボンディングワイヤの変形率も低くその効果は
顕著であることが図３のデータから読み取れる。
【００２０】したがって、請求項２記載のようにリード
フレーム10を使用する半導体装置の製造方法に請求項１
記載の吸着用チャック30を採用すれば、リードフレーム
10のインナーリード12に変形を発生させないで半導体装
置の製造歩留りを向上できる半導体装置の製造方法も提
供できることとなる。
フレーム10を使用する半導体装置の製造方法に請求項１
記載の吸着用チャック30を採用すれば、リードフレーム
10のインナーリード12に変形を発生させないで半導体装
置の製造歩留りを向上できる半導体装置の製造方法も提
供できることとなる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、クレドー
ル間の距離がそれぞれ異なるリードフレームを吸着でき
る吸着用チャックの提供を可能にする。
ル間の距離がそれぞれ異なるリードフレームを吸着でき
る吸着用チャックの提供を可能にする。
【図１】は、本発明の一実施例の吸着用チャックを説明
するための図、
するための図、
【図２】は、従来の吸着用チャックを説明するための
図、
図、
【図３】は、本発明の一実施例の吸着用チャックと従来
の吸着用チャックの実用比較データを示す図である。
の吸着用チャックの実用比較データを示す図である。
10は、リードフレーム (非吸着物) 、11は、クレドー
ル、12は、インナーリード、13は、ダイステージ、20
は、吸着用チャック、21は、吸着孔、30は、吸着用チャ
ック、31は、ヘッド、31a は、吸着孔、31b は、貫通
孔、32は、昇降棹、33は、発泡ポリウレタン (通気性部
材) をそれぞれ示す。
ル、12は、インナーリード、13は、ダイステージ、20
は、吸着用チャック、21は、吸着孔、30は、吸着用チャ
ック、31は、ヘッド、31a は、吸着孔、31b は、貫通
孔、32は、昇降棹、33は、発泡ポリウレタン (通気性部
材) をそれぞれ示す。
Claims (2)
- 【請求項１】 吸着孔(31a) 内を減圧し、この吸着孔(3
1a) により複数の隙間(C) が設けられた平板状の非吸着
物(10)を吸着する吸着用チャックにおいて、 多孔性でゴム弾性を有するスポンジ状の通気性部材(33)
が前記吸着孔(31a) 内に装着されていることを特徴とす
る吸着用チャック。 - 【請求項２】 半導体装置の構成部品となるリードフレ
ームを請求項１記載の吸着用チャックによりハンドリン
グすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33666991A JPH05166850A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 吸着用チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33666991A JPH05166850A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 吸着用チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166850A true JPH05166850A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18301574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33666991A Withdrawn JPH05166850A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 吸着用チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05166850A (ja) |
-
1991
- 1991-12-19 JP JP33666991A patent/JPH05166850A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100438335B1 (ko) | 반도체 칩의 픽업 장치 및 그 픽업방법 | |
| JPH0629370A (ja) | 半導体ウェーハ転送装置 | |
| JP2004152858A (ja) | 半導体製造装置及び方法 | |
| JP2004031672A (ja) | チップのピックアップ装置 | |
| JP2006019566A (ja) | 半導体基板吸着ハンド及びその操作方法 | |
| JPH07214489A (ja) | 吸着パッド | |
| KR200448311Y1 (ko) | 반도체소자 절단장치용 진공척 테이블 | |
| JP2004273529A (ja) | ダイピックアップ装置 | |
| JPH10313045A (ja) | 半導体チップの保持具 | |
| JP2619443B2 (ja) | ペレットのピックアップ方法 | |
| JP3635161B2 (ja) | 微小ボール配列基板及びバンプ形成方法 | |
| JP4629218B2 (ja) | 導電性ボールの吸引配列装置及び吸引配列方法 | |
| JPS60258022A (ja) | ワツシヤ型部品分離装置 | |
| JPH0661334A (ja) | 基板移載機 | |
| JPH0214547A (ja) | 電子部品のピックアップ装置 | |
| JPH1187901A (ja) | 金属球配列装置及び配列方法 | |
| JPH09330942A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JPH06216168A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JPH07109026A (ja) | リードフレームの供給方法及びその装置 | |
| JP2006303151A (ja) | 半導体チップのボンディング方法及び吸着治具、並びに半導体チップのボンディング装置 | |
| JP2513670Y2 (ja) | 水平搬送ｉｃ搬送装置のデバイスコンタクトユニット | |
| JPH0641134U (ja) | 半導体素子吸着装置 | |
| JP2001053428A (ja) | ボール吸着ヘッド | |
| JP2000006075A (ja) | 電子素子支持板又は電子部品の集合体の搬送装置 | |
| JPH063589U (ja) | ディスク用吸着パット及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |