JPH05169435A - インゴット切断方法 - Google Patents
インゴット切断方法Info
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- JPH05169435A JPH05169435A JP35386391A JP35386391A JPH05169435A JP H05169435 A JPH05169435 A JP H05169435A JP 35386391 A JP35386391 A JP 35386391A JP 35386391 A JP35386391 A JP 35386391A JP H05169435 A JPH05169435 A JP H05169435A
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- cutting
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- blade
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェーハ素材の平坦度を良好な値に維持する
とともに、内周刃のハンドドレッシング回数を低減させ
ることができるようなインゴット切断方法を提供する。 【構成】 内周刃式切断機のブレード５の刃先５ａ近傍
に変位センサ６を設け、変位センサ６の出力信号をモニ
タ７を介して制御装置８に入力する。シリコンインゴッ
ト切断中に刃先５ａの変位量があらかじめ設定した規格
値を超えると、前記制御装置８の指令信号により切削水
ノズル微動装置９が作動して、切削水ノズル１１を上方
または下方に微動させる。これにより、ブレード５の上
下両面に均等に供給されていた切削水量に偏りを生じ、
インゴット切断時の熱歪による刃先５ａの変位が修正さ
れる。このようにして前記刃先５ａの進行方向が制御さ
れるので、ウェーハ素材の平坦度が良好になり、従来頻
繁に行われていたハンドドレッシング回数は大幅に減少
する。
とともに、内周刃のハンドドレッシング回数を低減させ
ることができるようなインゴット切断方法を提供する。 【構成】 内周刃式切断機のブレード５の刃先５ａ近傍
に変位センサ６を設け、変位センサ６の出力信号をモニ
タ７を介して制御装置８に入力する。シリコンインゴッ
ト切断中に刃先５ａの変位量があらかじめ設定した規格
値を超えると、前記制御装置８の指令信号により切削水
ノズル微動装置９が作動して、切削水ノズル１１を上方
または下方に微動させる。これにより、ブレード５の上
下両面に均等に供給されていた切削水量に偏りを生じ、
インゴット切断時の熱歪による刃先５ａの変位が修正さ
れる。このようにして前記刃先５ａの進行方向が制御さ
れるので、ウェーハ素材の平坦度が良好になり、従来頻
繁に行われていたハンドドレッシング回数は大幅に減少
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、脆性物、特に半導体分
野に用いられるシリコンインゴットの内周刃による切断
方法に関する。
野に用いられるシリコンインゴットの内周刃による切断
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスの始発材となるたとえば
シリコンウェーハは、インゴット状態のシリコン単結晶
を内周刃式切断機で切断して得られる。前記ウェーハに
は、将来のデバイス形成行程における歩留まりを下げな
いようにするため、できる限り平坦で厚さの均一なもの
が要求されている。
シリコンウェーハは、インゴット状態のシリコン単結晶
を内周刃式切断機で切断して得られる。前記ウェーハに
は、将来のデバイス形成行程における歩留まりを下げな
いようにするため、できる限り平坦で厚さの均一なもの
が要求されている。
【０００３】シリコンインゴットのスライスに用いられ
る内周刃式切断機は、内周刃のブレードに高い張力を与
えてこれを維持し、切断抵抗によるブレード変形が起こ
りにくいように工夫されている。しかし実際には、イン
ゴット切断時のブレードの発熱による変形あるいは刃先
の偏摩耗や鈍化により、ブレードには微小な変位が起こ
る。そこで従来は、ブレードの変位を変位センサで検出
してモニタリングし、検出した波形が基準値を超えると
砥石を用いて刃先をハンドドレッシングし、ブレードの
変位方向を修正している。
る内周刃式切断機は、内周刃のブレードに高い張力を与
えてこれを維持し、切断抵抗によるブレード変形が起こ
りにくいように工夫されている。しかし実際には、イン
ゴット切断時のブレードの発熱による変形あるいは刃先
の偏摩耗や鈍化により、ブレードには微小な変位が起こ
る。そこで従来は、ブレードの変位を変位センサで検出
してモニタリングし、検出した波形が基準値を超えると
砥石を用いて刃先をハンドドレッシングし、ブレードの
変位方向を修正している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ブレードの刃先には超
硬砥粒が電着されているが、切断の進行とともに刃先の
摩耗により前記砥粒の表出状態が変化する。インゴット
切断中の刃先の変位は、前記ブレードの熱歪の他に砥粒
の表出状態の変化にも影響されると考えられ、必ずしも
１回のハンドドレッシングでブレードの変位方向が修正
されるとは限らない。また、ドレッシングによって刃先
の進行方向が急激に変化することがあり、このためウェ
ーハの厚さ不良等が発生する。従って、刃先の変位方向
修正は、ハンドドレッシングを数回繰り返した後完了す
ることが多い。
硬砥粒が電着されているが、切断の進行とともに刃先の
摩耗により前記砥粒の表出状態が変化する。インゴット
切断中の刃先の変位は、前記ブレードの熱歪の他に砥粒
の表出状態の変化にも影響されると考えられ、必ずしも
１回のハンドドレッシングでブレードの変位方向が修正
されるとは限らない。また、ドレッシングによって刃先
の進行方向が急激に変化することがあり、このためウェ
ーハの厚さ不良等が発生する。従って、刃先の変位方向
修正は、ハンドドレッシングを数回繰り返した後完了す
ることが多い。
【０００５】上記ハンドドレッシングは、高速で回転し
ている内周刃の刃先に小さな砥石棒を押し付ける作業で
あるため、作業者が手指を負傷する危険度が高い。ま
た、ハンドドレッシング回数の増大に伴ってその工数も
増大し、切断作業の能率が低下する。そこで本発明は上
記従来の問題点に着目し、ウェーハ素材の平坦度を良好
な値に維持するとともに、ハンドドレッシング作業回数
を低減させることができるようなインゴット切断方法を
提供することを目的とする。
ている内周刃の刃先に小さな砥石棒を押し付ける作業で
あるため、作業者が手指を負傷する危険度が高い。ま
た、ハンドドレッシング回数の増大に伴ってその工数も
増大し、切断作業の能率が低下する。そこで本発明は上
記従来の問題点に着目し、ウェーハ素材の平坦度を良好
な値に維持するとともに、ハンドドレッシング作業回数
を低減させることができるようなインゴット切断方法を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るインゴット切断方法は、内周刃切断機を
用いるインゴットの切断において、内周刃の上面および
下面に噴射する切削水ノズルの高さを内周刃の刃先の変
位に対応して変化させることにより、内周刃の進行方向
を制御する構成とし、このような構成において具体的に
は、インゴット切断の進行に伴って生じる内周刃の刃先
の上下方向変位を前記刃先の近傍に設けた変位センサに
より検出し、刃先の変位量に応じて変化する前記変位セ
ンサの出力信号を制御装置に入力して、内周刃の刃先に
対する切削水ノズルの高さを切削水ノズル微動装置が調
整し、内周刃の上下面に噴射する水量に差を与えること
によって、前記刃先の進行方向を制御することにした。
に本発明に係るインゴット切断方法は、内周刃切断機を
用いるインゴットの切断において、内周刃の上面および
下面に噴射する切削水ノズルの高さを内周刃の刃先の変
位に対応して変化させることにより、内周刃の進行方向
を制御する構成とし、このような構成において具体的に
は、インゴット切断の進行に伴って生じる内周刃の刃先
の上下方向変位を前記刃先の近傍に設けた変位センサに
より検出し、刃先の変位量に応じて変化する前記変位セ
ンサの出力信号を制御装置に入力して、内周刃の刃先に
対する切削水ノズルの高さを切削水ノズル微動装置が調
整し、内周刃の上下面に噴射する水量に差を与えること
によって、前記刃先の進行方向を制御することにした。
【０００７】
【作用】前記切削水は、通常の状態においてはブレード
の上下両面に均等に供給されていて、一般的にはブレー
ド上面に対する切削水供給量を多くすると刃先は上方向
に変位し、ブレード下面に対する切削水供給量を多くす
ると刃先は下方向に変位する傾向がある。そこで上記構
成によれば、刃先の変位を変位センサで検出し、その検
出結果に基づいて、ブレードに対する切削水ノズルの位
置を前記刃先の変位方向に対応して調整することにした
ので、切断時の刃先の変位を修正する方向に多量の切削
水が噴射されることによって、刃先の変位を直ちに修正
することができる。
の上下両面に均等に供給されていて、一般的にはブレー
ド上面に対する切削水供給量を多くすると刃先は上方向
に変位し、ブレード下面に対する切削水供給量を多くす
ると刃先は下方向に変位する傾向がある。そこで上記構
成によれば、刃先の変位を変位センサで検出し、その検
出結果に基づいて、ブレードに対する切削水ノズルの位
置を前記刃先の変位方向に対応して調整することにした
ので、切断時の刃先の変位を修正する方向に多量の切削
水が噴射されることによって、刃先の変位を直ちに修正
することができる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明に係るインゴット切断方法の実
施例について、図面を参照して説明する。 図１はイン
ゴット切断装置の概略構成を示す説明図、図２は切断装
置とシリコンインゴットとの位置関係を示す側面説明
図、図３はブレードとシリコンインゴット、変位セン
サ、切削水ノズルとの位置関係を示す平面説明図であ
る。シリコンインゴット１は、送り装置２の端面２ａに
沿って垂直方向に摺動するワークヘッド３に、水平方向
に滑動するブロック４を介して固着され、前記送り装置
２の水平方向移動に伴って水平に移動する。内周刃のブ
レード５の上方、刃先５ａ近傍にはシリコンインゴット
１を両側から挟む位置に２個の変位センサ６，６が配設
され、これらの変位センサ６，６の出力配線６ａはそれ
ぞれモニタ７を介して制御装置８に接続されている。前
記制御装置８の出力配線８ａは切削水ノズル微動装置９
に接続され、切削水ノズル微動装置９によって上下方向
に微動する水管１０の先端に切削水ノズルが取着されて
いる。切削水ノズルはブレード５の内側に３個配設され
ているが、このうち切削水ノズル１１は図３において左
回転するブレード５に対し、シリコンインゴット１の手
前側に刃先５ａに近接して配設され、残りの２個の切削
水ノズルのうち、切削水ノズル１２はシリコンインゴッ
ト１の後ろ側に、また切削水ノズル１３は切削水ノズル
１１と反対側にそれぞれ刃先５ａに近接して配設されて
いる。これらの切削水ノズル１１，１２，１３は、いず
れもブレード５の上下両面に均等に切削水が噴射される
ように、水平方向に設けられている。
施例について、図面を参照して説明する。 図１はイン
ゴット切断装置の概略構成を示す説明図、図２は切断装
置とシリコンインゴットとの位置関係を示す側面説明
図、図３はブレードとシリコンインゴット、変位セン
サ、切削水ノズルとの位置関係を示す平面説明図であ
る。シリコンインゴット１は、送り装置２の端面２ａに
沿って垂直方向に摺動するワークヘッド３に、水平方向
に滑動するブロック４を介して固着され、前記送り装置
２の水平方向移動に伴って水平に移動する。内周刃のブ
レード５の上方、刃先５ａ近傍にはシリコンインゴット
１を両側から挟む位置に２個の変位センサ６，６が配設
され、これらの変位センサ６，６の出力配線６ａはそれ
ぞれモニタ７を介して制御装置８に接続されている。前
記制御装置８の出力配線８ａは切削水ノズル微動装置９
に接続され、切削水ノズル微動装置９によって上下方向
に微動する水管１０の先端に切削水ノズルが取着されて
いる。切削水ノズルはブレード５の内側に３個配設され
ているが、このうち切削水ノズル１１は図３において左
回転するブレード５に対し、シリコンインゴット１の手
前側に刃先５ａに近接して配設され、残りの２個の切削
水ノズルのうち、切削水ノズル１２はシリコンインゴッ
ト１の後ろ側に、また切削水ノズル１３は切削水ノズル
１１と反対側にそれぞれ刃先５ａに近接して配設されて
いる。これらの切削水ノズル１１，１２，１３は、いず
れもブレード５の上下両面に均等に切削水が噴射される
ように、水平方向に設けられている。
【０００９】図２においてブレート５が高速回転し、送
り装置２が矢印方向に移動すると、ブロック４に固着さ
れたシリコンインゴット１が水平方向に切断される。こ
のときの刃先５ａの上下方向変位を図１に示す変位セン
サ６が検出し、その出力信号はモニタ７を介して制御装
置８に入力される。制御装置８は前記入力信号に基づい
て刃先５ａの変位量を演算し、あらかじめ入力、記憶さ
れた変位量の規格値と比較する。そして前記演算値が規
格値を超えた場合は、切削水ノズル微動装置９に指令信
号が出力され、切削水ノズル微動装置９は前記指令信号
に基づいて水管１０と切削水ノズル１１とを上方または
下方に微動させる。これにより、ブレード５の上面また
は下面に噴射される水量が増加し、他側の面に噴射され
る水量が減少する。
り装置２が矢印方向に移動すると、ブロック４に固着さ
れたシリコンインゴット１が水平方向に切断される。こ
のときの刃先５ａの上下方向変位を図１に示す変位セン
サ６が検出し、その出力信号はモニタ７を介して制御装
置８に入力される。制御装置８は前記入力信号に基づい
て刃先５ａの変位量を演算し、あらかじめ入力、記憶さ
れた変位量の規格値と比較する。そして前記演算値が規
格値を超えた場合は、切削水ノズル微動装置９に指令信
号が出力され、切削水ノズル微動装置９は前記指令信号
に基づいて水管１０と切削水ノズル１１とを上方または
下方に微動させる。これにより、ブレード５の上面また
は下面に噴射される水量が増加し、他側の面に噴射され
る水量が減少する。
【００１０】シリコンインゴット１の切断中に、刃先５
ａが上方に変位したことを変位センサ６が検出し、変位
量が規格値を超えたと判定した場合、制御装置８は切削
水ノズル微動装置９に対して切削水ノズル１１の下方へ
の微動を指令する。そして、切削水ノズル１１の微動に
より、刃先５ａの下面に噴射される水量が増加するの
で、刃先５ａは下方に変位し、変位センサ６が検出した
上方への変位が打ち消される。また、刃先５ａが下方に
変位した場合は、制御装置８の指令により切削水ノズル
１１が上方に微動し、刃先５ａの下方への変位を上方に
修正する。このようにして、刃先の上下方向への変位を
生じたときはそのつど直ちに修正しながらシリコンイン
ゴットの切断が行われる。
ａが上方に変位したことを変位センサ６が検出し、変位
量が規格値を超えたと判定した場合、制御装置８は切削
水ノズル微動装置９に対して切削水ノズル１１の下方へ
の微動を指令する。そして、切削水ノズル１１の微動に
より、刃先５ａの下面に噴射される水量が増加するの
で、刃先５ａは下方に変位し、変位センサ６が検出した
上方への変位が打ち消される。また、刃先５ａが下方に
変位した場合は、制御装置８の指令により切削水ノズル
１１が上方に微動し、刃先５ａの下方への変位を上方に
修正する。このようにして、刃先の上下方向への変位を
生じたときはそのつど直ちに修正しながらシリコンイン
ゴットの切断が行われる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、内
周刃によるインゴットの切断時に変位センサで刃先の変
位を検出し、変位の方向に応じて切削水ノズルを上下方
向に微動させ、ブレードの両面に噴射する切削水の供給
量に変化を与えることにしたので、刃先の変位は直ちに
修正され、常に平坦な切断面を有するウェーハ素材を得
ることができる。この切断方法により、ウェーハ素材の
厚さ不良の発生を防止することができるとともに、そり
量を小さく抑えることができるので、ウェーハ素材の品
質が向上する。また従来は、刃先が摩耗したときに限ら
ず、ブレードの熱歪による変位発生時にもハンドドレッ
シングを行っていたが、本発明による切断方法を利用す
れば刃先のドレッシングは刃先の摩耗時にのみ行えばよ
いので、ドレッシング工数を大幅に低減させることがで
き、作業者の手指の負傷や疲労も著しく減少する。
周刃によるインゴットの切断時に変位センサで刃先の変
位を検出し、変位の方向に応じて切削水ノズルを上下方
向に微動させ、ブレードの両面に噴射する切削水の供給
量に変化を与えることにしたので、刃先の変位は直ちに
修正され、常に平坦な切断面を有するウェーハ素材を得
ることができる。この切断方法により、ウェーハ素材の
厚さ不良の発生を防止することができるとともに、そり
量を小さく抑えることができるので、ウェーハ素材の品
質が向上する。また従来は、刃先が摩耗したときに限ら
ず、ブレードの熱歪による変位発生時にもハンドドレッ
シングを行っていたが、本発明による切断方法を利用す
れば刃先のドレッシングは刃先の摩耗時にのみ行えばよ
いので、ドレッシング工数を大幅に低減させることがで
き、作業者の手指の負傷や疲労も著しく減少する。
【図１】インゴット切断装置の概略構成を示す説明図で
ある。
ある。
【図２】切断装置とシリコンインゴットとの位置関係を
示す側面説明図である。
示す側面説明図である。
【図３】内周刃とシリコンインゴット、変位センサ、切
削水ノズルとの位置関係を示す平面説明図である。
削水ノズルとの位置関係を示す平面説明図である。
１ シリコンインゴット ５ ブレード ５ａ 刃先 ６ 変位センサ ８ 制御装置 ９ 切削水ノズル微動装置 １１，１２，１３ 切削水ノズル
Claims (2)
- 【請求項１】 内周刃式切断機を用いるインゴットの切
断において、内周刃の上面および下面に噴射する切削水
ノズルの高さを内周刃の刃先の変位に対応して変化させ
ることにより、内周刃の進行方向を制御することを特徴
とするインゴット切断方法。 - 【請求項２】 インゴット切断の進行に伴って生じる内
周刃の刃先の上下方向変位を前記刃先の近傍に設けた変
位センサにより検出し、刃先の変位量に応じて変化する
前記変位センサの出力信号を制御装置に入力して、内周
刃の刃先に対する切削水ノズルの高さを切削水ノズル微
動装置が調整し、内周刃の上下面に噴射する水量に差を
与えることによって、前記刃先の進行方向を制御するこ
とを特徴とする請求項１のインゴット切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3353863A JP2542305B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | インゴット切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3353863A JP2542305B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | インゴット切断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05169435A true JPH05169435A (ja) | 1993-07-09 |
| JP2542305B2 JP2542305B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=18433737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3353863A Expired - Lifetime JP2542305B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | インゴット切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2542305B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1027949A1 (de) * | 1999-02-11 | 2000-08-16 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Innenlochsäge und Verfahren zum Justieren einer Düse und eines Sensors einer Innenlochsäge relativ zu einem Sägeblatt der Innenlochsäge |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713363A (en) * | 1980-06-28 | 1982-01-23 | Toshiba Corp | Electronic system electric energy meter |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP3353863A patent/JP2542305B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713363A (en) * | 1980-06-28 | 1982-01-23 | Toshiba Corp | Electronic system electric energy meter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1027949A1 (de) * | 1999-02-11 | 2000-08-16 | Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft | Innenlochsäge und Verfahren zum Justieren einer Düse und eines Sensors einer Innenlochsäge relativ zu einem Sägeblatt der Innenlochsäge |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2542305B2 (ja) | 1996-10-09 |
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