JPH05170321A - プリントされた基板を焼き付けるための装置 - Google Patents
プリントされた基板を焼き付けるための装置Info
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- JPH05170321A JPH05170321A JP4110983A JP11098392A JPH05170321A JP H05170321 A JPH05170321 A JP H05170321A JP 4110983 A JP4110983 A JP 4110983A JP 11098392 A JP11098392 A JP 11098392A JP H05170321 A JPH05170321 A JP H05170321A
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- JP
- Japan
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- mesh belt
- holding
- holding body
- securing
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-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/74—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0061—Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards
- H05K13/0069—Holders for printed circuit boards
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/01—Manufacture or treatment
- H10W70/05—Manufacture or treatment of insulating or insulated package substrates, or of interposers, or of redistribution layers
- H10W70/098—Applying pastes or inks, e.g. screen printing
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/227—Drying of printed circuits
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Belt Conveyors (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリントされた基板を焼入れするための装置
であって、基板を支持しかつ通過炉を通して基板を搬送
する網ベルトを有する形式のものを改良して、基板の搬
送する間に、基板の、網ベルトに面した表面が損傷を受
けないようにすること。 【構成】 基板（１）の縁範囲を支持する、網ベルト
（９）に挿入された保持体（５）が設けられているこ
と。
であって、基板を支持しかつ通過炉を通して基板を搬送
する網ベルトを有する形式のものを改良して、基板の搬
送する間に、基板の、網ベルトに面した表面が損傷を受
けないようにすること。 【構成】 基板（１）の縁範囲を支持する、網ベルト
（９）に挿入された保持体（５）が設けられているこ
と。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプリントされた基板を焼
き付けるための装置であって、基板を保持しかつ通過炉
を通して搬送する網ベルトを有する形式のものに関す
る。
き付けるための装置であって、基板を保持しかつ通過炉
を通して搬送する網ベルトを有する形式のものに関す
る。
【０００２】
【従来技術】基板、特に厚膜基板が焼入れられる装置は
公知である。この場合には有利にはペースト層として構
成されかつ基板の片面に形成された層が焼入れされる。
このような層は後に基板の上の個々の構成部分を製作す
るために役立つ。これらの層を焼付けるためには基板は
例えば鋼製の網ベルトとして構成された耐熱性の網ベル
トが入口と出口とを有する炉を通して導びかれる。網ベ
ルトの搬送速度は、基板の上のペースト層が通過炉の所
定の内部温度で十分に焼付けられるように選ばれてい
る。
公知である。この場合には有利にはペースト層として構
成されかつ基板の片面に形成された層が焼入れされる。
このような層は後に基板の上の個々の構成部分を製作す
るために役立つ。これらの層を焼付けるためには基板は
例えば鋼製の網ベルトとして構成された耐熱性の網ベル
トが入口と出口とを有する炉を通して導びかれる。網ベ
ルトの搬送速度は、基板の上のペースト層が通過炉の所
定の内部温度で十分に焼付けられるように選ばれてい
る。
【０００３】これらの装置の欠点は、基板が搬送される
間に基板の、網ベルトに面した表面が損傷を受けること
である。
間に基板の、網ベルトに面した表面が損傷を受けること
である。
【０００４】
【発明の課題】炉を通して搬送する間に基板の、網ベル
トに面した表面が損傷を受けることを回避することであ
る。
トに面した表面が損傷を受けることを回避することであ
る。
【０００５】
【発明の構成】本発明の課題は請求項１の特徴部分に記
載した構成によって解決された。基板が搬送される間に
基板が縁範囲だけで網ベルトの上に保持されることによ
って両面に層を施した基板に対しても、この装置を用い
て焼付け過程を行なうことが可能になる。
載した構成によって解決された。基板が搬送される間に
基板が縁範囲だけで網ベルトの上に保持されることによ
って両面に層を施した基板に対しても、この装置を用い
て焼付け過程を行なうことが可能になる。
【０００６】
【実施態様】本発明の装置の有利な実施態では、保持体
が楔形に構成され、網ベルトに向かって角度を成して下
降する面が基板のための支持面として役立つ保持範囲を
保持体が有している。保持体は、２つの向き合った保持
体の下降する面が互いに向き合うように網ベルトの上に
配置されている。この場合、保持体の機能にとっては、
基板が端面又は側面において保持体により支持されるか
どうかは問題にならない。
が楔形に構成され、網ベルトに向かって角度を成して下
降する面が基板のための支持面として役立つ保持範囲を
保持体が有している。保持体は、２つの向き合った保持
体の下降する面が互いに向き合うように網ベルトの上に
配置されている。この場合、保持体の機能にとっては、
基板が端面又は側面において保持体により支持されるか
どうかは問題にならない。
【０００７】本発明の有利な実施例においては、保持体
が網ベルトと係合される確保範囲を備えている。これに
よって保持体は網ベルトの上により確実に係留され、ひ
いては該保持体により保持された基板のより確実な係留
が保証される。
が網ベルトと係合される確保範囲を備えている。これに
よって保持体は網ベルトの上により確実に係留され、ひ
いては該保持体により保持された基板のより確実な係留
が保証される。
【０００８】さらに本発明の有利な実施例では、保持体
の確保範囲は網ベルトの網目を貫く確保ピンとして構成
されている。この場合、保持範囲の寸法は、保持範囲が
網ベルトを貫かないように定められている。このような
形式で保持体は容易に網ベルトの上に取付け可能である
ので、種々の寸法の基板を順次燃付け過程に晒すことが
できる。この場合には種々の大きさに適合させることは
迅速に実施可能である。
の確保範囲は網ベルトの網目を貫く確保ピンとして構成
されている。この場合、保持範囲の寸法は、保持範囲が
網ベルトを貫かないように定められている。このような
形式で保持体は容易に網ベルトの上に取付け可能である
ので、種々の寸法の基板を順次燃付け過程に晒すことが
できる。この場合には種々の大きさに適合させることは
迅速に実施可能である。
【０００９】本発明の有利な実施態様によれば、保持体
は確保ピンを貫く線材により確保することができる。こ
れによって一度差嵌められた保持体は搬送中に生じる振
動を受けた場合にも網ベルトから離脱することがなくな
るので基板の搬送損傷は大きな確実性をもって回避され
る。
は確保ピンを貫く線材により確保することができる。こ
れによって一度差嵌められた保持体は搬送中に生じる振
動を受けた場合にも網ベルトから離脱することがなくな
るので基板の搬送損傷は大きな確実性をもって回避され
る。
【００１０】さらに本発明の装置の１実施例によれば、
保持体の、基板に向いた表面が少なくとも１つのリブを
有している。このような形式で基板と保持体との間の接
触面は最小に減少させることができる。さらに保持体か
ら基板の表面に達する汚れも強く減少させられる。
保持体の、基板に向いた表面が少なくとも１つのリブを
有している。このような形式で基板と保持体との間の接
触面は最小に減少させることができる。さらに保持体か
ら基板の表面に達する汚れも強く減少させられる。
【００１１】本発明の有利な実施例では保持体は横方向
に並べてかつ相前後して配置された複数の列を成して網
ベルトの上に固定されている。このような形式で複数の
基板を相前後して網ベルトの上に支持して炉を通して導
くことができる。さらにこの場合には装置を基板の種々
の大きさに適合させることは簡単に実施することができ
る。
に並べてかつ相前後して配置された複数の列を成して網
ベルトの上に固定されている。このような形式で複数の
基板を相前後して網ベルトの上に支持して炉を通して導
くことができる。さらにこの場合には装置を基板の種々
の大きさに適合させることは簡単に実施することができ
る。
【００１２】本発明の装置の別の構成の可能性もしくは
実施例は請求項２以下に示されている。
実施例は請求項２以下に示されている。
【００１３】
【実施例】水平な二重線によっては両面にプリントされ
た厚膜基板１が示されている。この厚膜基板１の上面と
下面とにはペースト層３が図示されている。
た厚膜基板１が示されている。この厚膜基板１の上面と
下面とにはペースト層３が図示されている。
【００１４】基板１の端部範囲には２つの保持体５が配
置されており、該保持体５は基板１に面した側に、基板
１を支持する傾斜した支持面７を有している。基板１も
しくは保持体５の下には網ベルト９が存在している。該
網ベルト９は有利には鋼網ベルトとして構成されてい
る。網ベルトは波形の線材１１で示されている。
置されており、該保持体５は基板１に面した側に、基板
１を支持する傾斜した支持面７を有している。基板１も
しくは保持体５の下には網ベルト９が存在している。該
網ベルト９は有利には鋼網ベルトとして構成されてい
る。網ベルトは波形の線材１１で示されている。
【００１５】保持体５は基板１が支持される保持範囲１
３を有している。保持範囲１３の下側には確保装置とし
て働く確保ピン１５が設けられている。該確保ピン１５
は網ベルト９の網目を通すことができるような寸法を有
している。この場合、保持範囲１３は網目よりも大きく
構成されているので、保持体は網ベルト９を通り抜けな
いようになっている。他面においては確保範囲として役
立つ確保ピン１５が設けられていることに基づき、保持
体５は網ベルト９の上に係留される。
３を有している。保持範囲１３の下側には確保装置とし
て働く確保ピン１５が設けられている。該確保ピン１５
は網ベルト９の網目を通すことができるような寸法を有
している。この場合、保持範囲１３は網目よりも大きく
構成されているので、保持体は網ベルト９を通り抜けな
いようになっている。他面においては確保範囲として役
立つ確保ピン１５が設けられていることに基づき、保持
体５は網ベルト９の上に係留される。
【００１６】保持体５は、基板１の端部範囲が網ベルト
９に向かって傾斜する斜面７のほぼ中央に位置するよう
になる間隔をおいて配置される。このように構成するこ
とによって振動の発生した場合にも、基板が保持体５か
ら簡単には滑落しないことが保証される。他面において
は基板１は網ベルト９に対して間隔をおいた状態に保た
れ、基板の下面に配置されたペースト層が網ベルトとは
接触して損傷を受けないようになっている。
９に向かって傾斜する斜面７のほぼ中央に位置するよう
になる間隔をおいて配置される。このように構成するこ
とによって振動の発生した場合にも、基板が保持体５か
ら簡単には滑落しないことが保証される。他面において
は基板１は網ベルト９に対して間隔をおいた状態に保た
れ、基板の下面に配置されたペースト層が網ベルトとは
接触して損傷を受けないようになっている。
【００１７】さらに保持体５は付加的に錠止機構として
働く線材により確保されている。該線材は確保ピン１５
における適当な切欠きを通して案内されかつ網ベルト９
に統合されている。確保線材１７はここでは水平に延び
る、網ベルト９の波形に配置された線材１１を貫く２本
の線で示されている。確保線材１７の端部にはアイ１９
が設けられ、該アイ１９は網ベルトの端部範囲と係合さ
せられており、確保線材１７が動かないように保持され
ている。
働く線材により確保されている。該線材は確保ピン１５
における適当な切欠きを通して案内されかつ網ベルト９
に統合されている。確保線材１７はここでは水平に延び
る、網ベルト９の波形に配置された線材１１を貫く２本
の線で示されている。確保線材１７の端部にはアイ１９
が設けられ、該アイ１９は網ベルトの端部範囲と係合さ
せられており、確保線材１７が動かないように保持され
ている。
【００１８】網ベルトがエンドレスである場合には、確
保線材は網ベルトの側方端部範囲に係留される。
保線材は網ベルトの側方端部範囲に係留される。
【００１９】保持体１５の幅と基体１の側縁の長さとに
応じて保持体１５の数は基板の寸法に適合させなければ
ならない。有利には基板１の側縁部あたり２つの保持体
５が設けられ、基板の傾きが確実に回避されるようにな
っている。
応じて保持体１５の数は基板の寸法に適合させなければ
ならない。有利には基板１の側縁部あたり２つの保持体
５が設けられ、基板の傾きが確実に回避されるようにな
っている。
【００２０】装置の機能にとっては保持体５が基板１の
側縁又は縦縁に係合するかは問題にならない。
側縁又は縦縁に係合するかは問題にならない。
【００２１】網ベルト９の上には横に並べてかつ相前後
して複数の列を成して保持体５を配置することができ
る。この場合には保持体５の列の間隔は保持しようとす
る基板１の寸法に合わせられる。この場合にはきわめて
簡単な形式で保持体５を網ベルトの種々の網目に差込
み、種々の大きさの基板を簡単に保持することができ
る。この場合には装置の変更はきわめて簡単に可能であ
る。
して複数の列を成して保持体５を配置することができ
る。この場合には保持体５の列の間隔は保持しようとす
る基板１の寸法に合わせられる。この場合にはきわめて
簡単な形式で保持体５を網ベルトの種々の網目に差込
み、種々の大きさの基板を簡単に保持することができ
る。この場合には装置の変更はきわめて簡単に可能であ
る。
【００２２】基板１の損傷と汚れを最少に抑えるために
は、保持体の上面、すなわち楔形に構成された保持体５
の、網ベルト９に向かって傾斜する面７がリブを備え、
該リブが例えば３角形の横断面を備えている。これによ
って基板と保持体の上面との間には点状の接触が得られ
る。
は、保持体の上面、すなわち楔形に構成された保持体５
の、網ベルト９に向かって傾斜する面７がリブを備え、
該リブが例えば３角形の横断面を備えている。これによ
って基板と保持体の上面との間には点状の接触が得られ
る。
【００２３】特に耐熱性が高く、基板の汚れに関して心
配のないのは、有利には型プレス部品として製作可能で
あるセラミック保持体である。セラミック保持体として
特に有利であるのは酸化アルミニューム（Ａｌ2Ｏ3）で
ある。
配のないのは、有利には型プレス部品として製作可能で
あるセラミック保持体である。セラミック保持体として
特に有利であるのは酸化アルミニューム（Ａｌ2Ｏ3）で
ある。
【００２４】基板１が単に保持体５の上に載っているこ
とにより、装置に基板１を載せかつ装置から基板１をお
ろすことを簡単に完全自動化することができる。基板の
形に対する制約は実質的には与えられない。さらに基板
の裏面に与えられたペースト層の組織は自由に選択可能
である。
とにより、装置に基板１を載せかつ装置から基板１をお
ろすことを簡単に完全自動化することができる。基板の
形に対する制約は実質的には与えられない。さらに基板
の裏面に与えられたペースト層の組織は自由に選択可能
である。
【００２５】保持体が電気的に絶縁されて構成されるこ
とによって基板１は環境の影響に対して確実に保護され
る。
とによって基板１は環境の影響に対して確実に保護され
る。
【００２６】セラミックから構成された保持体はきわめ
て軽量であるので網ベルトに基体を密に取付けることが
でき、それにも拘らず処理負荷があまり大きくならな
い。
て軽量であるので網ベルトに基体を密に取付けることが
でき、それにも拘らず処理負荷があまり大きくならな
い。
【００２７】さらに既存の装置を簡単にかつ安いコスト
であとから変更することができる。
であとから変更することができる。
【図１】本発明の実施例を示すものであって、基体を支
持する２つの保持体を有する通過炉の網ベルトを示す側
面図。
持する２つの保持体を有する通過炉の網ベルトを示す側
面図。
【符号の説明】 １ 基板 ３ ペースト層 ５ 保持体 ７ 支持面 ９ 網ベルト １１ 線材 １３ 保持範囲 １５ 確保ピン １７ 確保線材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｚ 6921−4Ｅ (72)発明者 ハンス−マルティン イルスリンガー ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン 27 タールエッカーシュトラーセ ６
Claims (13)
- 【請求項１】 プリントされた基板を焼き付けるための
装置であって、基板を保持しかつ通過炉を通して搬送す
る網ベルトを有する形式のものにおいて、基板（１）の
縁範囲で基板（１）を支える、網ベルト（９）に取付け
られた保持体（５）を備えていることを特徴とする、プ
リントされた基板を焼付けるための装置。 - 【請求項２】 前記保持体（５）が楔形に構成され、該
保持体（５）の保持範囲（１３）が前記網ベルト（９）
に向かって傾斜する面（７）を、プリントされた基板
（１）の支持面として有している、請求項１記載の装
置。 - 【請求項３】 保持体（５）が網ベルト（９）と係合す
る確保範囲（１５）を備えている、請求項１又は２記載
の装置。 - 【請求項４】 確保範囲が網ベルト（９）の網目を貫く
確保ピン（１５）として構成されており、この場合、保
持範囲（１３）の寸法が網ベルト（９）を貫かないよう
に決められている、請求項３記載の装置。 - 【請求項５】 確保ピン（１５）として構成された確保
範囲が錠止装置（１７）を有している、請求項３又は４
記載の装置。 - 【請求項６】 錠止装置が確保ピン（１５）を貫く線材
（１７）として構成されている、請求項５記載の装置。 - 【請求項７】 前記線材（１７）が網ベルト（９）に統
合されており、複数の保持体（５）を確保するために役
立つ、請求項６記載の装置。 - 【請求項８】 前記線材（１７）が網ベルト（９）に係
留可能である、請求項６又は７記載の装置。 - 【請求項９】 保持体（５）の、基板（１）に面した表
面（７）が、保持体と基板との間の接触面を減少させる
少なくとも１つのリブを有している、請求項１から８ま
でのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１０】 基板（１）あたり少なくとも２つの保
持体（５）が設けられている、請求項１から９までのい
ずれか１項記載の装置。 - 【請求項１１】 保持体がセラミックから成っている、
請求項１から１０までのいずれか１項記載の装置。 - 【請求項１２】 保持体がプレス成形部分から製造可能
である、請求項１から１１までのいずれか１項記載の装
置。 - 【請求項１３】 横に並べて又は相前後して配置された
複数の保持体列が網ベルト（９）の上に係留可能であ
る、請求項１から１２までのいずれか１項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4114639.5 | 1991-05-04 | ||
| DE4114639A DE4114639A1 (de) | 1991-05-04 | 1991-05-04 | Vorrichtung zum einbrennen von bedruckten substraten |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05170321A true JPH05170321A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=6431013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4110983A Pending JPH05170321A (ja) | 1991-05-04 | 1992-04-30 | プリントされた基板を焼き付けるための装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5248028A (ja) |
| EP (1) | EP0513555B1 (ja) |
| JP (1) | JPH05170321A (ja) |
| DE (2) | DE4114639A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011184196A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-09-22 | Tomoo Matsushita | 薄板搬送装置 |
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| US5299681A (en) * | 1991-04-30 | 1994-04-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Conveyor equipment |
| CA2138470C (en) * | 1993-12-28 | 2005-08-09 | Dean J. Mannlein | Adjustable bucket |
| US5643366A (en) * | 1994-01-31 | 1997-07-01 | Applied Materials, Inc. | Wafer handling within a vacuum chamber using vacuum |
| US6651461B2 (en) * | 2001-05-31 | 2003-11-25 | 3M Innovative Properties Company | Conveyor belt |
| DE102009042912B4 (de) | 2009-09-24 | 2016-03-17 | Solarworld Industries Sachsen Gmbh | Transportvorrichtung |
| JP5477180B2 (ja) * | 2010-06-10 | 2014-04-23 | 信越化学工業株式会社 | 太陽電池素子の電極焼成用焼成炉、太陽電池素子の製造方法及び太陽電池素子 |
| CN103443326B (zh) * | 2011-03-25 | 2016-05-04 | Lg电子株式会社 | 等离子体增强式化学气相沉积设备及其控制方法 |
| CN103443327B (zh) * | 2011-03-25 | 2015-11-25 | Lg电子株式会社 | 等离子体增强式化学气相沉积设备及其控制方法 |
| JP2017077528A (ja) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスク関連基板に用いる基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
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| US2639025A (en) * | 1947-05-22 | 1953-05-19 | Frank R Schmitt | Noncreeping metallic belt |
| US3085676A (en) * | 1960-03-18 | 1963-04-16 | Hinchcliffe Emily | Conveyor belt cleats |
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1991
- 1991-05-04 DE DE4114639A patent/DE4114639A1/de active Granted
-
1992
- 1992-04-08 US US07/865,084 patent/US5248028A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-21 EP EP92106730A patent/EP0513555B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-21 DE DE59208739T patent/DE59208739D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-30 JP JP4110983A patent/JPH05170321A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011184196A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-09-22 | Tomoo Matsushita | 薄板搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4114639A1 (de) | 1992-12-03 |
| DE4114639C2 (ja) | 1993-03-11 |
| US5248028A (en) | 1993-09-28 |
| DE59208739D1 (de) | 1997-09-04 |
| EP0513555B1 (de) | 1997-07-30 |
| EP0513555A1 (de) | 1992-11-19 |
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Legal Events
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