JPH05174348A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH05174348A JPH05174348A JP3343014A JP34301491A JPH05174348A JP H05174348 A JPH05174348 A JP H05174348A JP 3343014 A JP3343014 A JP 3343014A JP 34301491 A JP34301491 A JP 34301491A JP H05174348 A JPH05174348 A JP H05174348A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- air floating
- magnetic head
- floating surface
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スライダー切断時のはねあがりによるスライ
ダー空気浮動面の平面性の悪化を防ぎ、工数を削減す
る。 【構成】 スライダー空気浮動面５の外側に浅い溝を設
け、溝の中を切断加工することにより、スライダー側面
にステップ10を形成する。そのため、切断加工時の加工
負荷および表面ストレスによる影響がステップ10に吸収
され、スライダー空気浮動面でのはねあがりが起こら
ず、磁気ヘッド単体にする加工工数を大幅に削減するこ
とができる。
ダー空気浮動面の平面性の悪化を防ぎ、工数を削減す
る。 【構成】 スライダー空気浮動面５の外側に浅い溝を設
け、溝の中を切断加工することにより、スライダー側面
にステップ10を形成する。そのため、切断加工時の加工
負荷および表面ストレスによる影響がステップ10に吸収
され、スライダー空気浮動面でのはねあがりが起こら
ず、磁気ヘッド単体にする加工工数を大幅に削減するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピューター用外部
記憶装置、主に、固定型磁気ディスク装置に用いられる
磁気ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
記憶装置、主に、固定型磁気ディスク装置に用いられる
磁気ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピューター外部記憶装置であ
る磁気ディスク装置における記録密度の向上はめざまし
く、高記録密度達成の手段として、磁気ヘッドには、一
層の低浮上化とともに、ゾーンビットレコーディングを
使用するために磁気ディスクの内外周での浮上量差を小
さくすることが求められている。そのため、負圧スライ
ダー型磁気ヘッドやＴＰＣスライダーと呼ばれる、フォ
トリソグラフィー技術を用いてスライダーパターンを形
成する磁気ヘッドが開発されている。図５は従来例とし
て磁気ギャップを２つの磁気コア半体により挾持してな
る負圧スライダー型ヘッドの斜視図である。図５に示す
ように従来の負圧スライダー型磁気ヘッドでは、フォト
グラフィー技術を用いて形成した空気浮動面５の外側の
スライダー側面８a，８bは、前記空気浮動面５より数十
μm外側の位置で研磨加工を施された面となっている。
また、図６は従来の製造工程を説明する図である。以
下、図６に従って従来の技術について説明する。図６
(a)に示すように、強磁性酸化物からなる磁気コア半体
１a，１bを非磁性材である磁気ギャップ２を介してモー
ルドガラス３により溶着し、前記磁気ギャップを有する
バーを形成する。その後ギャップデプスを所定の寸法に
規制するため、前記バーのフロント面４に研削および研
磨加工を施す。しかる後、図６(b)に示すように、フォ
トリソグラフィー技術を用いてイオンミリング等の方法
により、空気浮動面５，負圧発生部６，トラック部７等
を形成する。その後、スライダー単品へと切断加工を行
うが、通常切断加工時には、切断面の表面ストレスや加
工負荷により、切断面近傍でのはね上がり現象がみら
れ、前記空気浮動面５の平面性を悪化させる。従って、
図６(c)に示すように、切断時のはねあがりが空気浮動
面５に影響しない位置で切断加工を行い、その後、図６
(d)に示すようにスライダー側面８aおよび８bを研磨加
工することにより、所定の形状に収めている。以上説明
したように、フォトリソグラフィー技術を用いてスライ
ダーパターンを形成した磁気ヘッドの場合、空気浮動面
５の最終研磨工程は、イオンミリング等の方法により、
空気浮動面等を形成する前の工程であるため以後の工程
で空気浮動面の平面性を悪化させない必要がある。スラ
イダー低浮上時の信頼性を確保するためには、スライダ
ー空気浮動面の平面性を良くしなければならないが、上
述のように切断時には、切断面近傍でのはね上がり現象
により空気浮動面の平面性を悪化させている。そのた
め、切断位置をはねあがりが影響しない位置まで離し、
その後、切断面を研磨することにより、所定の形状に収
めている。
る磁気ディスク装置における記録密度の向上はめざまし
く、高記録密度達成の手段として、磁気ヘッドには、一
層の低浮上化とともに、ゾーンビットレコーディングを
使用するために磁気ディスクの内外周での浮上量差を小
さくすることが求められている。そのため、負圧スライ
ダー型磁気ヘッドやＴＰＣスライダーと呼ばれる、フォ
トリソグラフィー技術を用いてスライダーパターンを形
成する磁気ヘッドが開発されている。図５は従来例とし
て磁気ギャップを２つの磁気コア半体により挾持してな
る負圧スライダー型ヘッドの斜視図である。図５に示す
ように従来の負圧スライダー型磁気ヘッドでは、フォト
グラフィー技術を用いて形成した空気浮動面５の外側の
スライダー側面８a，８bは、前記空気浮動面５より数十
μm外側の位置で研磨加工を施された面となっている。
また、図６は従来の製造工程を説明する図である。以
下、図６に従って従来の技術について説明する。図６
(a)に示すように、強磁性酸化物からなる磁気コア半体
１a，１bを非磁性材である磁気ギャップ２を介してモー
ルドガラス３により溶着し、前記磁気ギャップを有する
バーを形成する。その後ギャップデプスを所定の寸法に
規制するため、前記バーのフロント面４に研削および研
磨加工を施す。しかる後、図６(b)に示すように、フォ
トリソグラフィー技術を用いてイオンミリング等の方法
により、空気浮動面５，負圧発生部６，トラック部７等
を形成する。その後、スライダー単品へと切断加工を行
うが、通常切断加工時には、切断面の表面ストレスや加
工負荷により、切断面近傍でのはね上がり現象がみら
れ、前記空気浮動面５の平面性を悪化させる。従って、
図６(c)に示すように、切断時のはねあがりが空気浮動
面５に影響しない位置で切断加工を行い、その後、図６
(d)に示すようにスライダー側面８aおよび８bを研磨加
工することにより、所定の形状に収めている。以上説明
したように、フォトリソグラフィー技術を用いてスライ
ダーパターンを形成した磁気ヘッドの場合、空気浮動面
５の最終研磨工程は、イオンミリング等の方法により、
空気浮動面等を形成する前の工程であるため以後の工程
で空気浮動面の平面性を悪化させない必要がある。スラ
イダー低浮上時の信頼性を確保するためには、スライダ
ー空気浮動面の平面性を良くしなければならないが、上
述のように切断時には、切断面近傍でのはね上がり現象
により空気浮動面の平面性を悪化させている。そのた
め、切断位置をはねあがりが影響しない位置まで離し、
その後、切断面を研磨することにより、所定の形状に収
めている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような製造方法では、磁気ヘッド単体の両側面を片側ず
つ研磨加工する際に、治具への磁気ヘッド単体の貼付け
等のため、工数が非常に増大し、コストが高くなるとい
う問題があった。本発明は上記従来の問題を解決するも
ので、切断時に空気浮動面の平面性をはねあがりにより
悪化させることなく、工数を低減させる磁気ヘッドおよ
びその製造方法を提供することを目的としている。
ような製造方法では、磁気ヘッド単体の両側面を片側ず
つ研磨加工する際に、治具への磁気ヘッド単体の貼付け
等のため、工数が非常に増大し、コストが高くなるとい
う問題があった。本発明は上記従来の問題を解決するも
ので、切断時に空気浮動面の平面性をはねあがりにより
悪化させることなく、工数を低減させる磁気ヘッドおよ
びその製造方法を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、スライダー側面に機械加工によるステップを
設ける形状とし、その製造方法として切断加工を行う
際、まず、空気浮動面の外側に30〜150μm程度の深さの
浅い溝を、レジンボンドもしくはレジンボンド系の砥石
を用いて加工し、その後、前記溝中を切断し、スライダ
ー側面にステップを形成するようにしたものである。
するため、スライダー側面に機械加工によるステップを
設ける形状とし、その製造方法として切断加工を行う
際、まず、空気浮動面の外側に30〜150μm程度の深さの
浅い溝を、レジンボンドもしくはレジンボンド系の砥石
を用いて加工し、その後、前記溝中を切断し、スライダ
ー側面にステップを形成するようにしたものである。
【０００５】
【作用】したがって本発明によれば、まず溝加工を施
し、その後溝内部を切断しているためスライダー側面に
は一つのステップが形成される。そのため、スライダー
切断時の加工負荷や表面ストレスの影響がステップによ
り吸収され切断によるはね上がりは無くなる。また、溝
加工によるはね上がりへの影響は溝の深さが浅いため加
工時の負荷は小さい。そのために、はねあがりのスライ
ダー空気浮動面への影響はない。従って、空気浮動面に
はねあがりの影響がない切断加工ができる。
し、その後溝内部を切断しているためスライダー側面に
は一つのステップが形成される。そのため、スライダー
切断時の加工負荷や表面ストレスの影響がステップによ
り吸収され切断によるはね上がりは無くなる。また、溝
加工によるはね上がりへの影響は溝の深さが浅いため加
工時の負荷は小さい。そのために、はねあがりのスライ
ダー空気浮動面への影響はない。従って、空気浮動面に
はねあがりの影響がない切断加工ができる。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の一実施例における負圧スライ
ダー型磁気ヘッドの斜視図である。ここでは、従来例と
同様に磁気ギャップを２つの磁気コア半体により挾持し
てなる負圧スライダー型の磁気ヘッドである。図１に示
すように、本発明による磁気ヘッドでは、フォトグラフ
ィー技術を用いて形成した空気浮動面５の外側は機械加
工により形成されたスライダー側面のステップ10を有し
た構造となっている。図２は本発明による負圧スライダ
ーの製造工程を示す図である。従来の製造方法と同様
に、図２(a)は磁気ギャップ２を有する磁性体ブロック
に、所定のギャップデプスとなるよう研削および研磨加
工を施したものであり、図２(b)はフロント研磨面４に
フォトグラフィー技術を用いて、イオンミリング等の方
法により、空気浮動面５，負圧発生部６，トラック部７
を形成したものある。その後、スライダー単体へと切断
する前に、図２(c)に示すように、空気浮動面５の外側
にレジンボンドもしくはメタルレジンボンド系の＃1500
〜＃3000程度の砥石を用いて、深さ30〜50μm程度の溝
９を設ける。しかるのち、図２(d)に示すように、前記
溝９の中を切断することにより、スライダー単体に加工
する。その際、スライダー側面はスライダー側面のステ
ップ10が形成され、切断時の加工負荷および切断面の表
面ストレスによる影響がスライダー側面のステップ10で
吸収される。したがって、前記空気浮動面にはね上がり
現象は生じない。
ダー型磁気ヘッドの斜視図である。ここでは、従来例と
同様に磁気ギャップを２つの磁気コア半体により挾持し
てなる負圧スライダー型の磁気ヘッドである。図１に示
すように、本発明による磁気ヘッドでは、フォトグラフ
ィー技術を用いて形成した空気浮動面５の外側は機械加
工により形成されたスライダー側面のステップ10を有し
た構造となっている。図２は本発明による負圧スライダ
ーの製造工程を示す図である。従来の製造方法と同様
に、図２(a)は磁気ギャップ２を有する磁性体ブロック
に、所定のギャップデプスとなるよう研削および研磨加
工を施したものであり、図２(b)はフロント研磨面４に
フォトグラフィー技術を用いて、イオンミリング等の方
法により、空気浮動面５，負圧発生部６，トラック部７
を形成したものある。その後、スライダー単体へと切断
する前に、図２(c)に示すように、空気浮動面５の外側
にレジンボンドもしくはメタルレジンボンド系の＃1500
〜＃3000程度の砥石を用いて、深さ30〜50μm程度の溝
９を設ける。しかるのち、図２(d)に示すように、前記
溝９の中を切断することにより、スライダー単体に加工
する。その際、スライダー側面はスライダー側面のステ
ップ10が形成され、切断時の加工負荷および切断面の表
面ストレスによる影響がスライダー側面のステップ10で
吸収される。したがって、前記空気浮動面にはね上がり
現象は生じない。
【０００７】次に、本実施例における具体例を説明す
る。図３にメタルレジンボンド＃2000の砥石を用いて深
さ100μmの溝加工を行ったときの溝端部でのはね上がり
の様子の一例を示す。その時の溝加工によるはね上がり
が影響をおよぼす範囲は、５〜15μm程度である。した
がって、溝加工をスライダー空気浮動面より25〜30μm
程度の位置で行えば、溝加工の影響による空気浮動面の
はね上がりは起こらない。本実施例では、空気浮動面よ
り30μm外側に深さ100μmの溝を設け、空気浮動面より5
0μm外側の位置で切断を行った。図４(a)のその時のス
ライダー空気浮動面のはね上がりの様子を示す。また、
図４(b)に溝加工を行わないで通常の切断法により、空
気浮動面より50μm外側の位置で切断を行った場合のは
ね上がりの様子を比較として示す。両者の比較により、
通常切断方法では、空気浮動面において90μm程度の範
囲で平面性の悪化がみられる。しかし、本実施例による
切断法では切断時のはね上がりによる空気浮動面の平面
性の悪化はなく、スライダー空気浮動面のはねあがりを
抑える切断法として効果があることが分かる。したがっ
て、切断位置を空気浮動面にはねあがりの影響が生じな
い位置まで離し、その後両切断面を研磨加工するという
必要がなくなる。溝加工による工数は両切断面の研磨加
工の工数を比較して１／10程度となり、大幅な工数の削
減ができる。なお、本実施例では、二つの磁気コア半体
をガラス溶着することにより磁気ギャップを形成する接
合型の負圧スライダー型磁気ヘッドについて説明した
が、フォトリソグラフィー技術を用いてスライダーパタ
ーンを形成した磁気ヘッドであれば、コンポジット型磁
気ヘッド、薄膜積層型磁気ヘッドおよび薄膜ヘッドにつ
いても同様の効果を得ることができる。
る。図３にメタルレジンボンド＃2000の砥石を用いて深
さ100μmの溝加工を行ったときの溝端部でのはね上がり
の様子の一例を示す。その時の溝加工によるはね上がり
が影響をおよぼす範囲は、５〜15μm程度である。した
がって、溝加工をスライダー空気浮動面より25〜30μm
程度の位置で行えば、溝加工の影響による空気浮動面の
はね上がりは起こらない。本実施例では、空気浮動面よ
り30μm外側に深さ100μmの溝を設け、空気浮動面より5
0μm外側の位置で切断を行った。図４(a)のその時のス
ライダー空気浮動面のはね上がりの様子を示す。また、
図４(b)に溝加工を行わないで通常の切断法により、空
気浮動面より50μm外側の位置で切断を行った場合のは
ね上がりの様子を比較として示す。両者の比較により、
通常切断方法では、空気浮動面において90μm程度の範
囲で平面性の悪化がみられる。しかし、本実施例による
切断法では切断時のはね上がりによる空気浮動面の平面
性の悪化はなく、スライダー空気浮動面のはねあがりを
抑える切断法として効果があることが分かる。したがっ
て、切断位置を空気浮動面にはねあがりの影響が生じな
い位置まで離し、その後両切断面を研磨加工するという
必要がなくなる。溝加工による工数は両切断面の研磨加
工の工数を比較して１／10程度となり、大幅な工数の削
減ができる。なお、本実施例では、二つの磁気コア半体
をガラス溶着することにより磁気ギャップを形成する接
合型の負圧スライダー型磁気ヘッドについて説明した
が、フォトリソグラフィー技術を用いてスライダーパタ
ーンを形成した磁気ヘッドであれば、コンポジット型磁
気ヘッド、薄膜積層型磁気ヘッドおよび薄膜ヘッドにつ
いても同様の効果を得ることができる。
【０００８】
【発明の効果】本発明は上記実施例から明らかなよう
に、切断加工時のスライダー空気浮動面はねあがりを無
くし、それによるスライダー空気浮動面の平面度の悪化
を防げる。したがって、切断位置を空気浮動面から故意
に離す必要がなく、その後のスライダー側面の研磨工程
を廃止し工数を大幅に削減することができるという効果
を有する。
に、切断加工時のスライダー空気浮動面はねあがりを無
くし、それによるスライダー空気浮動面の平面度の悪化
を防げる。したがって、切断位置を空気浮動面から故意
に離す必要がなく、その後のスライダー側面の研磨工程
を廃止し工数を大幅に削減することができるという効果
を有する。
【図１】本発明の一実施例における負圧スライダー型磁
気ヘッドの斜視図である。
気ヘッドの斜視図である。
【図２】本発明の一実施例の負圧スライダー型磁気ヘッ
ドの製造工程を説明する図である。
ドの製造工程を説明する図である。
【図３】溝加工によるはねあがりの測定結果を示した図
である。
である。
【図４】本発明および通常の切断加工によるはねあがり
測定結果を示した図である。
測定結果を示した図である。
【図５】従来の負圧スライダー型磁気ヘッドの斜視図で
ある。
ある。
【図６】従来の加工工程図を説明する図である。
１a，１b…磁気コア半体、 ２…磁気ギャップ、 ３…
モールドガラス、 ４…フロント研磨面、 ５…空気浮
動面、 ６…負圧発生部、 ７…トラック部、８a，８b
…スライダー側面、 ９…溝、 10…スライダー側面の
ステップ。
モールドガラス、 ４…フロント研磨面、 ５…空気浮
動面、 ６…負圧発生部、 ７…トラック部、８a，８b
…スライダー側面、 ９…溝、 10…スライダー側面の
ステップ。
Claims (2)
- 【請求項１】 スライダー空気浮動面の形状をフォトリ
ソグラフィー技術を用いて形成した磁気ヘッドであっ
て、空気浮動面外側のスライダー側面に機械加工により
形成したステップを有することを特徴とする磁気ヘッ
ド。 - 【請求項２】 磁気ヘッドを切断加工する際に予め浅い
溝を設けた後その溝の中を切断することを特徴とする磁
気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3343014A JPH05174348A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3343014A JPH05174348A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174348A true JPH05174348A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18358274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3343014A Pending JPH05174348A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05174348A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7467460B2 (en) * | 2006-01-27 | 2008-12-23 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method of manufacturing slider |
-
1991
- 1991-12-25 JP JP3343014A patent/JPH05174348A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7467460B2 (en) * | 2006-01-27 | 2008-12-23 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method of manufacturing slider |
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