JPH04301205A - 磁気ヘッド用コアチップ及びそれを用いた磁気ヘッド用コアスライダの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、磁気ヘッド用コアチップ及びそ
れを用いた磁気ヘッド用コアスライダの製造法に係り、
特に磁気ギャップのギャップデプス長を正確に得ること
の出来るギャップデプス研磨技術に関するものである。

【０００２】

【背景技術】従来から、固定磁気ディスク装置（ＲＤＤ
）やフロッピーディスクドライブ装置（ＦＤＤ）におい
ては、環状の磁路を横切るように所定間隙の磁気ギャッ
プを設けて成る構造の磁気ヘッド用コアチップを、所定
のスライダ部材に接合・固定して、支持せしめたコアス
ライダが用いられているが、そのようなコアスライダに
おいて、磁気ギャップのギャップ長と共に、磁気ヘッド
の特性を左右する重要な因子であるギャップデプス長、
即ち磁気ディスク等の磁気記録媒体との摺接面から、コ
イル巻線用溝（空間）に至る磁気ギャップの長さ（深さ
）は、コアチップを所定のスライダ部材に接合・固定せ
しめた後、それらコアチップ及びスライダ部材のディス
ク摺動側部位を研磨せしめて、最終的なデプス長に加工
することによって、実現されており、このために研磨作
業や加工精度等において、種々なる問題を内在するもの
であった。

【０００３】例えば、ＦＤＤ装置における磁気ヘッド用
コアスライダの製造においては、コアチップを所定のス
ライダ部材に組み込むに先立って、スライダ部材の高さ
やコアチップのギャップデプス長等を予め測定しておき
、そしてその測定データに基づき、研磨量から、加工中
のコアチップ組み込みスライダ部材のギャップデプス長
を推定し、目的とする最終デプス長に加工せしめる手法
が採用されているが、このような手法においては、スラ
イダ部材に対するコアチップの組み込み前の寸法測定や
、研磨加工中での計算（ギャップデプス長の推定）が面
倒であって、手間のかかるものであった。

【０００４】また、ＲＤＤ装置のコアスライダにあって
も、ディスク摺動側の面に、砥石等を用いた溝加工によ
って形成された、互いに平行な空気ベアリング部を有す
るスライダ部材が用いられ、このスライダ部材に設けら
れたコアチップ挿入溝に対して、所定のコアチップを挿
入・配置した後、かかるコアチップ挿入溝の隙間内にト
ラックガラスを埋め込んで、コアチップを固定せしめ、
その後、かかるコアチップのディスク摺動側部位及びス
ライダ部材の空気ベアリング部を共に研磨して、かかる
コアチップのギャップデプス長が所望の値となるように
加工する手法が採用されているのであるが、その際、コ
アチップのギャップデプス長は、トラックガラスを透か
して、斜め上方から測定され、その測定値に基づいて、
最終デプス加工が進行せしめられるようになっている。 しかしながら、このようなデプス研磨加工においては、
コアチップの磁気ギャップを斜め上方から観察すること
の出来る、特にガラスの屈折率を考慮した光学測定器が
必要であり、このため、そのようなギャップ研磨加工を
高価なものと為すと共に、研磨作業を複雑化し、またデ
プス長を精度良く制御することも困難なものであった。

【０００５】

【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景にして為されたものであって、その課題とするところ
は、所定のスライダ部材に組み付けた磁気ヘッド用コア
チップのギャップデプス加工に際して、残りの加工量を
容易に把握し得るようにして、ギャップデプス加工を正
確に且つ容易に行ない得るようにすることにある。

【０００６】

【解決手段】そして、本発明は、かかる課題を解決する
ために、第一及び第二のコア部材を、それらの間にコイ
ル巻線用空間が形成されるようにした突き合わせて、接
合してなる構造を含み、それらコア部材のディスク摺動
側の突き合わせ部位が、所定間隙の磁気ギャップを与え
る磁気ギャップ形成部位と、該磁気ギャップ形成部位よ
りも外側に位置して、研磨・除去により前記磁気ギャッ
プのギャップデプスが規定される除去部位とされている
と共に、該磁気ギャップの幅がそれら第一及び第二のコ
ア部材に跨がって設けられたトラック幅規定溝によって
形成されるトラックにて規制されている磁気ヘッド用コ
アチップにおいて、前記除去部位に位置して、該除去部
位の外側端部側より前記磁気ギャップ形成部位に至るよ
うに、該外側端部側より該磁気ギャップ形成部位までの
距離を把握し得るパターンの凸部若しくは凹部からなる
距離表示部を、前記二つのコア部材の何れか一方の側の
対向面に設けたことを特徴とする磁気ヘッド用コアチッ
プを、その要旨とするものである。

【０００７】なお、かかる本発明に従う磁気ヘッド用コ
アチップにおいては、その磁気ギャップ形成部位よりも
外側に位置する除去部位に設けられる距離表示部は、有
利には、磁気ギャップ形成部位に向って漸次幅の狭くな
る先細形状部を有しており、この先細形状部の形状に従
って、該磁気ギャップ形成部位までの距離を容易に把握
することが出来るのである。

【０００８】また、かくの如き本発明に従う構造の磁気
ヘッド用コアチップを用いて、磁気ヘッド用コアスライ
ダを製造するに際しては、先ず、そのような磁気ヘッド
用コアチップを、それを支持するためのスライダ部材に
接合・固定せしめた後、該コアチップの前記距離表示部
によって把握される、前記磁気ギャップ形成部位までの
距離に基づいて、該コアチップの前記除去部位並びに前
記スライダ部材のディスク摺動側部位を研磨せしめ、該
コアチップの除去部位を除去して、前記磁気ギャップの
ギャップデプスを規定すると共に、該スライダ部材にデ
ィスク摺接面が形成されるようにすることによって、目
的とする磁気ヘッド用コアスライダが製造されることと
なる。

【０００９】さらに、本発明は、上述の如き構造の磁気
ヘッド用コアチップを用い、そのようなコアチップを、
それを支持するためのスライダ部材に接合・固定せしめ
た後、該コアチップの前記距離表示部によって把握され
る前記磁気ギャップ形成部位までの距離に基づいて、該
コアチップの前記除去部位並びに前記スライダ部材のデ
ィスク摺動側部位を研磨せしめ、該コアチップの除去部
位を除去して前記磁気ギャップのギャップデプスを規定
すると共に、該スライダ部材にディスク摺接面を形成し
た後、更に、前記磁気ギャップを跨いで、その近傍に、
前記トラックよりも長さが短く且つ幅の狭い、目的とす
る最終トラック幅に一致する第二のトラックを与える第
二のトラック幅規定溝を、エッチング操作にて形成する
ことを特徴とする磁気ヘッド用コアスライダの製造法を
も、その要旨とするものである。特に、このような製造
法を採用することによって、高記録密度のための狭トラ
ック化が有利に達成され得るのである。

【００１０】そして、ＲＤＤ装置におけるコンポジット
タイプの磁気ヘッド用コアスライダを製造するに際して
は、前記スライダ部材は、一般に、ディスク摺動側の面
に互いに平行な所定高さの空気ベアリング部を左右に有
していると共に、該空気ベアリング部が延びる方向にお
ける一方の側部に、コアチップ挿入溝を有しており、該
コアチップ挿入溝に対して、前記コアチップを挿入配置
せしめて、ガラスにて固定することにより、該コアチッ
プのディスク摺動側部位が、前記空気ベアリング部に位
置せしめられるように構成されている。

【００１１】

【具体的構成・実施例】以下、図面に示す本発明の実施
例に基づいて、本発明の構成について、更に具体的に明
らかにすることとする。

【００１２】先ず、図１は、ＦＤＤ用コアチップの製造
工程を示しており、また図２は、そのような製造工程に
従って得られるＦＤＤ用コアチップの全体を概略的に示
している。そこにおいて、２及び４は、それぞれ、フェ
ライト材料の如き、公知のコア材料から成るＣ型コアブ
ロック及びＩ型コアブロックであり、それらコアブロッ
クの相互に突き合わされる突き合わせ面において、Ｃ型
コアブロック２には、コイル巻線用空間の上部を規定す
るコイル巻線用溝６が設けられており、そしてそれらコ
アブロック２，４が接合一体化せしめられることによっ
て、環状の閉磁路が形成されるようになっている。

【００１３】また、このようにＩ型コアブロック４に対
して当接されるＣ型コアブロック２のディスク摺動側の
突き合わせ部位、換言すれば図１においてコイル巻線用
溝６よりも上側の部位が、Ｉ型コアブロック４との間に
おいて、所定間隙の磁気ギャップを所定長さ：ｄにおい
て与える磁気ギャップ形成部位８と、この磁気ギャップ
形成部位８よりも外側に位置して、研磨・除去により磁
気ギャップのギャップデプス（ｄ）が規定される除去部
位１０とから構成されている。かかる除去部位１０は、
図から明らかなように、磁気ギャップ形成部位８よりも
高さの低い凹所とされており、その凹所内に、所定高さ
で、距離表示マーク１２が所定間隔を隔てて設けられて
いるのである。そして、この距離表示マーク１２は、除
去部位１０の外側端部側より、磁気ギャップ形成部位８
に至るように設けられており、その磁気ギャップ形成部
位８に接する、所定長さの先端部分が、磁気ギャップ形
成部位８に向って漸次幅の狭くなる、先端角度：αを有
する三角形状パターンの先細形状部として形成されてい
る。なお、このような距離表示マーク１２を設けた除去
部位１０は、公知のエッチング手法（例えば、フェライ
ト材料をコア材料として用いた場合においては、燐酸水
溶液を用いた化学エッチング手法）等によって、容易に
形成することが出来る。

【００１４】そして、このような突き合わせ面構造を有
するＣ型コアブロック２に対して、Ｉ型コアブロック４
が突き合わされて、公知の手法に従って、例えばガラス
の如き固着剤を用いて、それらコアブロック２，４が接
合せしめられることにより、よく知られているように、
Ｃ型コアブロック２の磁気ギャップ形成部位８とＩ型コ
アブロック４との間に、所定間隙の磁気ギャップ１４が
形成されて成るギャップバー１６が作製されるのである
。

【００１５】その後、かかるギャップバー１６には、必
要に応じて、保護ガラス１８の充填による、磁気ギャッ
プ１４部位の保護の後に、或いはそのような保護ガラス
１８の充填を行なうことなく、トラック加工が施され、
それによって、Ｃ型コアブロック２とＩ型コアブロック
４に跨がって延びる、所定幅のトラック２０が形成され
、そこに、トラックガラス２２が埋め込まれることとな
る。より具体的には、公知の如く、Ｉ型コアブロック４
側からＣ型コアブロック２側に、トラック幅規定溝とし
ての傾斜溝２４が、それらの間に、除去部位１０に設け
られた距離表示マーク１２が位置するようにして、所定
間隔を隔てて設けられており、それによって所定幅のト
ラック２０が形成されているのである。なお、かかる傾
斜溝２４は、コイル巻線用溝に達するように設けられて
おり、それによって磁気ギャップ１４の幅が規定される
こととなる。

【００１６】そして、このようなトラック加工の施され
たギャップバー１６が、図示の如き破線位置において切
り出されることにより、図２に示される如きコアチップ
２６が得られるのである。このコアチップ２６は、図か
ら明らかなように、傾斜溝２４によって規制されたトラ
ック２０部位に位置するように、距離表示マーク１２を
有しており、この距離表示マーク１２の外側端部がトラ
ック２０の上面に露呈して、外部からその存在が認識さ
れ得るような構造となっている。

【００１７】従って、このようにして得られたコアチッ
プ２６のディスク摺動側の部位（除去部位１０）を研磨
すると、当該部位の除去に伴って、距離表示マーク１２
も漸次研磨・除去され、その三角形状の先細形状部が研
磨面に露呈されるようになるのである。そして、そのよ
うな研磨面に露呈した距離表示マーク１２の三角形状部
分の幅を測定することにより、その三角形状の先端角度
：αから、磁気ギャップ形成部位８までの距離を求め、
それに基づいて残存研磨量を決定するようにすれば、磁
気ギャップ形成部位８の所定位置において、正確に研磨
加工を終了せしめることが出来、磁気ギャップ形成部位
８内に深く食い込むような研磨加工を避けることが出来
るのであり、以てギャップデプス長：ｄの正確な磁気ギ
ャップ形成部位８、換言すれば、磁気ギャップ１４を形
成することが出来るのである。しかも、距離表示マーク
１２の外部露呈部分から、残存研磨量が求められた後は
、その残存研磨量に基づいて研磨加工すれば足り、磁気
ギャップ形成部位８に至るまで常に研磨量を監視する必
要がないところから、その研磨加工を極めて容易と為し
得るのである。

【００１８】そして、このようなコアチップ２６は、記
録再生用コアとして用いられ、一般に消去用コアと組み
合わされて、図３に示される如きダブルコア２８の形態
において、所定のスライダ部材に組み付けられて、ＦＤ
Ｄ用コアスライダとされるのである。なお、図３におい
て、３０は、前記コアチップ２６から得られる記録再生
用コアであり、３２は、消去用コアである。これらのコ
ア３０，３２は、それぞれ別個に作製された後、ガラス
等にて一体的に接合せしめて、ダブルコア２８とされ得
る他、それらコア３０，３２を同時に与える一体的なギ
ャップバーからの切り出しによって、ダブルコア２８を
得ることも可能である。そして、そのようなダブルコア
２８において、少なくとも、記録再生用コア３０には、
本発明に従って、そのディスク摺動側の部位に、所定の
距離表示部を有する除去部位が形成せしめられている必
要がある。なお、図３に示されるダブルコア２８におい
ては、コイル装着のための足溝加工が、公知の如く、そ
れぞれのコア３０，３２に対して施されているが、その
ような足溝加工は、一体的なダブルコアに形成した後、
或いはそれぞれのコアチップに対して、またはギャップ
バーの形態において施され得るものである。

【００１９】また、このようなダブルコア２８は、図４
に示されるように、それを支持するための所定のスライ
ダ部材３４，３６と組み合わされ、ガラス等の適当な接
合剤を用いて接合一体化されて、図５に示される如き、
組合せ体３８が形成される。このような組合せ体３８に
おいては、それを構成するダブルコア２８とスライダ部
材３４，３６のディスク摺接面を一致させる必要がある
ところから、それらのディスク摺動側の部位（図５にお
いて上端面部位）を研磨せしめる必要があるのであり、
そしてそのような研磨加工によって、ダブルコア２８の
最終的なギャップデプス：ｄが、同時に規定されること
となるのである。而して、本発明に従って、そのような
研磨加工にて除去される除去部位（１０）に距離表示マ
ーク（１２）が設けられて成るコアチップ（２６）を有
するダブルコア２８を用いることにより、先述の如く、
ディスク摺動側の面（研磨面）に露呈する距離表示マー
ク（１２）の露出幅に基づいて決定された、残りの研磨
加工量に従って、研磨加工を行なうことによって、その
研磨加工が極めて容易となると共に、磁気ギャップ形成
部位（８）の最終ギャップデプス：ｄを正確に規定する
ことが出来、以て、図６に示される如きＦＤＤ用コアス
ライダ４０を得ることが出来るのである。

【００２０】なお、上述した具体例においては、磁気ギ
ャップ形成部位８までの距離を把握し得るパターンの距
離表示マーク１２が、Ｃ型コアブロック２の除去部位１
０において、その先細形状の先端部分で、磁気ギャップ
形成部位８に接するような形態において設けられている
が、その先細形状部を、図７に示される如く、所定幅：
ａにおいて、磁気ギャップ形成部位８に接続せしめた形
態において設けることも可能である。また、かかる距離
表示マーク１２を、先の具体例の如く、その先細形状の
先端部において幅の生じないように（ａ＝０）、磁気ギ
ャップ形成部位８に接続せしめた形態を採用する場合に
おいて、かかる三角形状の先細形状部の先端角度：αが
略５３．２°となるような角度の二等辺三角形を与える
エッチングパターン形態において、或いはかかる先細形
状部を直角三角形の斜辺とそれと隣り合う一辺とで構成
し、且つその先端角度：αが４５°となるような先細形
状を与えるエッチングパターン形態において、化学エッ
チング処理にて、そのような距離表示マーク１２を形成
するようにすれば、かかる漸次幅の狭くなる先細形状部
の幅と残りの研磨量（距離）を一致せしめることが出来
る。

【００２１】また、そのような距離表示マーク１２は、
凸部形態において、除去部位１０に設けられているが、
また凹部形態においても、設けられ得るものであり、そ
してまた、例示の如きＣ型コアブロック２側に設けるの
に代えて、或いはそれと共に、Ｉ型コアブロック４側の
対向面に、そのような距離表示マーク１２を設けること
も出来る。勿論、Ｉ型コアブロック４に、距離表示マー
ク１２を設けるに際しては、かかるコアブロック４のデ
ィスク摺動側の研磨除去部位に対して、所定パターンの
距離表示マーク１２が設けられることとなる。何れにし
ても、デプス長の規制を行なう側のコアブロックの対向
面に対して、本発明に従うところの距離表示マークが所
定パターンにおいて設けられることとなるのである。

【００２２】さらに、磁気ギャップ形成部位８の長さ：
ｄによって決定される磁気ギャップのギャップデプスの
デプス公差が、例えば、±２μｍと厳しい場合にあって
は、以下のような加工手法が、有利に採用されることと
なる。即ち、図８に示される如く、Ｃ型コアブロック２
の突き合わせ面に、フォトリソグラフィー手法と化学エ
ッチング手法の組み合わせによって、２〜５μｍ程度の
凹部を形成すると共に、所定デプス長：ｄの磁気ギャッ
プ形成部位８並びに距離表示マーク１２を、かかる凹部
において突出した形態において、同時に形成せしめ、そ
の後、かかる磁気ギャップ形成部位８にかからないよう
にして、その下方に、砥石等の機械加工にて大きな溝を
入れてコイル巻線用溝６を形成するのである。このよう
にすることにより、磁気ギャップ形成部位８を規定する
上下のラインがフォトリソグラフィーとエッチングにて
形成されるため、極めて精度の高いデプス長：ｄを得る
ことが出来るのである。なお、上記のエッチング操作と
機械加工による溝加工の順序を、上記とは逆にすること
も可能である。

【００２３】以上、ＦＤＤ用のコアスライダに対して本
発明を適用した例について、詳しく述べてきたが、本発
明は、また、図９以降に示される如き構造のコンポジッ
ト型のＲＤＤ用コアスライダの製造に際しても、同様に
有利に採用され得るものである。

【００２４】そこにおいては、図９に示されるように、
先ず、コアチップ４２が上例と同様にして作製される。 即ち、ギャップバー４４が、例えば、フェライト等の公
知のコア材料から成るコア・バー４６，４８の二つを用
い、それらコア・バーの少なくとも一方にコイル巻線用
溝５０を設けて、それらを突き合わせ、公知の方法に従
って接合せしめることにより、環状の閉磁路を構成した
状態において形成されている。そして、それらコア・バ
ー４６，４８の一方の突き合わせ部には、所定間隙の磁
気ギャップが、かかる閉磁路を横切ってコイル巻線用溝
５０に臨むように、従来と同様にして形成されており、
そして該磁気ギャップの間隙内にも侵入した状態におい
て、アペックス部（磁気ギャップに繋がるコイル巻線用
溝５０の上部分）を補強するための補強ガラス５２が付
与されている。

【００２５】なお、図９からは、かかるギャップバー４
４を構成する各コア・バー４６，４８の詳細な構造が明
らかでないが、そのようなギャップバー４４は、図１０
に示される如き、コア・バー４６とコア・バー４８との
接合によって形成されていることは、前例と同様である
。即ち、一方のコア・バー４６には、コイル巻線用溝５
０が設けられ、そしてそのディスク摺動側の突き合わせ
部位に所定デプス長：ｄの磁気ギャップ形成部位５４が
形成され、更に、その外側の除去部位５６に、前例と同
様な距離表示マーク５８が、所定間隔を隔てて設けられ
ているのである。そして、このような構造のコア・バー
４６に対して、板状のコア・バー４８が突き合わされて
、接合されることによって、図１１に示される如き、デ
ィスク摺動側面（研磨面）を有するギャップバー４４と
されているのである。

【００２６】次いで、かかるギャップバー４４にはチャ
ンハー加工が施され、そして図１１に示される破線位置
において、トラック加工が施されて、トラック幅規定溝
６０がコイル巻線用溝５０に達するに充分な深さにおい
て、所定間隔で形成されることにより、それらトラック
幅規定溝６０にて挟まれるように、トラック６２が形成
されると共に、そのようなトラック６２部分に距離表示
マーク５８が配置される。そして、この形成されたトラ
ック幅規定溝６０内に、従来と同様にして、トラック６
２保護用のガラス６４が溶融充填せしめられる。

【００２７】また、このようにしてトラックガラスモー
ルドが行なわれたギャップバー４４を、そのトラック幅
規定溝６０部分において、図９において破線で示される
ように、トラック６２の延びる方向にチップスライスす
ることにより、所定厚さのコアチップ４２が形成される
。このようにして得られたコアチップ４２は、図１２に
て示される如き、ディスク摺動側の面を有しており、そ
こに露出せしめられる距離表示マーク５８の幅に従って
、後のスライダ部材との同時研磨に際しての研磨量が決
定されるのである。

【００２８】一方、スライダ部材６６は、例えば、図１
３に示されるように、そのディスク摺動側の面に、互い
に平行な所定高さの空気ベアリング部６８，６８を所定
幅において左右に有しており、従来と同様に、ＣａＴｉ
Ｏ３　等の非磁性材料を用いて形成されている。なお、
このスライダ部材６６の一方の空気ベアリング部６８の
一方の端部側には、コアチップ４２の厚さよりも僅かに
（１０〜１５μｍ程度）大きい幅のコアチップ挿入溝７
０が切り込まれて形成されており、またそのようなコア
チップ挿入溝７０を横切って、コイル巻線用溝となる傾
斜溝７２が、スライダ部材６６の一方の角部から切り込
まれている。

【００２９】そして、このような形状のスライダ部材６
６に対して、そのコアチップ挿入溝７０内に、前記した
如き構造のコアチップ４２が、挿入・配置せしめられ、
スライダ部材６６の底面とコアチップ４２のそれとを、
高さを合わせるようにセットせしめた後、加熱し、トラ
ックガラス６４を軟化溶融せしめて、コアチップ４２を
スライダ部材６６に固定せしめるのである。なお、必要
に応じて、コアチップ４２のバック部と、スライダ部材
６６のコアチップ挿入溝７０との隙間に、エポキシ樹脂
等の適当な接着剤を流し込み、更に強固な固定が図られ
る。

【００３０】次いで、このようにして得られたコアチッ
プ４２とスライダ部材６６との組み付け体に対しては、
従来と同様なトレーリングチャンハー加工，リーディン
グテーパー加工等が施され、更にデプス研磨が施される
こととなる。このデプス研磨は、ディスクに摺接する空
気ベアリング部６８の面と、コアチップ４２のディスク
摺接面とを面一にするものであると共に、ギャップデプ
ス長（ｄ）を正確に決定するものである。そして、この
ようなデプス研磨に際して、コアチップ４２には、前記
したように距離表示マーク５８が設けられ、その端面が
研磨面に露呈させられているところから、かかる距離表
示マーク５８の幅を読み取り、残りのデプス研磨量を算
出して、研磨加工を行なうことにより、最終ギャップデ
プス長：ｄまで正確に研磨せしめ得て、その研磨面に、
磁気ギャップ形成部位５４において形成された磁気ギャ
ップ７４が露呈せしめられたコアスライダが形成される
のである。

【００３１】また、本発明にあっては、このようにして
得られたコアスライダに対して、次のような第二のトラ
ック加工を施すことにより、幅広のトラックにおいて、
距離表示マーク５８を、外部からの視認性良く設けた状
態において、デプス研磨加工を有利に行ない得る他、高
密度記録のための狭トラック化の要求に充分応え得る構
造のコアスライダを有利に得ることが可能となる。

【００３２】すなわち、図１３において、コアチップ４
２がスライダ部材６６に固定されて、上述の如きデプス
研磨加工が施されて成るコアスライダには、そのトラッ
ク６２の磁気ギャップ７４近傍部分に対して、第二のト
ラック加工が、レーザー誘起エッチングや化学エッチン
グ等のエッチング手法によって施され、これにより、か
かる磁気ギャップ７４を跨いで、その近傍に、トラック
６２よりも長さが短く且つ幅の狭い、目的とするトラッ
ク幅に一致する第二のトラック７８を与える、第二のト
ラック幅規定溝７６，７６が形成されるのである。この
第二のトラック幅規定溝７６は、トラック幅規定溝６０
の深さよりは浅いが、少なくとも、ギャップデプス（ｄ
）よりも深く、アペックス部（コイル巻線用溝５０）に
達する深さにおいて形成されることとなる。なお、この
エッチング操作は、公知の手法によって実施され、例え
ばＫＯＨ等の適当なエッチング溶液中にて、レーザー誘
起エッチングを行なう等の手法が採用され、これにより
、図１４に示される如き、１０μｍ或いはそれ以下の幅
の第二のトラック７８が、左右の第二のトラック幅規定
溝７６，７６によって有利に形成されるのである。

【００３３】このようにして、図１４に示される如き、
トラック６２の磁気ギャップ７４の近傍に、目的とする
トラック幅の第二のトラック７８が形成された、磁気ヘ
ッド用コア（コアチップ４２）を備えたコアスライダが
完成されることとなるのであるが、そのような構造のコ
アスライダにあっては、近年の高密度記録の要請に応え
るべく、狭トラック化を図る場合において、かかる第二
のトラック７８のトラック幅のみを狭トラック化すれば
足り、従来の如く、狭幅のトラックを長く、また深く設
ける必要がないところから、トラック加工に際して、チ
ッピングが生じたり、加工歩留りが低下したりする等の
問題が効果的に解消され得ると共に、磁気抵抗の増大が
有利に抑制され、またトラックサイドガラスによる歪み
の影響も効果的に回避され得て、ヘッド再生出力が低下
する等の問題が悉く解消され得るのである。

【００３４】以上、本発明に従う、磁気ヘッド用コアチ
ップ及びそれを用いた磁気ヘッド用コアスライダの各種
の製造手法について、その代表的な例に基づいて詳細に
説明してきたが、本発明が、そのような例示の具体例に
のみ限定して解釈されるものでは決してなく、本発明の
趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づい
て種々なる変更・修正・改良等を加えた形態において、
実施され得るものであることが、理解されるべきである
。

【００３５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、デプス研磨加工に際して、その研磨面に、磁
気ギャップ形成部位までの距離を把握し得るパターンの
距離表示部の端部が露呈せしめられることとなるところ
から、そのような距離表示部の寸法を直接的に測定する
ことが出来、そしてそれに基づいて、残りの研磨加工量
を容易に算出し得るのであり、以て最終デプス長までの
研磨加工が、極めて簡単となるのである。

【００３６】しかも、研磨面に露呈した距離表示部の寸
法から、残りの研磨量を算出した後は、それに基づいて
研磨加工すれば足り、最終デプス長に達するまで、常に
研磨量を監視する必要がないところから、研磨加工が極
めて容易となると共に、距離表示部のパターンの露出寸
法に基づいて、残りの研磨量が正確に算出され得るとこ
ろから、最終デプス長を正確に制御することが可能とな
ったのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従う磁気ヘッド用コアチップの製造工
程の一例を示す説明図である。

【図２】図１の製造工程において得られるコアチップの
一例を示す斜視図である。

【図３】ＦＤＤ用コアスライダに組み込まれるダブルコ
アの一例を示す説明図である。

【図４】ＦＤＤ用コアスライダにおけるダブルコアとス
ライダ部材の組み合わせの一例を示す斜視図である。

【図５】図４におけるダブルコアとスライダ部材とを接
合せしめて成る組合せ体の側面形態を示す説明図である
。

【図６】図５における組合せ体のディスク摺動側の部位
を研磨加工して得られるＦＤＤ用コアスライダを示す斜
視図である。

【図７】Ｃ型コアブロックのディスク摺動側の突き合わ
せ部位に設けられる距離表示マークの異なる形態を示す
斜視説明図である。

【図８】Ｃ型コアブロックのディスク摺動側の突き合わ
せ部位に設けられる磁気ギャップ形成部位及び距離表示
マークの異なる形成形態を示す斜視説明図である。

【図９】本発明に従うＲＤＤ用コアスライダに用いられ
るコアチップの製造工程の一例を示す説明図である。

【図１０】図９におけるギャップバーを構成する二つの
コア・バーの構造を示す斜視説明図である。

【図１１】図９におけるギャップバーのディスク摺動側
の面を示す拡大説明図である。

【図１２】図９の工程において作製されるコアチップの
ディスク摺動側の面を示す説明図である。

【図１３】本発明手法に従うＲＤＤ用コアスライダを製
造する工程の一例を示す説明図である。

【図１４】図１３において得られるコアスライダの磁気
ヘッド用コア部分の磁気ギャップ部位を拡大して示す部
分拡大斜視図である。

【符号の説明】

２　　Ｃ型コアブロック ４　　Ｉ型コアブロック ６，５０　　コイル巻線用溝 ８，５４　　磁気ギャップ形成部位 １０，５６　　除去部位 １２，５８　　距離表示マーク １４，５４　　磁気ギャップ １６，４４　　ギャップバー １８　　保護ガラス ２０，６２　　トラック ２２　　トラックガラス ２４，７２　　傾斜溝 ２６，４２　　コアチップ ２８　　ダブルコア ３０　　記録再生用コア ３２　　消去用コア ３４，３６，６６　　スライダ部材 ３８　　組合わせ体 ４０　　ＦＤＤ用コアスライダ ４６，４８　　コア・バー ５２　　補強ガラス ６０　　トラック幅規定溝 ６４　　ガラス ６８　　空気ベアリング部 ７０　　コアチップ挿入溝 ７６　　第二のトラック幅規定溝 ７８　　第二のトラック

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　第一及び第二のコア部材を、それらの
   間にコイル巻線用空間が形成されるようにして突き合わ
   せて、接合してなる構造を含み、それらコア部材のディ
   スク摺動側の突き合わせ部位が、所定間隙の磁気ギャッ
   プを与える磁気ギャップ形成部位と、該磁気ギャップ形
   成部位よりも外側に位置して、研磨・除去により前記磁
   気ギャップのギャップデプスが規定される除去部位とさ
   れていると共に、該磁気ギャップの幅がそれら第一及び
   第二のコア部材に跨がって設けられたトラック幅規定溝
   によって形成されるトラックにて規制されている磁気ヘ
   ッド用コアチップにして、前記除去部位に位置して、該
   除去部位の外側端部側より前記磁気ギャップ形成部位に
   至るように、該外側端部側より該磁気ギャップ形成部位
   までの距離を把握し得るパターンの凸部若しくは凹部か
   らなる距離表示部を、前記二つのコア部材の何れか一方
   の側の対向面に設けたことを特徴とする磁気ヘッド用コ
   アチップ。
2. 【請求項２】　　前記距離表示部が、前記磁気ギャップ
   形成部位に向って漸次幅の狭くなる先細形状部を有して
   いる請求項１に記載の磁気ヘッド用コアチップ。
3. 【請求項３】　　請求項１に記載の磁気ヘッド用コアチ
   ップを、それを支持するためのスライダ部材に接合・固
   定せしめた後、かかるコアチップの前記距離表示部によ
   って把握される前記磁気ギャップ形成部位までの距離に
   基づいて、該コアチップの前記除去部位並びに前記スラ
   イダ部材のディスク摺動側部位を研磨せしめ、該コアチ
   ップの除去部位を除去して前記磁気ギャップのギャップ
   デプスを規定すると共に、該スライダ部材にディスク摺
   接面が形成されるようにしたことを特徴とする磁気ヘッ
   ド用コアスライダの製造法。
4. 【請求項４】　　請求項１に記載の磁気ヘッド用コアチ
   ップを、それを支持するためのスライダ部材に接合・固
   定せしめた後、かかるコアチップの前記距離表示部によ
   って把握される前記磁気ギャップ形成部位までの距離に
   基づいて、該コアチップの前記除去部位並びに前記スラ
   イダ部材のディスク摺動側部位を研磨せしめ、該コアチ
   ップの除去部位を除去して前記磁気ギャップのギャップ
   デプスを規定すると共に、該スライダ部材にディスク摺
   接面を形成した後、更に前記磁気ギャップを跨いで、そ
   の近傍に、前記トラックよりも長さが短く且つ幅の狭い
   、目的とする最終トラック幅に一致する第二のトラック
   を与える第二のトラック幅規定溝を、エッチング操作に
   て形成することを特徴とする磁気ヘッド用コアスライダ
   の製造法。
5. 【請求項５】　　前記スライダ部材が、ディスク摺動側
   の面に互いに平行な所定高さの空気ベアリング部を左右
   に有していると共に、該空気ベアリング部が延びる方向
   における一方の側部にコアチップ挿入溝を有しており、
   該コアチップ挿入溝に対して、前記コアチップを挿入、
   配置せしめて、ガラスにて固定することにより、該コア
   チップのディスク摺動側部位が前記空気ベアリング部に
   位置せしめられるようにした請求項３または請求項４に
   記載の磁気ヘッド用コアスライダの製造法。