JPH05174353A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH05174353A JPH05174353A JP35398791A JP35398791A JPH05174353A JP H05174353 A JPH05174353 A JP H05174353A JP 35398791 A JP35398791 A JP 35398791A JP 35398791 A JP35398791 A JP 35398791A JP H05174353 A JPH05174353 A JP H05174353A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- magnetic layer
- surface protrusions
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 良好な電磁変換特性を確保しつつ、走行耐久
性の向上を図る。 【構成】 非磁性支持体1の表面に高さが250Å以下
である表面突起2が均一に且つ1000万個/mm2 以
上の高密度に形成され、この表面突起2が設けられた非
磁性支持体1上に金属磁性薄膜よりなる磁性層3が形成
される。この磁性層3の表面は、上記非磁性支持体1の
表面からの層状作用を受けてごく微細な凹凸状とされて
おり、この磁性層の表面に対して磁気ヘッドを摺接させ
た際に、この磁気ヘッドと前記磁性層は多数の点で接触
するようになされる。
性の向上を図る。 【構成】 非磁性支持体1の表面に高さが250Å以下
である表面突起2が均一に且つ1000万個/mm2 以
上の高密度に形成され、この表面突起2が設けられた非
磁性支持体1上に金属磁性薄膜よりなる磁性層3が形成
される。この磁性層3の表面は、上記非磁性支持体1の
表面からの層状作用を受けてごく微細な凹凸状とされて
おり、この磁性層の表面に対して磁気ヘッドを摺接させ
た際に、この磁気ヘッドと前記磁性層は多数の点で接触
するようになされる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、非磁性支持体上に磁性
層として金属磁性薄膜を有する所謂金属磁性薄膜型の磁
気記録媒体に関する。
層として金属磁性薄膜を有する所謂金属磁性薄膜型の磁
気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】例えばビデオテープレコーダ(VTR)
等の分野においては、高画質化を図るために、高密度記
録化が一層強く要求されており、これに対応する磁気記
録媒体として、金属あるいはCo−Ni等の合金からな
る磁性材料をメッキや真空薄膜形成技術(真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法等)により
直接非磁性支持体上に被着せしめて磁性層を形成する、
所謂金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案されている。
等の分野においては、高画質化を図るために、高密度記
録化が一層強く要求されており、これに対応する磁気記
録媒体として、金属あるいはCo−Ni等の合金からな
る磁性材料をメッキや真空薄膜形成技術(真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法等)により
直接非磁性支持体上に被着せしめて磁性層を形成する、
所謂金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案されている。
【0003】この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、保
磁力、角形比及び短波長域における電磁変換特性に優れ
るばかりでなく、磁性層の薄膜化が可能であるために記
録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいことや、磁性
層中に非磁性材料である結合剤等を混入する必要がない
ために磁性材料の充填密度を高くできること等、数々の
利点を有している。
磁力、角形比及び短波長域における電磁変換特性に優れ
るばかりでなく、磁性層の薄膜化が可能であるために記
録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいことや、磁性
層中に非磁性材料である結合剤等を混入する必要がない
ために磁性材料の充填密度を高くできること等、数々の
利点を有している。
【0004】このような磁気記録媒体においては、高記
録密度化に伴って磁気記録媒体のトラック密度や記録密
度の増加が図られているが、記録密度が高くなると、ス
ペーシングロスが大きくなるので、その悪影響を防止す
るために磁気記録媒体の表面は平滑化される傾向にあ
る。ところが、磁気記録媒体の表面が平滑すぎると、磁
気ヘッドと媒体が吸着を引起し、摩擦力が増大する。こ
のため、媒体に生じる剪断力が大きくなり、磁気記録媒
体が大きな損傷を受けてしまう。
録密度化に伴って磁気記録媒体のトラック密度や記録密
度の増加が図られているが、記録密度が高くなると、ス
ペーシングロスが大きくなるので、その悪影響を防止す
るために磁気記録媒体の表面は平滑化される傾向にあ
る。ところが、磁気記録媒体の表面が平滑すぎると、磁
気ヘッドと媒体が吸着を引起し、摩擦力が増大する。こ
のため、媒体に生じる剪断力が大きくなり、磁気記録媒
体が大きな損傷を受けてしまう。
【0005】そこで、良好なスチル特性を確保するため
に、従来より例えば非磁性支持体の表面に高分子性の微
粒子を塗布したり、非磁性支持体内にフィラーをある程
度の密度で内添して凝集させることによって非磁性支持
体の表面に微小な突起を設け、この非磁性支持体の表面
からの層状作用により該非磁性支持体上に積層形成され
る磁性層、保護膜等の表面に適当な粗度を付与し、磁気
記録媒体の表面性を制御しようとする方法が採用されて
いる。
に、従来より例えば非磁性支持体の表面に高分子性の微
粒子を塗布したり、非磁性支持体内にフィラーをある程
度の密度で内添して凝集させることによって非磁性支持
体の表面に微小な突起を設け、この非磁性支持体の表面
からの層状作用により該非磁性支持体上に積層形成され
る磁性層、保護膜等の表面に適当な粗度を付与し、磁気
記録媒体の表面性を制御しようとする方法が採用されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法により磁気記録媒体の表面性を制御する場合では、
上記表面突起の高さ分磁気ヘッドと磁気記録媒体の表面
との距離が広がってしまうために、スペーシングロスに
よる電磁変換特性の劣化が生じてしまう。また、図7に
示すように、非磁性支持体51上に形成される表面突起
52の大きさが不均一で且つ密度も十分に高くないの
で、該表面突起52を有する上記非磁性支持体51上に
積層される磁性層53の表面に磁気ヘッドを接触させる
と、磁性層53の破壊が起こり易く、良好な耐久性を確
保することが困難である。
方法により磁気記録媒体の表面性を制御する場合では、
上記表面突起の高さ分磁気ヘッドと磁気記録媒体の表面
との距離が広がってしまうために、スペーシングロスに
よる電磁変換特性の劣化が生じてしまう。また、図7に
示すように、非磁性支持体51上に形成される表面突起
52の大きさが不均一で且つ密度も十分に高くないの
で、該表面突起52を有する上記非磁性支持体51上に
積層される磁性層53の表面に磁気ヘッドを接触させる
と、磁性層53の破壊が起こり易く、良好な耐久性を確
保することが困難である。
【0007】そこで本発明は、上述の従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、良好な電磁変換特性を確保し
つつ、耐久性の向上を図ることが可能な磁気記録媒体を
提供することを目的とする。
て提案されたものであり、良好な電磁変換特性を確保し
つつ、耐久性の向上を図ることが可能な磁気記録媒体を
提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上述の目
的を達成せんものと鋭意研究の結果、非磁性支持体上に
ごく微細な表面突起を均一に且つ高密度に形成すること
により、良好な耐久性と電磁変換特性とを確保すること
が可能となることを見出し、本発明を完成するに到っ
た。
的を達成せんものと鋭意研究の結果、非磁性支持体上に
ごく微細な表面突起を均一に且つ高密度に形成すること
により、良好な耐久性と電磁変換特性とを確保すること
が可能となることを見出し、本発明を完成するに到っ
た。
【0009】即ち、本発明は、非磁性支持体上に金属磁
性薄膜よりなる磁性層を有する磁気記録媒体において、
上記非磁性支持体上に高さが250Å以下である均一な
表面突起が1000万個/mm2 以上形成されてなるこ
とを特徴とするものである。
性薄膜よりなる磁性層を有する磁気記録媒体において、
上記非磁性支持体上に高さが250Å以下である均一な
表面突起が1000万個/mm2 以上形成されてなるこ
とを特徴とするものである。
【0010】本発明は、磁性層としては金属磁性薄膜が
使用される、所謂金属磁性薄膜型の磁気記録媒体に適用
される。上記金属磁性薄膜の構成材料としては、特に限
定されるものではなく、例えばCo、Co−Cr、Co
−Ni、Co−Fe−Ni、Co−Ni−Cr等の従来
公知の強磁性金属材料が何れも使用可能である。上記金
属磁性薄膜の成膜方法としては、真空薄膜形成技術が挙
げられ、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオン
プレーティング法等が何れも使用可能である。
使用される、所謂金属磁性薄膜型の磁気記録媒体に適用
される。上記金属磁性薄膜の構成材料としては、特に限
定されるものではなく、例えばCo、Co−Cr、Co
−Ni、Co−Fe−Ni、Co−Ni−Cr等の従来
公知の強磁性金属材料が何れも使用可能である。上記金
属磁性薄膜の成膜方法としては、真空薄膜形成技術が挙
げられ、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオン
プレーティング法等が何れも使用可能である。
【0011】本発明の磁気記録媒体においては、図1に
示すように、非磁性支持体1の表面に微小な表面突起3
が均一に且つ高密度に設けられ、この表面突起3が形成
された非磁性支持体1上に磁性層3が形成される。これ
により、上記磁性層3の表面が上記非磁性支持体1の表
面からの層状作用を受けて微細な凹凸状とされるので、
この磁性層3の表面に磁性ヘッドを摺接させた際に、磁
性層3の表面は磁気ヘッドに対して多数の点で接触する
ようになる。従って、摩擦係数が低減され、良好なスチ
ル特性が得られる。またこの時、上記表面突起3が均一
に形成されているので、上記磁性層3の表面と磁気ヘッ
ド間の距離は安定に保たれる。従って、スペーシングロ
スによる悪影響が抑えられ、良好な電磁変換特性が得ら
れる。
示すように、非磁性支持体1の表面に微小な表面突起3
が均一に且つ高密度に設けられ、この表面突起3が形成
された非磁性支持体1上に磁性層3が形成される。これ
により、上記磁性層3の表面が上記非磁性支持体1の表
面からの層状作用を受けて微細な凹凸状とされるので、
この磁性層3の表面に磁性ヘッドを摺接させた際に、磁
性層3の表面は磁気ヘッドに対して多数の点で接触する
ようになる。従って、摩擦係数が低減され、良好なスチ
ル特性が得られる。またこの時、上記表面突起3が均一
に形成されているので、上記磁性層3の表面と磁気ヘッ
ド間の距離は安定に保たれる。従って、スペーシングロ
スによる悪影響が抑えられ、良好な電磁変換特性が得ら
れる。
【0012】ここで、上記表面突起を均一に形成するた
めには、該表面突起の高さのバラツキを10%以内に抑
えることが必要である。表面突起のバラツキの度合いが
前記範囲を越えると、テープ走行による再生出力の低下
が大きくなり、良好な耐久性を確保することができなく
なる。
めには、該表面突起の高さのバラツキを10%以内に抑
えることが必要である。表面突起のバラツキの度合いが
前記範囲を越えると、テープ走行による再生出力の低下
が大きくなり、良好な耐久性を確保することができなく
なる。
【0013】上記表面突起の高さは、250Å以下とさ
れる。表面突起の高さが250Åよりも大きくなると、
上記磁性層の表面粗度が大きくなりすぎるため、スペー
シングロスによる電磁変換特性の劣化が顕著となる。こ
の表面突起の高さを測定する手法としては、例えば原子
間力顕微鏡(AFT)により上記磁気記録媒体の表面の
原子像を観察する方法が考えられる。
れる。表面突起の高さが250Åよりも大きくなると、
上記磁性層の表面粗度が大きくなりすぎるため、スペー
シングロスによる電磁変換特性の劣化が顕著となる。こ
の表面突起の高さを測定する手法としては、例えば原子
間力顕微鏡(AFT)により上記磁気記録媒体の表面の
原子像を観察する方法が考えられる。
【0014】上記原子間力顕微鏡は、先端曲率半径の小
さな探針を有する板ばね状のカンチレバー部と、このカ
ンチレバーの変位を測定する測定系から構成されてな
り、上記探針の先端の原子と被測定試料の原子間に働く
反発力によって変化する上記カンチレバーの変位を検出
するようになされたものである。
さな探針を有する板ばね状のカンチレバー部と、このカ
ンチレバーの変位を測定する測定系から構成されてな
り、上記探針の先端の原子と被測定試料の原子間に働く
反発力によって変化する上記カンチレバーの変位を検出
するようになされたものである。
【0015】この原子間力顕微鏡においては、上記カン
チレバーにレーザー光が照射され、その反射光の位置を
感知することによって上記カンチレバーの変位が測定さ
れる。そして、このカンチレバーの変位を一定に維持す
るために、上記被測定試料が設置された試料台(所謂、
ピエゾ・トランスレータ)のZ軸(試料台に対して鉛直
方向の軸)を上下動させるとともに、この試料台をX軸
及びY軸(試料台に対して水平方向の互いに直交する2
軸)の方向にスキャンし、これらX軸,Y軸及びZ軸を
コントロールするための信号を基にして三次元像を得て
いる。
チレバーにレーザー光が照射され、その反射光の位置を
感知することによって上記カンチレバーの変位が測定さ
れる。そして、このカンチレバーの変位を一定に維持す
るために、上記被測定試料が設置された試料台(所謂、
ピエゾ・トランスレータ)のZ軸(試料台に対して鉛直
方向の軸)を上下動させるとともに、この試料台をX軸
及びY軸(試料台に対して水平方向の互いに直交する2
軸)の方向にスキャンし、これらX軸,Y軸及びZ軸を
コントロールするための信号を基にして三次元像を得て
いる。
【0016】また、この表面突起は、1000万個/m
m2 以上の密度で形成される。表面突起の密度が上記範
囲よりも低いと、磁気記録媒体の表面の摩擦係数を十分
に抑えることができず、スチル特性の向上が期待できな
い。このような表面突起を構成する材料としては、例え
ばSiO2 粒子、Al2 O3 粒子等が挙げられる。
m2 以上の密度で形成される。表面突起の密度が上記範
囲よりも低いと、磁気記録媒体の表面の摩擦係数を十分
に抑えることができず、スチル特性の向上が期待できな
い。このような表面突起を構成する材料としては、例え
ばSiO2 粒子、Al2 O3 粒子等が挙げられる。
【0017】なお、上記非磁性支持体としては、プラス
チックフィルム等が使用可能である。
チックフィルム等が使用可能である。
【0018】また、本発明においては、必要に応じて、
上記非磁性支持体上に下塗り膜やバックコート層、トッ
プコート層等、或いは上記磁性層上に保護膜等を適宜形
成しても良い。この場合、下塗り膜、バックコート層、
トップコート層、保護膜等の成膜条件は、通常この種の
磁気記録媒体の製造方法に適用される方法であれば良
く、特に限定されない。
上記非磁性支持体上に下塗り膜やバックコート層、トッ
プコート層等、或いは上記磁性層上に保護膜等を適宜形
成しても良い。この場合、下塗り膜、バックコート層、
トップコート層、保護膜等の成膜条件は、通常この種の
磁気記録媒体の製造方法に適用される方法であれば良
く、特に限定されない。
【0019】
【作用】非磁性支持体上に高さが250Å以下である微
細な表面突起を多数形成することにより、この非磁性支
持体上に形成される磁性層の表面がごく微細な凹凸状と
される。この時、上記磁性層は金属磁性薄膜からなるの
で、上記表面突起が非常に微細なサイズであっても、そ
の形状が確実に上記磁性層の表面に反映される。これに
より、磁気ヘッドを摺接させた際に、上記磁性層の表面
は磁気ヘッドに対して多数の点で接触するようになるの
で、摩擦係数が低減され、走行耐久性が向上する。また
この時、上記表面突起を均一に形成することにより、上
記磁性層の表面と磁気ヘッド間の距離が安定に保たれる
ので、スペーシングロスによる電磁変換特性の劣化が抑
えられる。
細な表面突起を多数形成することにより、この非磁性支
持体上に形成される磁性層の表面がごく微細な凹凸状と
される。この時、上記磁性層は金属磁性薄膜からなるの
で、上記表面突起が非常に微細なサイズであっても、そ
の形状が確実に上記磁性層の表面に反映される。これに
より、磁気ヘッドを摺接させた際に、上記磁性層の表面
は磁気ヘッドに対して多数の点で接触するようになるの
で、摩擦係数が低減され、走行耐久性が向上する。また
この時、上記表面突起を均一に形成することにより、上
記磁性層の表面と磁気ヘッド間の距離が安定に保たれる
ので、スペーシングロスによる電磁変換特性の劣化が抑
えられる。
【0020】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例を実
験結果に基づいて説明する。本実施例は、表面に微小突
起が均一に且つ高密度に形成された非磁性支持体上に金
属磁性薄膜からなる磁性層を有する磁気テープの例であ
る。先ず、非磁性支持体の表面に下記の表1に示すよう
に高さが異なる突起を密度を変化させて形成した後、こ
れら非磁性支持体上に真空蒸着法により金属磁性薄膜を
形成して各種磁気テープを作製した。
験結果に基づいて説明する。本実施例は、表面に微小突
起が均一に且つ高密度に形成された非磁性支持体上に金
属磁性薄膜からなる磁性層を有する磁気テープの例であ
る。先ず、非磁性支持体の表面に下記の表1に示すよう
に高さが異なる突起を密度を変化させて形成した後、こ
れら非磁性支持体上に真空蒸着法により金属磁性薄膜を
形成して各種磁気テープを作製した。
【0021】得られた磁気テープについて、再生出力、
スチル特性をそれぞれ測定し、この結果を表1に記し
た。なお、表1中、再生出力は非磁性支持体上に突起を
形成しなかった場合の結果を0dBとした時の相対値を
表す。また、スチル特性は非磁性支持体上に突起を形成
しなかった場合のスチル特性の何倍に相当するかで表し
た。
スチル特性をそれぞれ測定し、この結果を表1に記し
た。なお、表1中、再生出力は非磁性支持体上に突起を
形成しなかった場合の結果を0dBとした時の相対値を
表す。また、スチル特性は非磁性支持体上に突起を形成
しなかった場合のスチル特性の何倍に相当するかで表し
た。
【0022】
【表1】
【0023】表1より、本実施例のように表面突起を微
小化し且つ高密度化することによって再生出力の増大化
にみられるような電磁変換特性の向上が図られると同時
に、良好なスチル特性が得られることが判った。そこ
で、上記表面突起の密度を5000万個/mm2 とし、
その高さを変化させた場合における再生出力及びスチル
特性を調べた。
小化し且つ高密度化することによって再生出力の増大化
にみられるような電磁変換特性の向上が図られると同時
に、良好なスチル特性が得られることが判った。そこ
で、上記表面突起の密度を5000万個/mm2 とし、
その高さを変化させた場合における再生出力及びスチル
特性を調べた。
【0024】この結果、図2に示すように、再生出力は
上記表面突起の高さが小さくなるに従って向上する傾向
にあり、高さ250Å以下の範囲で良好な結果が得られ
ることが判った。また、図3に示すように、スチル特性
は上記表面突起の高さの増加に伴って向上し、高さ10
0Å以上の範囲で良好な結果を示した。
上記表面突起の高さが小さくなるに従って向上する傾向
にあり、高さ250Å以下の範囲で良好な結果が得られ
ることが判った。また、図3に示すように、スチル特性
は上記表面突起の高さの増加に伴って向上し、高さ10
0Å以上の範囲で良好な結果を示した。
【0025】次に、上記表面突起の高さを250Åと
し、その密度を変化させた場合における再生出力及びス
チル特性を調べた。この結果、図4に示すように、再生
出力は上記表面突起の密度が小さくなるに従って向上す
る傾向にあり、高さ5000万個/mm2 以下の範囲で
OdB以上の値を示した。
し、その密度を変化させた場合における再生出力及びス
チル特性を調べた。この結果、図4に示すように、再生
出力は上記表面突起の密度が小さくなるに従って向上す
る傾向にあり、高さ5000万個/mm2 以下の範囲で
OdB以上の値を示した。
【0026】また、図5に示すように、スチル特性は上
記表面突起の密度の増加に伴って向上し、密度1000
万個/mm2 以上の範囲で良好な結果を示した。
記表面突起の密度の増加に伴って向上し、密度1000
万個/mm2 以上の範囲で良好な結果を示した。
【0027】更に、上記表面突起の高さの均一性が及ぼ
す電磁変換特性への影響を検討するために、上記表面突
起の高さのバラツキの度合いを変化させた時に得られる
磁気テープにおいて、4時間テープ走行を行った後の理
想状態からの再生出力の低下量(レベルダウン)を調べ
た。図6に示すように、非磁性支持体上の表面突起が均
一に近い状態に形成されるほど、レベルダウンが抑えら
れることが判った。従って、良好な電磁変換特性を確保
するためには、上記表面突起が均一に形成されることが
必要である。
す電磁変換特性への影響を検討するために、上記表面突
起の高さのバラツキの度合いを変化させた時に得られる
磁気テープにおいて、4時間テープ走行を行った後の理
想状態からの再生出力の低下量(レベルダウン)を調べ
た。図6に示すように、非磁性支持体上の表面突起が均
一に近い状態に形成されるほど、レベルダウンが抑えら
れることが判った。従って、良好な電磁変換特性を確保
するためには、上記表面突起が均一に形成されることが
必要である。
【0028】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明では、微小な突起を非磁性支持体上に均一に且つ高密
度に設けているので、磁気ヘッドとの摺接がなされる際
に、磁気ヘッドに対する磁気記録媒体の摩擦係数が低減
化され、耐久性の向上が図られる。
明では、微小な突起を非磁性支持体上に均一に且つ高密
度に設けているので、磁気ヘッドとの摺接がなされる際
に、磁気ヘッドに対する磁気記録媒体の摩擦係数が低減
化され、耐久性の向上が図られる。
【0029】また、本発明では、スペーシングロスが上
記突起の高さに依存して安定に保たれるので、良好な電
磁変換特性が得られる。
記突起の高さに依存して安定に保たれるので、良好な電
磁変換特性が得られる。
【図1】本発明を適用した磁気記録媒体の一例の構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図2】非磁性支持体上に形成される表面突起の高さと
再生出力の関係を示す特性図である。
再生出力の関係を示す特性図である。
【図3】非磁性支持体上に形成される表面突起の高さと
スチル特性の関係を示す特性図である。
スチル特性の関係を示す特性図である。
【図4】非磁性支持体上に形成される表面突起の密度と
再生出力の関係を示す特性図である。
再生出力の関係を示す特性図である。
【図5】非磁性支持体上に形成される表面突起の密度と
スチル特性の関係を示す特性図である。
スチル特性の関係を示す特性図である。
【図6】非磁性支持体上に形成される表面突起の高さの
バラツキの度合いと4時間走行後のレベルダウンの関係
を表す特性図である。
バラツキの度合いと4時間走行後のレベルダウンの関係
を表す特性図である。
【図7】非磁性支持体上に従来の方法により表面突起が
形成されてなる磁気記録媒体の構成を示す断面図であ
る。
形成されてなる磁気記録媒体の構成を示す断面図であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 利一 東京都品川区北品川6丁目5番6号 ソニ ー・マグネ・プロダクツ株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】 非磁性支持体上に金属磁性薄膜よりなる
磁性層を有する磁気記録媒体において、 上記非磁性支持体上に高さが250Å以下である均一な
表面突起が1000万個/mm2 以上形成されてなるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35398791A JPH05174353A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35398791A JPH05174353A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174353A true JPH05174353A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18434561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35398791A Pending JPH05174353A (ja) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05174353A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0735759A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Aloka Co Ltd | 液滴の検出方法及びその分注装置 |
-
1991
- 1991-12-19 JP JP35398791A patent/JPH05174353A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0735759A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Aloka Co Ltd | 液滴の検出方法及びその分注装置 |
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