JPH05180992A - 集光モノクロメータ - Google Patents
集光モノクロメータInfo
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- JPH05180992A JPH05180992A JP36049591A JP36049591A JPH05180992A JP H05180992 A JPH05180992 A JP H05180992A JP 36049591 A JP36049591 A JP 36049591A JP 36049591 A JP36049591 A JP 36049591A JP H05180992 A JPH05180992 A JP H05180992A
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- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 集光モノクロメータの光の入射面の湾曲形状
を簡易に作ることができまたその湾曲形状を強固に保持
できるようにするとともに、冷却流路構造を簡単に作れ
るようにする。 【構成】 集光モノクロメータ４０は、単結晶体または
多層膜体４２と金属部材４４とを組み合わせて構成され
ている。単結晶体または多層膜体４２は下面がくし歯状
に形成されている。金属部材４４は銅等の熱伝導率の高
い材料で作られ、所定の曲率で湾曲した上面がくし歯状
に形成されている。単結晶体または多層膜体４２のくし
歯４２ａと金属部材４４のくし歯４４ａとは強固に噛み
合って、それらの間に形成される空間４６が冷却流路と
して冷却水が流される。
を簡易に作ることができまたその湾曲形状を強固に保持
できるようにするとともに、冷却流路構造を簡単に作れ
るようにする。 【構成】 集光モノクロメータ４０は、単結晶体または
多層膜体４２と金属部材４４とを組み合わせて構成され
ている。単結晶体または多層膜体４２は下面がくし歯状
に形成されている。金属部材４４は銅等の熱伝導率の高
い材料で作られ、所定の曲率で湾曲した上面がくし歯状
に形成されている。単結晶体または多層膜体４２のくし
歯４２ａと金属部材４４のくし歯４４ａとは強固に噛み
合って、それらの間に形成される空間４６が冷却流路と
して冷却水が流される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、シンクロトロン放射
光（ＳＯＲ）装置等において、ビームをブラッグ反射を
利用して単色化しかつ集光するための集光モノクロメー
タに関し、光の入射面の湾曲形状を簡易に作ることがで
きまたその湾曲形状を強固に保持できるようにするとと
もに、冷却流路構造を簡単に作れるようにしたものであ
る。
光（ＳＯＲ）装置等において、ビームをブラッグ反射を
利用して単色化しかつ集光するための集光モノクロメー
タに関し、光の入射面の湾曲形状を簡易に作ることがで
きまたその湾曲形状を強固に保持できるようにするとと
もに、冷却流路構造を簡単に作れるようにしたものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、シンクロトロンは、ＳＯＲ装置と
して、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、
分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待されて
いる。
して、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、
分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待されて
いる。
【０００３】ＳＯＲ装置の概要を図２に示す。電子発生
装置（電子銃等）１０で発生した電子は線型加速装置
（ライナック）１２で光速近くに加速され、ビーム輸送
部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、インフレクタ１
８を介して蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング
２２に入射された電子は高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏
向電磁石２４で偏向されて、蓄積リング２２内を回り続
ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ
光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装置２８
に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用さ
れる。
装置（電子銃等）１０で発生した電子は線型加速装置
（ライナック）１２で光速近くに加速され、ビーム輸送
部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、インフレクタ１
８を介して蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング
２２に入射された電子は高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３，２５で収束され、偏
向電磁石２４で偏向されて、蓄積リング２２内を回り続
ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ
光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装置２８
に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用さ
れる。
【０００４】ビームチャンネル２６内には、放射された
ＳＯＲ光から使用目的に合致した波長を取り出すととも
に集光するための集光モノクロメータ等が配設されてい
る。モノクロメータはシリコンやゲルマニウム等の完全
性の高い単結晶体や２種類の物質（例えばタングステン
と炭素）を人工的にある周期で交互に積層した多層膜体
で構成される。モノクロメータにＸ線を所定の角度（ブ
ラッグ角）で入射すると、単結晶体または多層膜体でブ
ラッグ反射を生じて特定の波長のＸ線が入射ビームと平
行に出射される。
ＳＯＲ光から使用目的に合致した波長を取り出すととも
に集光するための集光モノクロメータ等が配設されてい
る。モノクロメータはシリコンやゲルマニウム等の完全
性の高い単結晶体や２種類の物質（例えばタングステン
と炭素）を人工的にある周期で交互に積層した多層膜体
で構成される。モノクロメータにＸ線を所定の角度（ブ
ラッグ角）で入射すると、単結晶体または多層膜体でブ
ラッグ反射を生じて特定の波長のＸ線が入射ビームと平
行に出射される。
【０００５】集光モノクロメータは、モノクロメータの
表面を湾曲させてＸ線を集光させるように構成したもの
である。集光モノクロメータは、はじめから湾曲した状
態に結晶を成長させたり多層膜を積層して作るのは難し
い。そこで、従来においては、簡易的に図３に示すよう
に、平板状の単結晶体または多層膜体３０の表面を機械
加工等でくし歯状に形成し、これを図４のように所定の
曲率Ｒで湾曲させて、その表面３２を光の入射面とする
集光モノクロメータ３３を作るようにしていた。
表面を湾曲させてＸ線を集光させるように構成したもの
である。集光モノクロメータは、はじめから湾曲した状
態に結晶を成長させたり多層膜を積層して作るのは難し
い。そこで、従来においては、簡易的に図３に示すよう
に、平板状の単結晶体または多層膜体３０の表面を機械
加工等でくし歯状に形成し、これを図４のように所定の
曲率Ｒで湾曲させて、その表面３２を光の入射面とする
集光モノクロメータ３３を作るようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記、図４の集光モノ
クロメータ３３は、例えば左右の２点Ｐ１，Ｐ２等で支
持して使用されるが、このような支持だけでは曲率Ｒを
正しく保つのが難しかった。また、集光モノクロメータ
３３はＸ線の照射により加熱されるため冷却する必要が
あるが、図４の集光モノクロメータ３３では冷却流路を
形成するのが難しかった。
クロメータ３３は、例えば左右の２点Ｐ１，Ｐ２等で支
持して使用されるが、このような支持だけでは曲率Ｒを
正しく保つのが難しかった。また、集光モノクロメータ
３３はＸ線の照射により加熱されるため冷却する必要が
あるが、図４の集光モノクロメータ３３では冷却流路を
形成するのが難しかった。
【０００７】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して、光の入射面の湾曲形状を簡易に作ること
ができまたその湾曲形状を強固に保持できるようにする
とともに、冷却流路構造を簡単に作れるようにした集光
モノクロメータを提供しようとするものである。
点を解決して、光の入射面の湾曲形状を簡易に作ること
ができまたその湾曲形状を強固に保持できるようにする
とともに、冷却流路構造を簡単に作れるようにした集光
モノクロメータを提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、一方
の面がくし歯状に形成された平板状の単結晶体または多
層膜体と、表面がくし歯状に形成されこのくし歯が形成
された表面を当該くし歯の配列方向に沿って内向きに湾
曲させてなる金属部材とを具え、前記単結晶体または多
層膜体のくし歯を前記金属部材のくし歯の間の溝に挿入
して、これら単結晶体または多層膜体と金属部材とを組
合わせることにより当該単結晶体または多層膜体を前記
金属部材に倣って湾曲させてなり、この単結晶体または
多層膜体の他方の面を光の入射面としてなるものであ
る。
の面がくし歯状に形成された平板状の単結晶体または多
層膜体と、表面がくし歯状に形成されこのくし歯が形成
された表面を当該くし歯の配列方向に沿って内向きに湾
曲させてなる金属部材とを具え、前記単結晶体または多
層膜体のくし歯を前記金属部材のくし歯の間の溝に挿入
して、これら単結晶体または多層膜体と金属部材とを組
合わせることにより当該単結晶体または多層膜体を前記
金属部材に倣って湾曲させてなり、この単結晶体または
多層膜体の他方の面を光の入射面としてなるものであ
る。
【０００９】また、請求項２の発明によれば、前記単結
晶体または多層膜体のくし歯と前記金属部材のくし歯と
が噛み合わされた間に形成される空間を冷却流路として
なるものである。
晶体または多層膜体のくし歯と前記金属部材のくし歯と
が噛み合わされた間に形成される空間を冷却流路として
なるものである。
【００１０】
【作用】請求項１の発明によれば、単結晶体または多層
膜体のくし歯と湾曲した形状の金属部材のくし歯とが噛
み合わされるので、単結晶体または多層膜体は堅牢な金
属部材によって湾曲の曲率を強固に保持することができ
る。
膜体のくし歯と湾曲した形状の金属部材のくし歯とが噛
み合わされるので、単結晶体または多層膜体は堅牢な金
属部材によって湾曲の曲率を強固に保持することができ
る。
【００１１】また、請求項２の発明によれば、両部材の
くし歯が噛み合わされた間に形成される空間を冷却流路
とすることにより、冷却流路を容易に形成することがで
きる。
くし歯が噛み合わされた間に形成される空間を冷却流路
とすることにより、冷却流路を容易に形成することがで
きる。
【００１２】
【実施例】この発明の一実施例を図１に示す。この集光
モノクロメータ４０は、単結晶体または多層膜体（以下
単に「単結晶体」という。）４２と金属部材４４とを組
み合わせて構成されている。単結晶体４２は下面がくし
歯状に形成されている。金属部材４４は銅等の熱伝導率
の高い材料で作られ、所定の曲率で湾曲した上面がくし
歯状に形成されている。単結晶体４２のくし歯４２ａと
金属部材４４のくし歯４４ａとは強固に噛み合って、そ
れらの間に形成される空間４６が冷却流路として冷却水
が流される。
モノクロメータ４０は、単結晶体または多層膜体（以下
単に「単結晶体」という。）４２と金属部材４４とを組
み合わせて構成されている。単結晶体４２は下面がくし
歯状に形成されている。金属部材４４は銅等の熱伝導率
の高い材料で作られ、所定の曲率で湾曲した上面がくし
歯状に形成されている。単結晶体４２のくし歯４２ａと
金属部材４４のくし歯４４ａとは強固に噛み合って、そ
れらの間に形成される空間４６が冷却流路として冷却水
が流される。
【００１３】単結晶体４２は湾曲状の金属部材４４に組
み合わされることによって、所定の曲率Ｒに湾曲して、
上面４２ｂが入射面として、湾曲方向と直角の方向から
入射される光源４８（例えば蓄積リングの偏向位置）か
らのＸ線５０を反射して集光する。
み合わされることによって、所定の曲率Ｒに湾曲して、
上面４２ｂが入射面として、湾曲方向と直角の方向から
入射される光源４８（例えば蓄積リングの偏向位置）か
らのＸ線５０を反射して集光する。
【００１４】図１の集光モノクロメータ４０を製造する
工程の一例を図５に示す。図５の工程〜を順に追っ
て説明する。
工程の一例を図５に示す。図５の工程〜を順に追っ
て説明する。
【００１５】 平板状の単結晶体４２を作る。
【００１６】 単結晶体４２の表面に機械加工等で所
定ピッチおよび所定幅の溝５２を形成し、平行なくし歯
４２ａを形成する。
定ピッチおよび所定幅の溝５２を形成し、平行なくし歯
４２ａを形成する。
【００１７】 所定の曲率Ｒ′を有する銅等の平板状
の金属部材４４を作る。
の金属部材４４を作る。
【００１８】 金属部材４２の表面に機械加工やエッ
チング等で前記単結晶体４２のくし歯４２ａに適合する
ピッチおよび幅で溝５４を形成し、平行なくし歯４４ａ
を形成する。この場合、溝５４の深さは単結晶体４２の
溝５２よりも浅くする。
チング等で前記単結晶体４２のくし歯４２ａに適合する
ピッチおよび幅で溝５４を形成し、平行なくし歯４４ａ
を形成する。この場合、溝５４の深さは単結晶体４２の
溝５２よりも浅くする。
【００１９】 単結晶体４２と金属部材４４をくし歯
４２ａ，４４ａどうしを噛み合わせて組み合わせる。こ
れで、単結晶体４２の表面４２ｂが所定の曲率Ｒを持っ
た光の入射面として形成される。また、くし歯４２ａ，
４４ａの間に形成される空間４６が冷却流路となる。
４２ａ，４４ａどうしを噛み合わせて組み合わせる。こ
れで、単結晶体４２の表面４２ｂが所定の曲率Ｒを持っ
た光の入射面として形成される。また、くし歯４２ａ，
４４ａの間に形成される空間４６が冷却流路となる。
【００２０】以上のようにしてでき上がった集光モノク
ロメータ４０は、湾曲した金属部材４４が単結晶体４２
の固定枠として作用するので、単結晶体４２は、所定の
曲率Ｒが強固に保持される。
ロメータ４０は、湾曲した金属部材４４が単結晶体４２
の固定枠として作用するので、単結晶体４２は、所定の
曲率Ｒが強固に保持される。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、単結晶体または多層膜体のくし歯と湾曲した形
状の金属部材のくし歯とが噛み合わされるので、単結晶
体または多層膜体は堅牢な金属部材によって湾曲の曲率
を強固に保持することができる。
よれば、単結晶体または多層膜体のくし歯と湾曲した形
状の金属部材のくし歯とが噛み合わされるので、単結晶
体または多層膜体は堅牢な金属部材によって湾曲の曲率
を強固に保持することができる。
【００２２】また、請求項２の発明によれば、両部材の
くし歯が噛み合わされた間に形成される空間を冷却流路
とすることにより、冷却流路を容易に形成することがで
きる。
くし歯が噛み合わされた間に形成される空間を冷却流路
とすることにより、冷却流路を容易に形成することがで
きる。
【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】ＳＯＲ装置の概要を示す平面図である。
【図３】従来のくし歯状単結晶体を示す斜視図である。
【図４】図３の単結晶体を湾曲させて作った集光モノク
ロメータを示す正面図である。
ロメータを示す正面図である。
【図５】図１の集光モノクロメータの製造工程の一例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
４０ 集光モノクロメータ ４２ 単結晶体または多層膜体 ４２ａ くし歯 ４４ 金属部材 ４４ａ くし歯 ４６ 冷却流路 ５２，５４ 溝
Claims (2)
- 【請求項１】一方の面がくし歯状に形成された平板状の
単結晶体または多層膜体と、 表面がくし歯状に形成されこのくし歯が形成された表面
を当該くし歯の配列方向に沿って内向きに湾曲させてな
る金属部材とを具え、 前記単結晶体または多層膜体のくし歯を前記金属部材の
くし歯の間の溝に挿入して、これら単結晶体または多層
膜体と金属部材とを組合わせることにより当該単結晶体
または多層膜体を前記金属部材に倣って湾曲させてな
り、この単結晶体または多層膜体の他方の面を光の入射
面としてなる集光モノクロメータ。 - 【請求項２】前記単結晶体または多層膜体のくし歯と前
記金属部材のくし歯とが噛み合わされた間に形成される
空間を冷却流路としてなる請求項１記載の集光モノクロ
メータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36049591A JPH05180992A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 集光モノクロメータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36049591A JPH05180992A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 集光モノクロメータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05180992A true JPH05180992A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18469650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36049591A Pending JPH05180992A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 集光モノクロメータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05180992A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5761256A (en) * | 1997-02-07 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Curved pyrolytic graphite monochromator and its manufacturing method |
| JP2008528959A (ja) * | 2005-01-21 | 2008-07-31 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | Ｘ線モノクロメーターまたは中性子モノクロメーター |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP36049591A patent/JPH05180992A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5761256A (en) * | 1997-02-07 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Curved pyrolytic graphite monochromator and its manufacturing method |
| JP2008528959A (ja) * | 2005-01-21 | 2008-07-31 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | Ｘ線モノクロメーターまたは中性子モノクロメーター |
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