JPH0737700A - 粒子加速器の放射光ミラー - Google Patents
粒子加速器の放射光ミラーInfo
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- JPH0737700A JPH0737700A JP17836693A JP17836693A JPH0737700A JP H0737700 A JPH0737700 A JP H0737700A JP 17836693 A JP17836693 A JP 17836693A JP 17836693 A JP17836693 A JP 17836693A JP H0737700 A JPH0737700 A JP H0737700A
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- Japan
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- thermal expansion
- mirror
- synchrotron radiation
- radiation mirror
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- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract description 14
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
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Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 放射光ミラーが熱膨張に起因して反りや歪を
生じることを防止する。 【構成】 反射光を反射する反射面２０ａに、その表層
部における熱膨張を吸収するための溝２１を形成してお
き、表層部における熱膨張量を裏面側での熱膨張量と均
等にならしめる。
生じることを防止する。 【構成】 反射光を反射する反射面２０ａに、その表層
部における熱膨張を吸収するための溝２１を形成してお
き、表層部における熱膨張量を裏面側での熱膨張量と均
等にならしめる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粒子加速器のビームラ
インに備えられる放射光ミラーに関する。
インに備えられる放射光ミラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、シンクロトロン等の粒子加速器か
ら放射されるＳＯＲ光（シンクロトロン放射光）を取り
出し、それを光源としてたとえば超ＬＳＩの製造、医療
分野における診断、分子解析、構造解析等といった様々
な分野において利用しようとする機運があり、そのため
の施設が開発されつつある。
ら放射されるＳＯＲ光（シンクロトロン放射光）を取り
出し、それを光源としてたとえば超ＬＳＩの製造、医療
分野における診断、分子解析、構造解析等といった様々
な分野において利用しようとする機運があり、そのため
の施設が開発されつつある。
【０００３】図４はＳＯＲ光利用のための小型シンクロ
トロンの概要を示すものである。このシンクロトロンで
は、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電子を直線
加速器（ライナック）２で光速近くに加速し、偏向電磁
石３で偏向させて入射路４によりインフレクタ５を介し
て蓄積リング６に入射する。蓄積リング６に入射した電
子は高周波加速空洞７によりエネルギを与えられながら
収束電磁石８で収束され、偏向電磁石９で偏向されて蓄
積リング６内を周回し続ける。そして、偏向電磁石９で
偏向される際にその接線方向にＳＯＲ光が放射され、そ
れが光取り出しラインであるビームライン１０を介して
たとえば露光装置１１に出射されて利用されるのであ
る。
トロンの概要を示すものである。このシンクロトロンで
は、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電子を直線
加速器（ライナック）２で光速近くに加速し、偏向電磁
石３で偏向させて入射路４によりインフレクタ５を介し
て蓄積リング６に入射する。蓄積リング６に入射した電
子は高周波加速空洞７によりエネルギを与えられながら
収束電磁石８で収束され、偏向電磁石９で偏向されて蓄
積リング６内を周回し続ける。そして、偏向電磁石９で
偏向される際にその接線方向にＳＯＲ光が放射され、そ
れが光取り出しラインであるビームライン１０を介して
たとえば露光装置１１に出射されて利用されるのであ
る。
【０００４】上記のビームライン１０には、このビーム
ライン１０を通して取り出すＳＯＲ光を集光したり不要
なＳＯＲ光をカットするための鏡である図５に示すよう
な放射光ミラー１２が備えられている。このような放射
光ミラー１２としては平面ミラーあるいは曲面ミラーが
用いられ、その素材としてはシリコンを基材として用い
てその表面にシリコンカーバイドからなる反射面１２ａ
を形成したものが一般に採用されている。図５に符号Ｓ
で示した部分はＳＯＲ光の照射範囲を示している。
ライン１０を通して取り出すＳＯＲ光を集光したり不要
なＳＯＲ光をカットするための鏡である図５に示すよう
な放射光ミラー１２が備えられている。このような放射
光ミラー１２としては平面ミラーあるいは曲面ミラーが
用いられ、その素材としてはシリコンを基材として用い
てその表面にシリコンカーバイドからなる反射面１２ａ
を形成したものが一般に採用されている。図５に符号Ｓ
で示した部分はＳＯＲ光の照射範囲を示している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ビームライ
ン１０を通して取り出すＳＯＲ光は大きな熱エネルギー
を有するものであるので、上記のような放射光ミラー１
２にＳＯＲ光が照射されると、放射光ミラー１２はＳＯ
Ｒ光の熱エネルギを受けて温度上昇し、熱膨張するもの
である。この場合、ＳＯＲ光が直接的に照射される反射
面１２ａの表層部は大きく温度上昇するが、放射光ミラ
ー１２の裏面側は表面側ほどは温度が上昇せず、このた
め、放射光ミラー１２はその表面側が裏面側より大きく
熱膨張して図６に示すように反ってしまったり反射面１
２ａが歪んでしまうことがある。そして、そのような反
りや歪が生じると反射方向が変化してしまったり、反射
するべきＳＯＲ光の波長がずれるといった不具合が生じ
るので、そのような事態を防止し得る有効な改善策が要
望されていた。
ン１０を通して取り出すＳＯＲ光は大きな熱エネルギー
を有するものであるので、上記のような放射光ミラー１
２にＳＯＲ光が照射されると、放射光ミラー１２はＳＯ
Ｒ光の熱エネルギを受けて温度上昇し、熱膨張するもの
である。この場合、ＳＯＲ光が直接的に照射される反射
面１２ａの表層部は大きく温度上昇するが、放射光ミラ
ー１２の裏面側は表面側ほどは温度が上昇せず、このた
め、放射光ミラー１２はその表面側が裏面側より大きく
熱膨張して図６に示すように反ってしまったり反射面１
２ａが歪んでしまうことがある。そして、そのような反
りや歪が生じると反射方向が変化してしまったり、反射
するべきＳＯＲ光の波長がずれるといった不具合が生じ
るので、そのような事態を防止し得る有効な改善策が要
望されていた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記事情に鑑み、本発明
は、粒子加速器のビームラインに備えられてそのビーム
ラインを通して取り出す放射光を反射するための放射光
ミラーであって、放射光を反射する反射面に、その反射
面の表層部が熱膨張した際にその変形を吸収するための
溝を形成してなることを特徴としている。
は、粒子加速器のビームラインに備えられてそのビーム
ラインを通して取り出す放射光を反射するための放射光
ミラーであって、放射光を反射する反射面に、その反射
面の表層部が熱膨張した際にその変形を吸収するための
溝を形成してなることを特徴としている。
【０００７】
【作用】反射面に溝を形成しておくことにより、反射面
の表層部に生じる熱膨張は溝によって吸収されてしまっ
て反射面全体の熱膨張による変形は低減する。したがっ
て、反射面での熱膨張量と裏面側での熱膨張量との差を
考慮して溝の寸法を設定することにより、両者の熱膨張
量の差を無くし、それによって反りや歪の発生を防止す
る。
の表層部に生じる熱膨張は溝によって吸収されてしまっ
て反射面全体の熱膨張による変形は低減する。したがっ
て、反射面での熱膨張量と裏面側での熱膨張量との差を
考慮して溝の寸法を設定することにより、両者の熱膨張
量の差を無くし、それによって反りや歪の発生を防止す
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１ないし図３を参
照して説明する。本実施例の放射光ミラー２０は、上述
した従来のものと同様にシンクロトロンのビームライン
１０に備えられてＳＯＲ光を反射するためのものであ
り、その形状や寸法も基本的には図５に示した従来の放
射光ミラー１２とものと同等であるが、本実施例の放射
光ミラー２０が従来のものと異なる点は、反射面２０ａ
に熱膨張を吸収するための溝２１を形成した点にある。
照して説明する。本実施例の放射光ミラー２０は、上述
した従来のものと同様にシンクロトロンのビームライン
１０に備えられてＳＯＲ光を反射するためのものであ
り、その形状や寸法も基本的には図５に示した従来の放
射光ミラー１２とものと同等であるが、本実施例の放射
光ミラー２０が従来のものと異なる点は、反射面２０ａ
に熱膨張を吸収するための溝２１を形成した点にある。
【０００９】すなわち、本実施例の放射光ミラー２０の
反射面２０ａには、反射するべきＳＯＲ光の照射範囲Ｓ
を外れる位置つまり両側縁部と両端部に、各２本ずつ合
計４本の溝２１…が縦横に形成されたものとなってい
る。それらの溝２１の寸法や本数、位置等は、放射光ミ
ラー２０の各部の寸法、その素材の熱膨張率、ＳＯＲ光
が照射された際の温度上昇の程度等を考慮し、反射面２
０ａでの熱膨張量が裏面側での熱膨張量より大きくなる
ことを防止するように決定されるものである。
反射面２０ａには、反射するべきＳＯＲ光の照射範囲Ｓ
を外れる位置つまり両側縁部と両端部に、各２本ずつ合
計４本の溝２１…が縦横に形成されたものとなってい
る。それらの溝２１の寸法や本数、位置等は、放射光ミ
ラー２０の各部の寸法、その素材の熱膨張率、ＳＯＲ光
が照射された際の温度上昇の程度等を考慮し、反射面２
０ａでの熱膨張量が裏面側での熱膨張量より大きくなる
ことを防止するように決定されるものである。
【００１０】具体的には、たとえば長さ方向に沿って形
成されている２本の溝２１の幅寸法の合計値は、反射面
２０ａの表層部における幅方向の熱膨張量と裏面側にお
ける幅方向の熱膨張量の差と同等もしくはそれより大き
く設定しておく。すなわち、裏面側に比して大きく膨張
する表層部の一部を少なくとも熱膨張量の差に相当する
分だけ溝２１として予め切除しておくのであり、これに
より表層部での熱膨張量と裏面側での熱膨張量との差を
無くすのである。幅方向に沿って形成されている２本の
溝２１の幅寸法についても同様に設定する。また、各溝
２１の深さ寸法は、反射面２０ａの表面から温度上昇が
特に顕著に生じる位置までの範囲に設定する。
成されている２本の溝２１の幅寸法の合計値は、反射面
２０ａの表層部における幅方向の熱膨張量と裏面側にお
ける幅方向の熱膨張量の差と同等もしくはそれより大き
く設定しておく。すなわち、裏面側に比して大きく膨張
する表層部の一部を少なくとも熱膨張量の差に相当する
分だけ溝２１として予め切除しておくのであり、これに
より表層部での熱膨張量と裏面側での熱膨張量との差を
無くすのである。幅方向に沿って形成されている２本の
溝２１の幅寸法についても同様に設定する。また、各溝
２１の深さ寸法は、反射面２０ａの表面から温度上昇が
特に顕著に生じる位置までの範囲に設定する。
【００１１】上記のような溝２１を設けたことにより、
反射面２０ａが温度上昇して熱膨張した際には図３に示
す如く溝２１が潰れるように変形し、それによって反射
面２０ａの表層部における熱膨張が吸収されてしまうこ
とになる。そして、溝２１の寸法を上記のように設定し
ておくことにより反射面２０ａ全体の熱膨張量を裏面側
と同等程度とでき、その結果、表層部と裏面側との熱膨
張量の差に起因して生じる反りや歪の発生を防止するこ
とができて反射面２０ａを常に平坦に維持することがで
き、反射方向が変化したり反射するべきＳＯＲ光の波長
がずれるようなことを防止し得る。
反射面２０ａが温度上昇して熱膨張した際には図３に示
す如く溝２１が潰れるように変形し、それによって反射
面２０ａの表層部における熱膨張が吸収されてしまうこ
とになる。そして、溝２１の寸法を上記のように設定し
ておくことにより反射面２０ａ全体の熱膨張量を裏面側
と同等程度とでき、その結果、表層部と裏面側との熱膨
張量の差に起因して生じる反りや歪の発生を防止するこ
とができて反射面２０ａを常に平坦に維持することがで
き、反射方向が変化したり反射するべきＳＯＲ光の波長
がずれるようなことを防止し得る。
【００１２】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明の放射光
ミラーは、反射面にその表層部の熱膨張を吸収するため
の溝を形成したものであるから、放射光が照射された際
に温度が大きく上昇する表層部と、さほど温度の上昇し
ない裏面側での熱膨張量とを均等とすることができ、し
たがって、それら熱膨張量の差に起因して生じる反りや
歪の発生を有効に防止し得る、という優れた効果を奏す
る。
ミラーは、反射面にその表層部の熱膨張を吸収するため
の溝を形成したものであるから、放射光が照射された際
に温度が大きく上昇する表層部と、さほど温度の上昇し
ない裏面側での熱膨張量とを均等とすることができ、し
たがって、それら熱膨張量の差に起因して生じる反りや
歪の発生を有効に防止し得る、という優れた効果を奏す
る。
【図１】本発明の実施例である放射光ミラーを示す斜視
図である。
図である。
【図２】同放射光ミラーの断面図である。
【図３】同放射光ミラーが熱膨張した状態を示す断面図
である。
である。
【図４】小型シンクロトロンの概要を示す平面図であ
る。
る。
【図５】同シンクロトロンのビームラインに備えられて
いる従来一般の放射光ミラーを示す斜視図である。
いる従来一般の放射光ミラーを示す斜視図である。
【図６】同放射光ミラーが熱膨張して反った状態を示す
断面図である。
断面図である。
１０ ビームライン ２０ 放射光ミラー ２０ａ 反射面 ２１ 溝。
Claims (1)
- 【請求項１】 粒子加速器のビームラインに備えられて
そのビームラインを通して取り出す放射光を反射するた
めの放射光ミラーであって、放射光を反射する反射面
に、その反射面の表層部が熱膨張した際にその変形を吸
収するための溝を形成してなることを特徴とする粒子加
速器の放射光ミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17836693A JPH0737700A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 粒子加速器の放射光ミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17836693A JPH0737700A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 粒子加速器の放射光ミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0737700A true JPH0737700A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16047241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17836693A Withdrawn JPH0737700A (ja) | 1993-07-19 | 1993-07-19 | 粒子加速器の放射光ミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0737700A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06240548A (ja) * | 1991-04-10 | 1994-08-30 | Shima Seiki Mfg Ltd | 貼付け型ポケットを有する編地及びその編成方法 |
| US8828225B2 (en) | 2004-08-06 | 2014-09-09 | Asahi Kasei Medical Co., Ltd. | Polysulfone hemodialyzer |
-
1993
- 1993-07-19 JP JP17836693A patent/JPH0737700A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06240548A (ja) * | 1991-04-10 | 1994-08-30 | Shima Seiki Mfg Ltd | 貼付け型ポケットを有する編地及びその編成方法 |
| US8828225B2 (en) | 2004-08-06 | 2014-09-09 | Asahi Kasei Medical Co., Ltd. | Polysulfone hemodialyzer |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |