JPH05182265A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH05182265A JPH05182265A JP12686391A JP12686391A JPH05182265A JP H05182265 A JPH05182265 A JP H05182265A JP 12686391 A JP12686391 A JP 12686391A JP 12686391 A JP12686391 A JP 12686391A JP H05182265 A JPH05182265 A JP H05182265A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- recording medium
- rotation angle
- optical recording
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カー回転角が充分に大きく、かつＳ／Ｎ比の
良い読み出しが可能なだけでなく、記録感度が高く、し
かも適度な熱安定性を有する光磁気記録媒体を提供する
こと。 【構成】 光磁気記録媒体の磁性膜に、膜面に垂直方向
に磁化容易軸を有する非晶質Ｄｙ−Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−
Ｃｏ五元系合金からなりキュリー温度が１９０℃以上２
３０℃以下でカー回転角が０．３゜以上の以下の一般式
（Ｉ） ｛Ｄｙ1-Z （Ｇｄ1-w Ｔｂw ）z ｝1-y （Ｆｅ1-x Ｃｏ
x ）y・・・ （Ｉ） ０．２≦ｘ≦０．３ ０．５≦ｙ≦０．９ ０．３≦ｚ≦０．７ ０≦ｗ≦１ を満足する磁性合金膜を用いる。
良い読み出しが可能なだけでなく、記録感度が高く、し
かも適度な熱安定性を有する光磁気記録媒体を提供する
こと。 【構成】 光磁気記録媒体の磁性膜に、膜面に垂直方向
に磁化容易軸を有する非晶質Ｄｙ−Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−
Ｃｏ五元系合金からなりキュリー温度が１９０℃以上２
３０℃以下でカー回転角が０．３゜以上の以下の一般式
（Ｉ） ｛Ｄｙ1-Z （Ｇｄ1-w Ｔｂw ）z ｝1-y （Ｆｅ1-x Ｃｏ
x ）y・・・ （Ｉ） ０．２≦ｘ≦０．３ ０．５≦ｙ≦０．９ ０．３≦ｚ≦０．７ ０≦ｗ≦１ を満足する磁性合金膜を用いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気メモリー、磁気
記録、表示素子などに用いられる光磁気記録媒体に関す
るもので、特に、磁気カー効果あるいはファラデー効果
などの磁気光学効果を用いて読み出すことのできる光磁
気記録媒体に関するものである。
記録、表示素子などに用いられる光磁気記録媒体に関す
るもので、特に、磁気カー効果あるいはファラデー効果
などの磁気光学効果を用いて読み出すことのできる光磁
気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光磁気記録媒体としては、ＭｎＢ
ｉ、ＭｎＣｕＢｉ等の多結晶薄膜、ＧｄＣｏ、ＧｄＦ
ｅ、ＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ、ＴｂＤｙＦｅ
等の非晶質薄膜、ＧｄＩＧ等の単結晶薄膜等が知られて
いる。
ｉ、ＭｎＣｕＢｉ等の多結晶薄膜、ＧｄＣｏ、ＧｄＦ
ｅ、ＴｂＦｅ、ＤｙＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ、ＴｂＤｙＦｅ
等の非晶質薄膜、ＧｄＩＧ等の単結晶薄膜等が知られて
いる。
【０００３】これ等の薄膜のうちで、大面積の薄膜を室
温近傍の温度で製作する際の成膜性、信号を小さな光エ
ネルギーで書き込むための書き込み効率、書き込まれた
信号をＳ／Ｎ比良く読み出すための読み出し効率等を勘
案すると、最近では前記非晶質薄膜が光磁気記録媒体と
して優れていると考えられている。
温近傍の温度で製作する際の成膜性、信号を小さな光エ
ネルギーで書き込むための書き込み効率、書き込まれた
信号をＳ／Ｎ比良く読み出すための読み出し効率等を勘
案すると、最近では前記非晶質薄膜が光磁気記録媒体と
して優れていると考えられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
非晶質薄膜においても種々の欠点が指摘されている。
非晶質薄膜においても種々の欠点が指摘されている。
【０００５】例えば、ＧｄＦｅは保磁力が小さく、記録
された情報が不安定である。また、ＧｄＦｅ、ＧｄＣｏ
は、磁気的補償点を利用した書き込みを行っており、書
き込み効率を均一にするために、成膜の際にその膜組成
を厳しく管理しなければならない。ＴｂＦｅ、ＤｙＦ
ｅ、ＴｂＤｙＦｅでは、キュリー点書き込みのため、膜
組成をそれほど厳しく管理することはないが、キュリー
点が１００℃以下と低いために信号を読み出す時にパワ
ーの強い光を用いることができないという難点がある。
キュリー温度が低ければ書き込むための効率は向上する
が、書き込まれた信号が周囲の温度や読み出し光により
乱されてしまう。従って、磁気変態温度は、熱安定性を
考慮すると、１００℃以上が望ましい。
された情報が不安定である。また、ＧｄＦｅ、ＧｄＣｏ
は、磁気的補償点を利用した書き込みを行っており、書
き込み効率を均一にするために、成膜の際にその膜組成
を厳しく管理しなければならない。ＴｂＦｅ、ＤｙＦ
ｅ、ＴｂＤｙＦｅでは、キュリー点書き込みのため、膜
組成をそれほど厳しく管理することはないが、キュリー
点が１００℃以下と低いために信号を読み出す時にパワ
ーの強い光を用いることができないという難点がある。
キュリー温度が低ければ書き込むための効率は向上する
が、書き込まれた信号が周囲の温度や読み出し光により
乱されてしまう。従って、磁気変態温度は、熱安定性を
考慮すると、１００℃以上が望ましい。
【０００６】一方、反射光による読みだしＳ／Ｎ比は、
反射率をＲ、カー回転角をθｋとすると
反射率をＲ、カー回転角をθｋとすると
【０００７】
【数１】 に比例する。
【０００８】従って、Ｓ／Ｎ比良く読み出すためには、
カー回転角を大きくすれば良い。表１には非晶質磁性膜
のカー回転角が示されている。
カー回転角を大きくすれば良い。表１には非晶質磁性膜
のカー回転角が示されている。
【０００９】
【表１】 この中では、ＧｄＴｂＦｅのカーの回転角がもっとも大
きい。
きい。
【００１０】しかしながら、この値でもなお充分とはい
いがたく、更にカー回転角を大きくする研究を進めた結
果、ＧｄＦｅやＴｂＦｅにＣｏを添加したＧｄＦｅＣ
ｏ、ＴｂＦｅＣｏは、カー回転角が大きく、特にＧｄＴ
ｂＦｅにＣｏを添加したＧｄＴｂＦｅＣｏの４元系非晶
質磁性合金が熱安定性に優れ、かつカー回転角が充分に
大きくＳ／Ｎ比の良い読み出しが可能な光磁気記録媒体
であることが見い出された。
いがたく、更にカー回転角を大きくする研究を進めた結
果、ＧｄＦｅやＴｂＦｅにＣｏを添加したＧｄＦｅＣ
ｏ、ＴｂＦｅＣｏは、カー回転角が大きく、特にＧｄＴ
ｂＦｅにＣｏを添加したＧｄＴｂＦｅＣｏの４元系非晶
質磁性合金が熱安定性に優れ、かつカー回転角が充分に
大きくＳ／Ｎ比の良い読み出しが可能な光磁気記録媒体
であることが見い出された。
【００１１】このように、従来の希土類−遷移金属系の
非晶質磁性合金において、遷移金属として、ＦｅとＣｏ
を含む系が、カー回転角を増大させることがわかる。
非晶質磁性合金において、遷移金属として、ＦｅとＣｏ
を含む系が、カー回転角を増大させることがわかる。
【００１２】しかしながら、Ｃｏの添加は、キュリー温
度を上昇させる。表２には、ＴｂＦｅＣｏとＧｄＦｅＣ
ｏのカー回転角とキュリー温度が示されている。
度を上昇させる。表２には、ＴｂＦｅＣｏとＧｄＦｅＣ
ｏのカー回転角とキュリー温度が示されている。
【００１３】
【表２】 このように、Ｃｏを添加することにより、θｋを増大さ
せることが可能になるが、それに伴ってキュリー温度が
大きくなりすぎると、記録感度が著しく低下した。
せることが可能になるが、それに伴ってキュリー温度が
大きくなりすぎると、記録感度が著しく低下した。
【００１４】本発明の目的は、カー回転角が充分に大き
く、かつＳ／Ｎ比の良い読みだしが可能なだけでなく、
記録感度が高く、しかも適度な熱安定性を有する光磁気
記録媒体を提供することにある。
く、かつＳ／Ｎ比の良い読みだしが可能なだけでなく、
記録感度が高く、しかも適度な熱安定性を有する光磁気
記録媒体を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得る本
発明の光磁気記録媒体は、膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有する非晶質Ｄｙ−Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ五元系合
金からなりキュリー温度が１９０℃以上２３０℃以下で
カー回転角が０．３゜以上の下記一般式（Ｉ） ｛Ｄｙ1-Z （Ｇｄ1-w Ｔｂw ）z ｝1-y （Ｆｅ1-x Ｃｏx ）y ・・・ （Ｉ） ０．２≦ｘ≦０．３ ０．５≦ｙ≦０．９ ０．３≦ｚ≦０．７ ０≦ｗ≦１ を満足する磁性合金膜を有することを特徴とする。
発明の光磁気記録媒体は、膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有する非晶質Ｄｙ−Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ五元系合
金からなりキュリー温度が１９０℃以上２３０℃以下で
カー回転角が０．３゜以上の下記一般式（Ｉ） ｛Ｄｙ1-Z （Ｇｄ1-w Ｔｂw ）z ｝1-y （Ｆｅ1-x Ｃｏx ）y ・・・ （Ｉ） ０．２≦ｘ≦０．３ ０．５≦ｙ≦０．９ ０．３≦ｚ≦０．７ ０≦ｗ≦１ を満足する磁性合金膜を有することを特徴とする。
【００１６】本発明においては非晶質ＤｙＧｄＴｂＦｅ
Ｃｏ五元系非晶質合金のキュリー温度が記録情報の熱安
定性を記録感度との関連で考慮して、１９０℃以上２３
０℃以下に設定されている。
Ｃｏ五元系非晶質合金のキュリー温度が記録情報の熱安
定性を記録感度との関連で考慮して、１９０℃以上２３
０℃以下に設定されている。
【００１７】本発明のＤｙＧｄＴｂＦｅＣｏ系非晶質合
金の膜を有する光磁気媒体は、磁化容易軸が、膜面に垂
直な方向に向けられているだけに充分な磁気異方性を持
たなければならない。このためには、まず、薄膜を非晶
質で構成する必要があり、これは、スパッタリング法あ
るいは真空蒸着法などによって薄膜を成膜することによ
って達成される。
金の膜を有する光磁気媒体は、磁化容易軸が、膜面に垂
直な方向に向けられているだけに充分な磁気異方性を持
たなければならない。このためには、まず、薄膜を非晶
質で構成する必要があり、これは、スパッタリング法あ
るいは真空蒸着法などによって薄膜を成膜することによ
って達成される。
【００１８】また、上記一般式（Ｉ）で規定される組成
を採用することで、光磁気記録媒体に、高い記録感度と
適度な熱安定性、そして充分なカー回転角を持たせるこ
とができる。
を採用することで、光磁気記録媒体に、高い記録感度と
適度な熱安定性、そして充分なカー回転角を持たせるこ
とができる。
【００１９】
実施例１ 高周波スパッタ装置において３インチ角の白板ガラスを
基板とし、ターゲットとして４インチφの（Ｆｅ0.70Ｃ
ｏ0.30）合金上に、各々５ｍｍ角のＤｙ片、Ｇｄ片及び
Ｔｂ片を均一に並べたものを使用した。チャンバー内を
１．５×１０-5Ｐａ以下になるまで真空排気した後、Ａ
ｒガスを４×１０-1Ｐａまで導入し、真空排気系のメイ
ンバルブを操作することによりＡｒ圧を３Ｐａにした。
高周波電源により、２００Ｗのスパッタ電力で成膜を行
った。このようにしてできた膜厚１０００オングストロ
ームの膜は、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、ま
たＸ線回折により、非晶質であることを確認した。ま
た、組成分析の結果、この磁性膜は（Ｄｙ0.50Ｔｂ0.25
Ｇｄ0.25）0.20（Ｆｅ0.70Ｃｏ0.30）0.80であり、カー
回転角は、発振波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザーで
測定したところ、０．３７度であった。またキュリー温
度は、約２２０℃であった。これは、同様に作成したＧ
ｄ0.25（Ｆｅ0.70Ｃｏ0.30）0.75のカー回転角０．４０
度、キュリー温度約３８０℃に比較してカー回転角は、
若干低下はしたが、キュリー温度を大幅に低下させるこ
とができた。
基板とし、ターゲットとして４インチφの（Ｆｅ0.70Ｃ
ｏ0.30）合金上に、各々５ｍｍ角のＤｙ片、Ｇｄ片及び
Ｔｂ片を均一に並べたものを使用した。チャンバー内を
１．５×１０-5Ｐａ以下になるまで真空排気した後、Ａ
ｒガスを４×１０-1Ｐａまで導入し、真空排気系のメイ
ンバルブを操作することによりＡｒ圧を３Ｐａにした。
高周波電源により、２００Ｗのスパッタ電力で成膜を行
った。このようにしてできた膜厚１０００オングストロ
ームの膜は、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、ま
たＸ線回折により、非晶質であることを確認した。ま
た、組成分析の結果、この磁性膜は（Ｄｙ0.50Ｔｂ0.25
Ｇｄ0.25）0.20（Ｆｅ0.70Ｃｏ0.30）0.80であり、カー
回転角は、発振波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザーで
測定したところ、０．３７度であった。またキュリー温
度は、約２２０℃であった。これは、同様に作成したＧ
ｄ0.25（Ｆｅ0.70Ｃｏ0.30）0.75のカー回転角０．４０
度、キュリー温度約３８０℃に比較してカー回転角は、
若干低下はしたが、キュリー温度を大幅に低下させるこ
とができた。
【００２０】実施例２〜５ 実施例１におけるＦｅＣｏ合金の組成比またはＤｙ片、
Ｇｄ片、Ｔｄ片の枚数をそれぞれ変化させる以外は実施
例１と同様にして成膜した実施例２〜５の磁性薄膜の組
成、カー回転角およびキュリー温度は表３のとおりであ
った。
Ｇｄ片、Ｔｄ片の枚数をそれぞれ変化させる以外は実施
例１と同様にして成膜した実施例２〜５の磁性薄膜の組
成、カー回転角およびキュリー温度は表３のとおりであ
った。
【００２１】
【表３】
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光磁気記
録媒体においては高い記録感度と適度な熱安定性、更に
充分なカー回転角を備えており、従来のものに比べて好
適な光磁気記録媒体である。
録媒体においては高い記録感度と適度な熱安定性、更に
充分なカー回転角を備えており、従来のものに比べて好
適な光磁気記録媒体である。
Claims (1)
- 【請求項１】 膜面に垂直方向に磁化容易軸を有する非
晶質Ｄｙ−Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ五元系合金からなり
キュリー温度が１９０℃以上２３０℃以下でカー回転角
が０．３゜以上の下記一般式（Ｉ） ｛Ｄｙ1-Z （Ｇｄ1-w Ｔｂw ）z ｝1-y （Ｆｅ1-x Ｃｏx ）y ・・・ （Ｉ） ０．２≦ｘ≦０．３ ０．５≦ｙ≦０．９ ０．３≦ｚ≦０．７ ０≦ｗ≦１ を満足する磁性合金膜を有することを特徴とする光磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12686391A JPH05182265A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12686391A JPH05182265A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 光磁気記録媒体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21505583A Division JPS60107751A (ja) | 1983-11-17 | 1983-11-17 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05182265A true JPH05182265A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=14945708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12686391A Pending JPH05182265A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05182265A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS59227052A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-20 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS609855A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | Toshiba Corp | 磁性合金 |
-
1991
- 1991-04-30 JP JP12686391A patent/JPH05182265A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961011A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS59227052A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-20 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS609855A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | Toshiba Corp | 磁性合金 |
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