JPH0823944B2 - 磁気光学記録媒体の作製方法 - Google Patents
磁気光学記録媒体の作製方法Info
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- JPH0823944B2 JPH0823944B2 JP32022992A JP32022992A JPH0823944B2 JP H0823944 B2 JPH0823944 B2 JP H0823944B2 JP 32022992 A JP32022992 A JP 32022992A JP 32022992 A JP32022992 A JP 32022992A JP H0823944 B2 JPH0823944 B2 JP H0823944B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- recording medium
- optical recording
- film
- magnetic
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/04—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using optical elements ; using other beam accessed elements, e.g. electron or ion beam
- G11C13/06—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using optical elements ; using other beam accessed elements, e.g. electron or ion beam using magneto-optical elements
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気メモリー，磁気記
録，表示素子などに用いられる磁気光学記録媒体の作製
方法に関するもので、特に磁気カー効果若しくはファラ
デー効果などの磁気光学効果を用いて読み出すことので
きる磁気光学記録媒体の作製方法に関するものである。
録，表示素子などに用いられる磁気光学記録媒体の作製
方法に関するもので、特に磁気カー効果若しくはファラ
デー効果などの磁気光学効果を用いて読み出すことので
きる磁気光学記録媒体の作製方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気光学記録媒体としてはＭｎＢ
ｉ，ＭｎＣｕＢｉなどの多結晶体薄膜、ＧｄＣｏ，Ｇｄ
Ｆｅ，ＴｂＦｅ，ＤｙＦｅ，ＧｄＴｂＦｅ，ＴｂＤｙＦ
ｅなどの非晶質薄膜、ＧＩＧなどの単結晶薄膜などが知
られている。これら薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近
傍の温度で形成する成膜性，信号を小さな光熱エネルギ
ーで書き込むための書き込み効率，書き込まれた信号を
ＳＮ比良く読み出すための読み出し効率などを勘案し、
最近では前記非晶質薄膜が磁気光学記録媒体として優れ
ていると考えられている。
ｉ，ＭｎＣｕＢｉなどの多結晶体薄膜、ＧｄＣｏ，Ｇｄ
Ｆｅ，ＴｂＦｅ，ＤｙＦｅ，ＧｄＴｂＦｅ，ＴｂＤｙＦ
ｅなどの非晶質薄膜、ＧＩＧなどの単結晶薄膜などが知
られている。これら薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近
傍の温度で形成する成膜性，信号を小さな光熱エネルギ
ーで書き込むための書き込み効率，書き込まれた信号を
ＳＮ比良く読み出すための読み出し効率などを勘案し、
最近では前記非晶質薄膜が磁気光学記録媒体として優れ
ていると考えられている。
【０００３】然しながら、これらの非晶質薄膜において
も種々の欠点が指摘されている。例えば、ＧｄＦｅは保
磁力が小さく、記録された情報が不安定である。また、
ＧｄＦｅ，ＧｄＣｏは磁気的補償点を利用した書き込み
を行っており、書き込み効率を均一にするために成膜の
際、膜組成を厳しく管理しなければならないという難点
がある。ＴｂＦｅ，ＤｙＦｅ，ＴｂＤｙＦｅはキューリ
ー点書き込みのため、膜組成をそれほど厳しく管理する
ことはないが、キューリー点が１００℃以下と低いため
に、信号を読み出す時にパワーの強い光を用いることが
できないという難点がある。
も種々の欠点が指摘されている。例えば、ＧｄＦｅは保
磁力が小さく、記録された情報が不安定である。また、
ＧｄＦｅ，ＧｄＣｏは磁気的補償点を利用した書き込み
を行っており、書き込み効率を均一にするために成膜の
際、膜組成を厳しく管理しなければならないという難点
がある。ＴｂＦｅ，ＤｙＦｅ，ＴｂＤｙＦｅはキューリ
ー点書き込みのため、膜組成をそれほど厳しく管理する
ことはないが、キューリー点が１００℃以下と低いため
に、信号を読み出す時にパワーの強い光を用いることが
できないという難点がある。
【０００４】ＳＮ比を良く読み出すために、非晶質薄膜
の磁気光学定数を大きくするための提案としては、特開
昭５６−１２６９０７号公報にＧｄ−Ｔｂ−Ｆｅより成
る非晶質３元合金薄膜が示されている。表１には、従来
の磁気光学薄膜の磁気カー定数とキューリー温度が示さ
れている。
の磁気光学定数を大きくするための提案としては、特開
昭５６−１２６９０７号公報にＧｄ−Ｔｂ−Ｆｅより成
る非晶質３元合金薄膜が示されている。表１には、従来
の磁気光学薄膜の磁気カー定数とキューリー温度が示さ
れている。
【０００５】
【表１】
【０００６】表１よりわかるように、磁気カー定数が最
も大きいのはＧｄＴｂＦｅで０．２７度であり、ＳＮ比
が安定して読み出せるには、磁気カー定数の値として少
なくとも０．２度以上の値が望ましい。そして、ＳＮ比
が良く読み出せるためには、磁気カー定数のごとき磁気
光学定数が大きければ大きい程良いことは言うまでもな
い。
も大きいのはＧｄＴｂＦｅで０．２７度であり、ＳＮ比
が安定して読み出せるには、磁気カー定数の値として少
なくとも０．２度以上の値が望ましい。そして、ＳＮ比
が良く読み出せるためには、磁気カー定数のごとき磁気
光学定数が大きければ大きい程良いことは言うまでもな
い。
【０００７】また、キューリー温度は、低ければ書き込
むための効率は向上するが、書き込まれた信号が周囲の
温度とか、読み出し光により乱されてしまう。従って、
磁気変態温度は使用上の状態を考慮すると１００℃以上
〜２００℃以下位が望ましい。
むための効率は向上するが、書き込まれた信号が周囲の
温度とか、読み出し光により乱されてしまう。従って、
磁気変態温度は使用上の状態を考慮すると１００℃以上
〜２００℃以下位が望ましい。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、磁気光学定数が十分に大きく、ＳＮ比の良い読み
出しが可能で、且つ、熱安定性に優れた磁気光学記録媒
体を容易に作製することができない点である。
点は、磁気光学定数が十分に大きく、ＳＮ比の良い読み
出しが可能で、且つ、熱安定性に優れた磁気光学記録媒
体を容易に作製することができない点である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、スパッター装
置を用いて基板上にＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ非晶質磁性合金薄
膜を成膜し、その際に、スパッター装置の真空槽を真空
排気した後、アルゴンガスを導入し、アルゴンガスの圧
力を５×１０-2 Torr としてスパッターを行うことによ
って、磁気光学定数が十分に大きく、ＳＮ比の良い読み
出しが可能で、且つ、熱安定性に優れた磁気光学記録媒
体を容易に作製することができたものである。
置を用いて基板上にＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ非晶質磁性合金薄
膜を成膜し、その際に、スパッター装置の真空槽を真空
排気した後、アルゴンガスを導入し、アルゴンガスの圧
力を５×１０-2 Torr としてスパッターを行うことによ
って、磁気光学定数が十分に大きく、ＳＮ比の良い読み
出しが可能で、且つ、熱安定性に優れた磁気光学記録媒
体を容易に作製することができたものである。
【００１０】また、本発明の方法で作製される磁気光学
記録媒体において、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を向
けるのに十分な磁気異方性を持たせる組成として、Ｆｅ
とＣｏとを合わせた原子比が６０原子％〜９０原子％の
範囲に存在する必要がある。更に、本発明の方法で作製
される磁気光学記録媒体において、記録された磁気信号
が熱に対して安定な状態を保つためには、ＦｅとＣｏを
合わせた原子比を１００％とした場合、ＣｏがＦｅに対
して１％以上の原子比で存在する必要がある。
記録媒体において、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を向
けるのに十分な磁気異方性を持たせる組成として、Ｆｅ
とＣｏとを合わせた原子比が６０原子％〜９０原子％の
範囲に存在する必要がある。更に、本発明の方法で作製
される磁気光学記録媒体において、記録された磁気信号
が熱に対して安定な状態を保つためには、ＦｅとＣｏを
合わせた原子比を１００％とした場合、ＣｏがＦｅに対
して１％以上の原子比で存在する必要がある。
【００１１】
【実施例】本発明の方法で作製される磁気光学記録媒体
においては、従来になかったＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏの組み合
わせで非晶質磁性合金を形成しることにより、磁気光学
定数の値の優れた媒体が得られたものである。この結果
は後述する実施例より明らかなように、組成によっては
従来知られている最も大きなカー回転角であるＧｄＴｂ
Ｆｅの０．２７度を大幅に凌ぐ値を有するものである。
においては、従来になかったＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏの組み合
わせで非晶質磁性合金を形成しることにより、磁気光学
定数の値の優れた媒体が得られたものである。この結果
は後述する実施例より明らかなように、組成によっては
従来知られている最も大きなカー回転角であるＧｄＴｂ
Ｆｅの０．２７度を大幅に凌ぐ値を有するものである。
【００１２】また、本発明の方法で作製されるＴｂ−Ｆ
ｅ−Ｃｏ系非晶質３元合金の磁気光学記録媒体は、磁化
容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけに十分な磁
気異方性を持たなければならない。このためには、まず
薄膜を非晶質で構成する必要がある。これは、室温近傍
以下の温度に保持された基体上に、圧力５×１０-2 Tor
r のアルゴンガスの雰囲気中で、スパッターリング法で
薄膜を成膜することによって達成される。また、十分な
磁気異方性を持たせるための組成としては、ＴｂとＦｅ
とＣｏとの組成をＴｂ1-X（Ｆｅ1-YＣｏY）Xとすると、
０．６≦Ｘ≦０．９を満足する必要がある。更に、熱安
定性を持たせるための組成として、０．０１≦Ｙ＜１．
０を満足する必要がある。即ち、ＦｅとＣｏの原子を合
わせて１．０としたときに、その中でＣｏが少なくとも
０．０１以上存在すれば、キューリー温度が１００℃以
上になり、熱安定性が良くなる。
ｅ−Ｃｏ系非晶質３元合金の磁気光学記録媒体は、磁化
容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけに十分な磁
気異方性を持たなければならない。このためには、まず
薄膜を非晶質で構成する必要がある。これは、室温近傍
以下の温度に保持された基体上に、圧力５×１０-2 Tor
r のアルゴンガスの雰囲気中で、スパッターリング法で
薄膜を成膜することによって達成される。また、十分な
磁気異方性を持たせるための組成としては、ＴｂとＦｅ
とＣｏとの組成をＴｂ1-X（Ｆｅ1-YＣｏY）Xとすると、
０．６≦Ｘ≦０．９を満足する必要がある。更に、熱安
定性を持たせるための組成として、０．０１≦Ｙ＜１．
０を満足する必要がある。即ち、ＦｅとＣｏの原子を合
わせて１．０としたときに、その中でＣｏが少なくとも
０．０１以上存在すれば、キューリー温度が１００℃以
上になり、熱安定性が良くなる。
【００１３】更に、磁化を安定して膜面に垂直な方向に
向かせるには、膜厚は１００Å以上にする必要がある。
向かせるには、膜厚は１００Å以上にする必要がある。
【００１４】以下に、本発明に係る実施例１〜３を示す
が、この実施例の結果をまとめて示したものが図１及び
図２である。図１はＴｂ0.21（Ｆｅ1-YＣｏY）0.79の組
成において、Ｃｏの量に対する磁気カー定数の関係を示
すもので、縦軸に磁気カー定数，横軸にＣｏの量が取ら
れている。図２は、Ｔｂ0.21（Ｆｅ1-YＣｏY）0.79の組
成において、Ｃｏの量に対するキューリー温度の関係を
示すもので、縦軸にキューリー温度，横軸にＣｏの量が
取られている。
が、この実施例の結果をまとめて示したものが図１及び
図２である。図１はＴｂ0.21（Ｆｅ1-YＣｏY）0.79の組
成において、Ｃｏの量に対する磁気カー定数の関係を示
すもので、縦軸に磁気カー定数，横軸にＣｏの量が取ら
れている。図２は、Ｔｂ0.21（Ｆｅ1-YＣｏY）0.79の組
成において、Ｃｏの量に対するキューリー温度の関係を
示すもので、縦軸にキューリー温度，横軸にＣｏの量が
取られている。
【００１５】〔実施例１〕高周波スパッター装置におい
て、２５mm角の白板ガラスを基板にし、ターゲットとし
てＴｂ0.21（Ｆｅ0.95Ｃｏ0.05）0.79となるようにアー
クメルトしたものを使用し、基板とターゲットとの間隔
が５０mmとなるようにセットした後、３×１０-7 Torr
以下になるまで真空排気した。この後、真空槽に９９．
９９９％のアルゴン（Ａｒ）ガスを５×１０-4 Torr ま
で導入し、真空排気系のメインバルブを操作することに
より、Ａｒ圧を５×１０-2 Torr にする。高周波電源よ
りターゲットへ２W/cm2 の割合で電力を投入して成膜を
行った。このようにしてできた膜厚１５００Åの膜は、
膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、またＸ線的に非
晶質であり、磁気カー定数は０．２度であった。これ
は、Ｔｂ0.21Ｆｅ0.79の磁気カー定数０．１８度より大
きかった。また、キューリー温度は、Ｔｂ0.21（Ｆｅ
0.95Ｃｏ0.05）0.79で１２０℃であり、Ｔｂ0.21Ｆｅ
0.79のキューリー温度９１℃より２９℃高かった。この
ように、ＦｅをＣｏで５％置換することにより、磁気カ
ー定数，キューリー温度とも改善することができた。
て、２５mm角の白板ガラスを基板にし、ターゲットとし
てＴｂ0.21（Ｆｅ0.95Ｃｏ0.05）0.79となるようにアー
クメルトしたものを使用し、基板とターゲットとの間隔
が５０mmとなるようにセットした後、３×１０-7 Torr
以下になるまで真空排気した。この後、真空槽に９９．
９９９％のアルゴン（Ａｒ）ガスを５×１０-4 Torr ま
で導入し、真空排気系のメインバルブを操作することに
より、Ａｒ圧を５×１０-2 Torr にする。高周波電源よ
りターゲットへ２W/cm2 の割合で電力を投入して成膜を
行った。このようにしてできた膜厚１５００Åの膜は、
膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、またＸ線的に非
晶質であり、磁気カー定数は０．２度であった。これ
は、Ｔｂ0.21Ｆｅ0.79の磁気カー定数０．１８度より大
きかった。また、キューリー温度は、Ｔｂ0.21（Ｆｅ
0.95Ｃｏ0.05）0.79で１２０℃であり、Ｔｂ0.21Ｆｅ
0.79のキューリー温度９１℃より２９℃高かった。この
ように、ＦｅをＣｏで５％置換することにより、磁気カ
ー定数，キューリー温度とも改善することができた。
【００１６】〔実施例２〕スパッター用ターゲットの組
成を、Ｔｂ0.21（Ｆｅ0.90Ｃｏ0.10）0.79として実施例
１と全く同様にして成膜した。この膜は、膜面に垂直な
方向に磁化容易軸を有し、かつＸ線的に非晶質であり、
磁気カー定数，キューリー温度を測定したところ、それ
ぞれ０．２８度，１３５℃であった。このように、Ｆｅ
をＣｏで１０％置換した結果、Ｔｂ0.21Ｆｅ0.79の特性
よりも磁気カー定数で０．１度，キューリー温度で４４
℃改善された。
成を、Ｔｂ0.21（Ｆｅ0.90Ｃｏ0.10）0.79として実施例
１と全く同様にして成膜した。この膜は、膜面に垂直な
方向に磁化容易軸を有し、かつＸ線的に非晶質であり、
磁気カー定数，キューリー温度を測定したところ、それ
ぞれ０．２８度，１３５℃であった。このように、Ｆｅ
をＣｏで１０％置換した結果、Ｔｂ0.21Ｆｅ0.79の特性
よりも磁気カー定数で０．１度，キューリー温度で４４
℃改善された。
【００１７】〔実施例３〕スパッター用ターゲットの組
成を、Ｔｂ0.21（Ｆｅ0.85Ｃｏ0.15）0.79として実施例
１と全く同様にして成膜した。この膜は、非晶質であ
り、また膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、磁気カ
ー定数は０．３５度，キューリー温度は１５０℃であっ
た。このように、ＦｅをＣｏで１５％置換することによ
り、Ｔｂ0.21Ｆｅ0.79よりも磁気カー定数で０．１７
度，キューリー温度で５９℃改善された。
成を、Ｔｂ0.21（Ｆｅ0.85Ｃｏ0.15）0.79として実施例
１と全く同様にして成膜した。この膜は、非晶質であ
り、また膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、磁気カ
ー定数は０．３５度，キューリー温度は１５０℃であっ
た。このように、ＦｅをＣｏで１５％置換することによ
り、Ｔｂ0.21Ｆｅ0.79よりも磁気カー定数で０．１７
度，キューリー温度で５９℃改善された。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気光学
記録媒体の作製方法は、Ｔｂ1-X （Ｆｅ1-Y ＣｏY ）
X ，０．６≦Ｘ≦０．９、且つ、０．０１≦Ｙ＜１．０
の条件を満足する組成の非晶質磁性合金を、圧力５×１
０-2 Torr のアルゴンガス雰囲気中でスパッターによっ
て基板上に形成したので、従来得られなかった大きい磁
気光学定数が得られ、ＳＮ比が良く読み出し可能であ
り、また、キューリー温度も熱安定性に富む領域のもの
が得られ、容易に成膜ができる効果が得られた。
記録媒体の作製方法は、Ｔｂ1-X （Ｆｅ1-Y ＣｏY ）
X ，０．６≦Ｘ≦０．９、且つ、０．０１≦Ｙ＜１．０
の条件を満足する組成の非晶質磁性合金を、圧力５×１
０-2 Torr のアルゴンガス雰囲気中でスパッターによっ
て基板上に形成したので、従来得られなかった大きい磁
気光学定数が得られ、ＳＮ比が良く読み出し可能であ
り、また、キューリー温度も熱安定性に富む領域のもの
が得られ、容易に成膜ができる効果が得られた。
【図１】本発明の方法で作製された磁気光学記録媒体に
おいて、Ｃｏの量と磁気カー定数の関係を示す図であ
る。
おいて、Ｃｏの量と磁気カー定数の関係を示す図であ
る。
【図２】本発明の方法で作製された磁気光学記録媒体に
おいて、Ｃｏの量とキューリー温度の関係を示す図であ
る。
おいて、Ｃｏの量とキューリー温度の関係を示す図であ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】 スパッター装置の真空槽中に、基板とタ
ーゲットをセットし、ターゲットをスパッターすること
によって、基板上に膜面に垂直方向に磁化容易軸を有す
る非晶質磁性合金薄膜を成膜する磁気光学記録媒体の作
製方法において、前記磁性合金の組成をＴｂ1-X（Ｆｅ
1-YＣｏY）Xとしたときに、０．６≦Ｘ≦０．９、且
つ、０．０１≦Ｙ＜１．０を満足すること、及び、前記
真空槽を真空排気した後、アルゴンガスを導入し、この
アルゴンガスの圧力を５×１０-2 Torr としてスパッタ
ーを行うことを特徴とする磁気光学記録媒体の作製方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32022992A JPH0823944B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 磁気光学記録媒体の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32022992A JPH0823944B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 磁気光学記録媒体の作製方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4241182A Division JPS58159252A (ja) | 1982-03-17 | 1982-03-17 | 磁気光学記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05266525A JPH05266525A (ja) | 1993-10-15 |
| JPH0823944B2 true JPH0823944B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=18119171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32022992A Expired - Lifetime JPH0823944B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 磁気光学記録媒体の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0823944B2 (ja) |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP32022992A patent/JPH0823944B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05266525A (ja) | 1993-10-15 |
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