JPH0518465A - 真空装置用シール構造 - Google Patents
真空装置用シール構造Info
- Publication number
- JPH0518465A JPH0518465A JP17083091A JP17083091A JPH0518465A JP H0518465 A JPH0518465 A JP H0518465A JP 17083091 A JP17083091 A JP 17083091A JP 17083091 A JP17083091 A JP 17083091A JP H0518465 A JPH0518465 A JP H0518465A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- seal member
- side seal
- dovetail groove
- rubber tube
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】０リング用あり溝３に０リング４を嵌装し、こ
の０リング４にシール面を有する本体側シール部材１を
密着してシールする真空装置のシール構造において、０
リング用あり溝３より大気側の外周に０リング用あり溝
６を設け、この０リング用あり溝６にまるひもパッキン
７が遊挿されたゴムチューブ８を嵌装する。 【効果】０リング４シールと０リング４シールより大気
側に柔軟性に豊んだゴムチューブ８シールを設け、二重
シール構造にしたことにより、真空排気初期に０リング
４をシール面に密着させるための締付け金具は不要とな
り、蓋側シール部材９の着脱が容易に行える効果を有す
る。
の０リング４にシール面を有する本体側シール部材１を
密着してシールする真空装置のシール構造において、０
リング用あり溝３より大気側の外周に０リング用あり溝
６を設け、この０リング用あり溝６にまるひもパッキン
７が遊挿されたゴムチューブ８を嵌装する。 【効果】０リング４シールと０リング４シールより大気
側に柔軟性に豊んだゴムチューブ８シールを設け、二重
シール構造にしたことにより、真空排気初期に０リング
４をシール面に密着させるための締付け金具は不要とな
り、蓋側シール部材９の着脱が容易に行える効果を有す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空装置用シール構造に
関し、特に真空容器本体と蓋側シール部材の脱着を容易
にした真空装置用シール構造に関する。
関し、特に真空容器本体と蓋側シール部材の脱着を容易
にした真空装置用シール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空装置の真空容器は、図３に示
すように、本体側シール部材１の０リング用あり溝３に
０リング４を嵌装し、この０リング４にシール面を有す
る蓋側シール部材９を密着してシールするシール構造を
有している。シール面を密着させるためには、シール部
の全外周に亘って等間隔に締付け金具に１２を設け、締
付けハンドル１３にてシール面に均等に圧縮力が作用す
るように調整する。
すように、本体側シール部材１の０リング用あり溝３に
０リング４を嵌装し、この０リング４にシール面を有す
る蓋側シール部材９を密着してシールするシール構造を
有している。シール面を密着させるためには、シール部
の全外周に亘って等間隔に締付け金具に１２を設け、締
付けハンドル１３にてシール面に均等に圧縮力が作用す
るように調整する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の真空容器で
は、本体側シール部材に嵌装された０リングに蓋側シー
ル部材を密着するために、シール部の全外周に亘って等
間隔に締付け金具を設けなくてはならなかった。また、
開口面積が大きくなれば本体側シール部材及び蓋側シー
ル部材の平面度は、加工精度が悪くなり、シール面の密
着を良くするために多大な圧縮力が必要となり、締付け
金具は大形化し、且つ、数量を増さなければならず蓋側
シール部材の脱着に多くの工数を要するという問題点が
あった。
は、本体側シール部材に嵌装された０リングに蓋側シー
ル部材を密着するために、シール部の全外周に亘って等
間隔に締付け金具を設けなくてはならなかった。また、
開口面積が大きくなれば本体側シール部材及び蓋側シー
ル部材の平面度は、加工精度が悪くなり、シール面の密
着を良くするために多大な圧縮力が必要となり、締付け
金具は大形化し、且つ、数量を増さなければならず蓋側
シール部材の脱着に多くの工数を要するという問題点が
あった。
【０００４】本発明の目的は、締付け金具が不要で、蓋
側シール部材の脱着が容易な真空装置用シール構造を提
供することにある。
側シール部材の脱着が容易な真空装置用シール構造を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、本体側シール
部材の０リング用あり溝に０リングを嵌装し、該０リン
グにシール面を有する蓋側シール部材を密着してシール
する真空装置用シール構造において、前記本体側シール
部材の前記０リング用あり溝より大気側の外周と前記蓋
側シール部材のシール面より大気側の外周とのうちのい
ずれか一方にもう１つの０リング用あり溝を設け該０リ
ング用あり溝にまるひもパッキングが遊挿されたゴムチ
ューブを嵌装したことを特徴とする。
部材の０リング用あり溝に０リングを嵌装し、該０リン
グにシール面を有する蓋側シール部材を密着してシール
する真空装置用シール構造において、前記本体側シール
部材の前記０リング用あり溝より大気側の外周と前記蓋
側シール部材のシール面より大気側の外周とのうちのい
ずれか一方にもう１つの０リング用あり溝を設け該０リ
ング用あり溝にまるひもパッキングが遊挿されたゴムチ
ューブを嵌装したことを特徴とする。
【０００６】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００７】図１は本発明の第１の実施例の断面図であ
る。
る。
【０００８】第１の実施例は、図１に示すように、本体
側シール部材１の平面２に０リング用あり溝３を設けて
０リング４を嵌装し、０リング用あり溝３より大気側に
平面２と段差を設けて平面５を形成し、さらに平面５に
０リング用あり溝６を設け、まるひもパッキング７が遊
挿されたゴムチューブ８を嵌装すると、ゴムチューブ８
のシール面は、０リング４のシール面より高くなる。
側シール部材１の平面２に０リング用あり溝３を設けて
０リング４を嵌装し、０リング用あり溝３より大気側に
平面２と段差を設けて平面５を形成し、さらに平面５に
０リング用あり溝６を設け、まるひもパッキング７が遊
挿されたゴムチューブ８を嵌装すると、ゴムチューブ８
のシール面は、０リング４のシール面より高くなる。
【０００９】次に、蓋側シール部材９を本体側シール部
材１にのせ、真空容器内の真空排気を開始する。このと
き、蓋側シール部材９を軽く手で押しつけると、柔軟性
に豊んだゴムチューブ８は蓋側シール部材９に密着し真
空排気初期の気密を充分保つことができる。数分後に
は、蓋側シール部材９は大気圧で押され、０リング４は
蓋側シール部材９に密着する。
材１にのせ、真空容器内の真空排気を開始する。このと
き、蓋側シール部材９を軽く手で押しつけると、柔軟性
に豊んだゴムチューブ８は蓋側シール部材９に密着し真
空排気初期の気密を充分保つことができる。数分後に
は、蓋側シール部材９は大気圧で押され、０リング４は
蓋側シール部材９に密着する。
【００１０】図２は本発明の第２の実施例の断面図であ
る。
る。
【００１１】第２の実施例は、図２に示すように、本体
側シール部材１の平面２に０リング用あり溝３を設けて
０リング４を嵌装し、蓋側シール部材９のシール面１０
より大気側にシール面１０と段差を設けて平面５を形成
し、さらに、平面５に０リング用あり溝６を設け、まる
ひもパッキン７が遊挿されたゴムチューブ８を嵌装す
る。
側シール部材１の平面２に０リング用あり溝３を設けて
０リング４を嵌装し、蓋側シール部材９のシール面１０
より大気側にシール面１０と段差を設けて平面５を形成
し、さらに、平面５に０リング用あり溝６を設け、まる
ひもパッキン７が遊挿されたゴムチューブ８を嵌装す
る。
【００１２】次に、蓋側シール部材９を本体側シール部
材１にのせると、ゴムチューブ８のシール面は本体側シ
ール部材１のシール面１１に接触するが、０リング４の
シール面は蓋側シール部材９のシール面１０には接触し
ない位置関係にある。その後、真空容器内の真空排気を
開始すると同時に蓋側シール部材９を軽く手で押しつけ
ると、柔軟性に豊んだゴムチューブ８は本体側シール部
材１のシール面１１に密着し真空排気初期の気密を充分
保つことができる。数分後には、蓋側シール部材９は大
気圧で押され、０リング４は蓋側シール部材９のシール
面１０に密着する。
材１にのせると、ゴムチューブ８のシール面は本体側シ
ール部材１のシール面１１に接触するが、０リング４の
シール面は蓋側シール部材９のシール面１０には接触し
ない位置関係にある。その後、真空容器内の真空排気を
開始すると同時に蓋側シール部材９を軽く手で押しつけ
ると、柔軟性に豊んだゴムチューブ８は本体側シール部
材１のシール面１１に密着し真空排気初期の気密を充分
保つことができる。数分後には、蓋側シール部材９は大
気圧で押され、０リング４は蓋側シール部材９のシール
面１０に密着する。
【００１３】本実施例では、蓋側のシール部材９にゴム
チューブ８を嵌装するので既設の真空装置のシール構造
を改造する場合、本体側と分離可能な蓋側のシール部材
９の改造が容易にできる利点がある。
チューブ８を嵌装するので既設の真空装置のシール構造
を改造する場合、本体側と分離可能な蓋側のシール部材
９の改造が容易にできる利点がある。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来の０
リングのシールの他にその０リングより大気側に柔軟性
に豊んたゴムチューブシールを設け二重シール構造にし
たので、真空排気初期に０リングをシール面に密着させ
るための締付け金具は不要となり、蓋側シール部材の着
脱が容易に行える効果を有する。
リングのシールの他にその０リングより大気側に柔軟性
に豊んたゴムチューブシールを設け二重シール構造にし
たので、真空排気初期に０リングをシール面に密着させ
るための締付け金具は不要となり、蓋側シール部材の着
脱が容易に行える効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施例の断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例の断面図である。
【図３】従来の真空装置用シール構造の一例の一部切欠
き正面図である。
き正面図である。
１，９ シール部材 ２，５ 平面 ３，６ あり溝 ４ ０リング ７ まるひもパッキン ８ ゴムチューブ １０，１１ シール面 １２ 締付け金具 １３ 締付けハンドル
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 本体側シール部材の０リング用あり溝に
０リングを嵌装し、該０リングにシール面を有する蓋側
シール部材を密着してシールする真空装置用シール構造
において、前記本体側シール部材の前記０リング用あり
溝より大気側の外周と前記蓋側シール部材のシール面よ
り大気側の外周とのうちのいずれか一方にもう１つの０
リング用あり溝を設け該０リング用あり溝にまるひもパ
ッキングが遊挿されたゴムチューブを嵌装したことを特
徴とする真空装置用シール構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17083091A JPH0518465A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | 真空装置用シール構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17083091A JPH0518465A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | 真空装置用シール構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518465A true JPH0518465A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=15912121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17083091A Pending JPH0518465A (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | 真空装置用シール構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518465A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104455408A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 李俊贤 | 压力容器及其构成气密压力环境的方法 |
| WO2015145688A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-01 | 株式会社Ｊｃｕ | 基板めっき治具用パッキン及びそれを利用した基板めっき治具 |
-
1991
- 1991-07-11 JP JP17083091A patent/JPH0518465A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104455408A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 李俊贤 | 压力容器及其构成气密压力环境的方法 |
| WO2015145688A1 (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-01 | 株式会社Ｊｃｕ | 基板めっき治具用パッキン及びそれを利用した基板めっき治具 |
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