JPH05187572A - 制御器 - Google Patents
制御器Info
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- JPH05187572A JPH05187572A JP1951492A JP1951492A JPH05187572A JP H05187572 A JPH05187572 A JP H05187572A JP 1951492 A JP1951492 A JP 1951492A JP 1951492 A JP1951492 A JP 1951492A JP H05187572 A JPH05187572 A JP H05187572A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 7
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 abstract 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
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- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流体作動型の制御器に於いて、高温の領域で
も使用できるようにすると共に、シール性の向上を図
る。 【構成】 ボンネット３に昇降自在に支持されたステム
５を昇降動させる流体圧アクチュエータ７を備えた流体
作動型の制御器に於いて、前記流体圧アクチュエータ７
を、ステム５の上部を囲繞すべくボンネット３に取り付
けられ、作動用流体の出入口２２を有するアクチュエー
タシリンダ１５と、ステム５の上端部に設けられ、アク
チュエータシリンダ１５内を昇降動するピストン１６
と、アクチュエータシリンダ１５とピストン１６との間
に介設され、両者間をシールする耐熱性に優れた金属製
のベローズ１７から構成した。
も使用できるようにすると共に、シール性の向上を図
る。 【構成】 ボンネット３に昇降自在に支持されたステム
５を昇降動させる流体圧アクチュエータ７を備えた流体
作動型の制御器に於いて、前記流体圧アクチュエータ７
を、ステム５の上部を囲繞すべくボンネット３に取り付
けられ、作動用流体の出入口２２を有するアクチュエー
タシリンダ１５と、ステム５の上端部に設けられ、アク
チュエータシリンダ１５内を昇降動するピストン１６
と、アクチュエータシリンダ１５とピストン１６との間
に介設され、両者間をシールする耐熱性に優れた金属製
のベローズ１７から構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主に半導体製造装置や
原子力発電プラント等に於いて使用される高純度ガスの
流量調整用に利用されるものであり、特に高温の領域で
使用する流体作動型の制御器に関する。
原子力発電プラント等に於いて使用される高純度ガスの
流量調整用に利用されるものであり、特に高温の領域で
使用する流体作動型の制御器に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置等に於いて使用
される高純度ガス用の制御器は、所謂パーティクルフリ
ーやデッドスペースフリーと云う特性が厳しく要求され
る。その為、半導体製造の分野では、前記パーティクル
フリーやデッドスペースフリーの要求を構造的に充足し
易いダイヤフラム型の制御器（特にダイレクトダイヤフ
ラム弁）が多く使用されている。従来、この種制御器と
しては、例えば図３に示す構造のものが知られている。
即ち、前記制御器は、流体入口２５、流体出口２６、弁
室２７及び弁座２８を有するボディ２９と、弁室２７の
気密を保持すると共に、その中央部が上下動して弁座２
８へ当離座するダイヤフラム３０と、ダイヤフラム３０
の周縁部をボディ２９との間で気密状に挾持する筒状の
ボンネット３１と、ボンネット３１をボディ２９に固定
するボンネットナット３２と、ボンネット３１に昇降自
在に支持され、下降時にダイヤフラム３０の中央部を下
降させるステム３３と、ボンネット３１に設けられ、ス
テム３３を駆動する流体圧アクチュエータ３４と、ステ
ム３３を常時上方へ附勢するスプリング３５等から構成
されて居り、常時開弁状態になっている。又、流体圧ア
クチュエータ３４は、ステム３３の上部を囲繞すべくボ
ンネット３１に取り付けられ、作動用流体の出入口３６
を有するアクチュエータシリンダ３７と、ステム３３の
上端部に設けられ、アクチュエータシリンダ３７内を昇
降動するピストン３８と、ピストン３８に設けられ、ア
クチュエータシリンダ３７の内周面を摺動するシール材
３９等から成る。而して、アクチュエータシリンダ３７
内に作動用流体（圧力流体）を供給すると、スプリング
３５の弾性力に抗してピストン３８及びステム３３が下
降すると共に、ダイヤフラム３０の中央部が下方へ押さ
れて弁座２８に当座し、又、アクチュエータシリンダ３
７内の流体圧を開放すると、スプリング３５の弾性力に
よりピストン３８及びステム３３が上昇すると共に、ダ
イヤフラム３０がその弾性力及びボディ２９内の流体圧
により上昇して弁座２８から離座するようになってい
る。前記制御器は、弁室からの流体の漏洩を皆無にでき
る等、優れた実用的効用を有するものである。
される高純度ガス用の制御器は、所謂パーティクルフリ
ーやデッドスペースフリーと云う特性が厳しく要求され
る。その為、半導体製造の分野では、前記パーティクル
フリーやデッドスペースフリーの要求を構造的に充足し
易いダイヤフラム型の制御器（特にダイレクトダイヤフ
ラム弁）が多く使用されている。従来、この種制御器と
しては、例えば図３に示す構造のものが知られている。
即ち、前記制御器は、流体入口２５、流体出口２６、弁
室２７及び弁座２８を有するボディ２９と、弁室２７の
気密を保持すると共に、その中央部が上下動して弁座２
８へ当離座するダイヤフラム３０と、ダイヤフラム３０
の周縁部をボディ２９との間で気密状に挾持する筒状の
ボンネット３１と、ボンネット３１をボディ２９に固定
するボンネットナット３２と、ボンネット３１に昇降自
在に支持され、下降時にダイヤフラム３０の中央部を下
降させるステム３３と、ボンネット３１に設けられ、ス
テム３３を駆動する流体圧アクチュエータ３４と、ステ
ム３３を常時上方へ附勢するスプリング３５等から構成
されて居り、常時開弁状態になっている。又、流体圧ア
クチュエータ３４は、ステム３３の上部を囲繞すべくボ
ンネット３１に取り付けられ、作動用流体の出入口３６
を有するアクチュエータシリンダ３７と、ステム３３の
上端部に設けられ、アクチュエータシリンダ３７内を昇
降動するピストン３８と、ピストン３８に設けられ、ア
クチュエータシリンダ３７の内周面を摺動するシール材
３９等から成る。而して、アクチュエータシリンダ３７
内に作動用流体（圧力流体）を供給すると、スプリング
３５の弾性力に抗してピストン３８及びステム３３が下
降すると共に、ダイヤフラム３０の中央部が下方へ押さ
れて弁座２８に当座し、又、アクチュエータシリンダ３
７内の流体圧を開放すると、スプリング３５の弾性力に
よりピストン３８及びステム３３が上昇すると共に、ダ
イヤフラム３０がその弾性力及びボディ２９内の流体圧
により上昇して弁座２８から離座するようになってい
る。前記制御器は、弁室からの流体の漏洩を皆無にでき
る等、優れた実用的効用を有するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体製造
装置等に於いては、前記制御器を高温の領域例えば半導
体製造装置に利用される各種炉の内部や炉の近傍で使用
する場合がある。ところが、従来の制御器に於いては、
流体圧アクチュエータ３４のシール材３９に通常Ｏリン
グが使用されて居り、このＯリングは使用温度限界が約
１８０℃である。その為、制御器を高温領域で使用する
と、シール材３９即ちＯリングが熱の影響を受けて寿命
が短くなったり、或いは流体圧アクチュエータ３４のシ
ール性が低下して流体圧アクチュエータ３４が良好且つ
正確に作動しないと云う問題がある。又、Ｏリングの使
用温度限界以上の高温領域では、前記制御器を使用でき
ないと云う問題もあった。
装置等に於いては、前記制御器を高温の領域例えば半導
体製造装置に利用される各種炉の内部や炉の近傍で使用
する場合がある。ところが、従来の制御器に於いては、
流体圧アクチュエータ３４のシール材３９に通常Ｏリン
グが使用されて居り、このＯリングは使用温度限界が約
１８０℃である。その為、制御器を高温領域で使用する
と、シール材３９即ちＯリングが熱の影響を受けて寿命
が短くなったり、或いは流体圧アクチュエータ３４のシ
ール性が低下して流体圧アクチュエータ３４が良好且つ
正確に作動しないと云う問題がある。又、Ｏリングの使
用温度限界以上の高温領域では、前記制御器を使用でき
ないと云う問題もあった。
【０００４】本発明は、上記の問題点を解消する為に創
案されたものであり、その目的は高温の領域でも良好に
使用できると共に、シール性にも優れた流体作動型の制
御器を提供するにある。
案されたものであり、その目的は高温の領域でも良好に
使用できると共に、シール性にも優れた流体作動型の制
御器を提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明の制御器は、流体入口、流体出口、弁室及び
弁座を有するボディにボンネットを介してステムを昇降
自在に支持し、当該ステムをボンネットに設けた流体圧
アクチュエータにより昇降動させてボディに形成した流
体通路を開閉するようにした流体作動型の制御器に於い
て、前記流体圧アクチュエータを、ステムの上部を囲繞
すべくボンネットに取り付けられ、作動用流体の出入口
を有するアクチュエータシリンダと、ステムの上端部に
設けられ、アクチュエータシリンダ内を昇降動するピス
トンと、アクチュエータシリンダとピストンとの間に介
設され、両者間をシールする耐熱性に優れた金属製のベ
ローズとから構成したものである。
に、本発明の制御器は、流体入口、流体出口、弁室及び
弁座を有するボディにボンネットを介してステムを昇降
自在に支持し、当該ステムをボンネットに設けた流体圧
アクチュエータにより昇降動させてボディに形成した流
体通路を開閉するようにした流体作動型の制御器に於い
て、前記流体圧アクチュエータを、ステムの上部を囲繞
すべくボンネットに取り付けられ、作動用流体の出入口
を有するアクチュエータシリンダと、ステムの上端部に
設けられ、アクチュエータシリンダ内を昇降動するピス
トンと、アクチュエータシリンダとピストンとの間に介
設され、両者間をシールする耐熱性に優れた金属製のベ
ローズとから構成したものである。
【０００６】
【作用】制御器が例えば常開型のダイヤフラム弁の場
合、アクチュエータシリンダ内に作動用流体を供給する
と、スプリングの弾性力に抗してピストン及びステムが
下降すると共に、ダイヤフラムの中央部が下方へ押し下
げられて直接若しくは間接的に弁座に当座し、閉弁状態
になる。又、アクチュエータシリンダ内の流体圧を開放
すると、スプリングの弾性力によりピストン及びステム
が上昇すると共に、ダイヤフラムがその弾性力及び流体
圧により上方へ変位して弁座から離座し、開弁状態にな
る。この制御器は、流体圧アクチュエータのシール材に
耐熱性に優れた金属製のベローズを使用している為、可
なりの高温領域でも使用することができるうえ、シール
材が熱の悪影響を受け難くなる。その結果、シール材の
寿命が低下したり、或いはシール性が低下したりすると
云うこともない。延いては、高温の領域で使用しても良
好且つ正確に作動することになる。
合、アクチュエータシリンダ内に作動用流体を供給する
と、スプリングの弾性力に抗してピストン及びステムが
下降すると共に、ダイヤフラムの中央部が下方へ押し下
げられて直接若しくは間接的に弁座に当座し、閉弁状態
になる。又、アクチュエータシリンダ内の流体圧を開放
すると、スプリングの弾性力によりピストン及びステム
が上昇すると共に、ダイヤフラムがその弾性力及び流体
圧により上方へ変位して弁座から離座し、開弁状態にな
る。この制御器は、流体圧アクチュエータのシール材に
耐熱性に優れた金属製のベローズを使用している為、可
なりの高温領域でも使用することができるうえ、シール
材が熱の悪影響を受け難くなる。その結果、シール材の
寿命が低下したり、或いはシール性が低下したりすると
云うこともない。延いては、高温の領域で使用しても良
好且つ正確に作動することになる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の第１実施例に係る流体作動
型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ダイヤ
フラム２を直接弁座に当離座させて開閉を行うようにし
たダイヤフラム弁であり、ボディ１、ダイヤフラム２、
ボンネット３、ボンネットナット４、ステム５、ダイヤ
フラム押え６、流体圧アクチュエータ７及びスプリング
８等から構成されて居り、常開型となっている。
に説明する。図１は本発明の第１実施例に係る流体作動
型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ダイヤ
フラム２を直接弁座に当離座させて開閉を行うようにし
たダイヤフラム弁であり、ボディ１、ダイヤフラム２、
ボンネット３、ボンネットナット４、ステム５、ダイヤ
フラム押え６、流体圧アクチュエータ７及びスプリング
８等から構成されて居り、常開型となっている。
【０００８】前記ボディ１は、耐熱性に優れたステンレ
ス鋼等の金属材により形成されて居り、両側には流体入
口９及び流体出口１０が、上部には流体入口９及び流体
出口１０に連通する上方が開放された凹状の弁室１１が
夫々形成されている。又、弁室１１の底面には弁座１２
が形成されていると共に、弁室１１の内周面下側には段
部が形成されている。尚、１３は流体入口９及び流体出
口１０に溶着されたスリーブ、１４はスリーブ１３に外
嵌されたユニオンナットである。
ス鋼等の金属材により形成されて居り、両側には流体入
口９及び流体出口１０が、上部には流体入口９及び流体
出口１０に連通する上方が開放された凹状の弁室１１が
夫々形成されている。又、弁室１１の底面には弁座１２
が形成されていると共に、弁室１１の内周面下側には段
部が形成されている。尚、１３は流体入口９及び流体出
口１０に溶着されたスリーブ、１４はスリーブ１３に外
嵌されたユニオンナットである。
【０００９】前記ダイヤフラム２は、弁座１２の上方に
配設されて居り、弁室１１の気密を保持すると共に、そ
の中央部が上下動して弁座１２に当離座するようになっ
ている。本実施例では、ダイヤフラム２は、耐熱性に優
れた特殊ステンレス鋼等の金属製薄板により中央部を上
方へ膨出せしめた皿状に形成されて居り、その周縁部が
弁室１１内周面の段部に載置され、弁室１１内へ挿入し
たボンネット３の下端部とボディ１に螺着したボンネッ
トナット４とにより、段部側へ押圧され、気密状態で挾
持固定されている。
配設されて居り、弁室１１の気密を保持すると共に、そ
の中央部が上下動して弁座１２に当離座するようになっ
ている。本実施例では、ダイヤフラム２は、耐熱性に優
れた特殊ステンレス鋼等の金属製薄板により中央部を上
方へ膨出せしめた皿状に形成されて居り、その周縁部が
弁室１１内周面の段部に載置され、弁室１１内へ挿入し
たボンネット３の下端部とボディ１に螺着したボンネッ
トナット４とにより、段部側へ押圧され、気密状態で挾
持固定されている。
【００１０】前記ボンネット３は、耐熱性に優れたステ
ンレス鋼等の金属材により筒形状に形成されて居り、ボ
ディ１の弁室１１内に挿入され、ボンネットナット４を
締め込むことにより、ボディ１側へ押圧固定されてい
る。
ンレス鋼等の金属材により筒形状に形成されて居り、ボ
ディ１の弁室１１内に挿入され、ボンネットナット４を
締め込むことにより、ボディ１側へ押圧固定されてい
る。
【００１１】前記ステム５は、耐熱性に優れたステンレ
ス鋼等の金属材により形成されて居り、上部がボンネッ
ト３から突出すべくボンネット３内に昇降自在に挿通さ
れている。又、ステム５の下端部にはダイヤフラム２の
中央部に当接するダイヤフラム押え６が設けられて居
り、このダイヤフラム押え６も耐熱性に優れたステンレ
ス鋼等の金属材により形成されている。
ス鋼等の金属材により形成されて居り、上部がボンネッ
ト３から突出すべくボンネット３内に昇降自在に挿通さ
れている。又、ステム５の下端部にはダイヤフラム２の
中央部に当接するダイヤフラム押え６が設けられて居
り、このダイヤフラム押え６も耐熱性に優れたステンレ
ス鋼等の金属材により形成されている。
【００１２】前記流体圧アクチュエータ７は、ボンネッ
ト３の上部に設けられ、空気等の作動用流体によりステ
ム５を下降させるものであり、アクチュエータシリンダ
１５、ピストン１６及びベローズ１７等から成る。具体
的には、アクチュエータシリンダ１５は、耐熱性に優れ
たステンレス鋼等の金属材により形成されて居り、ボン
ネット３の上部に螺着された円板状のアクチュエータボ
ディ１８と、アクチュエータボディ１８にボルト１９に
より固定された環状のフランジ２０と、フランジ２０に
溶着され、ステム５を囲繞するアクチュエータキャップ
２１と、アクチュエータキャップ２１に螺着され、作動
用流体の出入口２２を有するコネクター２３等から成
る。又、ピストン１６は、耐熱性に優れたステンレス鋼
等の金属材により円板状に形成されて居り、ステム５の
上端部にナット２４により固定され、ステム５と共にア
クチュエータシリンダ１５内を昇降するように為されて
いる。更に、ベローズ１７は、耐熱性に優れたステンレ
ス材により作製されて居り、アクチュエータシリンダ１
５とピストン１６との間に介設され、両者間をシールす
るものである。即ち、ベローズ１７は、その上端がピス
トン１６に、又、その下端がフランジ２０に夫々固着さ
れている。
ト３の上部に設けられ、空気等の作動用流体によりステ
ム５を下降させるものであり、アクチュエータシリンダ
１５、ピストン１６及びベローズ１７等から成る。具体
的には、アクチュエータシリンダ１５は、耐熱性に優れ
たステンレス鋼等の金属材により形成されて居り、ボン
ネット３の上部に螺着された円板状のアクチュエータボ
ディ１８と、アクチュエータボディ１８にボルト１９に
より固定された環状のフランジ２０と、フランジ２０に
溶着され、ステム５を囲繞するアクチュエータキャップ
２１と、アクチュエータキャップ２１に螺着され、作動
用流体の出入口２２を有するコネクター２３等から成
る。又、ピストン１６は、耐熱性に優れたステンレス鋼
等の金属材により円板状に形成されて居り、ステム５の
上端部にナット２４により固定され、ステム５と共にア
クチュエータシリンダ１５内を昇降するように為されて
いる。更に、ベローズ１７は、耐熱性に優れたステンレ
ス材により作製されて居り、アクチュエータシリンダ１
５とピストン１６との間に介設され、両者間をシールす
るものである。即ち、ベローズ１７は、その上端がピス
トン１６に、又、その下端がフランジ２０に夫々固着さ
れている。
【００１３】前記スプリング８は、耐熱性に優れたステ
ンレス鋼等の金属材により形成されて居り、流体圧アク
チュエータ７のアクチュエータボディ１８とピストン１
６との間に介設され、ステム５を常時上方へ附勢してい
る。
ンレス鋼等の金属材により形成されて居り、流体圧アク
チュエータ７のアクチュエータボディ１８とピストン１
６との間に介設され、ステム５を常時上方へ附勢してい
る。
【００１４】次に、前記制御器の作動について説明す
る。制御器を閉弁状態にする場合には、コネクター２３
の出入口２２から作動用流体（圧力流体）をアクチュエ
ータシリンダ１５内に供給する。そうすると、ピストン
１６及びステム５がスプリング８の弾性力に抗して下降
すると共に、ダイヤフラム押え６を介してダイヤフラム
２の中央部が下方へ押し下げられる。これによって、ダ
イヤフラム２が弾性変形し、弁座１２に当座して閉弁状
態になる。そして、制御器を開弁状態にする場合には、
アクチュエータシリンダ１５内の圧力を開放する。そう
すると、ピストン１６及びステム５がスプリング８の弾
性力により上昇すると共に、ダイヤフラム２がその弾性
力や流体圧により元の形状に復元し、弁座１２から離座
して開弁状態になる。この制御器は、各部材を耐熱性に
優れた金属材により形成している為、可なりの高温（本
実施例では約３５０℃）の領域でも使用することができ
る。又、流体圧アクチュエータ７のシール材に耐熱性に
優れた金属製のベローズ１７を使用している為、シール
材が熱の悪影響を受け難くなる。その結果、シール材の
寿命が低下したり、或いはシール性が低下したりすると
云うこともない。延いては、高温の領域で使用しても良
好且つ正確に作動することになる。
る。制御器を閉弁状態にする場合には、コネクター２３
の出入口２２から作動用流体（圧力流体）をアクチュエ
ータシリンダ１５内に供給する。そうすると、ピストン
１６及びステム５がスプリング８の弾性力に抗して下降
すると共に、ダイヤフラム押え６を介してダイヤフラム
２の中央部が下方へ押し下げられる。これによって、ダ
イヤフラム２が弾性変形し、弁座１２に当座して閉弁状
態になる。そして、制御器を開弁状態にする場合には、
アクチュエータシリンダ１５内の圧力を開放する。そう
すると、ピストン１６及びステム５がスプリング８の弾
性力により上昇すると共に、ダイヤフラム２がその弾性
力や流体圧により元の形状に復元し、弁座１２から離座
して開弁状態になる。この制御器は、各部材を耐熱性に
優れた金属材により形成している為、可なりの高温（本
実施例では約３５０℃）の領域でも使用することができ
る。又、流体圧アクチュエータ７のシール材に耐熱性に
優れた金属製のベローズ１７を使用している為、シール
材が熱の悪影響を受け難くなる。その結果、シール材の
寿命が低下したり、或いはシール性が低下したりすると
云うこともない。延いては、高温の領域で使用しても良
好且つ正確に作動することになる。
【００１５】図２は本発明の第２実施例に係る流体作動
型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ステム
５の下端部に設けたディスク４０を弁座１２に当離座さ
せて開閉を行うと共に、ベローズ４１により流体の漏洩
を防止するようにしたベローズ弁であり、ボディ１、ボ
ンネット３、ステム５、ディスク４０、カバー４２、ス
テンレス製のベローズ４１、流体圧アクチュエータ７及
びスプリング８等から構成されて居り、前記流体圧アク
チュエータ７は上記第１実施例のものと同様構造に構成
されている。この制御器も上記第１実施例のものと同様
の作用効果を奏し得る。
型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、ステム
５の下端部に設けたディスク４０を弁座１２に当離座さ
せて開閉を行うと共に、ベローズ４１により流体の漏洩
を防止するようにしたベローズ弁であり、ボディ１、ボ
ンネット３、ステム５、ディスク４０、カバー４２、ス
テンレス製のベローズ４１、流体圧アクチュエータ７及
びスプリング８等から構成されて居り、前記流体圧アク
チュエータ７は上記第１実施例のものと同様構造に構成
されている。この制御器も上記第１実施例のものと同様
の作用効果を奏し得る。
【００１６】上記第１実施例に於いては、ダイヤフラム
２を直接弁座１２に当離座させるようにしたが、ダイヤ
フラム２の下方にディスクを昇降自在に配設し、ディス
クに設けたディスクパッキンを弁座１２に当離座させる
ようにしても良い。
２を直接弁座１２に当離座させるようにしたが、ダイヤ
フラム２の下方にディスクを昇降自在に配設し、ディス
クに設けたディスクパッキンを弁座１２に当離座させる
ようにしても良い。
【００１７】上記第１実施例に於いては、制御器を常開
型としたが、常閉型としても良い。
型としたが、常閉型としても良い。
【００１８】上記各実施例に於いては、アクチュエータ
ボディ１８とピストン１６との間にスプリング８を介設
してステム５を常時上方へ附勢するようにしたが、スプ
リング８を他の場所に介設してステム５を常時上方へ附
勢するようにしても良い。
ボディ１８とピストン１６との間にスプリング８を介設
してステム５を常時上方へ附勢するようにしたが、スプ
リング８を他の場所に介設してステム５を常時上方へ附
勢するようにしても良い。
【００１９】上記各実施例に於いては、流体圧アクチュ
エータ７をダイヤフラム弁とベローズ弁に夫々取り付け
るようにしたが、流体圧アクチュエータ７を取り付ける
弁（制御器）の構造は上記各実施例のものに限定される
ものではなく、ステム５の昇降動によりボディ１の流体
通路が開閉される制御器であれば、如何なる構造の制御
器に流体圧アクチュエータ７を取り付けるようにしても
良い。例えば、グローブバルブ、ゲートバルブ或いはニ
ードルバルブに流体圧アクチュエータ７を取り付けるよ
うにしても良い。
エータ７をダイヤフラム弁とベローズ弁に夫々取り付け
るようにしたが、流体圧アクチュエータ７を取り付ける
弁（制御器）の構造は上記各実施例のものに限定される
ものではなく、ステム５の昇降動によりボディ１の流体
通路が開閉される制御器であれば、如何なる構造の制御
器に流体圧アクチュエータ７を取り付けるようにしても
良い。例えば、グローブバルブ、ゲートバルブ或いはニ
ードルバルブに流体圧アクチュエータ７を取り付けるよ
うにしても良い。
【００２０】
【発明の効果】上述の通り、本発明の流体作動型の制御
器は、流体圧アクチュエータのアクチュエータシリンダ
とピストンとの間に、耐熱性に優れた金属製のベローズ
を介設し、当該ベローズによってアクチュエータシリン
ダとピストンとの間をシールする構成とした為、流体圧
アクチュエータのシール材にＯリングを使用した従来の
流体作動型の制御器に比較して可なりの高温領域でも使
用することができるうえ、シール材（ベローズ）も熱の
悪影響を受け難い。その結果、熱によりシール材の寿命
が低下したり、或いはシール性が低下したりすると云う
こともない。延いては、制御器を高温の領域で使用して
も良好且つ正確に作動することになる。
器は、流体圧アクチュエータのアクチュエータシリンダ
とピストンとの間に、耐熱性に優れた金属製のベローズ
を介設し、当該ベローズによってアクチュエータシリン
ダとピストンとの間をシールする構成とした為、流体圧
アクチュエータのシール材にＯリングを使用した従来の
流体作動型の制御器に比較して可なりの高温領域でも使
用することができるうえ、シール材（ベローズ）も熱の
悪影響を受け難い。その結果、熱によりシール材の寿命
が低下したり、或いはシール性が低下したりすると云う
こともない。延いては、制御器を高温の領域で使用して
も良好且つ正確に作動することになる。
【図１】本発明の第１実施例に係る流体作動型の制御器
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図２】本発明の第２実施例に係る流体作動型の制御器
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図３】従来の流体作動型の制御器の縦断面図である。
１はボディ、３はボンネット、５はステム、７は流体圧
アクチュエータ、９は流体入口、１０は流体出口、１１
は弁室、１２は弁座、１５はアクチュエータシリンダ、
１６はピストン、１７はベローズ。
アクチュエータ、９は流体入口、１０は流体出口、１１
は弁室、１２は弁座、１５はアクチュエータシリンダ、
１６はピストン、１７はベローズ。
Claims (1)
- 【請求項１】 流体入口、流体出口、弁室及び弁座を有
するボディにボンネットを介してステムを昇降自在に支
持し、当該ステムをボンネットに設けた流体圧アクチュ
エータにより昇降動させてボディに形成した流体通路を
開閉するようにした流体作動型の制御器に於いて、前記
流体圧アクチュエータを、ステムの上部を囲繞すべくボ
ンネットに取り付けられ、作動用流体の出入口を有する
アクチュエータシリンダと、ステムの上端部に設けら
れ、アクチュエータシリンダ内を昇降動するピストン
と、アクチュエータシリンダとピストンとの間に介設さ
れ、両者間をシールする耐熱性に優れた金属製のベロー
ズとから構成したことを特徴とする制御器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01951492A JP3425963B2 (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 制御器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01951492A JP3425963B2 (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 制御器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05187572A true JPH05187572A (ja) | 1993-07-27 |
| JP3425963B2 JP3425963B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=12001469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01951492A Expired - Fee Related JP3425963B2 (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 制御器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3425963B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004023012A1 (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-18 | Fujikin Incorporated | 制御器 |
| WO2009093608A1 (ja) * | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Ham-Let Motoyama Japan Ltd. | 高清浄高温弁 |
| CN105179799A (zh) * | 2009-12-01 | 2015-12-23 | 株式会社富士金 | 压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101517067B1 (ko) * | 2013-12-20 | 2015-05-04 | (주)현태엔지니어링 | 상시 개방형 솔레노이드 밸브 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6213588B2 (ja) | 2016-02-16 | 2017-10-18 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP01951492A patent/JP3425963B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004023012A1 (ja) * | 2002-09-02 | 2004-03-18 | Fujikin Incorporated | 制御器 |
| US7159839B2 (en) | 2002-09-02 | 2007-01-09 | Fujikin Incorporated | Control device |
| KR100741335B1 (ko) * | 2002-09-02 | 2007-07-23 | 가부시키가이샤 후지킨 | 제어기 |
| WO2009093608A1 (ja) * | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Ham-Let Motoyama Japan Ltd. | 高清浄高温弁 |
| JPWO2009093608A1 (ja) * | 2008-01-23 | 2011-05-26 | 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン | 高清浄高温弁 |
| CN105179799A (zh) * | 2009-12-01 | 2015-12-23 | 株式会社富士金 | 压电驱动式阀和压电驱动式流量控制装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3425963B2 (ja) | 2003-07-14 |
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Legal Events
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