JPH05189739A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH05189739A JPH05189739A JP1951092A JP1951092A JPH05189739A JP H05189739 A JPH05189739 A JP H05189739A JP 1951092 A JP1951092 A JP 1951092A JP 1951092 A JP1951092 A JP 1951092A JP H05189739 A JPH05189739 A JP H05189739A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 CoCrPtBにV或はNbを添加した5元
系磁性膜を設けた磁気記録媒体において、その保磁力を
向上するとともに、S/N比を向上してディスクノイズ
を低減した。 【構成】 磁気記録媒体の磁性膜を、原子%でCr5〜
20%、Pt1〜15%、B0.5〜5%、VとNbの
うちの1種または2種を0〜8%、残部Coおよび不可
避的不純物からなる合金によって形成した。
系磁性膜を設けた磁気記録媒体において、その保磁力を
向上するとともに、S/N比を向上してディスクノイズ
を低減した。 【構成】 磁気記録媒体の磁性膜を、原子%でCr5〜
20%、Pt1〜15%、B0.5〜5%、VとNbの
うちの1種または2種を0〜8%、残部Coおよび不可
避的不純物からなる合金によって形成した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ディスク、
磁気テープ等の磁気記録媒体に関し、特に磁性膜の保磁
力を向上するとともにディスクノイズを少なくしたもの
である。
磁気テープ等の磁気記録媒体に関し、特に磁性膜の保磁
力を向上するとともにディスクノイズを少なくしたもの
である。
【0002】
【従来の技術】磁気記録装置等に用いられる磁気記録媒
体としては、従来より製造が容易でかつ残留磁束密度及
び保磁力が大きいCr膜を下地とするCoCr系合金膜
からなる磁気記録媒体が使用されている(日本応用磁気
学会誌Vol.13 No.3 493(1989)。近年、磁気記録装置の
大容量化により、記録密度を増化させるためには高い保
磁力、高S/N比が要求されている。従来のスパッタ法
によって製造された磁気記録媒体では、Cr層上にCo
Crtaの磁性層を形成したものが、Cr層上にCoN
i、CoNiCr等の磁性層を形成したものに比べ優れ
た磁気特性を有することが分かっている。(特願昭62-2
91519 号公報)。また1983年11月の第6回応用磁
気学会において、二元系媒体及び三元系媒体におけるC
o合金にPtを添加する技術が日本電気より公開されて
いる。
体としては、従来より製造が容易でかつ残留磁束密度及
び保磁力が大きいCr膜を下地とするCoCr系合金膜
からなる磁気記録媒体が使用されている(日本応用磁気
学会誌Vol.13 No.3 493(1989)。近年、磁気記録装置の
大容量化により、記録密度を増化させるためには高い保
磁力、高S/N比が要求されている。従来のスパッタ法
によって製造された磁気記録媒体では、Cr層上にCo
Crtaの磁性層を形成したものが、Cr層上にCoN
i、CoNiCr等の磁性層を形成したものに比べ優れ
た磁気特性を有することが分かっている。(特願昭62-2
91519 号公報)。また1983年11月の第6回応用磁
気学会において、二元系媒体及び三元系媒体におけるC
o合金にPtを添加する技術が日本電気より公開されて
いる。
【0003】また特開平1−256017号公報には、
磁性膜をCoCrTaPtの四元系合金で作成した磁気
記録媒体が提案されており、Pt添加量1〜15at%
で保磁力が約1200Oeより大きく、角形比が0.8
以上になるとしている。さらに第14回日本応用磁気学
会(1990年)では、Co−Cr−TaおよびCo−
Cr−Ptに対しBを添加することにより保磁力が影響
を受けることが発表されている。そしてCo−Cr−T
aにBを添加すると保磁力が単調に減少し、Co−Cr
−Ptの場合はBの添加とともに保磁力は増加するとし
ている。またCo−Cr−PtにBを3〜7at%添加
することにより約3000Oeの高保磁力が得られると
している。
磁性膜をCoCrTaPtの四元系合金で作成した磁気
記録媒体が提案されており、Pt添加量1〜15at%
で保磁力が約1200Oeより大きく、角形比が0.8
以上になるとしている。さらに第14回日本応用磁気学
会(1990年)では、Co−Cr−TaおよびCo−
Cr−Ptに対しBを添加することにより保磁力が影響
を受けることが発表されている。そしてCo−Cr−T
aにBを添加すると保磁力が単調に減少し、Co−Cr
−Ptの場合はBの添加とともに保磁力は増加するとし
ている。またCo−Cr−PtにBを3〜7at%添加
することにより約3000Oeの高保磁力が得られると
している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載し
たCo合金にPtを添加した磁気記録媒体は、少なくと
も15at%程度のPtを添加しなければ高い保磁力は
得られず、Ptが非常に高価なためあまり実用的ではな
かった。またCo−Cr−PtにBを添加した合金によ
り磁性膜を形成した磁気記録媒体では、ディスクノイズ
が大きいという問題があるとともに、Bの添加量が0.
5〜5at%では保磁力が向上するが、Bが5at%を
越えると低下する傾向があった。そこで本発明は、Co
−Cr−Pt−BにV或はNbを添加した5元系磁性膜
を設けた磁気記録媒体において、その保磁力を向上する
とともに、S/N比を向上してディスクノイズを低減す
ることを目的とする。
たCo合金にPtを添加した磁気記録媒体は、少なくと
も15at%程度のPtを添加しなければ高い保磁力は
得られず、Ptが非常に高価なためあまり実用的ではな
かった。またCo−Cr−PtにBを添加した合金によ
り磁性膜を形成した磁気記録媒体では、ディスクノイズ
が大きいという問題があるとともに、Bの添加量が0.
5〜5at%では保磁力が向上するが、Bが5at%を
越えると低下する傾向があった。そこで本発明は、Co
−Cr−Pt−BにV或はNbを添加した5元系磁性膜
を設けた磁気記録媒体において、その保磁力を向上する
とともに、S/N比を向上してディスクノイズを低減す
ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、非磁性材料からなる基板の表面に非磁性材料
からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を設け
てなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%でCr5
〜20%、Pt1〜15%、B0.5〜5%、VとNb
のうちの1種または2種を0〜8%、残部Coおよび不
可避的不純物からなる合金によって形成した。
するため、非磁性材料からなる基板の表面に非磁性材料
からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を設け
てなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%でCr5
〜20%、Pt1〜15%、B0.5〜5%、VとNb
のうちの1種または2種を0〜8%、残部Coおよび不
可避的不純物からなる合金によって形成した。
【0006】上記において、磁性膜に含まれるCrが5
原子%未満では耐食性が低下する。すなわち環境の変化
による飽和磁化の減少率が大であると共に、ビットシフ
トを増大させるため不都合である。一方Crが20原子
%を越えると、残留磁化の減少により出力の低下を招く
と共に、ビットシフトも増大するため好ましくない。B
の添加量が0.5原子%未満では保磁力の向上が不十分
であり、5原子%を越えると保磁力が低下する傾向にあ
る。なおBの添加量は2〜3at%で保磁力が最も高く
なり、1〜4at%でより望ましい保磁力となる。また
磁性膜に含まれるV、Nbは保磁力の向上とノイズ低減
に寄与するが、8原子%以上ではその作用を期待でき
ず、望ましくない。なおV、Nbの添加量は2〜3at
%で最も保磁力が高く、1〜6at%でより望ましい保
磁力となる。下地膜はCr若しくはCr合金によって形
成することが好ましい。この場合においてCr合金とし
ては、Cr−Mn、Cr−V、Cr−Mn等の合金を使
用することができる。基板はアルミニウム若しくはアル
ミニウム基合金で形成するのが望ましい。
原子%未満では耐食性が低下する。すなわち環境の変化
による飽和磁化の減少率が大であると共に、ビットシフ
トを増大させるため不都合である。一方Crが20原子
%を越えると、残留磁化の減少により出力の低下を招く
と共に、ビットシフトも増大するため好ましくない。B
の添加量が0.5原子%未満では保磁力の向上が不十分
であり、5原子%を越えると保磁力が低下する傾向にあ
る。なおBの添加量は2〜3at%で保磁力が最も高く
なり、1〜4at%でより望ましい保磁力となる。また
磁性膜に含まれるV、Nbは保磁力の向上とノイズ低減
に寄与するが、8原子%以上ではその作用を期待でき
ず、望ましくない。なおV、Nbの添加量は2〜3at
%で最も保磁力が高く、1〜6at%でより望ましい保
磁力となる。下地膜はCr若しくはCr合金によって形
成することが好ましい。この場合においてCr合金とし
ては、Cr−Mn、Cr−V、Cr−Mn等の合金を使
用することができる。基板はアルミニウム若しくはアル
ミニウム基合金で形成するのが望ましい。
【0007】
【作用】上記の磁気記録媒体は、磁性膜にBを0.5〜
5原子%含むとともに、8原子%以下のVあるいはNb
を含んでいるため、保磁力が大きく、しかもS/N比が
大きくなってノイズが低減される。すなわち前記磁気記
録媒体の磁性膜では、C軸に一軸異方性を持つCoCr
Pt系合金膜(hcp構造)の(110)面が、Cr
(bcc構造)の(100)面上に優先配向する。これ
は、hcpのC軸がディスク面内方向と一致することを
意味する。また、BとV、BとNbの複合添加によりC
oCrPt膜の結晶粒が微細化し、磁性粒子が単磁区構
造になろうとする。これにより磁性膜の磁化反転機構が
回転モードに移行する。その結果、高保磁力が得られる
ものと考えられる。
5原子%含むとともに、8原子%以下のVあるいはNb
を含んでいるため、保磁力が大きく、しかもS/N比が
大きくなってノイズが低減される。すなわち前記磁気記
録媒体の磁性膜では、C軸に一軸異方性を持つCoCr
Pt系合金膜(hcp構造)の(110)面が、Cr
(bcc構造)の(100)面上に優先配向する。これ
は、hcpのC軸がディスク面内方向と一致することを
意味する。また、BとV、BとNbの複合添加によりC
oCrPt膜の結晶粒が微細化し、磁性粒子が単磁区構
造になろうとする。これにより磁性膜の磁化反転機構が
回転モードに移行する。その結果、高保磁力が得られる
ものと考えられる。
【0008】
【実施例】以下、本発明について実施例及び比較例等に
ついて詳述する。但し本発明の範囲が、これらの実施例
により限定されるものではない。 (実施例1)3.5インチのアルミニウム合金板(外径
95mm、内径25mm、厚み1.27mm)の表面に
Ni−Pメッキ膜を5〜15μm形成し、表面を鏡面加
工した。その後テクスチャ加工を行ない表面粗さRa=
5−6nmとしたディスク状基板を作成した。その基板
を洗浄後、たとえば、DCマグネトロンスパッタ室内を
2.66×10-4Pa以下に排気後、Arガスを導入し
てスパッタ室内を2.66Paに保持し、基板温度30
0℃の条件で、膜厚100nmのCr下地層を作成し
た。その後、このCr下地層上に磁性膜として膜厚50
nmのCoCrPtVB、CoCrPtNbBをスパッ
タした。磁性膜の組成は、CoCrPtターゲットに張
り付けたB、V、Nbのチップ数で調整した。このよう
にして得られた磁気記録媒体の磁性膜のV濃度を変化さ
せた時の、保磁力とV、Nb濃度の関係を図1に示す。
V、Nbの添加量は8at%以下で保磁力が約1700
Oe以上になり、2〜3at%で保磁力が最も高くな
り、それより減少しても増加しても保磁力は漸次低下す
ることがわかる。
ついて詳述する。但し本発明の範囲が、これらの実施例
により限定されるものではない。 (実施例1)3.5インチのアルミニウム合金板(外径
95mm、内径25mm、厚み1.27mm)の表面に
Ni−Pメッキ膜を5〜15μm形成し、表面を鏡面加
工した。その後テクスチャ加工を行ない表面粗さRa=
5−6nmとしたディスク状基板を作成した。その基板
を洗浄後、たとえば、DCマグネトロンスパッタ室内を
2.66×10-4Pa以下に排気後、Arガスを導入し
てスパッタ室内を2.66Paに保持し、基板温度30
0℃の条件で、膜厚100nmのCr下地層を作成し
た。その後、このCr下地層上に磁性膜として膜厚50
nmのCoCrPtVB、CoCrPtNbBをスパッ
タした。磁性膜の組成は、CoCrPtターゲットに張
り付けたB、V、Nbのチップ数で調整した。このよう
にして得られた磁気記録媒体の磁性膜のV濃度を変化さ
せた時の、保磁力とV、Nb濃度の関係を図1に示す。
V、Nbの添加量は8at%以下で保磁力が約1700
Oe以上になり、2〜3at%で保磁力が最も高くな
り、それより減少しても増加しても保磁力は漸次低下す
ることがわかる。
【0009】(実施例2)次に、実施例1と同様に基板
を作成するととともに、その基板上に膜厚100nmの
Cr下地膜をスパッタにより形成した。さらにCr下地
膜の上に、B濃度を変化させて膜厚50nmのCoCr
PtVB、CoCrPtNbB膜をスパッタにより作成
した。このようにして得られた磁気記録媒体の、保磁力
とB濃度の関係を図2に示した。図2からVとNbと同
様に、Bの添加量が0.5〜5at%で保磁力が170
0Oe以上になり、2〜3at%で最も保磁力は大き
く、それより減少しても増加しても漸次保磁力は低下す
ることがわかる。
を作成するととともに、その基板上に膜厚100nmの
Cr下地膜をスパッタにより形成した。さらにCr下地
膜の上に、B濃度を変化させて膜厚50nmのCoCr
PtVB、CoCrPtNbB膜をスパッタにより作成
した。このようにして得られた磁気記録媒体の、保磁力
とB濃度の関係を図2に示した。図2からVとNbと同
様に、Bの添加量が0.5〜5at%で保磁力が170
0Oe以上になり、2〜3at%で最も保磁力は大き
く、それより減少しても増加しても漸次保磁力は低下す
ることがわかる。
【0010】(実施例3)前記実施例1、2で作成した
角磁気記録媒体について、ギャップ長0.5μmの薄膜
ヘッドを使用し、フライングハイト0.15μm、記録
線密度24KFCIで信号記録再生を行ない、再生信号
出力(シグナル)とメディアノイズ強さの比(S/Nd
B)を求めた。その求めた結果を磁性膜の合金組成と併
せて下記の表1に示した。
角磁気記録媒体について、ギャップ長0.5μmの薄膜
ヘッドを使用し、フライングハイト0.15μm、記録
線密度24KFCIで信号記録再生を行ない、再生信号
出力(シグナル)とメディアノイズ強さの比(S/Nd
B)を求めた。その求めた結果を磁性膜の合金組成と併
せて下記の表1に示した。
【0011】
【表1】 表1から、CoCrPtBにV又はNbを添加した磁性
膜を設けた磁気記録媒体は、比較例のCoCrPtから
なる磁性膜を設けた磁気記録媒体に比べて、再生出力信
号は若干低いが、S/N比は高くなり、ノイズが小さく
なることがわかる。
膜を設けた磁気記録媒体は、比較例のCoCrPtから
なる磁性膜を設けた磁気記録媒体に比べて、再生出力信
号は若干低いが、S/N比は高くなり、ノイズが小さく
なることがわかる。
【0012】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、BとV或はN
bとの複合添加により高価なPtの含有量を少なくして
も約1700Oeの高保磁力を実現でき、また飽和磁化
量も磁気記録媒体として十分な値を有し、これにより高
密度の可能な磁気記録媒体が、製造可能になる。さらに
磁気記録媒体のS/N比が大きくなり、ノイズを低減す
ることができる。
bとの複合添加により高価なPtの含有量を少なくして
も約1700Oeの高保磁力を実現でき、また飽和磁化
量も磁気記録媒体として十分な値を有し、これにより高
密度の可能な磁気記録媒体が、製造可能になる。さらに
磁気記録媒体のS/N比が大きくなり、ノイズを低減す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁性膜におけるV、Nb添加量と保磁力との関
係図である。
係図である。
【図2】磁性膜におけるB添加量と保磁力との関係図で
ある。
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠原 肇 埼玉県熊谷市三ケ尻5200番地日立金属株式 会社磁性材料研究所内
Claims (3)
- 【請求項1】 非磁性材料からなる基板の表面に非磁性
材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を
設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%でC
r5〜20%、Pt1〜15%、V0〜8%、B0.5
〜5%、残部Coおよび不可避的不純物からなる合金に
よって形成したことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項2】 非磁性材料からなる基板の表面に非磁性
材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を
設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%でC
r5〜20%、Pt1〜15%、Nb0〜8%、B0.
5〜5%、残部Coおよび不可避的不純物からなる合金
によって形成したことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項3】 非磁性材料からなる基板の表面に非磁性
材料からなる下地膜を介して磁性材料からなる磁性膜を
設けてなる磁気記録媒体において、磁性膜を原子%でC
r5〜20%、Pt1〜15%、VとNbとを合計0〜
8%、B0.5〜5%、残部Coおよび不可避的不純物
からなる合金によって形成したことを特徴とする磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1951092A JPH05189739A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1951092A JPH05189739A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05189739A true JPH05189739A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=12001367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1951092A Pending JPH05189739A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05189739A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001243620A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Asahi Komagu Kk | 磁気記録媒体 |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP1951092A patent/JPH05189739A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001243620A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Asahi Komagu Kk | 磁気記録媒体 |
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