JPH05196707A - 光式磁界センサ - Google Patents
光式磁界センサInfo
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- JPH05196707A JPH05196707A JP18975491A JP18975491A JPH05196707A JP H05196707 A JPH05196707 A JP H05196707A JP 18975491 A JP18975491 A JP 18975491A JP 18975491 A JP18975491 A JP 18975491A JP H05196707 A JPH05196707 A JP H05196707A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ダィナミックレンジの広い磁界センサを提供
する。 【構成】 発光部1と、被測定磁界の強さに比例して偏
波面が回転するファラデー効果を有する磁気光学素子5
とを、光ファイバー2で接続する。磁気光学素子5の発
光部1側に偏光子4を、出力側に偏光子4の主軸とある
特定の角度をなすよう主軸を定めた検光子7を配置す
る。検光子7を透過した光を受け電気信号に変換する受
光素子12を設ける。受光素子12から出力される電気
信号から、偏光面の回転角θを検出して磁界の強さを検
出する信号処理回路19を設ける。信号処理回路19
に、高周波阻止フィルタ20、アナログ/デジタル変換
器23、デジタル入力値に対応した逆三角関数値を記憶
させ高速で読み出し可能な記憶素子24、記憶素子の出
力をアナログ出力に変換するデジタル/アナログ変換器
25を設ける。
する。 【構成】 発光部1と、被測定磁界の強さに比例して偏
波面が回転するファラデー効果を有する磁気光学素子5
とを、光ファイバー2で接続する。磁気光学素子5の発
光部1側に偏光子4を、出力側に偏光子4の主軸とある
特定の角度をなすよう主軸を定めた検光子7を配置す
る。検光子7を透過した光を受け電気信号に変換する受
光素子12を設ける。受光素子12から出力される電気
信号から、偏光面の回転角θを検出して磁界の強さを検
出する信号処理回路19を設ける。信号処理回路19
に、高周波阻止フィルタ20、アナログ/デジタル変換
器23、デジタル入力値に対応した逆三角関数値を記憶
させ高速で読み出し可能な記憶素子24、記憶素子の出
力をアナログ出力に変換するデジタル/アナログ変換器
25を設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はファラデー効果を応用し
て、磁界強度を検出する磁界センサに関するものであ
る。
て、磁界強度を検出する磁界センサに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】この種の磁界センサとしては、特開昭5
9−159076号公報に記載のものが、従来から知ら
れている。図3及び図4は、この公報に開示された従来
技術を示すもので、図3に示すものは磁界の強度Hその
ものを計測する磁界センサであり、図4に示すものは導
体に流れる電流Iによって形成される磁界の強度Hを計
測し、これによって電流Iを計測しようとする変流器に
適用したものである。
9−159076号公報に記載のものが、従来から知ら
れている。図3及び図4は、この公報に開示された従来
技術を示すもので、図3に示すものは磁界の強度Hその
ものを計測する磁界センサであり、図4に示すものは導
体に流れる電流Iによって形成される磁界の強度Hを計
測し、これによって電流Iを計測しようとする変流器に
適用したものである。
【0003】図3において、発光ダイオード等からなる
発光部1から出射される光は、光ファイバ3を介して集
光レンズ3に導かれ、集光レンズ3により平行光に近い
光になって偏光子4に入射され、この偏光子4により取
り出された偏光が磁気光学素子5に入射される。磁気光
学素子5は置かれた磁界の強度H(図示矢印方向)によ
っていわゆるファラデー効果を示すもの、例えば鉛ガラ
スや磁性膜等によって形成されている。したがって、磁
気光学素子5一端面に入射された偏光の偏光面は、磁界
強度Hに比例してθだけ回転されて他端面から射出され
る。この射出光は偏光プリズムまたは偏光ビームスプリ
ッタなどからなり、主軸が偏光子4と45°の位置にセ
ットされた検光子7に入射され、ここにおいて、図5に
示すように直交2成分(X成分、Y成分)のベクトル光
に分光される。図5から、それぞれのベクトル成分は次
式で表される。 Ex=E・sin(45°+θ) (1) Ey=E・cos(45°+θ) (2)
発光部1から出射される光は、光ファイバ3を介して集
光レンズ3に導かれ、集光レンズ3により平行光に近い
光になって偏光子4に入射され、この偏光子4により取
り出された偏光が磁気光学素子5に入射される。磁気光
学素子5は置かれた磁界の強度H(図示矢印方向)によ
っていわゆるファラデー効果を示すもの、例えば鉛ガラ
スや磁性膜等によって形成されている。したがって、磁
気光学素子5一端面に入射された偏光の偏光面は、磁界
強度Hに比例してθだけ回転されて他端面から射出され
る。この射出光は偏光プリズムまたは偏光ビームスプリ
ッタなどからなり、主軸が偏光子4と45°の位置にセ
ットされた検光子7に入射され、ここにおいて、図5に
示すように直交2成分(X成分、Y成分)のベクトル光
に分光される。図5から、それぞれのベクトル成分は次
式で表される。 Ex=E・sin(45°+θ) (1) Ey=E・cos(45°+θ) (2)
【0004】これらのベクトル光はそれぞれ集光レンズ
8,9によって集光された光量信号Px,Pyとなり、
光ファイバー10,11を介して受光素子12,13に
導かれる。ここで、光量はベクトルの大きさの二乗であ
るから、光量信号Px,Pyは、下記の通りとなる。 Px=Ex2 =E2 ・sin2 (45°+θ) =(E2 /2)・(1+sin2θ) (3) Py=Ey2 =E2 ・cos2 (45°+θ) =(E2 /2)・(1−sin2θ) (4)
8,9によって集光された光量信号Px,Pyとなり、
光ファイバー10,11を介して受光素子12,13に
導かれる。ここで、光量はベクトルの大きさの二乗であ
るから、光量信号Px,Pyは、下記の通りとなる。 Px=Ex2 =E2 ・sin2 (45°+θ) =(E2 /2)・(1+sin2θ) (3) Py=Ey2 =E2 ・cos2 (45°+θ) =(E2 /2)・(1−sin2θ) (4)
【0005】受光素子12,13は、例えばフォトダイ
オードから形成されており、受光する光量信号Px,P
yに比例した電流信号を出力する光電変換器である。磁
界が交番磁界の場合を例にとれば、この電流信号は電流
電圧変換アンプ14,15によって、次式(5)(6)
に示す電圧信号Vx,Vyに変換される。なお、同式中
のK1 は定数である。 Vx=K1 (1+sin2θ) (5) Vy=K1 (1−sin2θ) (6)
オードから形成されており、受光する光量信号Px,P
yに比例した電流信号を出力する光電変換器である。磁
界が交番磁界の場合を例にとれば、この電流信号は電流
電圧変換アンプ14,15によって、次式(5)(6)
に示す電圧信号Vx,Vyに変換される。なお、同式中
のK1 は定数である。 Vx=K1 (1+sin2θ) (5) Vy=K1 (1−sin2θ) (6)
【0006】電圧信号Vxはアナログ加算器16,17
の+入力端に入力され、電圧信号Vyはアナログ加算器
16の+入力端とアナログ加算器17の−入力端にそれ
ぞれ入力されている。アナログ加算器17の出力は割算
器18の分母入力端にそれぞれ入力されている。これに
よって、割算器18から出力される信号V0 は次式
(7)で表されたものとなる。 V0 =(Vx−Vy)/(Vx+Vy) =sin2θ (7) (7)式において、θが充分小さな範囲で、次式(8)
が成立する。 V0 =2θ=K2 ・H (8) (ただし、K2 は比例定数、V0 =2θは近似値であ
る。)すなわち、式(8)から明らかなように、割算器
18に出力信号V0 によって磁界強度Hを検出するよう
になっている。
の+入力端に入力され、電圧信号Vyはアナログ加算器
16の+入力端とアナログ加算器17の−入力端にそれ
ぞれ入力されている。アナログ加算器17の出力は割算
器18の分母入力端にそれぞれ入力されている。これに
よって、割算器18から出力される信号V0 は次式
(7)で表されたものとなる。 V0 =(Vx−Vy)/(Vx+Vy) =sin2θ (7) (7)式において、θが充分小さな範囲で、次式(8)
が成立する。 V0 =2θ=K2 ・H (8) (ただし、K2 は比例定数、V0 =2θは近似値であ
る。)すなわち、式(8)から明らかなように、割算器
18に出力信号V0 によって磁界強度Hを検出するよう
になっている。
【0007】図4は前述したように磁界センサを変流器
に適用した場合の一例で、導体6に流れる交流電流Iを
検出するものである。この例では、磁気光学素子5には
導体6が貫通される孔が形成されており、偏光子4から
射出された光は磁気光学素子5内を図示点線で示した光
路を経て、検光子7に導かれる。その他は図3に図示し
た磁界センサと同一に構成されている。
に適用した場合の一例で、導体6に流れる交流電流Iを
検出するものである。この例では、磁気光学素子5には
導体6が貫通される孔が形成されており、偏光子4から
射出された光は磁気光学素子5内を図示点線で示した光
路を経て、検光子7に導かれる。その他は図3に図示し
た磁界センサと同一に構成されている。
【0008】したがって、磁気光学素子5内を透過され
る偏光は、電流Iに比例して生ずる磁界の強度Hに比例
してその偏光面が回転され、割算器18の出力V0 は前
式(7)と同じになり、θが充分小さな範囲において次
式(9)となるので、導体6に流れる電流Iが検出され
る。 V0 =2θ=K3 ・H (9) (ただし、K3 は比例定数、V0 =2θは近似値であ
る。)
る偏光は、電流Iに比例して生ずる磁界の強度Hに比例
してその偏光面が回転され、割算器18の出力V0 は前
式(7)と同じになり、θが充分小さな範囲において次
式(9)となるので、導体6に流れる電流Iが検出され
る。 V0 =2θ=K3 ・H (9) (ただし、K3 は比例定数、V0 =2θは近似値であ
る。)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3及
び図4に示した従来の光式磁界センサは、上述したよう
にθが充分小さな範囲でしか、直線性が得られないとい
う欠点があった。例えば、1%の精度を満たすθの範囲
は、僅かに±7.0°以内である。更に(3)(4)式
または(5)(6)式から知れるように、光量信号に含
まれるバイアス成分に対する被測定信号成分の割合(変
調度)は、θ=7°のとき24%しかない。このことは
低磁界領域を測定しようとしたとき信号/雑音比が小さ
く充分な測定精度が得られないということになる。この
ように、従来の光式磁界センサでは非常に狭い範囲の磁
界しか、測定できないという欠点があった。本発明は、
上記のような従来技術の問題点を解決するために提案さ
れたもので、測定範囲の広い光式磁界センサを提供する
ことを目的とする。
び図4に示した従来の光式磁界センサは、上述したよう
にθが充分小さな範囲でしか、直線性が得られないとい
う欠点があった。例えば、1%の精度を満たすθの範囲
は、僅かに±7.0°以内である。更に(3)(4)式
または(5)(6)式から知れるように、光量信号に含
まれるバイアス成分に対する被測定信号成分の割合(変
調度)は、θ=7°のとき24%しかない。このことは
低磁界領域を測定しようとしたとき信号/雑音比が小さ
く充分な測定精度が得られないということになる。この
ように、従来の光式磁界センサでは非常に狭い範囲の磁
界しか、測定できないという欠点があった。本発明は、
上記のような従来技術の問題点を解決するために提案さ
れたもので、測定範囲の広い光式磁界センサを提供する
ことを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの手段として、本発明は、被測定磁界の強さに比例し
て偏波面が回転するファラデー効果を有する磁気光学素
子と、この磁気光学素子の光源側に配置した偏光子と、
磁気光学素子を透過してきた光を受け前記偏光子の主軸
とある特定の角度をなすよう主軸を定めた検光子と、こ
の検光子を透過した光を受け電気信号を変換する受光素
子と、該受光素子から出力される電気信号から前記偏光
面の回転角を検出して磁界の強さを検出する信号処理回
路を備えた光式磁界センサにおいて、前記信号処理回路
に、高周波阻止フィルタ、アナログ/デジタル変換器、
デジタル入力値に対応した逆三角関数値を記憶させ高速
で読み出し可能な記憶素子、記憶素子の出力をアナログ
出力に変換して出力するするデジタル/アナログ変換器
を設けたことを特徴とする。
めの手段として、本発明は、被測定磁界の強さに比例し
て偏波面が回転するファラデー効果を有する磁気光学素
子と、この磁気光学素子の光源側に配置した偏光子と、
磁気光学素子を透過してきた光を受け前記偏光子の主軸
とある特定の角度をなすよう主軸を定めた検光子と、こ
の検光子を透過した光を受け電気信号を変換する受光素
子と、該受光素子から出力される電気信号から前記偏光
面の回転角を検出して磁界の強さを検出する信号処理回
路を備えた光式磁界センサにおいて、前記信号処理回路
に、高周波阻止フィルタ、アナログ/デジタル変換器、
デジタル入力値に対応した逆三角関数値を記憶させ高速
で読み出し可能な記憶素子、記憶素子の出力をアナログ
出力に変換して出力するするデジタル/アナログ変換器
を設けたことを特徴とする。
【0011】
【作用】上記のような構成を有する本発明によれば、受
光素子によって得られた電気信号は、前記偏光面の回転
角の三角関数f(sin2θ)として出力される。この
出力を高周波阻止フィルタを介した後、A/D変換し、
記憶素子に入力する。記憶素子では、デジタル入力値に
対応するθの値を高速で読み出す。読み出された2θの
値をD/A変換し、これを磁界センサの出力とする。
光素子によって得られた電気信号は、前記偏光面の回転
角の三角関数f(sin2θ)として出力される。この
出力を高周波阻止フィルタを介した後、A/D変換し、
記憶素子に入力する。記憶素子では、デジタル入力値に
対応するθの値を高速で読み出す。読み出された2θの
値をD/A変換し、これを磁界センサの出力とする。
【0012】
【実施例】 (1)第1実施例 以下、本発明の第1実施例を、図1に従って具体的に説
明する。
明する。
【0013】1はLEDなどの発光素子及び駆動回路よ
り成る発光部、2は発光部の光を導く光ファイバー、3
は光ファイバー2から出射される拡がろうとする光を略
平行光線にする集光レンズ、4は集光レンズ3からの光
を直線偏光とする偏光子、5はそこに作用している被測
定磁界Hの強さに比例して偏光面が回転する磁気光学素
子、7は主軸の方向が偏光子の主軸と45°の位置にな
るよう配置され他検光子である。
り成る発光部、2は発光部の光を導く光ファイバー、3
は光ファイバー2から出射される拡がろうとする光を略
平行光線にする集光レンズ、4は集光レンズ3からの光
を直線偏光とする偏光子、5はそこに作用している被測
定磁界Hの強さに比例して偏光面が回転する磁気光学素
子、7は主軸の方向が偏光子の主軸と45°の位置にな
るよう配置され他検光子である。
【0014】8は集光レンズ、10は光ファイバで、検
光子7から出射してきた平行光線は集光レンズ8で絞ら
れ光ファイバ10に入射される。光ファイバ10の他端
は受光素子12と結合され、光ファイバ10を通ってき
た光量信号は電流に変換された後、電流電圧光管アンプ
14の出力は信号処理回路19に入力され、出力信号V
0 を得る。
光子7から出射してきた平行光線は集光レンズ8で絞ら
れ光ファイバ10に入射される。光ファイバ10の他端
は受光素子12と結合され、光ファイバ10を通ってき
た光量信号は電流に変換された後、電流電圧光管アンプ
14の出力は信号処理回路19に入力され、出力信号V
0 を得る。
【0015】信号処理回路19の構成は次の通りであ
る。すなわち、20は高周波通過フィルタ、21は入力
信号を被測定交流信号成分と直流バイアス信号成分に分
割する低周波通過フィルタである。18は、高周波通過
フィルタ20の出力を低周波通過フィルタ21の出力で
割るように接続された割算器である。22は後で行うA
/D変換の前段としての高周波阻止フィルタ、23はA
/D変換器である。24は、いわゆるRead on
Momory(ROM)と呼ばれる記憶素子である。こ
の記憶素子24は、入力デジタル信号値(A)に1対1
に対応したsin-1(A)の値を予め記憶させておき、
これを入力値に応じて高速で読み出し出力する。25は
ROMのからのデジタル出力信号をアナログ信号に変換
するD/A変換器である。このように構成される磁界セ
ンサの動作について以下に説明する。
る。すなわち、20は高周波通過フィルタ、21は入力
信号を被測定交流信号成分と直流バイアス信号成分に分
割する低周波通過フィルタである。18は、高周波通過
フィルタ20の出力を低周波通過フィルタ21の出力で
割るように接続された割算器である。22は後で行うA
/D変換の前段としての高周波阻止フィルタ、23はA
/D変換器である。24は、いわゆるRead on
Momory(ROM)と呼ばれる記憶素子である。こ
の記憶素子24は、入力デジタル信号値(A)に1対1
に対応したsin-1(A)の値を予め記憶させておき、
これを入力値に応じて高速で読み出し出力する。25は
ROMのからのデジタル出力信号をアナログ信号に変換
するD/A変換器である。このように構成される磁界セ
ンサの動作について以下に説明する。
【0016】発光部1からの光は、光ファイバ2を通っ
て集合レンズ3に至り、ここで略平行光線となる。この
光は、偏光子4で直線偏光となり、磁気光学素子5を通
過する。この間に、磁界Hが図1に示した矢印の方向に
作用していると、偏光面は強界強度に比例してθだけ回
転する。磁気光学素子5の出射光は、検光子7を通過す
る。検光子7の主軸は偏光子4の主軸と45°の角度を
なすよう配置されているので、図5に示した光ベクトル
図から解るように、検光子7の出射光は次式で表され
る。 Ex=E・sin(45°+θ) (10)
て集合レンズ3に至り、ここで略平行光線となる。この
光は、偏光子4で直線偏光となり、磁気光学素子5を通
過する。この間に、磁界Hが図1に示した矢印の方向に
作用していると、偏光面は強界強度に比例してθだけ回
転する。磁気光学素子5の出射光は、検光子7を通過す
る。検光子7の主軸は偏光子4の主軸と45°の角度を
なすよう配置されているので、図5に示した光ベクトル
図から解るように、検光子7の出射光は次式で表され
る。 Ex=E・sin(45°+θ) (10)
【0017】この光は、集光レンズ8によりビーム径が
絞られ、光量信号Pxとなり、光ファバ10を介して受
光素子12に導かれる。光量は、ベクトルの大きさの二
乗であるから、下記の通りとなる。 Px=Ex2 =E2 ・sin2 (45°+θ) =(E2 /2)・(1+sin2θ) (11)
絞られ、光量信号Pxとなり、光ファバ10を介して受
光素子12に導かれる。光量は、ベクトルの大きさの二
乗であるから、下記の通りとなる。 Px=Ex2 =E2 ・sin2 (45°+θ) =(E2 /2)・(1+sin2θ) (11)
【0018】受光素子12は、例えばフォトダイオード
から形成されており、受光する光量信号Pxに比例した
電流信号を出力する光電変換器である。磁界が交番磁界
の場合を例にとれば、この電流信号は電流電圧変換アン
プ14によって電圧信号Vxに変換される。 Vx=K1 (1+sin2θ) (12) (ただし、K1 は定数)。
から形成されており、受光する光量信号Pxに比例した
電流信号を出力する光電変換器である。磁界が交番磁界
の場合を例にとれば、この電流信号は電流電圧変換アン
プ14によって電圧信号Vxに変換される。 Vx=K1 (1+sin2θ) (12) (ただし、K1 は定数)。
【0019】電圧信号Vxは、高周波通過フィルタ20
および低周波通過フィルタ21に入力されている。した
がって、高周波通過フィルタ20の出力VxA は、(1
2)式の直流バイアス成分が除去され、次式となる。 VxA =K1 sin2θ (13) 低周波通過フィルタ21の出力VxD は、交流成分が除
去され、次式となる。 VxD =K1 (14)
および低周波通過フィルタ21に入力されている。した
がって、高周波通過フィルタ20の出力VxA は、(1
2)式の直流バイアス成分が除去され、次式となる。 VxA =K1 sin2θ (13) 低周波通過フィルタ21の出力VxD は、交流成分が除
去され、次式となる。 VxD =K1 (14)
【0020】VxA は割算器18の分子入力端子に、V
xD は割算器18の分母入力端子にインプットされてい
るので、割算器の出力信号Vx0 は次式(15)で表さ
れる。 Vx0 =sin2θ (15)
xD は割算器18の分母入力端子にインプットされてい
るので、割算器の出力信号Vx0 は次式(15)で表さ
れる。 Vx0 =sin2θ (15)
【0021】(15)式で示される信号は、高周波阻止
フィルタで高周波が除去された後、A/D変換器でデジ
タル信号に変換される。この信号は、記憶素子24で
は、(15)式の関係によりVx0 に1対1に対応する
θの値を予め記憶させており、これを高速で読み出すこ
とにより、Vx0 を入力し、θをリアルタイムに出力す
ることになる。この段階で、出力としては充分である
が、図1に示した実施例では、D/A変換器25を介し
てアナログ出力V0 を得ている。したがって、本実施例
において、検出可能なθの範囲は、 −90°≦2θ≦90° よって、−45°≦θ≦45° となり、従来技術の約6倍の範囲が検出可能となる。
フィルタで高周波が除去された後、A/D変換器でデジ
タル信号に変換される。この信号は、記憶素子24で
は、(15)式の関係によりVx0 に1対1に対応する
θの値を予め記憶させており、これを高速で読み出すこ
とにより、Vx0 を入力し、θをリアルタイムに出力す
ることになる。この段階で、出力としては充分である
が、図1に示した実施例では、D/A変換器25を介し
てアナログ出力V0 を得ている。したがって、本実施例
において、検出可能なθの範囲は、 −90°≦2θ≦90° よって、−45°≦θ≦45° となり、従来技術の約6倍の範囲が検出可能となる。
【0022】また、(15)式から明らかなように、発
光部1の特性変動、光ファイバ2,10、受光素子1
2、電流電圧変換アンプ14の特性変動に影響を受けな
い。更に、光ファイバは2と10の2本のみであり、従
来技術の3本に比べて光学系がシンプルである。
光部1の特性変動、光ファイバ2,10、受光素子1
2、電流電圧変換アンプ14の特性変動に影響を受けな
い。更に、光ファイバは2と10の2本のみであり、従
来技術の3本に比べて光学系がシンプルである。
【0023】(2)第2実施例 図2に、本発明の第2実施例を示す。この第2実施例の
構成は、発光部1から電流電圧変換アンプ14間では、
前記第1実施例と同じである。この第2実施例におい
て、電流電圧変換アンプ14の出力は、低周波通過フィ
ルタ21に入力され、一方、低周波通過フィルタ21の
出力は、発光量を制御する信号として、発光部へフィー
ドバックされる。電流電圧変換アンプ14の出力は同時
に高周波阻止フィルタ22を介して、A/D変換器に入
力される。24は、入力デジタル信号値(A)に1対1
に対応したsin-1(A/k−1)の値を予め記憶刺せ
て置き、これを入力値に応じて高速で読み出し出力する
ようにした記憶素子(ROM)である。25はROMか
らデジタル出力信号をアナログ信号に変換するD/A変
換器である。
構成は、発光部1から電流電圧変換アンプ14間では、
前記第1実施例と同じである。この第2実施例におい
て、電流電圧変換アンプ14の出力は、低周波通過フィ
ルタ21に入力され、一方、低周波通過フィルタ21の
出力は、発光量を制御する信号として、発光部へフィー
ドバックされる。電流電圧変換アンプ14の出力は同時
に高周波阻止フィルタ22を介して、A/D変換器に入
力される。24は、入力デジタル信号値(A)に1対1
に対応したsin-1(A/k−1)の値を予め記憶刺せ
て置き、これを入力値に応じて高速で読み出し出力する
ようにした記憶素子(ROM)である。25はROMか
らデジタル出力信号をアナログ信号に変換するD/A変
換器である。
【0024】この第2実施例においては、発光部1か
ら、電流電圧変換アンプ14間での動作は図1の第1実
施例に同じである。しかし、低周波通過フィルタ21に
よって交流成分を除去した信号は、発光量を制御する信
号として発光部へフィードバッグされているため、(1
2)式における定数K1 は、K1 =K(一定)となるよ
うに制御され、電圧信号Vxは光源部1から電流電圧変
換アンプ14までの特性変動の影響を受けない。 Vx=K(1+sin2θ) (16)
ら、電流電圧変換アンプ14間での動作は図1の第1実
施例に同じである。しかし、低周波通過フィルタ21に
よって交流成分を除去した信号は、発光量を制御する信
号として発光部へフィードバッグされているため、(1
2)式における定数K1 は、K1 =K(一定)となるよ
うに制御され、電圧信号Vxは光源部1から電流電圧変
換アンプ14までの特性変動の影響を受けない。 Vx=K(1+sin2θ) (16)
【0025】(16)式で示される信号は高周波阻止フ
ィルタで高周波が除去された後A/D変換器でデジタル
信号に変換される。この信号派、記憶素子24に入力去
れる。記憶素子24では、(16)式の関係より、Vx
に1対1に対応するθの値を予め記憶させており、これ
を高速で読み出すことにより、Vxを入力し、θをリア
ルタイムに出力することになる。この段階で出力として
は充分であるが、図2に示した他の実施例では、D/A
変換器25を介してアナログ出力V0 を得ている。
ィルタで高周波が除去された後A/D変換器でデジタル
信号に変換される。この信号派、記憶素子24に入力去
れる。記憶素子24では、(16)式の関係より、Vx
に1対1に対応するθの値を予め記憶させており、これ
を高速で読み出すことにより、Vxを入力し、θをリア
ルタイムに出力することになる。この段階で出力として
は充分であるが、図2に示した他の実施例では、D/A
変換器25を介してアナログ出力V0 を得ている。
【0026】この第2実施例においても、前記第1実施
例と同様に、検出可能なθの範囲が−45°≦θ≦45
°と広く、発光部1から電流電圧変換アンプ14間での
特性変動の影響を受けなく、光学系がシンプルである。
それに加えて、第1実施例における高周波通過フィルタ
20および割算器18が不要になる分だけ信号処理回路
が簡素になるという効果がある。
例と同様に、検出可能なθの範囲が−45°≦θ≦45
°と広く、発光部1から電流電圧変換アンプ14間での
特性変動の影響を受けなく、光学系がシンプルである。
それに加えて、第1実施例における高周波通過フィルタ
20および割算器18が不要になる分だけ信号処理回路
が簡素になるという効果がある。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、信
号処理回路において、入力に対応する予め記憶されてい
る値を、直接記憶素子から高速で読み出すよう動作する
ので、広範囲の磁界を高い精度で検出することができる
光式磁界センサを提供できる効果が得られる。
号処理回路において、入力に対応する予め記憶されてい
る値を、直接記憶素子から高速で読み出すよう動作する
ので、広範囲の磁界を高い精度で検出することができる
光式磁界センサを提供できる効果が得られる。
【図1】本発明の光式磁界センサの第1実施例を示す構
成図
成図
【図2】本発明の光式磁界センサの第2実施例を示す構
成図
成図
【図3】従来の光磁界センサの一例を示す構成図
【図4】図3の光磁界センサを変流器に適用した状態を
示す構成図
示す構成図
【図5】偏光子と検光子の作用を説明するためのベクト
ル図
ル図
【符号の説明】 4…偏光子 5…磁気光学素子 7…検光子 12…受光素子 14…電流電圧変換アンプ 18…割算器 19…信号処理回路 20…高周波通過フィルタ 21…低周波通過フィルタ 22…高周波阻止フィルタ 23…A/D変換器 24…記憶素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 高 神奈川県川崎市川崎区浮島町2番1号 株 式会社東芝浜川崎工場内
Claims (1)
- 【請求項1】被測定磁界の強さに比例して偏波面が回転
するファラデー効果を有する磁気光学素子と、 この磁気光学素子の光源側に配置した偏光子と、 磁気光学素子を透過してきた光を受け前記偏光子の主軸
とある特定の角度をなすよう主軸を定めた検光子と、 この検光子を透過した光を受け電気信号を変換する受光
素子と、 該受光素子から出力される電気信号から前記偏光面の回
転角を検出して磁界の強さを検出する信号処理回路を備
えた光式磁界センサにおいて、 前記信号処理回路に、処理回路に入力された値に対応し
た値を予め記憶しておく記憶素子と、信号処理回路への
入力時に該記憶素子から入力値に対応した値を読み出し
て出力とする出力手段とを設けたことを特徴とする光式
磁界センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3189754A JP2996775B2 (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 光式磁界センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3189754A JP2996775B2 (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 光式磁界センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196707A true JPH05196707A (ja) | 1993-08-06 |
| JP2996775B2 JP2996775B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=16246624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3189754A Expired - Fee Related JP2996775B2 (ja) | 1991-07-30 | 1991-07-30 | 光式磁界センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2996775B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011141172A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Mitsutoyo Corp | 光ファイバ型磁界センサ |
| CN107144718A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-09-08 | 华北电力大学 | 双磁路复合光学电流互感器及其信号处理方法 |
| CN113625037A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-11-09 | 华北电力大学 | 一种集群式和链式光学电流传感器及测量电流的方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6309200B2 (ja) | 2013-03-26 | 2018-04-11 | 三菱重工業株式会社 | 雷電流計測装置及び雷電流計測方法 |
-
1991
- 1991-07-30 JP JP3189754A patent/JP2996775B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011141172A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Mitsutoyo Corp | 光ファイバ型磁界センサ |
| CN107144718A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-09-08 | 华北电力大学 | 双磁路复合光学电流互感器及其信号处理方法 |
| CN107144718B (zh) * | 2017-06-15 | 2023-09-15 | 华北电力大学 | 双磁路复合光学电流互感器及其信号处理方法 |
| CN113625037A (zh) * | 2021-08-02 | 2021-11-09 | 华北电力大学 | 一种集群式和链式光学电流传感器及测量电流的方法 |
| CN113625037B (zh) * | 2021-08-02 | 2023-12-29 | 华北电力大学 | 一种集群式和链式光学电流传感器及测量电流的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2996775B2 (ja) | 2000-01-11 |
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|---|---|---|---|
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