JPH05196711A - 磁気測定装置 - Google Patents
磁気測定装置Info
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- JPH05196711A JPH05196711A JP19932991A JP19932991A JPH05196711A JP H05196711 A JPH05196711 A JP H05196711A JP 19932991 A JP19932991 A JP 19932991A JP 19932991 A JP19932991 A JP 19932991A JP H05196711 A JPH05196711 A JP H05196711A
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ３次元磁界ベクトルの絶対値（大きさ）を高
精度に測定することのできる磁気測定装置 【構成】 磁界ベクトルの絶対値Ｈを、予め基準磁気測
定装置との較正により求めた補正係数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，
ｅ，ｆを用いて、 Ｈ＝（ａ・Ｈx2＋ｂ・Ｈy2＋ｃ・Ｈz2＋ｄ・Ｈx・Ｈy＋ｅ・Ｈ
y・Ｈz＋ｆ・Ｈz・Ｈx）1/2 と算出する。 【効果】 ＸＹＺ各軸のＳＱＵＩＤの直交度、精度のば
らつき、相互干渉を補償する。
精度に測定することのできる磁気測定装置 【構成】 磁界ベクトルの絶対値Ｈを、予め基準磁気測
定装置との較正により求めた補正係数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，
ｅ，ｆを用いて、 Ｈ＝（ａ・Ｈx2＋ｂ・Ｈy2＋ｃ・Ｈz2＋ｄ・Ｈx・Ｈy＋ｅ・Ｈ
y・Ｈz＋ｆ・Ｈz・Ｈx）1/2 と算出する。 【効果】 ＸＹＺ各軸のＳＱＵＩＤの直交度、精度のば
らつき、相互干渉を補償する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＳＱＵＩＤ（Supercon
ducting Quantum Interference Device＝超伝導量子干
渉素子）を用いた磁気測定装置（磁力計）に関する。
ducting Quantum Interference Device＝超伝導量子干
渉素子）を用いた磁気測定装置（磁力計）に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＱＵＩＤは、ジョセフソン接合を有す
る超伝導のリングには磁束が磁束量子の単位で出入りす
るという性質を利用するものであり、非常に小さい磁界
まで検出することができるという特長を有する。現在の
ところ、ＳＱＵＩＤにはｒｆＳＱＵＩＤ及びｄｃＳＱＵ
ＩＤという２つのタイプがあるが、これら両タイプは励
磁方式において相違はあるものの、磁界検出の原理は同
じである。
る超伝導のリングには磁束が磁束量子の単位で出入りす
るという性質を利用するものであり、非常に小さい磁界
まで検出することができるという特長を有する。現在の
ところ、ＳＱＵＩＤにはｒｆＳＱＵＩＤ及びｄｃＳＱＵ
ＩＤという２つのタイプがあるが、これら両タイプは励
磁方式において相違はあるものの、磁界検出の原理は同
じである。
【０００３】ＳＱＵＩＤは磁界のそのリング面に垂直な
方向の成分を検出するのみであり、３次元的なベクトル
量である磁界の大きさ（ベクトルの絶対値）を検出する
ことはできない。従って、磁界ベクトルの絶対値を測定
する必要がある場合、互いに直交する３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ
軸）方向の磁界の成分を検出するＳＱＵＩＤをそれぞれ
設け、各ＳＱＵＩＤによる検出値Ｈx，Ｈy，Ｈzから次
式により磁界ベクトルの絶対値を算出していた。 Ｈ＝（Ｈx2＋Ｈy2＋Ｈz2）1/2 …（１）
方向の成分を検出するのみであり、３次元的なベクトル
量である磁界の大きさ（ベクトルの絶対値）を検出する
ことはできない。従って、磁界ベクトルの絶対値を測定
する必要がある場合、互いに直交する３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ
軸）方向の磁界の成分を検出するＳＱＵＩＤをそれぞれ
設け、各ＳＱＵＩＤによる検出値Ｈx，Ｈy，Ｈzから次
式により磁界ベクトルの絶対値を算出していた。 Ｈ＝（Ｈx2＋Ｈy2＋Ｈz2）1/2 …（１）
【０００４】次に、ＳＱＵＩＤを利用した磁気測定装置
では、上記の通り磁束が磁束量子単位で出入りするとい
う現象を利用するものであるため、測定する磁界は、原
則的には、磁束量子に対応する単位磁界毎に飛び飛びに
（ディスクリートに）存在する基準点からの偏差となっ
ている。そこで、大きさの異なるＳＱＵＩＤリングを複
数種類設け、最も面積の小さいＳＱＵＩＤリングの単位
磁界を測定対象磁界の絶対値よりも大きくなるようにし
て（例えば、地磁気を測定する場合には、単位磁界が地
磁気の大きさ約50,000γ以上となるようにする）、ま
ず、磁界の絶対的な大きさ（基準点からの偏差という相
対的な値ではなく、磁界ゼロの状態から測った値という
意味。また、磁界ベクトルの絶対値ではなく、磁界の、
そのＳＱＵＩＤリングの面の法線方向の成分の大き
さ。）を低感度で測定する。そして、順番に大きい面積
のＳＱＵＩＤリングにより測定精度を上げてゆき、最終
的に、それら複数のＳＱＵＩＤの出力をカスケード結合
（後述）することにより、磁界の（絶対的な）大きさを
高精度で測定するという方法が考えられている（特開平
３−３３６６９号公報参照）。
では、上記の通り磁束が磁束量子単位で出入りするとい
う現象を利用するものであるため、測定する磁界は、原
則的には、磁束量子に対応する単位磁界毎に飛び飛びに
（ディスクリートに）存在する基準点からの偏差となっ
ている。そこで、大きさの異なるＳＱＵＩＤリングを複
数種類設け、最も面積の小さいＳＱＵＩＤリングの単位
磁界を測定対象磁界の絶対値よりも大きくなるようにし
て（例えば、地磁気を測定する場合には、単位磁界が地
磁気の大きさ約50,000γ以上となるようにする）、ま
ず、磁界の絶対的な大きさ（基準点からの偏差という相
対的な値ではなく、磁界ゼロの状態から測った値という
意味。また、磁界ベクトルの絶対値ではなく、磁界の、
そのＳＱＵＩＤリングの面の法線方向の成分の大き
さ。）を低感度で測定する。そして、順番に大きい面積
のＳＱＵＩＤリングにより測定精度を上げてゆき、最終
的に、それら複数のＳＱＵＩＤの出力をカスケード結合
（後述）することにより、磁界の（絶対的な）大きさを
高精度で測定するという方法が考えられている（特開平
３−３３６６９号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、ＳＱＵＩ
Ｄをカスケード結合することにより、磁界の各軸成分の
大きさを極めて高い精度で測定することができるが、
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸用に設けたＳＱＵＩＤが互いに厳密に
垂直でない場合、上記式（１）で求めた磁界ベクトルの
絶対値Ｈの大きさの精度は疑わしいものとなる。その他
にも、各軸用のＳＱＵＩＤの精度に違いがある、あるい
は、各軸用のＳＱＵＩＤ間に相互干渉がある等の要因に
より、せっかく高精度のＳＱＵＩＤを使用して注意深く
測定を行なっても、演算により求めた磁界ベクトルの絶
対値の精度は低いものとなる。
Ｄをカスケード結合することにより、磁界の各軸成分の
大きさを極めて高い精度で測定することができるが、
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸用に設けたＳＱＵＩＤが互いに厳密に
垂直でない場合、上記式（１）で求めた磁界ベクトルの
絶対値Ｈの大きさの精度は疑わしいものとなる。その他
にも、各軸用のＳＱＵＩＤの精度に違いがある、あるい
は、各軸用のＳＱＵＩＤ間に相互干渉がある等の要因に
より、せっかく高精度のＳＱＵＩＤを使用して注意深く
測定を行なっても、演算により求めた磁界ベクトルの絶
対値の精度は低いものとなる。
【０００６】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、３次元
磁界ベクトルの大きさを高精度に測定することのできる
磁気測定装置を提供することにある。
成されたものであり、その目的とするところは、３次元
磁界ベクトルの大きさを高精度に測定することのできる
磁気測定装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、互いに平行でない３軸方向にそれ
ぞれ少なくとも１個のＳＱＵＩＤを配置し、各ＳＱＵＩ
Ｄにより磁界ベクトルの各軸方向成分Ｈx，Ｈy，Ｈzを
検出する磁気測定装置において、磁界ベクトルの絶対値
Ｈを、予め基準磁気測定装置との較正により求めた補正
係数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを用いて、 Ｈ＝（ａ・Ｈx2＋ｂ・Ｈy2＋ｃ・Ｈz2 ＋ｄ・Ｈx・Ｈy＋ｅ・Ｈy・Ｈz＋ｆ・Ｈz・Ｈx）1/2 …（２） と算出する演算器を備えることを特徴とする。
に成された本発明は、互いに平行でない３軸方向にそれ
ぞれ少なくとも１個のＳＱＵＩＤを配置し、各ＳＱＵＩ
Ｄにより磁界ベクトルの各軸方向成分Ｈx，Ｈy，Ｈzを
検出する磁気測定装置において、磁界ベクトルの絶対値
Ｈを、予め基準磁気測定装置との較正により求めた補正
係数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを用いて、 Ｈ＝（ａ・Ｈx2＋ｂ・Ｈy2＋ｃ・Ｈz2 ＋ｄ・Ｈx・Ｈy＋ｅ・Ｈy・Ｈz＋ｆ・Ｈz・Ｈx）1/2 …（２） と算出する演算器を備えることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明に係る磁気測定装置の各軸の磁界成分測
定値Ｈx，Ｈy，Ｈzを上式（２）の右辺に代入し、左辺
には基準磁気測定装置により測定した値Ｈを入れる。こ
のような較正を、本発明の磁気測定装置の姿勢を変化さ
せて少なくとも６回行ない、６個の補正係数ａ，ｂ，
ｃ，ｄ，ｅ，ｆを予め算出しておく。本発明の磁気測定
装置で実際に磁界ベクトルの絶対値（大きさ）を測定す
る際には、演算器が、予めこのようにして求めておいた
補正係数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを使用して、各軸の磁
界成分測定値Ｈx，Ｈy，Ｈzを上記式（２）に代入する
ことにより、前期種々の誤差要因による影響を補正した
正しい値を算出する。
定値Ｈx，Ｈy，Ｈzを上式（２）の右辺に代入し、左辺
には基準磁気測定装置により測定した値Ｈを入れる。こ
のような較正を、本発明の磁気測定装置の姿勢を変化さ
せて少なくとも６回行ない、６個の補正係数ａ，ｂ，
ｃ，ｄ，ｅ，ｆを予め算出しておく。本発明の磁気測定
装置で実際に磁界ベクトルの絶対値（大きさ）を測定す
る際には、演算器が、予めこのようにして求めておいた
補正係数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを使用して、各軸の磁
界成分測定値Ｈx，Ｈy，Ｈzを上記式（２）に代入する
ことにより、前期種々の誤差要因による影響を補正した
正しい値を算出する。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例である航空機登載用の地磁
気測定装置の概要を図１により説明する。本実施例の地
磁気測定装置は、磁気センサ１０、磁界検出器１１、演
算器１２及び図示せぬ表示装置等により構成される。
気測定装置の概要を図１により説明する。本実施例の地
磁気測定装置は、磁気センサ１０、磁界検出器１１、演
算器１２及び図示せぬ表示装置等により構成される。
【００１０】磁気センサ１０は１辺の長さが２０mmであ
る立方体の石英のブロックの互いに直交する３面の表面
にＳＱＵＩＤを形成したものである。この３面のＳＱＵ
ＩＤは、それぞれ、磁界（地磁気）のＸ、Ｙ及びＺ方向
（ただし、このＸＹＺ座標軸は本地磁気測定装置が登載
されている航空機に固定されたものであり、地球に対し
ては変化する）の成分を測定するものである。なお、本
実施例ではｄｃＳＱＵＩＤを用いている。
る立方体の石英のブロックの互いに直交する３面の表面
にＳＱＵＩＤを形成したものである。この３面のＳＱＵ
ＩＤは、それぞれ、磁界（地磁気）のＸ、Ｙ及びＺ方向
（ただし、このＸＹＺ座標軸は本地磁気測定装置が登載
されている航空機に固定されたものであり、地球に対し
ては変化する）の成分を測定するものである。なお、本
実施例ではｄｃＳＱＵＩＤを用いている。
【００１１】本実施例の地磁気測定装置の説明をする前
に、ＳＱＵＩＤによる磁界測定の原理を説明する。ＳＱ
ＵＩＤは、外部磁界による磁束はジョセフソン接合を有
する超伝導リングの中には磁束量子φ0の単位でしか出
入りすることができないという性質を利用して外部磁界
の大きさを測定するものである。ＳＱＵＩＤリングの面
積をＳとし、外部磁界（磁束密度）のリング面の法線方
向の大きさをＢとすると、リングに入力する磁束φの大
きさは、 φ＝Ｂ・Ｓ と表わされる。上記の通り、ＳＱＵＩＤリングに入力す
る磁束φは φ＝φ0×ｎ （ｎ＝０，±１，±２、…） のように、磁束量子φ0（＝2.07×10-15Wb）を単位とし
てディスクリートにしか変化することができない。従っ
て、 Ｂ・Ｓ＝φ0×ｎ Ｂ＝（φ0／Ｓ）・ｎ より、面積ＳのＳＱＵＩＤでは、リングを出入りする磁
束の（磁束量子φ0毎の）変化のステップに対応する外
部磁界のステップは ＢUNIT＝φ0／Ｓ となる（このＢUNITを単位磁界と呼ぶ）。
に、ＳＱＵＩＤによる磁界測定の原理を説明する。ＳＱ
ＵＩＤは、外部磁界による磁束はジョセフソン接合を有
する超伝導リングの中には磁束量子φ0の単位でしか出
入りすることができないという性質を利用して外部磁界
の大きさを測定するものである。ＳＱＵＩＤリングの面
積をＳとし、外部磁界（磁束密度）のリング面の法線方
向の大きさをＢとすると、リングに入力する磁束φの大
きさは、 φ＝Ｂ・Ｓ と表わされる。上記の通り、ＳＱＵＩＤリングに入力す
る磁束φは φ＝φ0×ｎ （ｎ＝０，±１，±２、…） のように、磁束量子φ0（＝2.07×10-15Wb）を単位とし
てディスクリートにしか変化することができない。従っ
て、 Ｂ・Ｓ＝φ0×ｎ Ｂ＝（φ0／Ｓ）・ｎ より、面積ＳのＳＱＵＩＤでは、リングを出入りする磁
束の（磁束量子φ0毎の）変化のステップに対応する外
部磁界のステップは ＢUNIT＝φ0／Ｓ となる（このＢUNITを単位磁界と呼ぶ）。
【００１２】ＳＱＵＩＤに与える外部磁界を０から徐々
に増加してゆくと、リング内に磁束が入らないように、
ＳＱＵＩＤリングには超伝導電流Ｉsが流れ、この電流
Ｉsは外部磁界が増加するにつれて大きくなる。しか
し、この電流Ｉsがジョセフソン接合で制限される臨界
電流値Ｉcを超えると、磁束が１磁束量子φ0だけＳＱＵ
ＩＤリング内に入るとともに、リングを流れる電流Ｉs
が減少する。さらに外部磁界を大きくしてゆくと上記過
程が繰り返され、結局、リングを流れる電流は磁束量子
φ0を単位として周期的に変化する。
に増加してゆくと、リング内に磁束が入らないように、
ＳＱＵＩＤリングには超伝導電流Ｉsが流れ、この電流
Ｉsは外部磁界が増加するにつれて大きくなる。しか
し、この電流Ｉsがジョセフソン接合で制限される臨界
電流値Ｉcを超えると、磁束が１磁束量子φ0だけＳＱＵ
ＩＤリング内に入るとともに、リングを流れる電流Ｉs
が減少する。さらに外部磁界を大きくしてゆくと上記過
程が繰り返され、結局、リングを流れる電流は磁束量子
φ0を単位として周期的に変化する。
【００１３】本実施例のようにｄｃＳＱＵＩＤ（２個の
ジョセフソン接合を有する）を用いて磁界を測定する場
合、ＳＱＵＩＤリングに予め臨界電流Ｉcよりも少し小
さい直流電流（バイアス電流）Ｉbを流しておく。リン
グに入力する磁束φが丁度磁束量子φ0の整数倍（φ＝
φ0・ｎ）であるときは、バイアス電流Ｉbは臨界電流Ｉc
以下であるため、リングは超伝導状態となっており、接
合部の両側には電圧が現われない（図３の実線）。しか
し、リングに入力する磁束φが磁束量子φ0の整数倍で
なくなると、上記の通り、リングには磁束量子φ0の整
数倍を超える入力磁界を打ち消すための電流Ｉsが発生
し、一方のジョセフソン接合において（Ｉb＋Ｉs）が臨
界電流Ｉcを超える（入力磁界が磁束量子φ0の半整数倍
φ＝φ0・（ｎ＋1/2）の場合を図３の点線で示す）。こ
のため、リングは常伝導となり、ジョセフソン接合の両
側に電圧Ｖが現われるようになる。常伝導となった後
は、図３のカーブの両側の直線部に見られる通り、ジョ
セフソン接合の両側に発生する電圧は磁束量子φ0の整
数倍を超える分の入力磁界φの大きさの関数となる。従
って、ジョセフソン接合の両側の電圧（出力電圧）は、
入力磁束φの変化に対して、図４に示すように、磁束量
子φ0を周期として三角波状に変化する。
ジョセフソン接合を有する）を用いて磁界を測定する場
合、ＳＱＵＩＤリングに予め臨界電流Ｉcよりも少し小
さい直流電流（バイアス電流）Ｉbを流しておく。リン
グに入力する磁束φが丁度磁束量子φ0の整数倍（φ＝
φ0・ｎ）であるときは、バイアス電流Ｉbは臨界電流Ｉc
以下であるため、リングは超伝導状態となっており、接
合部の両側には電圧が現われない（図３の実線）。しか
し、リングに入力する磁束φが磁束量子φ0の整数倍で
なくなると、上記の通り、リングには磁束量子φ0の整
数倍を超える入力磁界を打ち消すための電流Ｉsが発生
し、一方のジョセフソン接合において（Ｉb＋Ｉs）が臨
界電流Ｉcを超える（入力磁界が磁束量子φ0の半整数倍
φ＝φ0・（ｎ＋1/2）の場合を図３の点線で示す）。こ
のため、リングは常伝導となり、ジョセフソン接合の両
側に電圧Ｖが現われるようになる。常伝導となった後
は、図３のカーブの両側の直線部に見られる通り、ジョ
セフソン接合の両側に発生する電圧は磁束量子φ0の整
数倍を超える分の入力磁界φの大きさの関数となる。従
って、ジョセフソン接合の両側の電圧（出力電圧）は、
入力磁束φの変化に対して、図４に示すように、磁束量
子φ0を周期として三角波状に変化する。
【００１４】通常、ＳＱＵＩＤを利用した磁気測定装置
では、図２に示すように、ＳＱＵＩＤリング２２の近傍
に変調コイル２３と呼ぶ励磁コイルを設け、ＳＱＵＩＤ
リング２２に入力する磁界を打ち消すように、向きが反
対で大きさが同じ磁界を発生させる。すなわち、ＳＱＵ
ＩＤリング２２に入力する磁界が常にゼロになるように
変調コイル２３に流す電流をフィードバック制御する。
この制御を行なう回路をＦＬＬ（磁束固定＝Flux Locke
d Loop）回路と呼ぶが、この回路の動作を図２及び図５
により説明する。なお、図２は図１の磁気センサ１０と
磁界検出器１１のうち、１個のＳＱＵＩＤに対応する部
分を詳細に示したものであり、図５は図４の一部を拡大
したものである。
では、図２に示すように、ＳＱＵＩＤリング２２の近傍
に変調コイル２３と呼ぶ励磁コイルを設け、ＳＱＵＩＤ
リング２２に入力する磁界を打ち消すように、向きが反
対で大きさが同じ磁界を発生させる。すなわち、ＳＱＵ
ＩＤリング２２に入力する磁界が常にゼロになるように
変調コイル２３に流す電流をフィードバック制御する。
この制御を行なう回路をＦＬＬ（磁束固定＝Flux Locke
d Loop）回路と呼ぶが、この回路の動作を図２及び図５
により説明する。なお、図２は図１の磁気センサ１０と
磁界検出器１１のうち、１個のＳＱＵＩＤに対応する部
分を詳細に示したものであり、図５は図４の一部を拡大
したものである。
【００１５】ＦＬＬ回路を構成するａｆ発振器２７から
変調コイル２３に交流電流を流すと、ＳＱＵＩＤ２２に
は小振幅の交流磁束３０ａ〜３０ｄ（図５）が印加され
る。この交流磁束３０ａ〜３０ｄに対するＳＱＵＩＤ２
２の応答（出力電圧Ｖの変動）は、ＳＱＵＩＤ２２に入
力している外部磁界の大きさ（特性曲線３１上の位置）
により異なる。すなわち、外部磁界が特性曲線３１上で
（ｄＶ／ｄφ）＜０となる箇所（図５では右下がりの傾
斜の箇所）にあるときに交流磁束３０ａが重畳される
と、出力電圧Ｖは３２ａのように逆相で変化する。（ｄ
Ｖ／ｄφ）＞０の箇所（右上がりの傾斜の箇所）にある
ときに交流磁束３０ｂが重畳されると、出力電圧Ｖは３
２ｃのように同相で変化する。特性曲線３１の上又は下
のピークの所で重畳されると、３２ｂ又は３２ｄのよう
にいずれかが折り返された形となる。従って、変調コイ
ル２３に与える交流電流とＳＱＵＩＤの出力電圧の変動
の位相を比較することにより、ＳＱＵＩＤ２２に入力す
る磁界の大きさが常に特性曲線３１の山又は谷の位置に
なるようにロックすることができる。
変調コイル２３に交流電流を流すと、ＳＱＵＩＤ２２に
は小振幅の交流磁束３０ａ〜３０ｄ（図５）が印加され
る。この交流磁束３０ａ〜３０ｄに対するＳＱＵＩＤ２
２の応答（出力電圧Ｖの変動）は、ＳＱＵＩＤ２２に入
力している外部磁界の大きさ（特性曲線３１上の位置）
により異なる。すなわち、外部磁界が特性曲線３１上で
（ｄＶ／ｄφ）＜０となる箇所（図５では右下がりの傾
斜の箇所）にあるときに交流磁束３０ａが重畳される
と、出力電圧Ｖは３２ａのように逆相で変化する。（ｄ
Ｖ／ｄφ）＞０の箇所（右上がりの傾斜の箇所）にある
ときに交流磁束３０ｂが重畳されると、出力電圧Ｖは３
２ｃのように同相で変化する。特性曲線３１の上又は下
のピークの所で重畳されると、３２ｂ又は３２ｄのよう
にいずれかが折り返された形となる。従って、変調コイ
ル２３に与える交流電流とＳＱＵＩＤの出力電圧の変動
の位相を比較することにより、ＳＱＵＩＤ２２に入力す
る磁界の大きさが常に特性曲線３１の山又は谷の位置に
なるようにロックすることができる。
【００１６】この山又は谷の位置にロックされた状態
で、ＳＱＵＩＤ２２に流れる電流の大きさを検出するこ
とにより、ロック位置を基準とした外部磁界の大きさ
（単位磁界の整数倍からの偏差）を測定することができ
る。
で、ＳＱＵＩＤ２２に流れる電流の大きさを検出するこ
とにより、ロック位置を基準とした外部磁界の大きさ
（単位磁界の整数倍からの偏差）を測定することができ
る。
【００１７】本実施例では、立方体の磁気センサ１０の
互いに直交する３面には、それぞれ、大中小の３種のＳ
ＱＵＩＤが設けられている。このうち、大ＳＱＵＩＤは
リングの面積Ｓが最も小さいものであり、感度は粗いが
測定レンジが広い（ＢUNIT＝φ0／Ｓ）という特性を有
する。小ＳＱＵＩＤはリングの面積Ｓが最も大きいもの
であり、測定レンジは狭いが感度が高いという特性を有
する。中ＳＱＵＩＤはそれらの中間の特性を有する。本
実施例の地磁気測定装置ではこれら３種の異なった測定
レンジを有するＳＱＵＩＤの出力を電気的にカスケード
結合することにより（詳細は後述）、地磁気の絶対値の
大きさを、広い範囲で、しかも高感度で測定することが
できるようになっている。なお、この各面毎のＳＱＵＩ
Ｄの数は要求測定精度に応じて定めればよく、１種、２
種でもよいし、４種以上としてもよい。
互いに直交する３面には、それぞれ、大中小の３種のＳ
ＱＵＩＤが設けられている。このうち、大ＳＱＵＩＤは
リングの面積Ｓが最も小さいものであり、感度は粗いが
測定レンジが広い（ＢUNIT＝φ0／Ｓ）という特性を有
する。小ＳＱＵＩＤはリングの面積Ｓが最も大きいもの
であり、測定レンジは狭いが感度が高いという特性を有
する。中ＳＱＵＩＤはそれらの中間の特性を有する。本
実施例の地磁気測定装置ではこれら３種の異なった測定
レンジを有するＳＱＵＩＤの出力を電気的にカスケード
結合することにより（詳細は後述）、地磁気の絶対値の
大きさを、広い範囲で、しかも高感度で測定することが
できるようになっている。なお、この各面毎のＳＱＵＩ
Ｄの数は要求測定精度に応じて定めればよく、１種、２
種でもよいし、４種以上としてもよい。
【００１８】磁界検出器１１は各ＳＱＵＩＤ（本実施例
では３×３＝９個）毎に１個づつ設けられたプリアンプ
１３とセンサ駆動器１４とから構成され、センサ１０か
らの信号を増幅して、入力磁界に比例した信号を出力す
るとともに、磁気センサ１０の変調コイル２３を励磁す
る役割も果たす。
では３×３＝９個）毎に１個づつ設けられたプリアンプ
１３とセンサ駆動器１４とから構成され、センサ１０か
らの信号を増幅して、入力磁界に比例した信号を出力す
るとともに、磁気センサ１０の変調コイル２３を励磁す
る役割も果たす。
【００１９】図２により、本実施例における信号処理を
説明する。プリアンプ１３はａｆアンプ２４により構成
され、ＳＱＵＩＤ２２から出力される微弱な電気信号を
増幅するために、低雑音かつ高増幅度の電子素子を使用
している。センサ駆動器１４は位相検波器２５、ｄｃア
ンプ２６、ａｆ発振器２７、出力抵抗２８、及び、安定
度の高い直流電流源２１を備えている。直流電流源２１
はＳＱＵＩＤリング２２に前記バイアス電流Ｉbを流す
ためのものである。ＳＱＵＩＤ２２の接合部に現われる
電圧はａｆアンプ２４により増幅され、位相検波器２５
においてａｆ発振器２７から変調コイル２３に印加され
る交流磁束（図５の３０ａ〜３０ｄ）の位相と比較され
る。ｄｃアンプ２６はこの比較結果に基き、ＳＱＵＩＤ
の動作点がピーク点となるように帰還電流を変調コイル
２３に与える。この電流値は外部磁界の基準点からの偏
差の関数であるため、抵抗２８により電圧信号に変換し
て演算器１２に送る。
説明する。プリアンプ１３はａｆアンプ２４により構成
され、ＳＱＵＩＤ２２から出力される微弱な電気信号を
増幅するために、低雑音かつ高増幅度の電子素子を使用
している。センサ駆動器１４は位相検波器２５、ｄｃア
ンプ２６、ａｆ発振器２７、出力抵抗２８、及び、安定
度の高い直流電流源２１を備えている。直流電流源２１
はＳＱＵＩＤリング２２に前記バイアス電流Ｉbを流す
ためのものである。ＳＱＵＩＤ２２の接合部に現われる
電圧はａｆアンプ２４により増幅され、位相検波器２５
においてａｆ発振器２７から変調コイル２３に印加され
る交流磁束（図５の３０ａ〜３０ｄ）の位相と比較され
る。ｄｃアンプ２６はこの比較結果に基き、ＳＱＵＩＤ
の動作点がピーク点となるように帰還電流を変調コイル
２３に与える。この電流値は外部磁界の基準点からの偏
差の関数であるため、抵抗２８により電圧信号に変換し
て演算器１２に送る。
【００２０】演算器１２は、磁界ベクトルの３軸直交成
分（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の信号から、磁界ベクトルの大きさ
（絶対値）を求めるものである。演算器１２はマイクロ
コンピュータ（例えば、３２ビットプロセッサであるＭ
Ｃ６８０３０）を備えており、各ＳＱＵＩＤからの信号
に対し、カスケード結合計算及びベクトル合成計算を行
なうことにより、磁界ベクトルの絶対値を算出する。磁
界検出器１１からのアナログ電圧信号は、まずＡ／Ｄ変
換器１５によりデジタルデータに変換され、カスケード
結合計算ユニット１６に送られる。
分（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の信号から、磁界ベクトルの大きさ
（絶対値）を求めるものである。演算器１２はマイクロ
コンピュータ（例えば、３２ビットプロセッサであるＭ
Ｃ６８０３０）を備えており、各ＳＱＵＩＤからの信号
に対し、カスケード結合計算及びベクトル合成計算を行
なうことにより、磁界ベクトルの絶対値を算出する。磁
界検出器１１からのアナログ電圧信号は、まずＡ／Ｄ変
換器１５によりデジタルデータに変換され、カスケード
結合計算ユニット１６に送られる。
【００２１】カスケード結合計算は、磁界の各軸の成分
を広いレンジで、しかも高感度で検出するために、大中
小の３種のＳＱＵＩＤの出力を順番に組み合わせる計算
である。その方法を図６により説明する。上述の通り、
大ＳＱＵＩＤはループ面積Ｓが最も小さいものであり、
このため、最も大きい単位磁界ＢUNIT-Lを有する。本実
施例の磁気測定装置では、地磁気を測定対象とするた
め、大ＳＱＵＩＤの単位磁界ＢUNIT-Lの大きさが地磁気
の大きさ（約50,000γ。１γ＝10-5Ｇ＝10-9Ｔ）以上と
なるように（例えば、70,000γとなるように）設定され
ている。従って、大ＳＱＵＩＤに流れる電流量を測定す
ることにより、外部磁界の絶対的な大きさ（すなわち、
ゼロからの大きさ）を測定することができる。しかし、
大ＳＱＵＩＤは測定感度が低いため（約７０γ）、外部
磁界（地磁気）の真の値（図６の１段目）とは異なる値
を検出する可能性がある（２段目）。
を広いレンジで、しかも高感度で検出するために、大中
小の３種のＳＱＵＩＤの出力を順番に組み合わせる計算
である。その方法を図６により説明する。上述の通り、
大ＳＱＵＩＤはループ面積Ｓが最も小さいものであり、
このため、最も大きい単位磁界ＢUNIT-Lを有する。本実
施例の磁気測定装置では、地磁気を測定対象とするた
め、大ＳＱＵＩＤの単位磁界ＢUNIT-Lの大きさが地磁気
の大きさ（約50,000γ。１γ＝10-5Ｇ＝10-9Ｔ）以上と
なるように（例えば、70,000γとなるように）設定され
ている。従って、大ＳＱＵＩＤに流れる電流量を測定す
ることにより、外部磁界の絶対的な大きさ（すなわち、
ゼロからの大きさ）を測定することができる。しかし、
大ＳＱＵＩＤは測定感度が低いため（約７０γ）、外部
磁界（地磁気）の真の値（図６の１段目）とは異なる値
を検出する可能性がある（２段目）。
【００２２】大ＳＱＵＩＤの検出精度はそれほど高くな
いが、中ＳＱＵＩＤからの信号の基準点を決定すること
ができるようになっている。すなわち、中ＳＱＵＩＤか
らの信号は、Ｂ＝ＢUNIT-M×ｎ（ＢUNIT-Mは中ＳＱＵＩ
Ｄの単位磁界。ｎ＝０，±１，±２，…）のいずれかの
（外部磁界に最も近い）基準動作点からの偏差（精度
０．３γ）を表わす信号である（図６の３段目）が、大
ＳＱＵＩＤの検出結果から、中ＳＱＵＩＤの出力の基準
点がこの中のどのｎの値に対応するのかを定めることが
できる。したがって、大ＳＱＵＩＤと中ＳＱＵＩＤの出
力を組み合わせることにより、外部磁界の絶対的な大き
さ（ゼロからの大きさ）を０．３γの精度で測定するこ
とができる。
いが、中ＳＱＵＩＤからの信号の基準点を決定すること
ができるようになっている。すなわち、中ＳＱＵＩＤか
らの信号は、Ｂ＝ＢUNIT-M×ｎ（ＢUNIT-Mは中ＳＱＵＩ
Ｄの単位磁界。ｎ＝０，±１，±２，…）のいずれかの
（外部磁界に最も近い）基準動作点からの偏差（精度
０．３γ）を表わす信号である（図６の３段目）が、大
ＳＱＵＩＤの検出結果から、中ＳＱＵＩＤの出力の基準
点がこの中のどのｎの値に対応するのかを定めることが
できる。したがって、大ＳＱＵＩＤと中ＳＱＵＩＤの出
力を組み合わせることにより、外部磁界の絶対的な大き
さ（ゼロからの大きさ）を０．３γの精度で測定するこ
とができる。
【００２３】同様に、中ＳＱＵＩＤの出力により小ＳＱ
ＵＩＤ（リング面積Ｓは最大、従って、単位磁界ＢUNIT
-Sは最小）の基準動作点を特定し（図６の４段目）、小
ＳＱＵＩＤの出力をそれに組み合わせることにより、感
度０．００１γで外部磁界（地磁気）の大きさを測定す
ることができる（図６の最下段）。
ＵＩＤ（リング面積Ｓは最大、従って、単位磁界ＢUNIT
-Sは最小）の基準動作点を特定し（図６の４段目）、小
ＳＱＵＩＤの出力をそれに組み合わせることにより、感
度０．００１γで外部磁界（地磁気）の大きさを測定す
ることができる（図６の最下段）。
【００２４】図１に戻り、カスケード結合計算ユニット
１６によりＸ，Ｙ，Ｚの各軸について算出された外部磁
界の各軸方向の成分の大きさは、ベクトル合成計算ユニ
ット１７に送られ、ここで外部磁界（地磁気）ベクトル
の絶対値が算出される。ここで、理想的には、外部磁界
の絶対値｜Ｈ0｜は単純に ｜Ｈ0｜＝（Ｈx2＋Ｈy2＋Ｈz2）1/2 （ここで、Ｈx、Ｈy、Ｈzは外部磁界の各軸方向の成
分）と算出されるが、実際には、
１６によりＸ，Ｙ，Ｚの各軸について算出された外部磁
界の各軸方向の成分の大きさは、ベクトル合成計算ユニ
ット１７に送られ、ここで外部磁界（地磁気）ベクトル
の絶対値が算出される。ここで、理想的には、外部磁界
の絶対値｜Ｈ0｜は単純に ｜Ｈ0｜＝（Ｈx2＋Ｈy2＋Ｈz2）1/2 （ここで、Ｈx、Ｈy、Ｈzは外部磁界の各軸方向の成
分）と算出されるが、実際には、
【００２５】（ａ）Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の３個の小ＳＱＵＩＤ
（これが最も高感度であるため、最終感度を決定する）
の感度が揃っていない（同一でない）。 （ｂ）Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸が互いに厳密に垂直ではない
（磁気センサ１０の立方体のＳＱＵＩＤ配置面が互いに
完全に垂直ではない）。 （ｃ）各軸のＳＱＵＩＤ間に相互干渉がある。という理
由から、各軸の測定値Ｈx、Ｈy、Ｈzから｜Ｈ0｜を算出
する場合に補正が必要となる。
（これが最も高感度であるため、最終感度を決定する）
の感度が揃っていない（同一でない）。 （ｂ）Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸が互いに厳密に垂直ではない
（磁気センサ１０の立方体のＳＱＵＩＤ配置面が互いに
完全に垂直ではない）。 （ｃ）各軸のＳＱＵＩＤ間に相互干渉がある。という理
由から、各軸の測定値Ｈx、Ｈy、Ｈzから｜Ｈ0｜を算出
する場合に補正が必要となる。
【００２６】この補正項を含めた｜Ｈ0｜の算出式を ｜Ｈ0｜＝（ａ・Ｈx2＋ｂ・Ｈy2＋ｃ・Ｈz2 ＋ｄ・Ｈx・Ｈy＋ｅ・Ｈy・Ｈz＋ｆ・Ｈz・Ｈx）1/2 …（３） とする。ここで、ａ〜ｆが補正パラメータであり、ａ，
ｂ，ｃが主に上記原因（ａ）に対応する補正パラメー
タ、ｄ，ｅ，ｆが主に上記原因（ｂ）及び（ｃ）に対応
する補正パラメータである。これらの補正パラメータａ
〜ｆは、基準となる磁気測定装置を用いて較正する。そ
の方法を次に述べる。
ｂ，ｃが主に上記原因（ａ）に対応する補正パラメー
タ、ｄ，ｅ，ｆが主に上記原因（ｂ）及び（ｃ）に対応
する補正パラメータである。これらの補正パラメータａ
〜ｆは、基準となる磁気測定装置を用いて較正する。そ
の方法を次に述べる。
【００２７】今、較正しようとする地磁気測定装置の磁
気センサ１０を地磁気中で少なくとも６つの異なる方向
（「６」は、未知数である補正パラメータａ〜ｆの数に
対応している）に向け、各方向毎に３軸の磁界成分値Ｈ
x、Ｈy、Ｈzを測定する。同時に、基準となる磁気測定
装置により、地磁気の大きさ｜Ｈ0｜を測定する。これ
ら６組の測定データを上式（３）の両辺に代入し、６連
連立方程式を解くことにより、パラメータａ〜ｆが求め
られる。これらのパラメータ値を地磁気測定装置の演算
器１２のメモリ１８、１９、３０に格納しておくことに
より、それ以降、本地磁気測定装置のみで正しい地磁気
の絶対値を測定することができる。
気センサ１０を地磁気中で少なくとも６つの異なる方向
（「６」は、未知数である補正パラメータａ〜ｆの数に
対応している）に向け、各方向毎に３軸の磁界成分値Ｈ
x、Ｈy、Ｈzを測定する。同時に、基準となる磁気測定
装置により、地磁気の大きさ｜Ｈ0｜を測定する。これ
ら６組の測定データを上式（３）の両辺に代入し、６連
連立方程式を解くことにより、パラメータａ〜ｆが求め
られる。これらのパラメータ値を地磁気測定装置の演算
器１２のメモリ１８、１９、３０に格納しておくことに
より、それ以降、本地磁気測定装置のみで正しい地磁気
の絶対値を測定することができる。
【００２８】次に、基準となる磁気測定装置による地磁
気の絶対値の測定方法を図７により説明する。基準磁気
測定装置は、高精度に製作された基準となるＳＱＵＩＤ
と、これを収納する低温容器、及び高精度の反転機構を
備える。この基準磁気測定装置により地磁気を測定する
には、まず、基準ＳＱＵＩＤ（のリング面の法線）を地
磁気の方向に向け、次に、基準ＳＱＵＩＤを180度転回
して反転させ、両位置間における磁界の大きさの差２Ｈ
0を測定する。この値を１／２倍することにより、地磁
気の絶対値Ｈ0を求めることができる。ここで、上記地
磁気測定装置の測定精度が0.001γであるため、基準磁
気測定装置は少なくともそれ以上の測定精度を有しなけ
ればならない。地磁気の絶対値が約50,000γであるとす
ると、0.001γの測定精度を確保するためには、基準Ｓ
ＱＵＩＤの向きは角度にして0.6分の精度で地磁気の方
向に合わせなければならず、また、反転の精度も同様に
0.6分以内に納める必要がある。このため、基準磁気測
定装置の反転機構の機械精度（回転軸と基準ＳＱＵＩＤ
のリング面との直角度、及び、回転角度位置決め精度）
は0.6分以内となっている。
気の絶対値の測定方法を図７により説明する。基準磁気
測定装置は、高精度に製作された基準となるＳＱＵＩＤ
と、これを収納する低温容器、及び高精度の反転機構を
備える。この基準磁気測定装置により地磁気を測定する
には、まず、基準ＳＱＵＩＤ（のリング面の法線）を地
磁気の方向に向け、次に、基準ＳＱＵＩＤを180度転回
して反転させ、両位置間における磁界の大きさの差２Ｈ
0を測定する。この値を１／２倍することにより、地磁
気の絶対値Ｈ0を求めることができる。ここで、上記地
磁気測定装置の測定精度が0.001γであるため、基準磁
気測定装置は少なくともそれ以上の測定精度を有しなけ
ればならない。地磁気の絶対値が約50,000γであるとす
ると、0.001γの測定精度を確保するためには、基準Ｓ
ＱＵＩＤの向きは角度にして0.6分の精度で地磁気の方
向に合わせなければならず、また、反転の精度も同様に
0.6分以内に納める必要がある。このため、基準磁気測
定装置の反転機構の機械精度（回転軸と基準ＳＱＵＩＤ
のリング面との直角度、及び、回転角度位置決め精度）
は0.6分以内となっている。
【００２９】なお、最初に基準ＳＱＵＩＤを正しく地磁
気の向きに合わせるため、基準磁気測定装置は、地磁気
測定用の高精度の基準ＳＱＵＩＤ（このＳＱＵＩＤリン
グ面の法線方向をＺ軸とする）に対して直角の方向
（Ｘ，Ｙ軸）に２個の補助ＳＱＵＩＤを備える。これら
Ｘ，Ｙ軸の補助ＳＱＵＩＤの出力が０になったとき、Ｚ
軸の基準ＳＱＵＩＤは正しく地磁気の方向を向いている
ことになる。また、基準ＳＱＵＩＤを反転する際は、基
準ＳＱＵＩＤの台座を180度を超えて反転させ、その間
で基準ＳＱＵＩＤの出力が最大となる点をとる。さら
に、基準磁気測定装置には、基準ＳＱＵＩＤの単位磁界
を超える回数をカウントする装置が付設されており、こ
れにより、高精度の基準ＳＱＵＩＤの測定レンジを地磁
気の大きさを超える±70,000γ程度まで拡大している。
気の向きに合わせるため、基準磁気測定装置は、地磁気
測定用の高精度の基準ＳＱＵＩＤ（このＳＱＵＩＤリン
グ面の法線方向をＺ軸とする）に対して直角の方向
（Ｘ，Ｙ軸）に２個の補助ＳＱＵＩＤを備える。これら
Ｘ，Ｙ軸の補助ＳＱＵＩＤの出力が０になったとき、Ｚ
軸の基準ＳＱＵＩＤは正しく地磁気の方向を向いている
ことになる。また、基準ＳＱＵＩＤを反転する際は、基
準ＳＱＵＩＤの台座を180度を超えて反転させ、その間
で基準ＳＱＵＩＤの出力が最大となる点をとる。さら
に、基準磁気測定装置には、基準ＳＱＵＩＤの単位磁界
を超える回数をカウントする装置が付設されており、こ
れにより、高精度の基準ＳＱＵＩＤの測定レンジを地磁
気の大きさを超える±70,000γ程度まで拡大している。
【００３０】なお、上記実施例ではｄｃＳＱＵＩＤを用
いたが、本発明はｒｆＳＱＵＩＤを使用する磁気測定装
置にも同様に適用することができる。この場合、磁界検
出器１１を変更する必要があるが、演算器１２はそのま
ま用いることができる。
いたが、本発明はｒｆＳＱＵＩＤを使用する磁気測定装
置にも同様に適用することができる。この場合、磁界検
出器１１を変更する必要があるが、演算器１２はそのま
ま用いることができる。
【００３１】本発明を利用した磁気測定装置の用途は航
空機登載用に限られることはなく、自動車や船舶用等種
々の移動体にも使用することができる。さらに、移動体
に固定するばかりでなく、適当なハンドルを設けた匡体
に収納して、持ち運び可能としてもよい。また、測定対
象も地磁気に限ることなく、あらゆる原因による磁界の
大きさを測定することが可能である。
空機登載用に限られることはなく、自動車や船舶用等種
々の移動体にも使用することができる。さらに、移動体
に固定するばかりでなく、適当なハンドルを設けた匡体
に収納して、持ち運び可能としてもよい。また、測定対
象も地磁気に限ることなく、あらゆる原因による磁界の
大きさを測定することが可能である。
【００３２】
【発明の効果】本発明の磁気測定装置では、予め基準と
なる磁気測定装置との較正を行なうことにより、３軸間
の直交度のずれ、精度の違い、相互干渉等の誤差要因を
補正した正確な値を常に求めることができる。
なる磁気測定装置との較正を行なうことにより、３軸間
の直交度のずれ、精度の違い、相互干渉等の誤差要因を
補正した正確な値を常に求めることができる。
【図１】 本発明の一実施例である磁気測定装置の機能
ブロック図。
ブロック図。
【図２】 １個のＳＱＵＩＤ及びそれに対応する磁界検
出器の構成を示すブロック図。
出器の構成を示すブロック図。
【図３】 ＳＱＵＩＤの入力磁束量と出力電圧の関係を
示すグラフ。
示すグラフ。
【図４】 入力磁束量が磁束量子の整数倍であるときと
半整数倍であるときのＳＱＵＩＤリングの電流−電圧特
性を示すグラフ。
半整数倍であるときのＳＱＵＩＤリングの電流−電圧特
性を示すグラフ。
【図５】 ＳＱＵＩＤの入力磁束に検出磁束を重畳させ
た場合の出力電圧の変化の様子を説明するグラフ。
た場合の出力電圧の変化の様子を説明するグラフ。
【図６】 大中小３種のＳＱＵＩＤの出力をカスケード
結合して外部磁界の大きさを測定する方法の説明図。
結合して外部磁界の大きさを測定する方法の説明図。
【図７】 基準磁気測定装置による地磁気測定方法の説
明図。
明図。
１０…磁気センサ １１…磁界検出
器 １２…演算器 １３…プリアン
プ １４…センサ駆動器 １５…Ａ／Ｄ変
換器 １６…カスケード結合計算ユニット １７…ベクトル
合成計算ユニット １８、１９、２０…補正パラメータメモリ
器 １２…演算器 １３…プリアン
プ １４…センサ駆動器 １５…Ａ／Ｄ変
換器 １６…カスケード結合計算ユニット １７…ベクトル
合成計算ユニット １８、１９、２０…補正パラメータメモリ
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに平行でない３軸方向にそれぞれ少
なくとも１個のＳＱＵＩＤを配置し、各ＳＱＵＩＤによ
り磁界ベクトルの各軸方向成分Ｈx，Ｈy，Ｈzを検出す
る磁気測定装置において、 磁界ベクトルの絶対値Ｈを、予め基準磁気測定装置との
較正により求めた補正係数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆを用
いて、 Ｈ＝（ａ・Ｈx2＋ｂ・Ｈy2＋ｃ・Ｈz2 ＋ｄ・Ｈx・Ｈy＋ｅ・Ｈy・Ｈz＋ｆ・Ｈz・Ｈx）1/2 と算出する演算器を備えることを特徴とする磁気測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19932991A JPH05196711A (ja) | 1991-08-08 | 1991-08-08 | 磁気測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19932991A JPH05196711A (ja) | 1991-08-08 | 1991-08-08 | 磁気測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196711A true JPH05196711A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=16405987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19932991A Pending JPH05196711A (ja) | 1991-08-08 | 1991-08-08 | 磁気測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05196711A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11151220A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-06-08 | Hitachi Ltd | 磁場計測方法 |
| US6842637B2 (en) | 1997-10-24 | 2005-01-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic field measurement apparatus |
| JP2009075099A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-04-09 | Shimadzu Corp | 磁気計測装置 |
| JP2012003298A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Utsunomiya Univ | 自律移動方法及び自律移動体 |
| JP2012505414A (ja) * | 2008-10-09 | 2012-03-01 | ディー−ウェイブ システムズ，インコーポレイテッド | 磁場測定用のシステム、方法および装置 |
-
1991
- 1991-08-08 JP JP19932991A patent/JPH05196711A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11151220A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-06-08 | Hitachi Ltd | 磁場計測方法 |
| US6842637B2 (en) | 1997-10-24 | 2005-01-11 | Hitachi, Ltd. | Magnetic field measurement apparatus |
| JP2009075099A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-04-09 | Shimadzu Corp | 磁気計測装置 |
| JP2012505414A (ja) * | 2008-10-09 | 2012-03-01 | ディー−ウェイブ システムズ，インコーポレイテッド | 磁場測定用のシステム、方法および装置 |
| JP2012003298A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Utsunomiya Univ | 自律移動方法及び自律移動体 |
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