JPH0519911B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0519911B2 JPH0519911B2 JP19924286A JP19924286A JPH0519911B2 JP H0519911 B2 JPH0519911 B2 JP H0519911B2 JP 19924286 A JP19924286 A JP 19924286A JP 19924286 A JP19924286 A JP 19924286A JP H0519911 B2 JPH0519911 B2 JP H0519911B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- frame
- piezoelectric
- hammer
- printing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/22—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of impact or pressure on a printing material or impression-transfer material
- B41J2/23—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of impact or pressure on a printing material or impression-transfer material using print wires
- B41J2/27—Actuators for print wires
- B41J2/295—Actuators for print wires using piezoelectric elements
Landscapes
- Impact Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電アクチユエータに関し、特にプリ
ンタやリレーなどの駆動機器の駆動源となる圧電
アクチユエータに関するものである。
ンタやリレーなどの駆動機器の駆動源となる圧電
アクチユエータに関するものである。
従来、プリンタやリレーなどの駆動源として
は、電磁型のアクチユエータが広く用いられてき
た。この電磁型のアクチユエータは、コイルに電
源を流すことにより磁界を発生させその磁力を利
用して可動部材を駆動するため、銅損や鉄損が生
じるので大きなエネルギを必要とするばかりでな
く、発熱及び磁気干渉などの問題点があつた。そ
こで近年、電気・機械エネルギ変換効率がよく、
低電力、低発熱で磁気干渉のない圧電素子を用い
た第５図に示すようなプリンタ用印字ハンマが報
告されている（電子通信学会機構部品研究会資料
EMC84−49）。
は、電磁型のアクチユエータが広く用いられてき
た。この電磁型のアクチユエータは、コイルに電
源を流すことにより磁界を発生させその磁力を利
用して可動部材を駆動するため、銅損や鉄損が生
じるので大きなエネルギを必要とするばかりでな
く、発熱及び磁気干渉などの問題点があつた。そ
こで近年、電気・機械エネルギ変換効率がよく、
低電力、低発熱で磁気干渉のない圧電素子を用い
た第５図に示すようなプリンタ用印字ハンマが報
告されている（電子通信学会機構部品研究会資料
EMC84−49）。
第５図は従来の圧電アクチユエータの一例を示
すプリンタ用印字ハンマの模式的側面図である。
すプリンタ用印字ハンマの模式的側面図である。
同図において、印字ハンマは圧電素子３１の伸
長動作方向（矢印Ａ方向）の先端に、板ばね３２
で支持されたフライトハンマ３３が接するように
配置されている。フライトハンマ３３にはドツト
を印字するための印字ワイヤ３４が設けてある。
長動作方向（矢印Ａ方向）の先端に、板ばね３２
で支持されたフライトハンマ３３が接するように
配置されている。フライトハンマ３３にはドツト
を印字するための印字ワイヤ３４が設けてある。
この印字ハンマにおいて、圧電素子３１に電圧
を印加すると、フライトハンマ３３は圧電素子３
１の高速な伸長動作により圧電素子３１から力を
受けて加速され、圧電素子３１を離れて飛行す
る。そして印字ワイヤ３４が前方にあるインクリ
ボン３５と紙３６を介してプラテン３７に衝突し
紙３６にドツトを印字する。その後フライトハン
マ３３はプラテン３７からの反発力と板ばね３２
の復帰力により圧電素子３１の所へ戻つてくる。
この動作をくり返すことにより文字や図形をドツ
トの集合で表現するものである。
を印加すると、フライトハンマ３３は圧電素子３
１の高速な伸長動作により圧電素子３１から力を
受けて加速され、圧電素子３１を離れて飛行す
る。そして印字ワイヤ３４が前方にあるインクリ
ボン３５と紙３６を介してプラテン３７に衝突し
紙３６にドツトを印字する。その後フライトハン
マ３３はプラテン３７からの反発力と板ばね３２
の復帰力により圧電素子３１の所へ戻つてくる。
この動作をくり返すことにより文字や図形をドツ
トの集合で表現するものである。
上述した従来のプリンタ用印字ハンマにおい
て、印字動作の高速化を図るためには、板ばね３
２とフライトハンマ３３と印字ハンマ３４とから
構成される振動系の固有振動数を高くする必要が
あり、そのためには板ばね３２のばね定数を高く
しなければならない。しかし、板ばね３２のばね
定数を高くすると、圧電素子３１からフライトハ
ンマ３３に伝達されるエネルギのうち、板ばね３
２の変形に費やされる割合が増加するため、フラ
イトハンマ３３の運動エネルギは減少し、印字さ
れたドツトの濃度が薄くなる。
て、印字動作の高速化を図るためには、板ばね３
２とフライトハンマ３３と印字ハンマ３４とから
構成される振動系の固有振動数を高くする必要が
あり、そのためには板ばね３２のばね定数を高く
しなければならない。しかし、板ばね３２のばね
定数を高くすると、圧電素子３１からフライトハ
ンマ３３に伝達されるエネルギのうち、板ばね３
２の変形に費やされる割合が増加するため、フラ
イトハンマ３３の運動エネルギは減少し、印字さ
れたドツトの濃度が薄くなる。
そこで印字濃度を低下させずに印字動作の高速
化を達成するためには、圧電素子３１からフライ
トハンマ３３に伝達されるエネルギを大きくする
必要がある。この伝達エネルギを大きくすると、
板ばね３２のばね定数を大きくして高速化できか
つ所要の印字濃度も確保できる。
化を達成するためには、圧電素子３１からフライ
トハンマ３３に伝達されるエネルギを大きくする
必要がある。この伝達エネルギを大きくすると、
板ばね３２のばね定数を大きくして高速化できか
つ所要の印字濃度も確保できる。
伝達エネルギを大きくするためには、圧電素子
３１の発生エネルギを大きくすればよく、印字電
圧を高くすればよい。しかしながら、印加電圧を
高めると圧電素子３１の加速度が大きくなつて圧
電素子３１自身の慢性力によつて生じる内部応力
が大きくなり信頼性が下がる結果、破壊すること
もあるという問題点がある。
３１の発生エネルギを大きくすればよく、印字電
圧を高くすればよい。しかしながら、印加電圧を
高めると圧電素子３１の加速度が大きくなつて圧
電素子３１自身の慢性力によつて生じる内部応力
が大きくなり信頼性が下がる結果、破壊すること
もあるという問題点がある。
本発明の目的は、これらの問題点を解決した圧
電アクチユエータを提供することにある。
電アクチユエータを提供することにある。
本発明の圧電アクチユエータは、圧電素子と、
その圧電素子の一部または全部を囲む形状記憶合
金材よりなるフレームとから構成され、前記フレ
ームを変態温度以上にすることによつて生じる該
フレームのひずみ復元動作により、前記圧電素子
の伸縮方向の両端を該フレームの内側に固定し該
圧電素子には圧縮応力が作用している。
その圧電素子の一部または全部を囲む形状記憶合
金材よりなるフレームとから構成され、前記フレ
ームを変態温度以上にすることによつて生じる該
フレームのひずみ復元動作により、前記圧電素子
の伸縮方向の両端を該フレームの内側に固定し該
圧電素子には圧縮応力が作用している。
形状記憶合金はその合金組成により固有の変態
温度を有しており、変態温度以下では合金組織は
マルテンサイト相を示し、変態温度以上では合金
組織はオーステナイト相（母相）である。形状記
憶合金に弾性変形を与えると、一般の合金の数倍
から数十倍に達する巨大弾性ひずみが得られる。
その合金の変態温度より上では、負荷を除くと直
ちにひずみは零に復帰する。これは一般に超弾性
と呼ばれている。しかし変態温度以下での変形で
は、この弾性ひずみはほとんど永久変形のまま保
存される。この状態から変態温度以上まで加熱す
ると超弾性状態と同じく、ひずみは零となり原形
に復元される。
温度を有しており、変態温度以下では合金組織は
マルテンサイト相を示し、変態温度以上では合金
組織はオーステナイト相（母相）である。形状記
憶合金に弾性変形を与えると、一般の合金の数倍
から数十倍に達する巨大弾性ひずみが得られる。
その合金の変態温度より上では、負荷を除くと直
ちにひずみは零に復帰する。これは一般に超弾性
と呼ばれている。しかし変態温度以下での変形で
は、この弾性ひずみはほとんど永久変形のまま保
存される。この状態から変態温度以上まで加熱す
ると超弾性状態と同じく、ひずみは零となり原形
に復元される。
従つてフレームに圧電素子を固定する際に、前
記フレームを形状記憶合金で構成し、前記フレー
ムの内側の長さを圧電素子の長さより小さく記憶
させておき、フレームを構成している合金組織が
マルテンサイト相の時にフレームに力を加え変形
させてフレームの内側の長さを圧電素子の長さよ
り大きくした後、圧電素子をフレームの内側に挿
入し、その後変態温度以上にして合金組織をオー
ステナイト相にし、フレームの変形を復元させて
圧電素子をフレームの内側に固定する。
記フレームを形状記憶合金で構成し、前記フレー
ムの内側の長さを圧電素子の長さより小さく記憶
させておき、フレームを構成している合金組織が
マルテンサイト相の時にフレームに力を加え変形
させてフレームの内側の長さを圧電素子の長さよ
り大きくした後、圧電素子をフレームの内側に挿
入し、その後変態温度以上にして合金組織をオー
ステナイト相にし、フレームの変形を復元させて
圧電素子をフレームの内側に固定する。
その結果、フレームの内側に固定された圧電素
子はフレームから圧縮力を受けることになる。ま
た、電圧が印加されて圧電素子が伸びた場合で
も、フレームは弾性変形するため圧電素子には常
に圧縮力が加わる。
子はフレームから圧縮力を受けることになる。ま
た、電圧が印加されて圧電素子が伸びた場合で
も、フレームは弾性変形するため圧電素子には常
に圧縮力が加わる。
圧電素子は圧縮応力に対しては強く引張応力に
対しては非常に弱い。本発明の圧電アクチユエー
タは、圧電素子をフレームの内側に固定すること
により、圧電素子には常に圧縮力が加わることに
なるので圧電素子の信頼性は大幅に上がる。その
ため、印加電圧を従来の場合より上げることがで
き、出力エネルギの増大を図ることができる。
対しては非常に弱い。本発明の圧電アクチユエー
タは、圧電素子をフレームの内側に固定すること
により、圧電素子には常に圧縮力が加わることに
なるので圧電素子の信頼性は大幅に上がる。その
ため、印加電圧を従来の場合より上げることがで
き、出力エネルギの増大を図ることができる。
次に、本発明について図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の第１の実施例を示す模式的側
面図で、圧電アクチユエータは、圧電素子１１と
形状記憶合金製のコの字型のフレーム１２より構
成されている。フレーム１２はその内側の長さが
圧電素子１１の伸長方向（矢印Ａ方向）の長さに
より小さく記憶させておき、フレーム１２を構成
している合金組織が変態温度以下でマルテンサイ
ト相の時に、フレーム１２に力を加えフレーム１
２の変形部１２ａを変形させて、フレーム１２の
内側の長さを圧電素子１１の長さより大きくした
後、圧電素子１１をフレーム１２の内側に挿入
し、その後変態温度以上にして合金組織をオース
テナイト相にし、フレーム１２の変形を復元させ
て圧電素子１１をフレーム１２の内側に固定して
いる。
面図で、圧電アクチユエータは、圧電素子１１と
形状記憶合金製のコの字型のフレーム１２より構
成されている。フレーム１２はその内側の長さが
圧電素子１１の伸長方向（矢印Ａ方向）の長さに
より小さく記憶させておき、フレーム１２を構成
している合金組織が変態温度以下でマルテンサイ
ト相の時に、フレーム１２に力を加えフレーム１
２の変形部１２ａを変形させて、フレーム１２の
内側の長さを圧電素子１１の長さより大きくした
後、圧電素子１１をフレーム１２の内側に挿入
し、その後変態温度以上にして合金組織をオース
テナイト相にし、フレーム１２の変形を復元させ
て圧電素子１１をフレーム１２の内側に固定して
いる。
その結果、フレーム１２の内側に固定された圧
電素子１１はフレーム１２から圧縮応力を受ける
ことになり、圧電素子１１の信頼性は大幅に上が
る。また印加電圧を上げることができるので、出
力エネルギの増大を図ることができる。
電素子１１はフレーム１２から圧縮応力を受ける
ことになり、圧電素子１１の信頼性は大幅に上が
る。また印加電圧を上げることができるので、出
力エネルギの増大を図ることができる。
第２図は本発明の第２の実施例を示す図で、圧
電アクチユエータは圧電素子２３と形状記憶合金
よりできたロの字型のフレーム２８より構成され
ている。フレーム２８はその内側の長さが圧電素
子２３の伸長方向（矢印Ａ方向）の長さより小さ
く記憶させておき、フレーム２８を構成している
合金組織が変態温度以下でマルテンサイト相の時
に、フレーム２８を矢印Ａ方向に引つ張つてフレ
ーム２８の変形部２８ａ，２８ｂを伸ばし、フレ
ーム２８の内側の長さを圧電素子２３の長さより
大きくした後、圧電素子２３をフレーム２８の内
側に挿入し、その後変態温度以上にして合金組織
をオーステナイト相にし、フレーム２８の変形を
復元させて圧電素子２３をフレーム２８の内側に
固定ている。
電アクチユエータは圧電素子２３と形状記憶合金
よりできたロの字型のフレーム２８より構成され
ている。フレーム２８はその内側の長さが圧電素
子２３の伸長方向（矢印Ａ方向）の長さより小さ
く記憶させておき、フレーム２８を構成している
合金組織が変態温度以下でマルテンサイト相の時
に、フレーム２８を矢印Ａ方向に引つ張つてフレ
ーム２８の変形部２８ａ，２８ｂを伸ばし、フレ
ーム２８の内側の長さを圧電素子２３の長さより
大きくした後、圧電素子２３をフレーム２８の内
側に挿入し、その後変態温度以上にして合金組織
をオーステナイト相にし、フレーム２８の変形を
復元させて圧電素子２３をフレーム２８の内側に
固定ている。
その結果、フレーム２８の内側に固定された圧
電素子２３はフレーム２８から圧縮応力を受ける
ことになり、圧電素子２３の信頼性は大幅に上が
る。また印加電圧を上げることができるので、出
力エネルギの増大を図ることができる。
電素子２３はフレーム２８から圧縮応力を受ける
ことになり、圧電素子２３の信頼性は大幅に上が
る。また印加電圧を上げることができるので、出
力エネルギの増大を図ることができる。
第３図は第１図に示した第１の実施例の一使用
例を示すプリンタ用印字ハンマの模式的側面図で
ある。
例を示すプリンタ用印字ハンマの模式的側面図で
ある。
同図において、圧電アクチユエータは圧電素子
１１と形状記憶合金製のコの字型のフレーム１２
より構成され、圧電素子１１はフレーム１２の内
側に、フレーム１２のひずみ復元動作によつて固
定されている。また、印字ハンマは板ばね１３で
支持され、かつ印字ワイヤ１４が接続されたフラ
イトハンマ１５が、圧電素子１１の伸長方向（矢
印Ａ方向）の一端のフレーム１２の所に接するよ
うに配置されている。
１１と形状記憶合金製のコの字型のフレーム１２
より構成され、圧電素子１１はフレーム１２の内
側に、フレーム１２のひずみ復元動作によつて固
定されている。また、印字ハンマは板ばね１３で
支持され、かつ印字ワイヤ１４が接続されたフラ
イトハンマ１５が、圧電素子１１の伸長方向（矢
印Ａ方向）の一端のフレーム１２の所に接するよ
うに配置されている。
この印字ハンマにおいて、圧電素子１１に電圧
を印加すると、フライトハンマ１５は圧電素子１
１の高速な伸長動作により圧電素子１１からの力
を受けて加速され、フレーム１２の所を離れて飛
行する。そして印字ワイヤ１４が前方にあるイン
クリボン１６と紙１７を介してプラテン１８に衝
突して紙１７にドツトを印字する。その後フライ
トハンマ１５はプラテン１８からの反発力と板ば
ね１３の復帰力によりフレーム１２の所へ戻つて
くる。
を印加すると、フライトハンマ１５は圧電素子１
１の高速な伸長動作により圧電素子１１からの力
を受けて加速され、フレーム１２の所を離れて飛
行する。そして印字ワイヤ１４が前方にあるイン
クリボン１６と紙１７を介してプラテン１８に衝
突して紙１７にドツトを印字する。その後フライ
トハンマ１５はプラテン１８からの反発力と板ば
ね１３の復帰力によりフレーム１２の所へ戻つて
くる。
本使用例によれば、圧電素子１１はフレーム１
２から圧縮応力を予め受けているため、電圧印加
時に圧電素子１１が伸長動作している時の圧電素
子１１自身の慢性力も圧電素子１１には引張応力
としては作用せず、信頼性の高い印字ハンマとな
る。また、圧電素子１１への印加電圧を大きくし
て出力エネルギを増加できるため高速化できる。
２から圧縮応力を予め受けているため、電圧印加
時に圧電素子１１が伸長動作している時の圧電素
子１１自身の慢性力も圧電素子１１には引張応力
としては作用せず、信頼性の高い印字ハンマとな
る。また、圧電素子１１への印加電圧を大きくし
て出力エネルギを増加できるため高速化できる。
次に第４図は第２図に示した第２の実施例の一
使用例を示すラツチ型リレーの模式的側面図であ
る。
使用例を示すラツチ型リレーの模式的側面図であ
る。
同図において、圧電アクチユエータは第１、第
２の圧電素子２３，２４と形状記憶合金製のロの
字型の第１、第２のフレーム２８，２９より構成
され、第１、第２の圧電素子２３，２４はそれぞ
れ第１、第２のフレーム２８，２９の内側に、フ
レーム２８，２９のひずみ復元動作によつて固定
されている。また、ラツチ型リレーは飛行部材２
０を設けた反転ばね２１を取付部材２２の取付部
２２ａ，２２ｂを挿入し湾曲させ、飛行部材２０
に対向しかつ反転ばね２１の両側にそれぞれ第
１、第２の圧電素子２３，２４を配置し、反転ば
ね２１の動作に連動する可動接点２５とそれに対
向した第１、第２の固定接点２６，２７を取付部
材２２に接続している。第１、第２の圧電素子２
３，２４はそれぞれ第１、第２のフレーム２８，
２９で固定されており、第１、第２のフレーム２
８，２９は取付部材２２に接続されている。
２の圧電素子２３，２４と形状記憶合金製のロの
字型の第１、第２のフレーム２８，２９より構成
され、第１、第２の圧電素子２３，２４はそれぞ
れ第１、第２のフレーム２８，２９の内側に、フ
レーム２８，２９のひずみ復元動作によつて固定
されている。また、ラツチ型リレーは飛行部材２
０を設けた反転ばね２１を取付部材２２の取付部
２２ａ，２２ｂを挿入し湾曲させ、飛行部材２０
に対向しかつ反転ばね２１の両側にそれぞれ第
１、第２の圧電素子２３，２４を配置し、反転ば
ね２１の動作に連動する可動接点２５とそれに対
向した第１、第２の固定接点２６，２７を取付部
材２２に接続している。第１、第２の圧電素子２
３，２４はそれぞれ第１、第２のフレーム２８，
２９で固定されており、第１、第２のフレーム２
８，２９は取付部材２２に接続されている。
このラツチ型リレーは第１または第２の圧電素
子２３または２４の発生力により飛行部材２０を
飛ばし、反転ばね２１を反転動作させて可動接点
２５を動かし、第４図のａからｂまたはｂからａ
に示す状態に切り替える。
子２３または２４の発生力により飛行部材２０を
飛ばし、反転ばね２１を反転動作させて可動接点
２５を動かし、第４図のａからｂまたはｂからａ
に示す状態に切り替える。
本使用例によれば、第１、第２の圧電素子２
３，２４はそれぞれ第１、第２のフレーム２８，
２９から圧縮応力を予め受けているため、電圧印
加時に第１あるいは第２の圧電素子２３あるいは
２４が伸長動作している時の圧電素子自身の慣性
力も圧電素子には引張応力としては作用せず、信
頼性の高いラツチ型リレーとなる。また、印加電
圧を上げることにより第１、第２の圧電素子２
３，２４の発生エネルギを大きくして飛行部材２
０の飛行距離を大きくできるので、可動接点２５
の長ストローク化が実現でき、ハイパワー用のラ
ツチ型リレーとなる。
３，２４はそれぞれ第１、第２のフレーム２８，
２９から圧縮応力を予め受けているため、電圧印
加時に第１あるいは第２の圧電素子２３あるいは
２４が伸長動作している時の圧電素子自身の慣性
力も圧電素子には引張応力としては作用せず、信
頼性の高いラツチ型リレーとなる。また、印加電
圧を上げることにより第１、第２の圧電素子２
３，２４の発生エネルギを大きくして飛行部材２
０の飛行距離を大きくできるので、可動接点２５
の長ストローク化が実現でき、ハイパワー用のラ
ツチ型リレーとなる。
なお、形状記憶合金としては、銅Cu65％、亜
鉛Zn30％、アルミニウムAl5％あるいは他の形状
記憶合金TiNi、CuAlNiなど、固定条件にあわせ
て合金の組成を変えてもよい。
鉛Zn30％、アルミニウムAl5％あるいは他の形状
記憶合金TiNi、CuAlNiなど、固定条件にあわせ
て合金の組成を変えてもよい。
以上説明したように本発明の圧電アクチユエー
タを用いることにより、高速化及び長ストローク
化が達成できかつ信頼性の高い印字ハンマやリレ
ーなどが得られる効果がある。
タを用いることにより、高速化及び長ストローク
化が達成できかつ信頼性の高い印字ハンマやリレ
ーなどが得られる効果がある。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の第１、第２
の実施例を示す模式的側面図、第３図は第１図に
示した第１の実施例の一使用例を示すプリンタ用
印字ハンマの模式的側面図、第４図は第２図に示
した第２の実施例の一使用例を示すラツチ型リレ
ーの模式的側面図、第５図は従来の圧電アクチユ
エータの一例を示すプリンタ用印字ハンマの模式
的側面図である。 １１，２３，２４，３１……圧電素子、１２，
２８，２９……フレーム、１３，３２……板ば
ね、１４，３４……印字ワイヤ、１５，３３……
フライトハンマ、１６，３５……インクリボン、
１７，３６……紙、１８，３７……プラテン、２
０……飛行部材、２１……反転ばね、２２……取
付部材、２５……可動接点、２６，２７……固定
接点。
の実施例を示す模式的側面図、第３図は第１図に
示した第１の実施例の一使用例を示すプリンタ用
印字ハンマの模式的側面図、第４図は第２図に示
した第２の実施例の一使用例を示すラツチ型リレ
ーの模式的側面図、第５図は従来の圧電アクチユ
エータの一例を示すプリンタ用印字ハンマの模式
的側面図である。 １１，２３，２４，３１……圧電素子、１２，
２８，２９……フレーム、１３，３２……板ば
ね、１４，３４……印字ワイヤ、１５，３３……
フライトハンマ、１６，３５……インクリボン、
１７，３６……紙、１８，３７……プラテン、２
０……飛行部材、２１……反転ばね、２２……取
付部材、２５……可動接点、２６，２７……固定
接点。
Claims (1)
- １ 圧電素子と、その圧電素子の一部または全部
を囲む形状記憶合金材よりなるフレームとから構
成され、前記フレームを変態温度以上にすること
によつて生じる該フレームのひずみ復元動作によ
り前記圧電素子の伸縮方向の両端を該フレームの
内側に固定し該圧電素子には圧縮応力が作用して
いることを特徴とする圧電アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19924286A JPS6354258A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 圧電アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19924286A JPS6354258A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 圧電アクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6354258A JPS6354258A (ja) | 1988-03-08 |
| JPH0519911B2 true JPH0519911B2 (ja) | 1993-03-18 |
Family
ID=16404527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19924286A Granted JPS6354258A (ja) | 1986-08-25 | 1986-08-25 | 圧電アクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6354258A (ja) |
-
1986
- 1986-08-25 JP JP19924286A patent/JPS6354258A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6354258A (ja) | 1988-03-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |