JPH0519974B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数のマスクの支持個所が回転可能
な円板上にあり、この円板はマスク支持個所の１
つを写真印刷処理のための所望の位置に動かし、
この位置は検出器によつて検出され、この検出器
は、位置サーボシステムが回路に接続された後、
前記の位置サーボシステムに検出信号を供給し円
板の調整を制御するようにした、半導体装置の写
真印刷処理に用いられるマスク交換装置に関する
ものである。

この種の装置は公告された英国特許出願第
2096316号に記載されている（特に第１３図参
照）。集積回路のような半導体装置の製造中、多
数のマスクが続けて使用される。この場合、半導
体ウエーハに、製造の種々の工程を制御するのに
要するテストパターンを形成することも必要であ
る。例えば前記の英国特許出願に記載されたよう
な半導体装置の製造に使用されるステツプアンド
リピートカメラによつて、テストパターンを得る
ためのマスクの交換は公知の処理工程である。前
記の英国特許出願には、マスクを置いた円板を所
望の位置に動かす装置については示されていな
い。実際には、マスクをその上に置いた回転可能
な円板がウオームおよびウオムホイールをそなえ
たステツプモータによつて回転される。この調整
は大変で、高価につき、また比較的緩りと動作す
る。

本発明の目的は、マスクの円板を比較的簡単な
装置によつて迅速且つ正確に回転できるマスク交
換装置を得ることにある。

本発明は、冒頭に記載した様式のマスク交換装
置を次のようにすることによつて前記の目的を達
成したものである、すなわち、円板の回転のため
に夫々磁石とコイルとを有する２個の電磁運動装
置が設けられ、磁石またはコイル対の何れか一方
は固定して配設され、他方の対は円板に設けられ
て該円板と共に回転可能てあり、またコイルの電
流接続部があり、このコイルに一定電流を供給す
る装置が設けられる。

この場合１つの位置から他の位置への運動は極
めて迅速に行われ、一方構造は簡単なままであ
る。

電磁運動装置は、その行程の終りでコイルが磁
石装置のギャツプ内に入り込む所謂潜入形のコイ
ル装置として形成するのが有利である。

両コイルは１つの支持体に取付けられ、これ等
コイルの巻線は、電源に接続されるとコイルを関
係の磁石から遠ざけようとする力を発生するよう
に直列に接続すると、簡単につくれる有利な実施
形態が得られる。

以下本発明を図面の実施例を参照して詳しく説
明する。

円板状のターンテーブル１はシヤフト２を有す
る。前記のターンテーブルはこのシヤフトを中心
として回転することができる。ターンテーブル上
には２つの支持個所３，４があり、この支持個所
にマスク５，６を設けることができる。前記の支
持個所は透明である。マスクの一方例えば６は、
処理すべき半導体ウエーハ上にテストパターンを
形成するのに役立つ。

２つの磁石装置７と８が半導体装置の写真印刷
処理装置例えばステツプアンドリピートカメラ
（図示せず）に固定配設される。図示の磁石装置
７，８は線図的に示した鉄のヨーク９，１０と磁
石１１，１２を有する。磁石のヨークに面する側
は例えばＳ極を形成する。この場合磁石１１，１
２の自由端はＮ極を形成する。この磁石装置７と
８は任意の適当な方法で形成してよく、図はその
一例を示したものに過ぎない。

前記の磁石装置はリニヤモータの一部を形成す
る。図の実施例では２つのコイル１３と１４がリ
ニヤモータの他の部分を形成する。この２つのコ
イル１３，１４は支持体１５によつてターンテー
ブル１に固定して取付けられる。

前記のコイル１３と１４は、ヨーク９，１０と
磁石１１，１２間のギヤツプ１６内に動くことが
できるように形成され配置される。図ではコイル
は夫々支持体１５の一方の側に位置されている。
他の配置も可能で、例えばコイルを夫々或る距離
はなれた別個の支持体に取付けるようにすること
も可能である。更に、コイルを固定して配し、磁
石装置がターンテーブルにあるようにしてもよ
い。コイルに電流を流すための接続装置は図示し
ない任意の適当な方法で構成してよい。

コイル１３と１４は別々に電源に接続してもよ
い。この接続は、コイルによつて発生する磁場が
関係の磁石装置７または８と共働するための正し
い極性を有するようなものでなくてはならない。

けれども、これ等のコイル１３，１４は、若し
所定の電流接続でコイル１３が磁石装置７と反発
するとすればコイル１４はこの電流接続で磁石装
置８と反発するように直列に接続するのが好まし
い。

ターンテーブルには２つのミラー１７と１８が
設けられるが、これ等ミラーは反射プリズムとし
て構成されるのが好ましい。更に、検出ユニツト
１９が半導体の写真印刷処理装置（図示せず）に
固定して配置される。前記の検出ユニツトは、光
ビームを放射し、この光ビームが反射によりミラ
ーの一方から検出ユニツトに反射されるような光
源検出ユニツトであるのが好ましい。反射された
光ビームは検出システム内に集められることがで
きるが、この検出システムは前記の英国特許出願
に記載されたような２つの検出器を有するのが好
ましい。光源検出ユニツトを形成する２つの検出
器の差信号はターンテーブルを正しい位置に配置
するのに用いることができる。これは位置サーボ
システム（図示せず）で行うことができる。この
位置サーボシステムは本発明の直接の主題ではな
く、検出器より信号を受信してコイル１３と１４
の電流値を制御する。

マスクの位置の変更は次のように行うことがで
きる。図の位置ではマスク５は写真印刷処理に望
ましい位置を占め、マスク６が次にこの位置にく
るべきものとする。又両コイル１３と１４は前述
したように直列に接続されているものとする。交
換は、一定電流が両コイルに重畳され、この電流
はコイル１３が磁石装置と反発されるような磁界
がコイル１３に発生する方向であるようにするこ
とにより行われる。ターンテーブル１は加速さ
れ、コイル１４が磁石装置８に近づく迄回転され
る。この場合ターンテーブルは、コイルを流れる
一定電流によつて、該ターンテーブルが他の方向
に加速されたと同じだけ減速される。

ミラー１８が検出器１９に近づくと、ターンテ
ーブルが所望の位置に近づく少し前で前記の英国
特許出願に記載されているように検出器１９によ
つて信号が供給される。この信号によつて、ター
ンテーブルの速度が零になつた時に、前記の位置
サーボシステムが回路に接続される。この位置サ
ーボシステムによつて、ターンテーブルしたがつ
てマスクも極めて迅速に所望の位置に動かし、一
方検出器は位置サーボシステムに修正信号を送る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のマスク交換装置の一実施例の
平面図、第２図はその側面図を示す。 １……ターンテーブル、２……シヤフト、３，
４……マスク支持個所、５，６……マスク、７，
８……磁石装置、９，１０……ヨーク、１１，１
２……磁石、１３，１４……コイル、１５……支
持体、１６……ギヤツプ、１７，１８……ミラ
ー、１９……検出ユニツト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数のマスクの支持個所が回転可能な円板上
   にあり、この円板はマスク支持個所の１つを写真
   印刷処理のための所望の位置に動かし、この位置
   は検出器によつて検出され、この検出器は、位置
   サーボシステムが回路に接続された後、前記の位
   置サーボシステムに検出信号を供給し円板の調整
   を制御するようにした、半導体装置の写真印刷処
   理に用いられるマスク交換装置において、円板の
   回転のために夫々磁石とコイルとを有する２個の
   電磁運動装置が設けられ、磁石対またはコイル対
   の何れか一方は固定して配設され、他方の対は円
   板に設けられて該円板と共に回転可能であり、ま
   たコイルの電流接続部があり、このコイルに一定
   電流を供給する装置が設けられたことを特徴とす
   るマスク交換装置。 ２ 電磁運動装置は、その行程の終わりでコイル
   が磁石装置のギヤツプに入り込むようにした所謂
   潜入形のコイル装置として形成された特許請求の
   範囲第１項記載の装置。 ３ 両コイルは１つの支持体に取りつけられ、こ
   れ等のコイルの巻線は、電源に接続されるとコイ
   ルを関係の磁石から遠ざけようとする力を発生す
   るように直列に接続された特許請求の範囲第１項
   または第２項記載の装置。