JPH05204097A - ハロゲン化銅溶液の処理方法 - Google Patents
ハロゲン化銅溶液の処理方法Info
- Publication number
- JPH05204097A JPH05204097A JP3878592A JP3878592A JPH05204097A JP H05204097 A JPH05204097 A JP H05204097A JP 3878592 A JP3878592 A JP 3878592A JP 3878592 A JP3878592 A JP 3878592A JP H05204097 A JPH05204097 A JP H05204097A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- solution
- acid solution
- copper halide
- bath
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ハロゲン化銅溶液中より銅を回収すること及
び銅回収後の溶液をハロゲン酸溶液として回収するこ
と。 【構成】 電解槽１の内部に、この電解槽１をハロゲン
化銅溶液槽１１と酸溶液槽１２とに仕切るように陽イオ
ン交換膜２を配置すると共に、ハロゲン化銅溶液槽１１
及び酸溶液槽１２の内部に夫々陰極体３及び陽極体４を
配置し、これら陰極体３及び陽極体４を夫々直流電源５
の負極及び正極に接続する。ハロゲン化銅溶液槽１１及
び酸溶液槽１２に夫々ハロゲン化銅溶液及び酸溶液を供
給すると共に、陰極体３及び陽極体４間に通電すること
によって酸溶液中の水素イオンが陽イオン交換膜２を透
過してハロゲン化銅と反応し、陰極体３に銅を析出させ
る等して銅を回収できると共に、この銅を取り除いた後
の溶液をハロゲン酸溶液として回収できる。
び銅回収後の溶液をハロゲン酸溶液として回収するこ
と。 【構成】 電解槽１の内部に、この電解槽１をハロゲン
化銅溶液槽１１と酸溶液槽１２とに仕切るように陽イオ
ン交換膜２を配置すると共に、ハロゲン化銅溶液槽１１
及び酸溶液槽１２の内部に夫々陰極体３及び陽極体４を
配置し、これら陰極体３及び陽極体４を夫々直流電源５
の負極及び正極に接続する。ハロゲン化銅溶液槽１１及
び酸溶液槽１２に夫々ハロゲン化銅溶液及び酸溶液を供
給すると共に、陰極体３及び陽極体４間に通電すること
によって酸溶液中の水素イオンが陽イオン交換膜２を透
過してハロゲン化銅と反応し、陰極体３に銅を析出させ
る等して銅を回収できると共に、この銅を取り除いた後
の溶液をハロゲン酸溶液として回収できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばドライフィルム
のエッチング処理後の塩化第二銅エッチング液の処理方
法に関するものである。
のエッチング処理後の塩化第二銅エッチング液の処理方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】回路画像用のドライフィルムのエッチン
グ処理には、塩化第二銅エッチング液等が一般に使用さ
れている。このエッチング液を用いて被エッチング材で
ある銅をエッチング処理すると、以下に示す（１）式の
反応によって塩化第二銅は塩化第一銅になる。
グ処理には、塩化第二銅エッチング液等が一般に使用さ
れている。このエッチング液を用いて被エッチング材で
ある銅をエッチング処理すると、以下に示す（１）式の
反応によって塩化第二銅は塩化第一銅になる。
【０００３】Ｃｕ＋ＣｕＣｌ２→２ＣｕＣｌ…（１） そしてこのエッチング処理後の塩化第二銅エッチング液
（以下「エッチング廃液」という。）に対して塩化第一
銅の生成量に対応した過酸化水素と塩酸とを添加するこ
とにより、以下に示す（２）式の反応によって塩化第二
銅が再生される。
（以下「エッチング廃液」という。）に対して塩化第一
銅の生成量に対応した過酸化水素と塩酸とを添加するこ
とにより、以下に示す（２）式の反応によって塩化第二
銅が再生される。
【０００４】２ＣｕＣｌ＋Ｈ２Ｏ２＋２ＨＣｌ→２Ｃｕ
Ｃｌ２＋２Ｈ２Ｏ…（２） ここで（１）、（２）式からわかるように、もとのエッ
チング液中のＣｕＣｌ２から２ＣｕＣｌ２が再生される
ため、再生によりエッチング液は増量するが、エッチン
グ廃液中には銅が含有されていると共に、塩化第二銅エ
ッチング液には、もともと塩酸が可成り多く含まれてい
るため、エッチング処理において未反応であった塩酸が
遊離塩素（Ｃｌ−）等の形態で多量に存在している。そ
して、銅は比較的高価な非循環資源である一方、遊離塩
素は塩素ガス（Ｃｌ２）として大気中に放出されると異
臭や酸性雨等の環境公害の原因となる。そこで、上述の
再生によって生じた余剰のエッチング廃液に例えば鉄を
加えて、以下に示す（３）式の反応によって銅を金属と
して回収すると共に、遊離塩素を鉄との化合物（ＦｅＣ
ｌ２）にすることによって塩素ガスの発生を抑える方法
が従来より採られている。 ＣｕＣｌ２＋
Ｆｅ→ＦｅＣｌ２＋Ｃｕ…（３）
Ｃｌ２＋２Ｈ２Ｏ…（２） ここで（１）、（２）式からわかるように、もとのエッ
チング液中のＣｕＣｌ２から２ＣｕＣｌ２が再生される
ため、再生によりエッチング液は増量するが、エッチン
グ廃液中には銅が含有されていると共に、塩化第二銅エ
ッチング液には、もともと塩酸が可成り多く含まれてい
るため、エッチング処理において未反応であった塩酸が
遊離塩素（Ｃｌ−）等の形態で多量に存在している。そ
して、銅は比較的高価な非循環資源である一方、遊離塩
素は塩素ガス（Ｃｌ２）として大気中に放出されると異
臭や酸性雨等の環境公害の原因となる。そこで、上述の
再生によって生じた余剰のエッチング廃液に例えば鉄を
加えて、以下に示す（３）式の反応によって銅を金属と
して回収すると共に、遊離塩素を鉄との化合物（ＦｅＣ
ｌ２）にすることによって塩素ガスの発生を抑える方法
が従来より採られている。 ＣｕＣｌ２＋
Ｆｅ→ＦｅＣｌ２＋Ｃｕ…（３）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の方
法によれば、エッチング廃液中に投入される鉄は、塩化
鉄となるため、エッチング廃液を上記（３）式の反応に
よって処理するには常に多量の鉄が必要となると共に、
比較的用途が狭い塩化鉄溶液が多量に生成されてしまう
という問題があった。
法によれば、エッチング廃液中に投入される鉄は、塩化
鉄となるため、エッチング廃液を上記（３）式の反応に
よって処理するには常に多量の鉄が必要となると共に、
比較的用途が狭い塩化鉄溶液が多量に生成されてしまう
という問題があった。
【０００６】本発明はこのような事情のもとになされた
ものであり、その目的は、ハロゲン化銅溶液中に含有さ
れている銅を効率よく回収できると共に、ハロゲン酸溶
液を生成できるハロゲン化銅溶液の処理方法を提供する
ことにある。
ものであり、その目的は、ハロゲン化銅溶液中に含有さ
れている銅を効率よく回収できると共に、ハロゲン酸溶
液を生成できるハロゲン化銅溶液の処理方法を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、陽イオン交換
膜によって仕切られた一方側の槽内に銅よりなる陰極体
を設置すると共に、ハロゲン化銅溶液を供給し、他方側
の槽内に陽極体を設置すると共に、酸溶液を供給し、前
記陰極体及び陽極体間に通電し、これによりハロゲン化
銅溶液中の銅を析出させると共に、酸溶液中の水素イオ
ンをハロゲン化銅溶液中側に透過させてハロゲン酸溶液
を生成することを特徴とする。
膜によって仕切られた一方側の槽内に銅よりなる陰極体
を設置すると共に、ハロゲン化銅溶液を供給し、他方側
の槽内に陽極体を設置すると共に、酸溶液を供給し、前
記陰極体及び陽極体間に通電し、これによりハロゲン化
銅溶液中の銅を析出させると共に、酸溶液中の水素イオ
ンをハロゲン化銅溶液中側に透過させてハロゲン酸溶液
を生成することを特徴とする。
【０００８】
【作用】陰極体及び陽極体間に通電することにより、酸
溶液中の水素イオンが陽イオン交換膜を透過してハロゲ
ン化銅溶液中側に移動する。そして、この移動した水素
イオンとハロゲン化銅溶液中に含有されている例えば塩
化第二銅とが以下に示す（４）式の如く反応して銅と塩
酸とが生成される。そしてこの銅は金属として陰極体の
表面に折出するか、あるいは銅粉として沈殿する。
溶液中の水素イオンが陽イオン交換膜を透過してハロゲ
ン化銅溶液中側に移動する。そして、この移動した水素
イオンとハロゲン化銅溶液中に含有されている例えば塩
化第二銅とが以下に示す（４）式の如く反応して銅と塩
酸とが生成される。そしてこの銅は金属として陰極体の
表面に折出するか、あるいは銅粉として沈殿する。
【０００９】ＣｕＣｌ２＋２Ｈ＋＋２ｅ−→Ｃｕ＋２Ｈ
Ｃｌ…（４） 従って、ハロゲン化銅溶液中に含有されている銅は金属
として回収されると共に、銅が取り除かれた後の残りの
溶液は例えば塩酸溶液等のハロゲン酸溶液として回収さ
れ、これら回収された銅及びハロゲン酸溶液は用途が広
いため資源の有効利用を十分に図ることができる。
Ｃｌ…（４） 従って、ハロゲン化銅溶液中に含有されている銅は金属
として回収されると共に、銅が取り除かれた後の残りの
溶液は例えば塩酸溶液等のハロゲン酸溶液として回収さ
れ、これら回収された銅及びハロゲン酸溶液は用途が広
いため資源の有効利用を十分に図ることができる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明を実施するための装置の一例を
示す断面図である。図１中１は電解槽であり、この電解
槽１の内部中央付近には、電解槽１をハロゲン化銅溶液
槽１１と酸溶液槽１２とに仕切るように陽イオン交換膜
２が設けられている。そして、これらハロゲン化銅溶液
槽１１内及び酸溶液槽１２内には夫々銅よりなる陰極体
３及び例えば白金よりなる陽極体４が設けられており、
またこれら陰極体３及び陽極体４は夫々直流電源５の負
極及び正極に接続されている。
示す断面図である。図１中１は電解槽であり、この電解
槽１の内部中央付近には、電解槽１をハロゲン化銅溶液
槽１１と酸溶液槽１２とに仕切るように陽イオン交換膜
２が設けられている。そして、これらハロゲン化銅溶液
槽１１内及び酸溶液槽１２内には夫々銅よりなる陰極体
３及び例えば白金よりなる陽極体４が設けられており、
またこれら陰極体３及び陽極体４は夫々直流電源５の負
極及び正極に接続されている。
【００１１】次に、前記装置を用いて実際に本発明に係
る方法により塩化銅溶液（以下「塩銅液」という。）を
処理して銅を回収すると共に、塩酸溶液を生成回収する
試験を行なった実施例について述べる。先ず試験開始前
に電解槽１を２つ用意すると共に、銅イオン及び塩素イ
オンを夫々０．６ｗｔ％及び５．０ｗｔ％含有している
塩銅液（以下「塩銅液Ａ」という。）と、銅イオン及び
塩素イオンを夫々１０．３ｗｔ％及び１８．２ｗｔ％含
有している塩銅液（以下「塩銅液Ｂ」という。）とを用
意する。そして前記２つの電解槽１のうち、一方の電解
槽１については、ハロゲン化銅溶液槽１１内及び酸溶液
槽１２内に夫々前記塩銅液Ａ及び例えば０．１規定希硫
酸水溶液（以下、単に「希硫酸水溶液」という。）を供
給すると共に、他方の電解槽１については、ハロゲン化
銅溶液槽１１内及び酸溶液槽１２内に夫々前記塩銅液Ｂ
及び希硫酸水溶液を供給する。その後、前記一方の電解
槽１の陰極体３及び陽極体４間に８Ｖの電圧を印加して
２Ａの電流を通電し、また前記他方の電解槽１の陰極体
３及び陽極体４間に７Ｖの電圧を印加して２Ａの電流を
通電し、いずれの電解槽１についても電流効率９８％で
静置状態で電気透析を行なった。
る方法により塩化銅溶液（以下「塩銅液」という。）を
処理して銅を回収すると共に、塩酸溶液を生成回収する
試験を行なった実施例について述べる。先ず試験開始前
に電解槽１を２つ用意すると共に、銅イオン及び塩素イ
オンを夫々０．６ｗｔ％及び５．０ｗｔ％含有している
塩銅液（以下「塩銅液Ａ」という。）と、銅イオン及び
塩素イオンを夫々１０．３ｗｔ％及び１８．２ｗｔ％含
有している塩銅液（以下「塩銅液Ｂ」という。）とを用
意する。そして前記２つの電解槽１のうち、一方の電解
槽１については、ハロゲン化銅溶液槽１１内及び酸溶液
槽１２内に夫々前記塩銅液Ａ及び例えば０．１規定希硫
酸水溶液（以下、単に「希硫酸水溶液」という。）を供
給すると共に、他方の電解槽１については、ハロゲン化
銅溶液槽１１内及び酸溶液槽１２内に夫々前記塩銅液Ｂ
及び希硫酸水溶液を供給する。その後、前記一方の電解
槽１の陰極体３及び陽極体４間に８Ｖの電圧を印加して
２Ａの電流を通電し、また前記他方の電解槽１の陰極体
３及び陽極体４間に７Ｖの電圧を印加して２Ａの電流を
通電し、いずれの電解槽１についても電流効率９８％で
静置状態で電気透析を行なった。
【００１２】上述の塩銅液Ａ及び塩銅液Ｂについて行な
ったいずれの試験においても、電気分解によって酸溶液
槽１２内の希硫酸水溶液中の水素イオンが陽イオン交換
膜２を透過して塩銅液Ａ及び塩銅液Ｂの夫々の側に移動
する。そして、この移動した水素イオンは「作用」の欄
で既述した（４）式の反応によって塩銅液Ａ及び塩銅液
Ｂに含有されている塩化銅（ＣｕＣｌ２）と反応し、こ
の結果、銅と塩酸が生成される。そして、この銅は金属
として陰極体３の表面に析出するか、あるいは銅粉とし
て沈殿し、この銅は図示しない例えば回収手段によって
回収される。この結果、塩銅液Ａ及び塩銅液Ｂ中からは
銅が取り除かれ、銅が取り除かれた後のハロゲン化銅溶
液槽１１内の溶液は塩酸溶液として図示しない例えば回
収手段によって回収される。
ったいずれの試験においても、電気分解によって酸溶液
槽１２内の希硫酸水溶液中の水素イオンが陽イオン交換
膜２を透過して塩銅液Ａ及び塩銅液Ｂの夫々の側に移動
する。そして、この移動した水素イオンは「作用」の欄
で既述した（４）式の反応によって塩銅液Ａ及び塩銅液
Ｂに含有されている塩化銅（ＣｕＣｌ２）と反応し、こ
の結果、銅と塩酸が生成される。そして、この銅は金属
として陰極体３の表面に析出するか、あるいは銅粉とし
て沈殿し、この銅は図示しない例えば回収手段によって
回収される。この結果、塩銅液Ａ及び塩銅液Ｂ中からは
銅が取り除かれ、銅が取り除かれた後のハロゲン化銅溶
液槽１１内の溶液は塩酸溶液として図示しない例えば回
収手段によって回収される。
【００１３】そして、このようにして塩銅液Ａより回収
された銅の純度及び塩酸溶液中に含有されている銅イオ
ン濃度は夫々９９％以上及び高々１ｐｐｍ程度であり、
また、塩銅液Ｂの場合も同様の結果が得られたため、回
収後の銅及び塩酸溶液の製品品質はかなり高いものとな
っている。また、電気分解によって希硫酸水溶液中の酸
素イオンは酸素ガスとなって陽極体４側より大気中に放
出される。そして、電気分解によって希硫酸水溶液は減
少するが、減少分に見合う純水を補給することによっ
て、減少前の状態に回復させることができる。
された銅の純度及び塩酸溶液中に含有されている銅イオ
ン濃度は夫々９９％以上及び高々１ｐｐｍ程度であり、
また、塩銅液Ｂの場合も同様の結果が得られたため、回
収後の銅及び塩酸溶液の製品品質はかなり高いものとな
っている。また、電気分解によって希硫酸水溶液中の酸
素イオンは酸素ガスとなって陽極体４側より大気中に放
出される。そして、電気分解によって希硫酸水溶液は減
少するが、減少分に見合う純水を補給することによっ
て、減少前の状態に回復させることができる。
【００１４】このような実施例によれば、「従来の技
術」の欄で既述した比較的用途の狭い塩化鉄等を生成す
ることなく塩銅液中に含有されている銅を回収すると共
に、塩銅液中に含有されている遊離塩素を塩素ガスとし
て大気中に放出することなく塩酸溶液として回収して塩
銅液を処理できるので、非循環資源である銅の有効利用
及び環境公害の未然防止を図ることができる。
術」の欄で既述した比較的用途の狭い塩化鉄等を生成す
ることなく塩銅液中に含有されている銅を回収すると共
に、塩銅液中に含有されている遊離塩素を塩素ガスとし
て大気中に放出することなく塩酸溶液として回収して塩
銅液を処理できるので、非循環資源である銅の有効利用
及び環境公害の未然防止を図ることができる。
【００１５】以上において、本発明は塩銅液の処理に限
られるものではなく、塩素以外のハロゲンと銅との錯体
を含有するハロゲン化銅溶液の処理にも適用できる。ま
た、電気透析を行なうにあたっては、例えば図示しない
ポンプを備えた循環路を用いてハロゲン化銅溶液を循環
させるようにしてもよい。
られるものではなく、塩素以外のハロゲンと銅との錯体
を含有するハロゲン化銅溶液の処理にも適用できる。ま
た、電気透析を行なうにあたっては、例えば図示しない
ポンプを備えた循環路を用いてハロゲン化銅溶液を循環
させるようにしてもよい。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、酸溶液中の水素イオン
が陽イオン交換膜を透過してハロゲン化銅溶液中に移動
してハロゲン化銅と反応することによって陰極体に銅を
析出させて純度の高い金属として回収できると共に、こ
の析出した銅を取り除いた後の溶液をハロゲン酸溶液と
して回収することができる。
が陽イオン交換膜を透過してハロゲン化銅溶液中に移動
してハロゲン化銅と反応することによって陰極体に銅を
析出させて純度の高い金属として回収できると共に、こ
の析出した銅を取り除いた後の溶液をハロゲン酸溶液と
して回収することができる。
【００１７】従って、用途の狭い例えば塩化鉄や環境公
害の原因となる例えば塩素ガス等のハロゲンガスを生成
することなく、ハロゲン化銅溶液を処理できるため、資
源の有効利用及び環境公害の未然防止を図ることができ
る。
害の原因となる例えば塩素ガス等のハロゲンガスを生成
することなく、ハロゲン化銅溶液を処理できるため、資
源の有効利用及び環境公害の未然防止を図ることができ
る。
【図１】本発明に係る方法を実施するための装置の一例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１ 電解槽 １１ ハロゲン化銅溶液槽 １２ 酸溶液槽 ２ 陽イオン交換膜 ３ 陽極体 ４ 陰極体 ５ 直流電源
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年５月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】次に、前記装置を用いて実際に本発明に係
る方法により塩化銅溶液（以下「塩銅液」という。）を
処理して銅を回収すると共に、塩酸溶液を生成回収する
試験を行なった実施例について述べる。先ず試験開始前
に電解槽１を２つ用意すると共に、銅イオン及び塩素イ
オンを夫々０．６ｗｔ％及び５．０ｗｔ％含有している
塩銅液（以下「塩銅液Ａ」という。）と、銅イオン及び
塩素イオンを夫々１０．３ｗｔ％及び１８．２ｗｔ％含
有している塩銅液（以下「塩銅液Ｂ」という。）とを用
意する。そして前記２つの電解槽１のうち、一方の電解
槽１については、ハロゲン化銅溶液槽１１内及び酸溶液
槽１２内に夫々前記塩銅液Ａ及び例えば０．１規定希硫
酸水溶液（以下、単に「希硫酸水溶液」という。）を供
給すると共に、他方の電解槽１については、ハロゲン化
銅溶液槽１１内及び酸溶液槽１２内に夫々前記塩銅液Ｂ
及び希硫酸水溶液を供給する。その後、前記一方の電解
槽１の陰極体３及び陽極体４間に８Ｖの電圧を印加して
２Ａの電流を通電し、また前記他方の電解槽１の陰極体
３及び陽極体４間に７Ｖの電圧を印加して５Ａの電流を
通電し、いずれの電解槽１についても電流効率９８％で
静置状態で電気透析を行なった。
る方法により塩化銅溶液（以下「塩銅液」という。）を
処理して銅を回収すると共に、塩酸溶液を生成回収する
試験を行なった実施例について述べる。先ず試験開始前
に電解槽１を２つ用意すると共に、銅イオン及び塩素イ
オンを夫々０．６ｗｔ％及び５．０ｗｔ％含有している
塩銅液（以下「塩銅液Ａ」という。）と、銅イオン及び
塩素イオンを夫々１０．３ｗｔ％及び１８．２ｗｔ％含
有している塩銅液（以下「塩銅液Ｂ」という。）とを用
意する。そして前記２つの電解槽１のうち、一方の電解
槽１については、ハロゲン化銅溶液槽１１内及び酸溶液
槽１２内に夫々前記塩銅液Ａ及び例えば０．１規定希硫
酸水溶液（以下、単に「希硫酸水溶液」という。）を供
給すると共に、他方の電解槽１については、ハロゲン化
銅溶液槽１１内及び酸溶液槽１２内に夫々前記塩銅液Ｂ
及び希硫酸水溶液を供給する。その後、前記一方の電解
槽１の陰極体３及び陽極体４間に８Ｖの電圧を印加して
２Ａの電流を通電し、また前記他方の電解槽１の陰極体
３及び陽極体４間に７Ｖの電圧を印加して５Ａの電流を
通電し、いずれの電解槽１についても電流効率９８％で
静置状態で電気透析を行なった。
Claims (1)
- 【請求項１】 陽イオン交換膜によって仕切られた一方
側の槽内に銅よりなる陰極体を設置すると共に、ハロゲ
ン化銅溶液を供給し、 他方側の槽内に陽極体を設置すると共に、酸溶液を供給
し、 前記陰極体及び陽極体間に通電し、これによりハロゲン
化銅溶液中の銅を析出させると共に、酸溶液中の水素イ
オンをハロゲン化銅溶液中側に透過させてハロゲン酸溶
液を生成することを特徴とするハロゲン化銅溶液の処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3878592A JPH05204097A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | ハロゲン化銅溶液の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3878592A JPH05204097A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | ハロゲン化銅溶液の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05204097A true JPH05204097A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=12534957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3878592A Pending JPH05204097A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | ハロゲン化銅溶液の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05204097A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102580539A (zh) * | 2012-02-27 | 2012-07-18 | 中国科学院南京土壤研究所 | 一种模拟土壤自然酸化的方法 |
| CN110408936A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-11-05 | 惠州市臻鼎环保科技有限公司 | 一种电解电路板酸性蚀刻废液的方法 |
-
1992
- 1992-01-29 JP JP3878592A patent/JPH05204097A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102580539A (zh) * | 2012-02-27 | 2012-07-18 | 中国科学院南京土壤研究所 | 一种模拟土壤自然酸化的方法 |
| CN110408936A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-11-05 | 惠州市臻鼎环保科技有限公司 | 一种电解电路板酸性蚀刻废液的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3470044A (en) | Electrolytic regeneration of spent ammonium persulfate etchants | |
| JPH09503956A (ja) | 金属カチオンの錯体及び塩の電気透析による転化 | |
| CA2081578C (en) | Method for treating etchant | |
| JP2677235B2 (ja) | 半導体基板の洗浄装置及び洗浄方法並びに洗浄液の生成方法 | |
| JPH07263391A (ja) | ウエット処理装置および電解活性水生成方法およ びウエット処理方法 | |
| CS218296B1 (en) | Method of continuous regeneration of the iron trichloride solution | |
| JPH06260480A (ja) | ウェット処理方法及び処理装置 | |
| JPS636632B2 (ja) | ||
| RU2715836C1 (ru) | Реагентно-электролизный метод регенерации солянокислых медно-хлоридных растворов травления меди | |
| JP2997110B2 (ja) | エッチング液の処理方法 | |
| JP2698253B2 (ja) | 銅を含む塩化第二鉄エッチング液の処理方法 | |
| JP2006176353A (ja) | 銅エッチング廃液から塩酸及び銅を回収する方法 | |
| JPH09150159A (ja) | Ｃｏｄ含有水のｃｏｄの除去方法 | |
| JP4580085B2 (ja) | 金属スズまたはスズ合金をエッチングする方法ならびに金属スズまたはスズ合金のエッチング液 | |
| JPH08276187A (ja) | 亜硫酸塩含有溶液の電気化学的処理方法 | |
| JPS62297476A (ja) | 塩化銅エツチング廃液の再生方法及び再生装置 | |
| KR20060108735A (ko) | 금속-함유 용액의 처리 방법 | |
| JP3088884B2 (ja) | 銅を含む塩化鉄系廃液の再生方法 | |
| Turaev et al. | Regeneration by membrane electrolysis of an etching solution based on copper chloride | |
| JP3172898B2 (ja) | エッチング廃液処理方法 | |
| CN110408936B (zh) | 一种电解电路板酸性蚀刻废液的方法 | |
| JPH02254188A (ja) | 塩化銅溶液の電解処理方法 | |
| JP3345197B2 (ja) | 電解イオン水の製造法 | |
| JP3568805B2 (ja) | 塩化第二鉄エッチング廃液の処理方法及びその再生方法 | |
| JPS62235482A (ja) | エツチング廃液の再生方法及び装置 |